JP2005245771A

JP2005245771A - 配列型の超音波探触子

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Publication number: JP2005245771A
Application number: JP2004060940A
Authority: JP
Inventors: Kenji Omori; 健児大森; Mitsuhiro Fujiwara; 光浩藤原; Yuji Kinoshita; 雄司木下
Original assignee: OOKUSONIKKU KK; Honda Electronics Co Ltd
Current assignee: OOKUSONIKKU KK; Honda Electronics Co Ltd
Priority date: 2004-03-04
Filing date: 2004-03-04
Publication date: 2005-09-15
Anticipated expiration: 2024-03-04
Also published as: JP3982824B2

Abstract

【課題】使い勝手を損なわないように小型化が可能であり、しかも、不要な反射波の影響を極力減らして、ノイズの出にくい鮮明な画像を得ることのできる配列型の超音波探触子を提供する。
【解決手段】隣接するもの同士の間に溝１１ａをあけて配列された複数の圧電振動子１と、これら複数の圧電振動子１の音響放射面上に積層された２層の音響整合層３Ａ、３Ｂと、を備えた配列型の超音波探触子において、非分割の連続体して構成された第２音響整合層３Ｂの圧電振動子１の配列方向における両端下面に接触させてダンピング材５０を配置した。
【選択図】図１

Description

本発明は、超音波診断装置に使用するのに好適な配列型の超音波探触子に関する。

人体または動物の体内を診断する際に、超音波探触子から体内に向けて超音波パルスを送波し、体内からの反射波を受信することで、体内の状態を映像化することが行われている。特に最近では、家畜の肉質を早い段階で調査し、その調査の結果に応じて飼育内容を差別化する畜産技術が注目されており、その分野において超音波による診断が広く求められるようになってきた。例えば、動物の超音波診断を行う場合、従来では、人体用に開発された超音波探触子をそのまま使用しているのが一般的である。そこで、人体用として使用されている超音波探触子の従来例について説明する。

図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は従来一般に知られている音響レンズ付きの超音波探触子の断面構造の例、図４の（ｄ）、（ｅ）は音響レンズ無しの超音波探触子の断面構造の例、図５の（ｆ）は音響整合層を１層（単層）にした音響レンズ無しの超音波探触子の断面構造の例をそれぞれ示している。また、図６はシリコンゴム等の軟質材料製の凸面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観、図７は硬質材料製の凹面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観、図８は音響レンズ無しで音響整合層のフラット面をそのまま最終表面とした超音波探触子の外観をそれぞれ示している。

ここで述べる配列型の超音波探触子は、複数の微小な圧電振動子１を列状に配設し、これら複数の圧電振動子１を電子走査（セクタ駆動やリニア駆動など）することで超音波検査を行うものであって、医療用や非破壊検査用の各種超音波診断装置における超音波送受波部として多用されている。なお、圧電振動子１は、圧電振動板１１を分割して製作されるのが一般的であるので、図３においては、圧電振動板を示す符号１１も一緒に示してある。

まず、代表として、図３の（ａ）のタイプの構成について述べる。この超音波探触子は、隣接するもの同士の間に溝（隙間）１１ａをあけて配列された複数の圧電振動子１と、これら圧電振動子１の背面側に配置された背面支持体２と、複数の圧電振動子１の音響放射面上に積層された音響整合層３と、音響整合層３の上に形成された凸面型の音響レンズ４と、を備えている。

圧電振動子（ＰＺＴ等）１は、音響放射面側と背面側に表面電極（図示略）を有し、電極間にインパルス電圧を印加することにより超音波を発生するものである。

背面支持体２は、圧電振動子１の背面側から放出される超音波を減衰させて、圧電振動子１の前面側（放射面側）への音響的影響を無くし、圧電振動子１へのダンピングをするためのものである。

音響整合層３は、圧電振動子１の音響インピーダンスが被検体（たとえば、生体組織）の音響インピーダンスに対して桁外れに大きいことから、両者間の音響インピーダンスのマッチング（整合）をとるためのもので、両者の中間的な値の音響インピーダンスとなるように設定されている。また、音響整合層３の厚さは、圧電振動子１の発する超音波の周波数領域のうち中心周波数の波長λの１／４になるように設定されている。

