JP2005247491A - 基板搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】 基板の搬送姿勢等を変更するのに要する時間を効果的に短縮して製造ラインのタクトの短縮を図ることができる基板搬送システムを提供する。
【解決手段】 搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２は、水平搬送コンベア１１−１，１１−２により水平姿勢で搬送された基板Ｓ_ｎを水平姿勢のまま搬送方向に移動させる（図１（ａ））。各姿勢変更用コンベア２１，２２は、水平姿勢に対応する受取状態から傾斜姿勢に対応する引渡状態まで同一の稼働態様で動作（姿勢変換動作）を行い、基板Ｓ_ｎの搬送姿勢を水平姿勢から傾斜姿勢まで移行させる（図１（ｂ））。その後、各姿勢変更用コンベア２１，２２は、基板Ｓ_ｎを傾斜姿勢のまま搬送方向に移動させ、基板Ｓ_ｎを傾斜搬送コンベア３１へ引き渡す（図１（ｃ））。ここで、基板Ｓ_ｎが搬送姿勢変更装置２０の姿勢変更用コンベア２１，２２を完全に通過した場合、基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった姿勢変更用コンベアから順に引渡状態から受取状態へ戻し、次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取れるようにする（図１（ｃ）（ｄ）（ｅ））。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液晶表示装置やＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイで用いられる大型の基板を搬送する基板搬送システムに係り、とりわけ、基板の搬送途中でその搬送状態（基板の搬送姿勢や搬送経路等）を変更することが可能な基板搬送システムに関する。

液晶表示装置やＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイを製造する製造ラインにおいては、フラットパネルディスプレイ用の大型の基板を効率良く搬送するためにインライン方式の搬送コンベアが用いられることが多い。この場合、基板は搬送コンベアにより所定の搬送経路に沿って水平姿勢で搬送され、搬送経路上に配置された複数の基板処理装置により基板に対して順次処理が行われる。

ここで、製造ライン中に組み込まれる基板処理装置としては、処理対象となる基板を水平姿勢に保った状態で処理を行う装置だけでなく、処理対象となる基板を傾斜姿勢に保った状態で処理を行う装置も存在している。このような基板処理装置が組み込まれた製造ラインでは、基板を水平姿勢で搬送する水平搬送コンベアと、基板を傾斜姿勢で搬送する傾斜搬送コンベアとが混在して設けられることとなり、製造ラインのうち水平搬送コンベアと傾斜搬送コンベアとが連結される箇所には、基板の搬送姿勢を水平姿勢から傾斜姿勢へと変更したり、逆に傾斜姿勢から水平姿勢へと変更したりするための搬送姿勢変更装置が設けられる（特許文献１参照）。

一方、製造ライン中に組み込まれる基板処理装置としては、露光装置等のように処理に多大な時間を要する装置があるが、このような基板処理装置は一般に、製造ライン中の複数の搬送経路（一つの搬送経路から分岐させた搬送経路）上に組み込まれ、各基板処理装置により基板に対する処理が並行に行われる。このような複数の基板処理装置が組み込まれた製造ラインでは、基板を搬送する搬送コンベアが各搬送経路ごとに複数設けられることとなり、製造ラインのうち分岐前の搬送コンベアと分岐後の複数の搬送コンベアとが連結される箇所には、基板の搬送経路を変更するための搬送経路変更装置が設けられる。

しかしながら、上述したような製造ラインでは、異なる種類の搬送コンベアが連結される箇所に設けられた搬送姿勢変更装置や搬送経路変更装置等により基板の搬送姿勢や搬送経路等が変更されるが、これらの搬送姿勢変更装置や搬送経路変更装置等は基板を１枚ずつ逐次的に取り扱うものであるので、当該箇所が律速（滞留）箇所となりやすい。特に、液晶表示装置やＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイで用いられる基板は非常に大型であるので、搬送姿勢変更装置や搬送経路変更装置等による基板の取り扱いにより多くの時間がかかり、製造ラインのタクトが長くなってしまうという問題がある。
特開平９−２３２２６８号公報

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基板の搬送状態（搬送姿勢や搬送経路等）を変更するのに要する時間を効果的に短縮して製造ラインのタクトの短縮ひいては全体の生産効率の向上を図ることができる基板搬送システムを提供することを目的とする。

本発明は、大型の基板を搬送する基板搬送システムにおいて、基板を第１の搬送状態で搬送する第１搬送コンベアと、前記第１搬送コンベアにより搬送された基板を第２の搬送状態で搬送する第２搬送コンベアと、前記第１搬送コンベアと前記第２搬送コンベアとの間に配置され、基板の搬送状態を前記第１の搬送状態と前記第２の搬送状態との間で変更する搬送状態変更装置とを備え、前記搬送状態変更装置は、基板の搬送方向に沿って並設された複数の状態変更用コンベアであって前記搬送方向に関して基板の搬送方向のサイズよりも小さなサイズを有する複数の状態変更用コンベアを有し、前記各状態変更用コンベアは、前記第１搬送コンベアから前記第１の搬送状態で搬送される基板を受け取る受取状態と、前記第２搬送コンベアへ前記第２の搬送状態で基板を引き渡す引渡状態との間の任意の状態をとるように互いに独立して動作し、前記各状態変更用コンベア上に基板が載置されて当該基板が前記第１の搬送状態から前記第２の搬送状態まで移行する際には、前記各状態変更用コンベアが前記受取状態から前記引渡状態まで互いに同一の稼働態様で動作し、且つ、前記各状態変更用コンベア上に載置されて前記第１の搬送状態から前記第２の搬送状態まで移行した基板が前記各状態変更用コンベアから前記第２搬送コンベアへ向けて搬送される際には、前記複数の状態変更用コンベアの中で基板が載置されない状態となった状態変更用コンベアから順に前記引渡状態から前記受取状態へ戻されることを特徴とする基板搬送システムを提供する。

