JP2005242386A - 画像プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ワークを撮像してその画像データを出力するCCDカメラ27と、このCCDカメラ27にワークの画像を結像させる撮像光学系24,25,26と、ワークを落射照明するための照明光を発生させる半導体発光素子からなる落射照明光源31と、この落射照明光源31からの照明光を撮像光学系に合流させて撮像光学系を介してワークに導く照明光学系29とを有する。これら光学部品は、シャーシ23に取り付けられる。この測定プローブ1は、三次元測定機の測定プローブとして任意角度で使用される。
【選択図】 図2
Description
マグネシウム合金 アルミニウム合金 亜鉛合金
比重 1.81 2.68 6.6
引張り強さ(Mpa) 240 331 283
熱伝導率(W/m*k) 51 96 113
(1)従来のタッチプローブと同様の操作性でオートプローブチェンジが可能な小型・軽量の画像プローブを実現することができ、三次元測定機等による接触・非接触測定が連続・自動で行えるようになる。
(2)従来のタッチプローブと同様の操作性でプローブヘッドへ取付可能となったので、画像プローブの任意回転角度・任意傾斜角度操作が可能になり、ワークの任意方向からの測定が可能になり、ワーク測定の柔軟性を飛躍的に向上させることができる。
(3)これらの効果に加え、落射照明光源とリング照明光源とを任意に切り換えられるので、良質の画像を撮像することができ、測定精度を向上させることができる。
(4)照明光源は、撮像時のみ点灯させれば良いので、発熱を抑制することができ、撮像系への熱による精度劣化を防ぐことができ、測定精度を向上させることができる。
(5)照明光源は、複数の半導体発光素子で構成されており、各半導体発光素子は、各々独立又はブロック毎に点灯/消灯・明るさ制御することができるため、任意方向からの照明が可能になり、良質の画像が撮像可能になる。
(6)照明光源を一体化(カートリッジ化)することができるので、保守・交換作業が容易になる。
(7)シャーシ及びカバーをマグネシウム合金で形成したので、重量が500グラム以下の交換式画像プローブを実現することができ、従来のタッチプローブと同様の操作性での測定が実現可能になる。
Claims (10)
- ワークを撮像してその画像データを出力する固体撮像素子と、
この固体撮像素子に前記ワークの画像を結像させる撮像光学系と、
前記ワークを落射照明するための照明光を発生させる半導体発光素子からなる落射照明光源と、
この落射照明光源からの照明光を前記撮像光学系に合流させて前記撮像光学系を介して前記ワークに導く照明光学系と、
これら固体撮像素子、撮像光学系、落射照明光源及び照明光学系を所定の位置関係を保ったまま支持すると共に、前記落射照明光源及び照明光学系と密着する、放熱効果がプラスチックよりも高いシャーシと、
これらを収容するカバーとを備え、
前記シャーシ及び/又は前記カバーは、マグネシウム合金で形成され、
全体の重量が500グラム以下であると共に、三次元測定機の三次元移動可能なプローブヘッドに測定プローブとしてマウント部又はシャンク部を介して着脱自在に取付可能な画像プローブ。 - 前記撮像光学系は、前記ワークの近傍に配置される対物レンズと、前記固体撮像素子の近傍に配置される撮像レンズと、これら対物レンズと撮像レンズとの間に光軸に対して斜めに配置されたハーフミラーとを備え、
前記照明光学系は、前記落射照明光源からの照明光を前記撮像光学系のハーフミラーに導いて前記撮像光学系と合流させるものである
ことを特徴とする請求項1記載の画像プローブ。 - 三次元測定機のプローブヘッドに着脱自在に装着されると共に、前記プローブヘッドへの着脱によって前記落射照明光源及び固体撮像素子への入出力信号及び電源が接続又は切り離しされるコネクタ機能を有するマウント部を備えてなることを特徴とする請求項1又は2記載の画像プローブ。
- 三次元測定機のプローブヘッドに着脱自在に装着されるシャンク部と、
前記落射照明光源及び固体撮像素子への入出力信号及び電源と接続するためのコネクタと
を備えてなることを特徴とする請求項1又は2記載の画像プローブ。 - 前記撮像光学系を取り囲むように配置され、前記撮像光学系の周囲から前記ワークを照射する半導体発光素子からなるリング照明光源を備え、
前記落射照明光源と前記リング照明光源とを選択的に、又は同時に照明可能に構成してなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項記載の画像プローブ。 - 前記落射照明光源及び/又は前記リング照明光源は、前記固体撮像素子の撮像時にのみ点灯されるものであることを特徴とする請求項5記載の画像プローブ。
- 前記落射照明光源及び/又はリング照明光源からの照明光は、拡散板を介して前記ワークを照明するものである請求項1〜6のいずれか1項記載の画像プローブ。
- 前記落射照明光源及び/又はリング照明光源は、複数の半導体発光素子から構成されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項記載の画像プローブ。
- 前記複数の半導体発光素子は、一括又はブロック毎若しくは各々独立に点灯/消灯又は明るさ制御されるものであることを特徴とする請求項8記載の画像プローブ。
- 前記落射照明光源及び/又は前記リング照明光源は、カートリッジ化されたものであることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項記載の画像プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005133940A JP4588525B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 画像プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP34033199A Division JP2001154098A (ja) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | 画像プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005242386A true JP2005242386A (ja) | 2005-09-08 |
JP4588525B2 JP4588525B2 (ja) | 2010-12-01 |
Family