音響レンズ４は、シリコンゴム等の軟質材料よりなり、圧電振動子１から前面側に放出される超音波ビームを集束するために設けられている。

前記の圧電振動子１は、背面支持体２の上に面状の圧電振動板１１を固着し、圧電振動板１１の上に面状に音響整合層（未分割の音響整合層）３を形成し、その状態で、例えば音響整合層３の上からダイシングして、圧電振動板１１を音響整合層３と共に短冊状に分離することで、一定方向に配列した状態に形成されている。ダイシング後の図中Ｈで示す範囲が使用範囲であり、両端は使用外の部分となっている。

圧電振動子１間の溝１１ａは、ダイシングで切断する際の分割溝（ダイシング溝と呼ばれる）であり、分割された音響整合層３間にも同じ幅の溝１３ａ、１３ｂが同時に形成されている。これら溝１１ａ、１３ａ、１３ｂは、通常、小片状の圧電振動子１の強度を維持したり不要振動を抑制したりする目的で、ゴム系やウレタン系の充填材６で埋められている。

音響整合層３は、超音波の送受波効率を高めるために、（ａ）の例では２層構造とされており、圧電振動子１に近い第１層の音響整合層３Ａはセラミック系の材料より構成され、音響レンズ４に近い第２層の音響整合層３Ｂはエポキシ系の材料より構成されている。そして、これらの音響整合層３（３Ａ、３Ｂ）があることにより、圧電振動子１側から音響レンズ４側に音響インピーダンスが徐々に変化するように設定されている。

このような２層構造の音響整合層３を有するものの例として、大きく分けて、図３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の３つのタイプが知られている。

（ａ）のものは、１層目の音響整合層３Ａと２層目の音響整合層３Ｂとに共に、圧電振動子１の溝１１ａに対応した溝１３ａ、１３ｂが設けられているタイプである。このタイプは、２層の未分割の音響整合層３Ａ、３Ｂを圧電振動板１１の上に形成した後でダイシングすることにより作成される。

（ｂ）のものは、１層目の音響整合層３Ａと２層目の音響整合層３Ｂが共に裁断されていない（非分割）タイプである。このタイプは、圧電振動板１１をダイシングして複数の圧電振動子１に分離した後で、音響整合層３Ａ、３Ｂを２層重ねて形成することで作成される。

（ｃ）のものは、１層目の音響整合層３Ａは圧電振動板１１と共に裁断し、２層目の音響整合層３Ｂは裁断しない（非分割）タイプである。このタイプは、第１層の音響整合層３Ａを圧電振動板１１の上に形成した上でダイシングし、その後で分割された第１層目の音響整合層３Ａの上に第２層目の音響整合層３Ｂを形成することで作成される。

なお、（ａ）の２層の音響整合層３Ａ、３Ｂとも分割されているタイプは、例えば特許文献１において知られている。また、（ｂ）の２層の音響整合層３Ａ、３Ｂとも非分割のタイプは、例えば特許文献２において知られている。また、（ｃ）の２層の音響整合層３Ａ、３Ｂのうち下層３Ａが分割で、上層３Ｂが非分割のタイプは、例えば特許文献３において知られている。

これら音響レンズ４を設けるタイプの超音波探触子の場合、図６に示すように、シリコンゴム製の凸面型の音響レンズ４Ａを設けるのが通例であるが、図７に示すように、硬質材料製の凹面型の音響レンズ４Ｂを付けたものもある。

また、音響レンズ無しのタイプとして、図４の（ｄ）、（ｅ）に示すものがある。音響レンズ無しの場合、最上層の音響整合層３Ｂが超音波探触子の最終層となるので、耐久性の面から、少なくとも最上層の音響整合層３Ｂが溝無しで非分割の連続型となっているのが通例である。従って、（ｄ）のタイプは、（ｃ）のタイプから音響レンズ４を取り除いた構成、（ｅ）のタイプは、（ｂ）のタイプから音響レンズ４を取り除いた構成となっている。音響レンズ無しの場合は、外観は図８に示すようになる。なお、図６、図７のＡ−Ａ矢視断面が図３（ａ）〜（ｃ）に相当し、図８のＢ−Ｂ矢視断面が図４（ｄ）、（ｅ）に相当する。