なお、本発明において、前記第１搬送コンベアは、互いに異なる列に沿って設けられた複数の第１サブ搬送コンベアを有し、前記搬送状態変更装置の前記各状態変更用コンベアは、前記各第１サブ搬送コンベアから前記第１の搬送状態で搬送される基板を受け取る複数の受取状態と、前記第２搬送コンベアへ前記第２の搬送状態で基板を引き渡す前記引渡状態との間の任意の状態をとってもよい。また、前記第２搬送コンベアは、互いに異なる列に沿って設けられた複数の第２サブ搬送コンベアを有し、前記搬送状態変更装置の前記各状態変更用コンベアは、前記第１搬送コンベアから前記第１の搬送状態で搬送される基板を受け取る前記受取状態と、前記第２搬送コンベアへ前記第２の搬送状態で基板を引き渡す複数の引渡状態との間の任意の状態をとってもよい。

また、本発明において、前記第１搬送コンベアは、水平姿勢及び傾斜姿勢のうちのいずれか一方の搬送姿勢で基板を搬送し、前記第２搬送コンベアは、前記第１搬送コンベアによる基板の搬送姿勢とは異なる他方の搬送姿勢で基板を搬送し、前記搬送状態変更装置は、基板の搬送状態である搬送姿勢を前記水平姿勢と前記傾斜姿勢との間で変更するものであるとよい。

さらに、本発明において、前記第１搬送コンベアは、互いに異なる第１の搬送経路及び第２の搬送経路のうちのいずれか一方の搬送経路で基板を搬送し、前記第２搬送コンベアは、前記第１搬送コンベアによる基板の搬送経路とは異なる他方の搬送経路で基板を搬送し、前記搬送状態変更装置は、基板の搬送状態である搬送経路を前記第１の搬送経路と前記第２の搬送経路との間で変更するものであってもよい。なおこの場合、前記第１の搬送経路及び前記第２の搬送経路は互いに水平方向又は上下方向に離間していてもよい。

本発明によれば、基板を第１の搬送状態で搬送する第１搬送コンベアと、基板を第２の搬送状態で搬送する第２搬送コンベアとの間に配置された搬送状態変更装置において、基板の搬送方向のサイズの約半分のサイズを有する複数の状態変更用コンベアを搬送方向に沿って並設し、搬送状態変更装置により基板の搬送状態を変更する際に、複数の状態変更用コンベアの中で基板が載置されない状態となった状態変更用コンベアから順に、第２の搬送状態に対応する引渡状態から、第１の搬送状態に対応する受取状態へ戻すようにしている。このため、基板が搬送状態変更装置を完全に通過していなくとも、基板が載置されない状態となった状態変更用コンベアから順に次の基板を受け取るための準備を行うことが可能となり、製造ラインのタクトの短縮ひいては全体の生産効率の向上を図ることができる。

発明を実施するための形態

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。

第１の実施の形態
まず、図１（ａ）〜（ｅ）により、本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送システムについて説明する。

図１（ａ）〜（ｅ）に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送システムは、液晶表示装置やＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイで用いられる大型の基板Ｓ_ｎ（ｎは搬送される順番を表す）を搬送するためのものであり、基板Ｓ_ｎを水平姿勢（第１の搬送状態）で搬送する水平搬送コンベア（第１搬送コンベア）１１−１，１１−２と、水平搬送コンベア１１−１，１１−２により搬送された基板Ｓ_ｎを傾斜姿勢（第２の搬送状態）で搬送する傾斜搬送コンベア（第２搬送コンベア）３１とを備えている。また、水平搬送コンベア１１−１，１１−２と傾斜搬送コンベア３１との間には搬送姿勢変更装置（搬送状態変更装置）２０が配置され、基板Ｓ_ｎの搬送姿勢を水平姿勢と傾斜姿勢との間で変更することができるようになっている。

ここで、搬送姿勢変更装置２０は、基板Ｓ_ｎの搬送方向に沿って並設された２つの姿勢変更用コンベア（状態変更用コンベア）２１，２２を有している。なお、各姿勢変更用コンベア２１，２２は、基板Ｓ_ｎの搬送方向に関して基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズよりも小さなサイズ（基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズの約半分のサイズ）を有している。

