JP2010203938A - 照明装置、計測ヘッドおよび計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像計測用の第1,第2の光源からの照明光を1つに結束された出射端から出射する画像計測用ライトガイド11からの照明光は、拡散板13を介して対物レンズ17に導かれるので、第1,第2の光源の内のいずれかを選択して駆動させたときの照明ムラが拡散板13によって解消される一方、膜厚計測用ライトガイド12からの照明光は、拡散板13を介することなく、対物レンズ17に導かれるので、拡散板13による光量の損失がない。しかも、いずれのライトガイド11,12からの照明光も共通の対物レンズ17から対象物に照射できる、すなわち、対物レンズ17を共用することができる。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一つの実施の形態に係る計測装置の概略構成を示す斜視図である。
図2の実施形態の構成を実施例とし、この図5の構成を比較例として、画像計測用の光源および膜厚計測用の光源としての効率の比較結果を表1に示す。
上述の実施形態1では、画像計測用ライトガイド11の照明光と膜厚計測用ライトガイド12の照明光とを、ビームスプリッタ16を介して共通の光路に導いたけれども、本発明の他の実施形態として、図6に示すように、拡散板13を含む画像計測用ライトガイド11と、膜厚計測用ライトガイド12とを、図示しないレールに沿ってスライド移動可能な移動体36に取り付け、いずれかのライトガイド11(12)の出射端を、全反射ミラー22に至る共通の光路の入射端に対向配置させて光源を切換えるようにしてもよい。
光源の数や種類は、上述の実施の形態に限らないのは勿論である。
2 基板
9 計測ヘッド
11 画像計測用ライトガイド
12 膜厚計測用ライトガイド
13 拡散板
16 ビームスプリッタ
17 対物レンズ
18 カメラ
23,24 第1,第2のハーフミラー
25 分光器
Claims (8)
- 3つ以上の光源からの照明光を、対物レンズを介して対象物に照射する照明装置であって、
前記3つ以上の光源の内の複数の光源からの照明光を、複数に分岐された各入射端にそれぞれ入射させて、1つに結束された出射端から出射する第1のライトガイドと、
前記複数の光源以外の光源からの照明光を、入射端に入射させて出射端から出射する第2のライトガイドと、
前記第1のライトガイドから出射される照明光を、拡散板を介して前記対物レンズに導く第1の光路と、
前記第2のライトガイドから出射される照明光を、前記拡散板を介することなく、前記対物レンズに導く第2の光路と、
を備えることを特徴とする照明装置。 - 画像計測用の複数の光源からの照明光を、複数に分岐された各入射端にそれぞれ入射させて、1つに結束された出射端から出射する画像計測用ライトガイドと、
膜厚計測用の光源からの照明光を、入射端に入射させて出射端から出射する膜厚計測用ライトガイドと、
前記画像計測用ライトガイドから出射される照明光を、拡散板を介して対物レンズに導く画像計測用光路と、
前記膜厚計測用ライトガイドから出射される照明光を、前記拡散板を介することなく、前記対物レンズに導く膜厚計測用光路と、
を備えることを特徴とする計測ヘッド。 - 前記画像計測用の複数の光源は、同時に、または、選択的に切換えて点灯されるものであり、
前記膜厚計測用の光源は、1つである請求項2に記載の計測ヘッド。 - 前記画像計測用光路と前記膜厚計測用光路とが交差する位置に配置されたビームスプリッタを備え、
前記ビームスプリッタは、前記画像計測用ライトガイドおよび前記膜厚計測用ライトガイドの一方のライトガイドから出射される照明光を透過させて前記対物レンズ側へ導き、他方のライトガイドから出射される照明光を反射させて前記対物レンズ側へ導く請求項2または3に記載の計測ヘッド。 - 前記画像計測用ライトガイドの出射端または前記膜厚計測用ライトガイドの出射端のいずれかが、照明光を前記対物レンズに導く共通の光路の入射端に、対向するように相対移動させる移動機構を備える請求項2または3に記載の計測ヘッド。
- 前記画像計測用ライトガイドの出射端は、前記画像計測用の複数の各光源に個別的に対応する複数組の光ファイバ束をそれぞれ構成する各光ファイバが、円形に、かつ、各組が混在して分布するように結束される請求項2ないし5のいずれか一項に記載の計測ヘッド。
- 前記画像計測用光路または前記膜厚計測用光路からの照明光が、前記対物レンズを介して計測対象物に照射され、
前記画像計測用光路には、前記対物レンズを通過した前記計測対象物からの反射光を、撮像素子側へ導く第1のハーフミラーが配置され、前記膜厚計測用光路には、前記対物レンズを通過した前記計測対象物からの反射光を、分光器側へ導く第2のハーフミラーが配置される請求項2ないし6のいずれか一項に記載の計測ヘッド。 - 前記請求項7に記載の計測ヘッドと、
前記撮像素子で撮像された画像を処理して前記計測対象物の寸法を計測する画像計測手段と、
前記分光器で分光された反射光に基づいて、前記計測対象物の膜厚を計測する膜厚計測手段とを備えることを特徴とする計測装置。
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JP2005242386A (ja) * | 2005-05-02 | 2005-09-08 | Mitsutoyo Corp | 画像プローブ |
JP2007205791A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Toppan Printing Co Ltd | セル内膜厚測定装置 |
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