また、以上は音響整合層を２層にしたタイプであったが、図５の（ｆ）のように、音響整合層３を１層（単層）にしたタイプのものもある。

特開平１１−２９０３１６号公報特開平８−２２３６９７号公報特開２００２−１６５７９３号公報

ところで、前述したように、動物の診断にも、従来では人体用の超音波探触子をそのまま使用する場合がほとんどであるが、動物の診断の場合には、人体と違う特殊事情として、
（１）体表面が硬い毛で覆われている
（２）走査すべき体表面が大きい
（３）診断対象の個体数が多い
等の事情がある。従って、動物の診断用の超音波探触子に望まれる条件としては、画質が良いこと以上に、第１に耐久性が高いこと、第２に小型コンパクトで手動による走査の際の使い勝手が良いこと、第３に広い診断視野を持つこと、等が挙げられる。

そこで、第１の条件である耐久性の面で、動物の診断に耐えるものを上記の例（ａ）〜（ｆ）から選んでみると、最上層の音響整合層３（３Ｂ）を非分割とした、タイプ（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）を選ぶことができる。但し、音響レンズ４を設けた（ｂ）、（ｃ）のタイプは、音響レンズ４の摩耗を考慮すると、あまり好ましくない。また、指向特性や送受波利得を考慮すると、（ｅ）、（ｆ）よりも（ｄ）のタイプが一番適合していると言うことができる。

しかし、この動物診断に一番適合しているみられる（ｄ）のタイプの超音波探触子を使用した場合にも、新たな問題が発生することが分かった。即ち、このタイプの超音波探触子では、最上層となる音響整合層３Ｂを、溝により分割しない非分割型としているが、このように非分割で連続した音響整合層３Ｂに圧電振動子１から超音波が入射すると、図９（ａ）に示すように、音響整合層３Ｂ内を前方に向かって進んで前面に当たって戻ってくる通常の反射波Ｐａの他に、図９（ｂ）に示すように、溝がない故に減衰の少ない音響整合層３Ｂ内を超音波が伝わることで、音響整合層３Ｂ内を側方に向かって進んで端面に当たって戻ってくる反射波Ｐｂが、強いレベルで観測される。

音響整合層３Ｂの端部に寸法的な余裕がある場合（余裕がとれる場合）には、音響整合層３Ｂの端部に向かい反射して戻ってくる間に、距離が長いために超音波が途中で減衰されるので、端面からの反射波の影響は問題にするほどではないが、動物診断用の超音波探触子の場合、コンパクト化のために端部の余裕寸法を小さくする必要があり、端面までの超音波の往復距離が短いこと、また、動物診断用の場合、使用する超音波の周波数が低く超音波自体が減衰しにくいこと、等の理由により、端面からの反射波の影響が画像に大きく出やすいという問題がある。図１０は空中多重エコーの画像であり、横軸は圧電振動子１の配列方向、縦軸は発振してからの時間を表している。図において、通常の反射波Ｐａに混じって、端面からの反射波Ｐｂが観察される。このように端面からの反射波Ｐｂが通常の反射波Ｐａに混じって画像中に現れることで、画像の分析がしにくくなるという問題が出てくる。

本発明は、上記事情を考慮し、使い勝手を損なわないように小型化が可能であり、しかも、不要な反射波の影響を極力減らして、ノイズの出にくい鮮明な画像を得ることのできる配列型の超音波探触子を提供することを目的とする。

請求項１の発明は、隣接するもの同士の間に溝をあけて配列された複数の圧電振動子と、これら複数の圧電振動子の音響放射面上に積層された単層または複数層の音響整合層と、を備えた配列型の超音波探触子において、前記単層または複数層の音響整合層のうち、非分割の連続体として構成された音響整合層の前記圧電振動子の配列方向における両端に、ダンピングを施したことを特徴とする。

請求項２の発明は、請求項１において、前記非分割の連続体として構成された音響整合層の、前記圧電振動子の配列方向における両端の下面に接触させて、振動吸収作用を持つダンピング材を配置することで、当該音響整合層の両端に対するダンピングを施したことを特徴とする。