また、搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２は、水平搬送コンベア１１−１，１１−２から水平姿勢で搬送される基板Ｓ_ｎを受け取る受取状態と、傾斜搬送コンベア３１へ傾斜姿勢で基板Ｓ_ｎを引き渡す引渡状態との間の任意の状態をとるように互いに独立して動作するようになっている。なお、各姿勢変更用コンベア２１，２２の動作としては、当該各姿勢変更用コンベア２１，２２上に配置された基板Ｓ_ｎを所定の搬送方向に搬送する基板搬送動作（加速、定速、減速及び停止）の他、当該各姿勢変更用コンベア２１，２２上に配置された基板Ｓ_ｎの姿勢を変える姿勢変換動作、当該各姿勢変更用コンベア２１，２２自体を移動させる移動動作等が挙げられる。

より具体的には、搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２上に基板Ｓ_ｎが載置されて当該基板Ｓ_ｎが水平姿勢から傾斜姿勢まで移行する際には、各姿勢変更用コンベア２１，２２が受取状態から引渡状態まで互いに同一の稼働態様で動作（基板搬送動作及び姿勢変換動作）を行うようになっている（図１（ａ）（ｂ）参照）。また、搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２上に載置されて水平姿勢から傾斜姿勢まで移行した基板Ｓ_ｎが各姿勢変更用コンベア２１，２２から傾斜搬送コンベア３１へ向けて搬送される際には、２つの姿勢変更用コンベア２１，２２の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった姿勢変更用コンベアから順に引渡状態から受取状態へ戻されるようになっている（図１（ｃ）（ｄ）（ｅ）参照）。

次に、このような構成からなる本発明の第１の実施の形態の作用について説明する。

まず、水平搬送コンベア１１−１，１１−２により水平姿勢で搬送された基板Ｓ_ｎが搬送方向に沿って搬送姿勢変更装置２０へ搬送されると、搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２は、基板Ｓ_ｎを水平姿勢のまま受け取るとともに搬送方向に移動させ、当該各姿勢変更用コンベア２１，２２上に基板Ｓ_ｎが完全に載置された時点で基板Ｓ_ｎの移動を停止させる（図１（ａ））。なおこのとき、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、水平搬送コンベア１１−１，１１−２から水平姿勢で搬送される基板Ｓ_ｎを受け取る受取状態をとる。また、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、基板Ｓ_ｎを水平姿勢のまま搬送方向に移動させ且つ停止させるように、同一の稼働態様で動作（水平搬送コンベア１１−１，１１−２と同一の基板搬送動作）を行う。ここで、図１（ａ）においては、搬送姿勢変更装置２０（姿勢変更用コンベア２１，２２）上に基板Ｓ_ｎが完全に載置された時点で基板Ｓ_ｎの移動を停止させるようにしているが、搬送姿勢変更装置２０（姿勢変更用コンベア２１，２２）の搬送方向の長さが、姿勢変更動作中の基板Ｓ_ｎの移動距離と基板Ｓ_ｎの長さとを足し合わせた値よりも大きければ、搬送姿勢変更装置２０（姿勢変更用コンベア２１，２２）上で基板Ｓ_ｎの移動を停止させることなく基板Ｓ_ｎを定速移動させたまま基板Ｓ_ｎの姿勢を変更することができる。

次に、搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２は、各姿勢変更用コンベア２１，２２上に載置された基板Ｓ_ｎの搬送姿勢を水平姿勢から傾斜姿勢まで移行させる（図１（ｂ））。なおこのとき、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、基板Ｓ_ｎを水平姿勢から傾斜姿勢まで移行させるように、受取状態から引渡状態まで同一の稼働態様で動作（姿勢変換動作）を行う。

その後、このようにして搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２上に基板Ｓ_ｎが載置された基板Ｓ_ｎが水平姿勢から傾斜姿勢まで移行すると、各姿勢変更用コンベア２１，２２は、基板Ｓ_ｎを傾斜姿勢のまま搬送方向に移動させ、基板Ｓ_ｎを傾斜搬送コンベア３１へ引き渡す（図１（ｃ））。なおこのとき、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、傾斜搬送コンベア３１へ傾斜姿勢で基板Ｓ_ｎを引き渡す引渡状態をとる。また、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、基板Ｓ_ｎを傾斜姿勢のまま搬送方向に移動させるように、同一の稼働態様で動作（傾斜搬送コンベア３１と同一の基板搬送動作）を行う。

ここで、搬送姿勢変更装置２０へ搬送された基板Ｓ_ｎは、搬送姿勢変更装置２０の姿勢変更用コンベア２１，２２上を順次通過していくので、基板Ｓ_ｎが搬送姿勢変更装置２０を完全に通過していなくとも、水平搬送コンベア１１−１，１１−２側に位置する姿勢変更用コンベアから順に基板Ｓ_ｎが載置されていない状態となる。そこで、この際、２つの姿勢変更用コンベア２１，２２の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった姿勢変更用コンベアから順に引渡状態から受取状態へ戻す。

