JP2005244012A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 光源からの波長５〜２０ｎｍの光で被露光体を露光する露光装置において、
   第１のミラーと第２のミラーを含み、前記光を前記被露光体に導く光学系と、
   前記第１ミラーの温度が第１ゼロ交差温度になるように制御する第１の制御手段と、
   前記第２ミラーの温度が前記第１ゼロ交差温度と異なる第２ゼロ交差温度になるように制御する第２の制御手段と、を有し、
   前記第１ゼロ交差温度とは、前記第１ミラーの線膨張係数がゼロになる温度であり、
   前記第２ゼロ交差温度とは、前記第２ミラーの線膨張係数がゼロになる温度である
   ことを特徴とする露光装置。
2. 前記第１制御手段は、輻射を用いて前記第１ミラーの温度を制御し、
   前記第２制御手段は、輻射を用いて前記第２ミラーの温度を制御する
   ことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 前記第１ゼロ交差温度と前記第２ゼロ交差温度との差が、２度以内である
   ことを特徴とする請求項１記載の露光装置。
4. 前記第１ゼロ交差温度と前記第２ゼロ交差温度との差が、１度以内である
   ことを特徴とする請求項３記載の露光装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
   露光された前記被露光体を現像するステップと、を有する
   ことを特徴とするデバイス製造方法。