請求項３の発明は、請求項２において、前記非分割の連続体として構成された音響整合層の下側の層の、前記圧電振動子の配列方向における両端に前記ダンピング材を配置し、その状態で前記下側の層の上に、前記非分割の連続体として構成された音響整合層を積層することにより、当該非分割の連続体として構成された音響整合層の両端の下面に前記ダンピング材を接触させたことを特徴とする。

請求項４の発明は、請求項２または３において、前記ダンピング材として、樹脂に高音響インピーダンスの金属粉（例えば、一番効果的なものはタングステン粉）を混在させたものを使用したことを特徴とする。

請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかにおいて、前記非分割の連続体して構成された音響整合層が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出していることを特徴とする。

請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかにおいて、前記非分割の連続体して構成された音響整合層が、複数層ある音響整合層のうちの最上層であり、その下層の音響整合層が、前記圧電振動子間の溝に対応した溝により分割されていることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、単層または複数層の音響整合層のうち、非分割の連続体して構成された音響整合層の圧電振動子の配列方向における両端にダンピングを施したので、音響整合層の端部の余裕寸法を極力小さくしてコンパクト化を図った場合にも、端面反射の影響を無くして、クリアな画像を映し出すことが可能になる。従って、画質を犠牲にすることなく、音響整合層を非分割にすることによる耐久性の向上と、広い診断視野の確保とを実現することができると共に、小型コンパクト化による手動走査の際の使い勝手の良さも確保することができ、動物診断用の超音波探触子としての有用な性能を保証することができる。

請求項２の発明によれば、非分割の連続した音響整合層の両端の下面にダンピング材を配置したので、当該音響整合層の表面にダンピング材が露出することがなく、余分な境界（段差）を音響整合層の表面から無くして、音響整合層の耐久性の向上が図れる。また、ダンピング材が音響整合層の寸法の内側に入るので、寸法縮小に有利となる。

請求項３の発明によれば、非分割の連続体として構成された音響整合層の下側の層の両端にダンピング材を配置し、その状態でその上側に非分割の音響整合層を積層することにより、当該非分割の音響整合層の両端下面にダンピング材を接触させたので、構造が簡単で作製が容易となる。

請求項４の発明によれば、ダンピング材として、樹脂に高音響インピーダンスの金属粉を混在させたものを使用したので、金属粉による振動抑制機能と、樹脂による振動減衰機能を発揮することができ、音響整合層の端面反射の影響を有効に減じることができる。

請求項５の発明によれば、非分割の音響整合層を、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出させたので、音響レンズを設けない分だけ構成が簡単であると共に、音響レンズの摩耗による性能低下の心配もない。

請求項６の発明によれば、非分割の音響整合層を最上層とし、その下側の音響整合層を分割型としたので、送受波利得を大きくしながら、指向特性を広くとることができる。

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
図１は実施形態の超音波探触子の断面図である。
この超音波探触子は、隣接するもの同士の間に溝（隙間）１１ａをあけて配列された複数の圧電振動子１と、これら圧電振動子１の背面側に配置された背面支持体２と、複数の圧電振動子１の音響放射面上に積層された音響整合層３とを備えており、音響レンズは備えていない。図中Ｈで示す範囲は圧電振動子１の使用範囲であり、この範囲の圧電振動子１のみ振動させられる。

音響整合層３は、圧電振動子１に近い第１音響整合層３Ａと、その上の第２音響整合層３Ｂの２層構造とされており、第１音響整合層３Ａには、圧電振動子１間の溝１１ａに対応した溝１３ａが設けられている。圧電振動子１間の溝１１ａと第１音響整合層３Ａの溝１３ａには、ゴム系やウレタン系の充填材６が充填されている。また、第２音響整合層３Ｂには分割用の溝は設けられていず、第２音響整合層３Ｂは非分割の連続体として構成されている。

非分割の連続体して構成された第２音響整合層３Ｂは、音響レンズがないために、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出している。そして、その非分割の第２音響整合層３Ｂの圧電振動子１の配列方向における両端にダンピングが施してある。即ち、非分割の第２音響整合層３Ｂの両端下面に接触させて、振動吸収作用を持つダンピング材５０を配置することで、当該音響整合層３Ｂの両端に対するダンピングを施してある。この場合、ダンピング材５０は、第１音響整合層３Ａ及び圧電振動子１の配列層の両端に配置し、その状態でその上に第２音響整合層３Ｂを積層することにより、第２音響整合層３Ｂの両端下面に接触させている。ダンピング材５０としては、例えばウレタン樹脂に高音響インピーダンスの金属粉、特にタングステン粉を混在させたものを使用している。