より具体的には、基板Ｓ_ｎが姿勢変更用コンベア２１を完全に通過して姿勢変更用コンベア２２に完全に移動した場合、姿勢変更用コンベア２１を引渡状態から受取状態へ戻し、姿勢変更用コンベア２１が次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取れるようにする（図１（ｃ）（ｄ））。なおこのとき、受取状態へ戻った姿勢変更用コンベア２１は、同一の稼働態様で動作（水平搬送コンベア１１−１，１１−２と同一の基板搬送動作）を行う。次いで、基板Ｓ_ｎが姿勢変更用コンベア２２を完全に通過して傾斜搬送コンベア３１に完全に移動した場合には、姿勢変更用コンベア２２を引渡状態から受取状態へ戻し、姿勢変更用コンベア２２が次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取れるようにする（図１（ｄ）（ｅ））。なおこのとき、受取状態へ戻った姿勢変更用コンベア２２は、水平搬送コンベア１１−１，１１−２及び姿勢変更用コンベア２１と同一の稼働態様で動作（基板搬送動作）を行う。

なお、以上のようにして搬送姿勢変更装置２０が新たに受け取った基板Ｓ_ｎ＋１についても、図１（ａ）〜（ｅ）に示す手順と同様の手順が繰り返され、基板Ｓ_ｎ＋１は、その搬送姿勢が水平姿勢から傾斜姿勢へ変更されながら傾斜搬送コンベア３１へ向けて搬送される。

このように本発明の第１の実施の形態によれば、水平搬送コンベア１１−１，１１−２と傾斜搬送コンベア３１との間に配置された搬送姿勢変更装置２０において、基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズの約半分のサイズを有する２つの姿勢変更用コンベア２１，２２を搬送方向に沿って並設し、搬送姿勢変更装置２０により基板Ｓ_ｎの搬送姿勢を変更する際に、２つの姿勢変更用コンベア２１，２２の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった姿勢変更用コンベアから順に引渡状態から受取状態へ戻すようにしている。このため、基板Ｓ_ｎが搬送姿勢変更装置２０を完全に通過していなくとも、基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった姿勢変更用コンベアから順に次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取るための準備を行うことが可能となり、製造ラインのタクトの短縮ひいては全体の生産効率の向上を図ることができる。

なお、上述した第１の実施の形態においては、搬送姿勢変更装置２０の姿勢変更用コンベア２１，２２により基板Ｓ_ｎを水平姿勢から傾斜姿勢へ変更する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、基板Ｓ_ｎを傾斜姿勢から水平姿勢へ変更する場合にも同様にして適用することができる。

また、上述した第１の実施の形態においては、搬送姿勢変更装置２０が２つの姿勢変更用コンベア２１，２２を有する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、搬送姿勢変更装置２０が３つ以上の姿勢変更用コンベアを有する場合にも同様にして適用することができる。なおこの場合には、各姿勢変更用コンベアの搬送方向のサイズは、基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズを姿勢変更用コンベアの数で割って得られたサイズとするとよい。

さらに、上述した第１の実施の形態においては、１列の水平搬送コンベア１１−１，１１−２から１列の傾斜搬送コンベア３１へ基板Ｓ_ｎを搬送する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、図２（ａ）〜（ｈ）に示すように、２列以上の水平搬送コンベア（第１サブ搬送コンベア）１１，１２から１列の傾斜搬送コンベア３１へ基板Ｓ_ｎを搬送する場合にも同様にして適用することができる。なおこの場合には、搬送姿勢変更装置（搬送状態変更装置）２０の各姿勢変更用コンベア（状態変更用コンベア）２１，２２は、２列以上の水平搬送コンベア１１，１２から水平姿勢で搬送される基板Ｓ_ｎを受け取る複数の受取状態と、傾斜搬送コンベア３１へ傾斜姿勢で基板Ｓ_ｎを引き渡す引渡状態との間の任意の状態をとるように移動する。

以下、図２（ａ）〜（ｈ）により、このような基板搬送システムの詳細について説明する。

まず、水平搬送コンベア１１により水平姿勢で搬送された基板Ｓ_ｎが搬送方向に沿って搬送姿勢変更装置２０へ搬送されると、搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２は、基板Ｓ_ｎを水平姿勢のまま受け取るとともに搬送方向に移動させ、当該各姿勢変更用コンベア２１，２２上に基板Ｓ_ｎが完全に載置された時点で基板Ｓ_ｎの移動を停止させる（図２（ａ））。なおこのとき、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、水平搬送コンベア１１から水平姿勢で搬送される基板Ｓ_ｎを受け取る第１の受渡状態をとる。また、各姿勢変更用コンベア２１，２２は、基板Ｓ_ｎを水平姿勢のまま搬送方向に移動させ且つ停止させるように、同一の稼働態様で動作（水平搬送コンベア１１と同一の基板搬送動作）を行う。ここで、図２（ａ）においては、搬送姿勢変更装置２０（姿勢変更用コンベア２１，２２）上に基板Ｓ_ｎが完全に載置された時点で基板Ｓ_ｎの移動を停止させるようにしているが、搬送姿勢変更装置２０（姿勢変更用コンベア２１，２２）の搬送方向の長さが、姿勢変更動作中の基板Ｓ_ｎの移動距離と基板Ｓ_ｎの長さとを足し合わせた値よりも大きければ、搬送姿勢変更装置２０（姿勢変更用コンベア２１，２２）上で基板Ｓ_ｎの移動を停止させることなく基板Ｓ_ｎを定速移動させたまま基板Ｓ_ｎの姿勢を変更することができる。