ID=35024103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005133940A Expired - Fee Related JP4588525B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 画像プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4588525B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010518435A (ja) * | 2007-02-09 | 2010-05-27 | ライカ インストルメンツ(シンガポール)プライベート リミテッド | 顕微鏡の照明装置 |
JP2010203938A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Omron Corp | 照明装置、計測ヘッドおよび計測装置 |
WO2018172916A1 (en) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | Novartis Ag | Reconfigurable surgical microscope |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05133721A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-05-28 | Carl Zeiss:Fa | 光学式プローブヘツド |
JPH05240606A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出器 |
JPH06160016A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-07 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
JPH0672046U (ja) * | 1993-03-17 | 1994-10-07 | 三洋電機株式会社 | 検査装置用照明装置 |
JPH0729657U (ja) * | 1993-06-11 | 1995-06-02 | 株式会社ワイ・イー・データ | 画像入力装置 |
JPH07505958A (ja) * | 1992-09-25 | 1995-06-29 | カール−ツアイス−スチフツング | ワークにおける座標測定法 |
JPH1068615A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 透孔周辺部の外観検査装置 |
JPH10288508A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外観検査装置 |
JPH10288812A (ja) * | 1997-02-13 | 1998-10-27 | Seiko Epson Corp | 光学ユニットおよび投写型表示装置 |
JPH11505622A (ja) * | 1996-03-16 | 1999-05-21 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 座標位置決定装置用検査システム |
-
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05133721A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-05-28 | Carl Zeiss:Fa | 光学式プローブヘツド |
JPH05240606A (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検出器 |
JPH07505958A (ja) * | 1992-09-25 | 1995-06-29 | カール−ツアイス−スチフツング | ワークにおける座標測定法 |
JPH06160016A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-07 | Mitsutoyo Corp | 変位検出装置 |
JPH0672046U (ja) * | 1993-03-17 | 1994-10-07 | 三洋電機株式会社 | 検査装置用照明装置 |
JPH0729657U (ja) * | 1993-06-11 | 1995-06-02 | 株式会社ワイ・イー・データ | 画像入力装置 |
JPH11505622A (ja) * | 1996-03-16 | 1999-05-21 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 座標位置決定装置用検査システム |
JPH1068615A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 透孔周辺部の外観検査装置 |
JPH10288812A (ja) * | 1997-02-13 | 1998-10-27 | Seiko Epson Corp | 光学ユニットおよび投写型表示装置 |
JPH10288508A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 外観検査装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010518435A (ja) * | 2007-02-09 | 2010-05-27 | ライカ インストルメンツ(シンガポール)プライベート リミテッド | 顕微鏡の照明装置 |
US8331020B2 (en) | 2007-02-09 | 2012-12-11 | Leica Instruments (Singapore) Pte. Ltd. | Illumination device for a microscope |
JP2010203938A (ja) * | 2009-03-04 | 2010-09-16 | Omron Corp | 照明装置、計測ヘッドおよび計測装置 |
WO2018172916A1 (en) * | 2017-03-22 | 2018-09-27 | Novartis Ag | Reconfigurable surgical microscope |
US10901195B2 (en) | 2017-03-22 | 2021-01-26 | Alcon Inc. | Reconfigurable surgical microscope |
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JP4588525B2 (ja) | 2010-12-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080722 |
|
A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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