この超音波探触子を得る場合には、図２（ａ）〜（ｄ）に示す手順で作製することができる。
即ち、まず（ａ）に示すように、両端に切欠５１を設けてある背面支持体２を用意し、その背面支持体２の上に、圧電振動板１１と未分割の第１音響整合層３Ａとを、エポキシ樹脂により順番に接着しながら積層する。

次に、（ｂ）に示すように、圧電振動板１１と未分割の第１音響整合層３Ａとを、ダイシングソーにより規定の間隔で切断し、その隙間（溝１１ａ、１３ａ）にウレタン系の充填材６を充填する。

次に、（ｃ）に示すように、背面支持体２の切欠５１から圧電振動子１の配列の端部及び第１音響整合層３Ａの端部にかけての範囲にダンピング材５０を接着する。そして、この状態で、アドミタンス波形等の電気信号を確認しながら、分割された第１音響整合層３Ａの厚み調整を研磨等により行う。

次に、（ｄ）に示すように、最終層である第２音響整合層３Ｂを、第１音響整合層３Ａの上に積層し、エポキシ樹脂により接着する。そして、第１音響整合層３Ａと同様にアドミタンス波形等の電気信号を確認しながら、第２音響整合層３Ｂの厚さ調整を研磨等により行う。以上により、図１に示した実施形態の超音波探触子が完成する。

このように作製した超音波探触子によれば、非分割の音響整合層３Ｂの圧電振動子１の配列方向における両端下面に接触させてダンピング材５０を配置しているので、当該音響整合層３Ｂの端部にダンピング効果を持たせることができる。従って、音響整合層３Ｂの端部の余裕寸法を極力小さくしてコンパクト化を図った場合にも、超音波の端面反射の影響を無くして、クリアな画像を映し出すことが可能になり、画質を犠牲にすることなく、音響整合層３Ｂを非分割にすることによる耐久性の向上と、広い診断視野の確保とを実現することができる。また、小型コンパクト化による手動走査の際の使い勝手の良さも確保することができる。

また、ダンピング材５０は、最上層の音響整合層３Ｂの下側に隠れる形態で配してあるので、ダンピング材５０が超音波探触子の先端表面に露出することはなく、その点からも、音響整合層３Ｂの耐久性の向上が図れる。また、ダンピング材５０が音響整合層３Ｂの寸法の内側に入るので、寸法縮小の際にも有利となる。また、第１音響整合層３Ａの両端にダンピング材５０を配置し、その上に第２音響整合層３Ｂを積層することにより、第２音響整合層３Ｂの両端下面にダンピング材５０を接触させているので、構造が簡単であり、作製が容易となる。

また、ダンピング材５０として、樹脂に高音響インピーダンスのタングステン粉を混在させたものを使用しているので、タングステン粉による振動抑制機能と、樹脂による振動減衰機能との両機能を効率良く発揮することができ、第２音響整合層３Ｂの端面反射による影響を十分に減じることができる。

また、この超音波探触子では、非分割の第２音響整合層３Ｂをそのまま最終層として表面に露出させているので、音響レンズを設けない分だけ構成が簡略化できると共に、音響レンズの摩耗による性能低下の心配をする必要もない。また、最上層の第２音響整合層３Ｂを非分割とし、その下側の第１音響整合層３Ａを分割型としているので、指向特性の広さを落とさずに、超音波送受波面をできるだけ広く確保して、送受波利得を大きくすることができ、安定した特性を発揮することができる。

なお、上記実施形態では、動物診断を意図する場合を中心に説明してきたが、本発明の超音波探触子はもちろん、人体診断用しても使用することができるし、その他のあらゆる超音波検査の分野において使用できるものである。