次に、搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２は、各姿勢変更用コンベア２１，２２上に載置された基板Ｓ_ｎを水平搬送コンベア１１側から傾斜搬送コンベア３１側まで移動させながら当該基板Ｓ_ｎの搬送姿勢を水平姿勢から傾斜姿勢まで移行させる（図２（ｂ））。なおこのとき、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、基板Ｓ_ｎを水平搬送コンベア１１側から傾斜搬送コンベア３１側まで移動させながらその搬送姿勢を水平姿勢から傾斜姿勢まで移行させるように、第１の受取状態（水平搬送コンベア１１に隣接した状態）から引渡状態（傾斜搬送コンベア３１に隣接した状態）まで同一の稼働態様で動作（姿勢変換動作及び移動動作）を行う。

その後、このようにして搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２上に基板Ｓ_ｎが載置された基板Ｓ_ｎが水平搬送コンベア１１側から傾斜搬送コンベア３１側まで移動するとともにその搬送姿勢が水平姿勢から傾斜姿勢まで移行すると、各姿勢変更用コンベア２１，２２は、基板Ｓ_ｎを傾斜姿勢のまま搬送方向に移動させ、基板Ｓ_ｎを傾斜搬送コンベア３１へ引き渡す（図２（ｃ））。なおこのとき、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、傾斜搬送コンベア３１へ傾斜姿勢で基板Ｓ_ｎを引き渡す引渡状態をとる。また、各姿勢変更用コンベア２１，２２はいずれも、基板Ｓ_ｎを傾斜姿勢のまま搬送方向に移動させるように、同一の稼働態様で動作（傾斜搬送コンベア３１と同一の基板搬送動作）を行う。

ここで、搬送姿勢変更装置２０へ搬送された基板Ｓ_ｎは、搬送姿勢変更装置２０の姿勢変更用コンベア２１，２２上を順次通過していくので、基板Ｓ_ｎが搬送姿勢変更装置２０を完全に通過していなくとも、水平搬送コンベア１１側に位置する姿勢変更用コンベアから順に基板Ｓ_ｎが載置されていない状態となる。そこで、この際、２つの姿勢変更用コンベア２１，２２の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった姿勢変更用コンベアから順に、引渡状態（傾斜搬送コンベア３１に隣接した状態）から、次の基板Ｓ_ｎ＋１が搬送されてくる第２の受渡状態（水平搬送コンベア１２に隣接した状態）へ戻す。

より具体的には、基板Ｓ_ｎが姿勢変更用コンベア２１を完全に通過して姿勢変更用コンベア２２に完全に移動した場合、姿勢変更用コンベア２１を引渡状態（傾斜搬送コンベア３１に隣接した状態）から第２の受取状態（水平搬送コンベア１２に隣接した状態）へ戻し、姿勢変更用コンベア２１が次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取れるようにする（図２（ｃ））。なおこのとき、第２の受取状態へ戻った姿勢変更用コンベア２１は、水平搬送コンベア１２と同一の稼働態様で動作（基板搬送動作）を行う。次いで、基板Ｓ_ｎが姿勢変更用コンベア２２を完全に通過して傾斜搬送コンベア３１に完全に移動した場合には、姿勢変更用コンベア２２を引渡状態から第２の受取状態へ戻し、姿勢変更用コンベア２２が次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取れるようにする（図２（ｄ））。なおこのとき、第２の受取状態へ戻った姿勢変更用コンベア２２は、水平搬送コンベア１２及び姿勢変更用コンベア２１と同一の稼働態様で動作（基板搬送動作）を行う。

その後、図２（ａ）〜（ｄ）に示す手順と同様の手順が繰り返され、水平搬送コンベア１２により搬送された水平姿勢の基板Ｓ_ｎ＋１が搬送姿勢変更装置２０の各姿勢変更用コンベア２１，２２により傾斜搬送コンベア３１まで搬送され、その後、２つの姿勢変更用コンベア２１，２２の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった姿勢変更用コンベアから順に引渡状態（傾斜搬送コンベア３１に隣接した状態）から第１の受渡状態（水平搬送コンベア１１に隣接した状態）へ戻され、次の基板Ｓ_ｎ＋２を搬送する準備が行われる（図２（ｅ）〜（ｆ））。

なお、図２（ａ）〜（ｈ）に示す基板搬送システムにおいては、２列以上の水平搬送コンベア１１，１２から１列の傾斜搬送コンベア３１へ基板Ｓ_ｎを搬送する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、１列又は２列以上の水平搬送コンベアから２列以上の傾斜搬送コンベア（第２サブ搬送コンベア）へ基板Ｓ_ｎを搬送する場合にも同様にして適用することができる。なおこの場合には、搬送姿勢変更装置（搬送状態変更装置）２０の各姿勢変更用コンベア（状態変更用コンベア）２１，２２は、水平搬送コンベアから水平姿勢で搬送される基板Ｓ_ｎを受け取る受取状態と、２列以上の傾斜搬送コンベアへ傾斜姿勢で基板Ｓ_ｎを引き渡す複数の引渡状態との間の任意の状態をとるように移動する。

第２の実施の形態
次に、図３（ａ）〜（ｅ）により、本発明の第２の実施の形態に係る基板搬送システムについて説明する。なお、本発明の第２の実施の形態は、基板の搬送状態である搬送経路を複数の搬送経路の間で変更するようにした点を除いて、他は図１（ａ）〜（ｅ）及び図２（ａ）〜（ｈ）に示す第１の実施の形態と略同一である。本発明の第２の実施の形態において、図１（ａ）〜（ｅ）及び図２（ａ）〜（ｈ）に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

図３（ａ）〜（ｅ）に示すように、本発明の第２の実施の形態に係る基板搬送システムは、水平姿勢の基板Ｓ_ｎを第１の搬送経路（第１の搬送状態）で搬送する水平搬送コンベア（第１搬送コンベア）１１−１，１１−２と、水平搬送コンベア１１−１，１１−２の第１の搬送経路を延長した位置に設けられた第１下流側水平搬送コンベア５１−１，５１−２と、水平搬送コンベア１１−１，１１−２により搬送された水平姿勢の基板Ｓ_ｎを第２の搬送経路（第２の搬送状態）で搬送する第２下流側水平搬送コンベア（第２搬送コンベア）５２−１，５２−２とを備えている。また、水平搬送コンベア１１−１，１１−２と第１下流側水平搬送コンベア５１−１，５１−２及び第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２との間には搬送経路変更装置（搬送状態変更装置）４０が配置され、基板Ｓ_ｎの搬送経路を第１の搬送経路と第２の搬送経路との間で変更することができるようになっている。

ここで、搬送経路変更装置４０は、基板Ｓ_ｎの搬送方向に沿って並設された４つの経路変更用コンベア（状態変更用コンベア）４１，４２，４３，４４を有している。なお、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４は、基板Ｓ_ｎの搬送方向に関して基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズよりも小さなサイズ（基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズの約四分の１のサイズ）を有している。

また、搬送経路変更装置４０の各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４は、水平搬送コンベア１１−１，１１−２から第１の搬送経路で搬送された基板Ｓ_ｎを受け取る受取状態（第１下流側水平搬送コンベア５１−１，５１−２へ第１の搬送経路で基板Ｓ_ｎを引き渡す第１の引渡状態と同一の状態）と、第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２へ第２の搬送経路で基板Ｓ_ｎを引き渡す第２の引渡状態との間の任意の状態をとるように互いに独立して動作するようになっている。なお、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４の動作としては、当該各姿勢変更用コンベア２１，２２上に配置された基板Ｓ_ｎを所定の搬送方向に搬送する基板搬送動作（加速、定速、減速及び停止）の他、当該各姿勢変更用コンベア２１，２２自体を移動させる移動動作等が挙げられる。

より具体的には、搬送経路変更装置４０の各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４上に基板Ｓ_ｎが載置されて当該基板Ｓ_ｎが第１の搬送経路から第２の搬送経路まで移行する際には、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４が受取状態（第１の引渡状態）から第２の引渡状態まで互いに同一の稼働態様で動作（基板搬送動作及び移動動作）を行うようになっている（図３（ａ）（ｂ）参照）。また、搬送経路変更装置４０の各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４上に載置されて第１の搬送経路から第２の搬送経路まで移行した基板Ｓ_ｎが各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４から第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２へ向けて搬送される際には、４つの経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった経路変更用コンベアから順に第２の引渡状態から受取状態（第１の引渡状態）へ戻されるようになっている（図３（ｃ）（ｄ）（ｅ）参照）。

次に、このような構成からなる本発明の第２の実施の形態の作用について説明する。

まず、水平搬送コンベア１１−１，１１−２により搬送された水平姿勢の基板Ｓ_ｎが搬送方向に沿って搬送経路変更装置４０へ搬送されると、搬送経路変更装置４０の各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４は、基板Ｓ_ｎを第１の搬送経路で受け取るとともにで搬送方向に移動させ、当該各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４上に基板Ｓ_ｎが完全に載置された時点で基板Ｓ_ｎの移動を停止させる（図３（ａ））。なおこのとき、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４はいずれも、水平搬送コンベア１１−１，１１−２から第１の搬送経路で搬送される基板Ｓ_ｎを受け取る受取状態（第１下流側水平搬送コンベア５１−１，５１−２へ第１の搬送経路で基板Ｓ_ｎを引き渡す第１の引渡状態と同一の状態）をとる。また、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４はいずれも、基板Ｓ_ｎを第１の搬送経路のまま搬送方向に移動させ且つ停止させるように、同一の稼働態様で動作（水平搬送コンベア１１−１，１１−２と同一の基板搬送動作）を行う。ここで、図３（ａ）においては、搬送経路変更装置４０（経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４）上に基板Ｓ_ｎが完全に載置された時点で基板Ｓ_ｎの移動を停止させるようにしているが、搬送経路変更装置４０（経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４）の搬送方向の長さが、搬送経路変更動作中の基板Ｓ_ｎの移動距離と基板Ｓ_ｎの長さとを足し合わせた値よりも大きければ、搬送経路変更装置４０（経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４）上で基板Ｓ_ｎの移動を停止させることなく基板Ｓ_ｎを定速移動させたまま基板Ｓ_ｎの搬送経路を変更することができる。