また、上記実施形態では、背面支持体２に予め切欠５１を設けておき、そこにダンピング材５０を配置する場合を示したが、最終層である第２音響整合層３Ｂを接着する前に、第１音響整合層３Ａや圧電振動板１１の分断と同時に、ダイシングソー等により切欠を加工して、ダンピング材５０を取り付けてもよい。

また、上記実施形態では、最終層を第２音響整合層３Ｂとした場合を示したが、第２音響整合層３Ｂの上に最終層として音響レンズを更に積層してもよい。その場合、シリコンゴム製の凸面型の音響レンズを付けた場合よりも、硬質の凹面型の音響レンズを付けた場合の方が、ダンピング材５０を設けたことによる端面エコー防止の効果を有効に発揮できる。
なお、硬質の凹面型の音響レンズを第２音響整合層３Ｂの上に設ける場合は、上記実施形態のように第２音響整合層３Ｂの両端下面にダンピング材５０を配置するよりも、音響レンズの両端下面、つまり、第２音響整合層３Ｂの両端面にダンピング材を配置する方が、より効果的に端面エコーを防止できる。

また、上記実施形態では、音響整合層３が２層の場合を示したが、３層以上であってもよいし、１層（単層）であってもよい。

いずれにしろ、本発明は、何らかの理由（耐久性向上等の理由）で非分割の音響整合層が存在し、しかも、小型化の強い要請により、両端に充分なスペースがとれず、端面反射が画像に悪影響を及ぼすような構造の超音波探触子に対して広く適用することができ、そのような場合に大きな効果を発揮することができる。

本発明の実施形態の超音波探触子の断面構造を示す図である。同実施形態の超音波探触子の製作手順を示す工程図である。従来の音響レンズ付きの超音波探触子の断面構造の例（ａ）〜（ｃ）を示す図である。従来の音響レンズ無しの超音波探触子の断面構造の例（ｄ）、（ｅ）を示す図である。音響整合層を１層（単層）にしたタイプの従来の超音波探触子の断面構造の例（ｆ）を示す図である。従来の凸面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観斜視図である。従来の凹面型の音響レンズを設けた超音波探触子の外観斜視図である。従来の音響レンズ無しで音響整合層のフラット面をそのまま最終表面とした超音波探触子の外観斜視図である。従来の超音波探触子における超音波の反射の様子を示す図で、（ａ）は正面反射波、（ｂ）は端面反射波の様子を示す図である。従来の超音波探触子による空中多重エコーの画像を示す図である。

符号の説明

１圧電振動子
２背面支持体
３，３Ａ，３Ｂ音響整合層
４音響レンズ
６充填材
１１圧電振動板
１１ａ，１３ａ溝
５０ダンピング材
５１切欠

Claims

隣接するもの同士の間に溝をあけて配列された複数の圧電振動子と、これら複数の圧電振動子の音響放射面上に積層された単層または複数層の音響整合層と、を備えた配列型の超音波探触子において、
前記単層または複数層の音響整合層のうち、非分割の連続体として構成された音響整合層の前記圧電振動子の配列方向における両端に、ダンピングを施したことを特徴とする配列型の超音波探触子。
前記非分割の連続体として構成された音響整合層の、前記圧電振動子の配列方向における両端の下面に接触させて、振動吸収作用を持つダンピング材を配置することで、当該音響整合層の両端に対するダンピングを施したことを特徴とする請求項１に記載の配列型の超音波探触子。
前記非分割の連続体として構成された音響整合層の下側の層の、前記圧電振動子の配列方向における両端に前記ダンピング材を配置し、その状態で前記下側の層の上に、前記非分割の連続体として構成された音響整合層を積層することにより、当該非分割の連続体として構成された音響整合層の両端の下面に前記ダンピング材を接触させたことを特徴とする請求項２に記載の配列型の超音波探触子。
前記ダンピング材として、樹脂に高音響インピーダンスの金属粉を混在させたものを使用したことを特徴とする請求項２または３に記載の配列型の超音波探触子。
前記非分割の連続体して構成された音響整合層が、そのまま最終層として超音波探触子の表面に露出していることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の配列型の超音波探触子。
前記非分割の連続体して構成された音響整合層が、複数層ある音響整合層のうちの最上層であり、その下層の音響整合層が、前記圧電振動子間の溝に対応した溝により分割されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の配列型の超音波探触子。