ここで、搬送経路変更装置４０の経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４が受取状態（第１の引渡状態）に留まるのであれば、基板Ｓ_ｎは第１の搬送経路でそのまま第１下流側水平搬送コンベア５１−１，５１−２へ向けて搬送される（図３（ａ）の基板Ｓ_ｎ−１参照）。これに対し、搬送経路変更装置４０の経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４が受取状態（第１の引渡状態）から第２の引渡状態へ移動する場合には、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４は、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４上に載置された基板Ｓ_ｎを第１の搬送経路から第２の搬送経路まで移行させる（図３（ｂ））。なおこのとき、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４はいずれも、基板Ｓ_ｎを第１の搬送経路から第２の搬送経路まで移行させるように、第１の搬送経路に対応する受取状態（第１の引渡状態）から、第２の搬送経路に対応する第２の引渡状態まで、同一の稼働態様で動作（移動動作）を行う。

その後、このようにして搬送経路変更装置４０の各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４上に載置された基板Ｓ_ｎが第１の搬送経路から第２の搬送経路まで移行すると、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４は、基板Ｓ_ｎを第２の搬送経路で搬送方向に移動させ、基板Ｓ_ｎを第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２へ引き渡す（図３（ｃ））。なおこのとき、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４はいずれも、第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２へ第２の搬送経路で基板Ｓ_ｎを引き渡す第２の引渡状態をとる。また、各経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４はいずれも、基板Ｓ_ｎを第２の搬送経路で搬送方向に移動させるように、同一の稼働態様で動作（第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２と同一の基板搬送動作）を行う。

ここで、搬送経路変更装置４０へ搬送された基板Ｓ_ｎは、搬送経路変更装置４０の経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４上を順次通過していくので、基板Ｓ_ｎが搬送経路変更装置４０を完全に通過していなくとも、水平搬送コンベア１１−１，１１−２側に位置する経路変更用コンベアから順に基板Ｓ_ｎが載置されていない状態となる。そこで、この際、４つの経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった経路変更用コンベアから順に第２の引渡状態から受取状態（第１の引渡状態）へ戻す。

より具体的には、基板Ｓ_ｎが経路変更用コンベア４１を完全に通過して経路変更用コンベア４２に完全に移動した場合、経路変更用コンベア４１を第２の引渡状態から受取状態（第１の引渡状態）へ戻し、経路変更用コンベア４１が次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取れるようにする（図３（ｃ））。なおこのとき、受取状態（第１の引渡状態）へ戻った経路変更用コンベア４１は、同一の稼働態様で動作（水平搬送コンベア１１−１，１１−２と同一の基板搬送動作）を行う。同様に、基板Ｓ_ｎが経路変更用コンベア４２，４３，４４を完全に通過した場合、経路変更用コンベア４２，４３，４４を第２の引渡状態から受取状態（第１の引渡状態）へ順次戻し、基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった経路変更用コンベア４２，４３，４４が次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取れるようにする（図３（ｄ）（ｅ））。なおこのとき、受取状態（第１の引渡状態）へ戻った経路変更用コンベア４２，４３，４４は、水平搬送コンベア１１−１，１１−２及び経路変更用コンベア４１等と同一の稼働態様で動作（基板搬送動作）を行う。

なお、以上のようにして搬送経路変更装置４０が新たに受け取った基板Ｓ_ｎ＋１についても、図３（ａ）〜（ｅ）に示す手順と同様の手順が繰り返され、基板Ｓ_ｎ＋１は、その搬送経路が第１の搬送経路と第２の搬送経路との間で変更されながら第１下流側水平搬送コンベア５１−１，５１−２又は第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２へ向けて搬送される。

このように本発明の第２の実施の形態によれば、水平搬送コンベア１１−１，１１−２と第１下流側水平搬送コンベア５１−１，５１−２及び第２下流側水平搬送コンベア５２−１，５２−２との間に配置された搬送経路変更装置４０において、基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズの約四分の１のサイズを有する４つの経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４を搬送方向に沿って並設し、搬送経路変更装置４０により基板Ｓ_ｎの搬送経路を変更する際に、４つの経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４の中で基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった経路変更用コンベアから順に第２の引渡状態から受取状態（第１の引渡状態）へ戻すようにしている。このため、基板Ｓ_ｎが搬送経路変更装置４０を完全に通過していなくとも、基板Ｓ_ｎが載置されない状態となった経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４から順に次の基板Ｓ_ｎ＋１を受け取るための準備を行うことが可能となり、製造ラインのタクトの短縮ひいては全体の生産効率の向上を図ることができる。

なお、上述した第２の実施の形態においては、搬送経路変更装置４０が４つの経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４を有する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、搬送経路変更装置４０が２つ、３つ又は５つ以上の経路変更用コンベアを有する場合にも同様にして適用することが可能である。なおこの場合には、各経路変更用コンベアの搬送方向のサイズは、基板Ｓ_ｎの搬送方向のサイズを経路変更用コンベアの数で割って得られたサイズとするとよい。

また、上述した第２の実施の形態においては、搬送経路変更装置４０の経路変更用コンベア４１，４２，４３，４４により、基板Ｓ_ｎの搬送経路を、互いに水平方向に離間した搬送経路の間で変更する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、図４に示すように、搬送経路変更装置（搬送状態変更装置）６０の経路変更用コンベア（状態変更用コンベア）６１，６２，６３，６４により、基板Ｓ_ｎの搬送経路を、互いに上下方向に離間した搬送経路の間で変更する場合にも同様にして適用することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る基板搬送システムを説明するための図。 図１に示す基板搬送システムの変形例を説明するための図。 本発明の第２の実施の形態に係る基板搬送システムを説明するための図。 図３に示す基板搬送システムの変形例を説明するための図。

符号の説明

１１−１，１１−２，１２ 水平搬送コンベア（第１搬送コンベア）
２０ 搬送姿勢変更装置（搬送状態変更装置）
２１，２２ 姿勢変更用コンベア（状態変更用コンベア）
３１ 傾斜搬送コンベア（第２搬送コンベア）
４０ 搬送経路変更装置（搬送状態変更装置）
４１，４２，４３，４４ 経路変更用コンベア（状態変更用コンベア）
５１−１，５１−２，５２−１，５２−２ 水平搬送コンベア（第２搬送コンベア）
６０ 搬送経路変更装置（搬送状態変更装置）
６１，６２，６３，６４ 経路変更用コンベア（状態変更用コンベア）
Ｓ_ｎ−１，Ｓ_ｎ，Ｓ_ｎ＋１，Ｓ_ｎ＋２ 基板

Claims (7)

1. 大型の基板を搬送する基板搬送システムにおいて、
   基板を第１の搬送状態で搬送する第１搬送コンベアと、
   前記第１搬送コンベアにより搬送された基板を第２の搬送状態で搬送する第２搬送コンベアと、
   前記第１搬送コンベアと前記第２搬送コンベアとの間に配置され、基板の搬送状態を前記第１の搬送状態と前記第２の搬送状態との間で変更する搬送状態変更装置とを備え、
   前記搬送状態変更装置は、基板の搬送方向に沿って並設された複数の状態変更用コンベアであって前記搬送方向に関して基板の搬送方向のサイズよりも小さなサイズを有する複数の状態変更用コンベアを有し、
   前記各状態変更用コンベアは、前記第１搬送コンベアから前記第１の搬送状態で搬送される基板を受け取る受取状態と、前記第２搬送コンベアへ前記第２の搬送状態で基板を引き渡す引渡状態との間の任意の状態をとるように互いに独立して動作し、前記各状態変更用コンベア上に基板が載置されて当該基板が前記第１の搬送状態から前記第２の搬送状態まで移行する際には、前記各状態変更用コンベアが前記受取状態から前記引渡状態まで互いに同一の稼働態様で動作し、且つ、前記各状態変更用コンベア上に載置されて前記第１の搬送状態から前記第２の搬送状態まで移行した基板が前記各状態変更用コンベアから前記第２搬送コンベアへ向けて搬送される際には、前記複数の状態変更用コンベアの中で基板が載置されない状態となった状態変更用コンベアから順に前記引渡状態から前記受取状態へ戻されることを特徴とする基板搬送システム。
2. 前記第１搬送コンベアは、互いに異なる列に沿って設けられた複数の第１サブ搬送コンベアを有し、前記搬送状態変更装置の前記各状態変更用コンベアは、前記各第１サブ搬送コンベアから前記第１の搬送状態で搬送される基板を受け取る複数の受取状態と、前記第２搬送コンベアへ前記第２の搬送状態で基板を引き渡す前記引渡状態との間の任意の状態をとることを特徴とする、請求項１に記載の基板搬送システム。
3. 前記第２搬送コンベアは、互いに異なる列に沿って設けられた複数の第２サブ搬送コンベアを有し、前記搬送状態変更装置の前記各状態変更用コンベアは、前記第１搬送コンベアから前記第１の搬送状態で搬送される基板を受け取る前記受取状態と、前記第２搬送コンベアへ前記第２の搬送状態で基板を引き渡す複数の引渡状態との間の任意の状態をとることを特徴とする、請求項１に記載の基板搬送システム。
4. 前記第１搬送コンベアは、水平姿勢及び傾斜姿勢のうちのいずれか一方の搬送姿勢で基板を搬送し、前記第２搬送コンベアは、前記第１搬送コンベアによる基板の搬送姿勢とは異なる他方の搬送姿勢で基板を搬送し、前記搬送状態変更装置は、基板の搬送状態である搬送姿勢を前記水平姿勢と前記傾斜姿勢との間で変更することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
5. 前記第１搬送コンベアは、互いに異なる第１の搬送経路及び第２の搬送経路のうちのいずれか一方の搬送経路で基板を搬送し、前記第２搬送コンベアは、前記第１搬送コンベアによる基板の搬送経路とは異なる他方の搬送経路で基板を搬送し、前記搬送状態変更装置は、基板の搬送状態である搬送経路を前記第１の搬送経路と前記第２の搬送経路との間で変更することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板搬送システム。
6. 前記第１の搬送経路及び前記第２の搬送経路は互いに水平方向に離間していることを特徴とする、請求項５に記載の基板搬送システム。
7. 前記第１の搬送経路及び前記第２の搬送経路は互いに上下方向に離間していることを特徴とする、請求項５に記載の基板搬送システム。

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