JP2005238427A - 円筒状基体の搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】変形体(例えば膨張体62)を用いて円筒状基体12を平面状の当接面84cに突き当てて把持する。また、膨張体62を加圧状態で密封する逆止弁を設けることで、円筒状基体を搬送する搬送ステージが、加圧のための装備(チューブ等)を引き連れることなく、独立して移動することができるようになる。
【選択図】図13
Description
Claims (9)
- 円筒状基体の端部を当接する平面状の当接面の形成された当接部と、円筒状基体の端部から筒内に挿入された状態で変形されることにより円筒状基体を把持する変形体の支持部を当該当接面方向に付勢して円筒状基体の端部を当該当接面に押し付ける付勢機構と、を備え、円筒状基体の端部が当該当接面に押し付けられた状態で円筒状基体を把持することを特徴とする把持装置。
- 前記付勢機構による付勢力に対抗して変形体の支持部を当接面から離間させる方向に押圧する押圧機構を備え、当該押圧機構によって変形体の支持部を押圧した状態で変形体がその端部が当接面から離間した円筒状基体を把持し、その後、当該押圧機構による押圧を解除することにより、前記付勢機構によって円筒状基体の端部が当該当接面に押し付けられることを特徴とする請求項1に記載の把持装置。
- 前記変形体が気体加圧により膨張する膨張体であることを特徴とする請求項1に記載の把持装置。
- 円筒状基体の端部を当接する平面状の当接面の形成された当接部と、円筒状基体の端部から筒内に挿入された状態で変形されることにより円筒状基体を把持する変形体の支持部を当該当接面方向に付勢して円筒状基体の端部を当該当接面に押し付ける付勢機構と、を備え、円筒状基体の端部が当該当接面に押し付けられた状態で円筒状基体を把持する把持装置を有し、
前記変形体が、円筒状基体の端部から筒内に挿入された状態で気体加圧されて膨張することにより円筒状基体を把持する膨張体であり、その気体を加圧状態で密封することにより当該膨張体によって把持された円筒状基体を第1のステーションと第2のステーションとの間で搬送する搬送ステージと、
前記搬送ステージが第1のステーションにあるときに前記膨張体に気体を供給して加圧する加圧機構であって、搬送ステージが移動するときに当該搬送ステージとの接続を解除可能な加圧機構と、
前記搬送ステージが第2のステーションにあるときに前記搬送ステージに設けられた開放弁を開放して前記膨張体の気体加圧を解除する加圧解除機構と、
を備える円筒状基体の搬送装置。 - 前記膨張体は、円筒状基体が吊下される姿勢で円筒状基体の上端側を把持し、
前記膨張体によって円筒状基体を把持した状態で前記搬送ステージを上下動させる昇降機構と、
前記膨張体によって円筒状基体を把持した状態で前記搬送ステージを水平方向に移動させる水平移動機構と、
を備えることを特徴とする請求項4に記載の円筒状基体の搬送装置。 - 円筒状基体に所定の処理を施す円筒状基体処理システムの、処理前の円筒状基体を把持する第1のステーション、処理後の円筒状基体を解放する第2のステーション、および所定の処理を施す処理ステーションの間で円筒状基体を搬送する請求項5に記載の搬送装置であって、
前記各ステーションにおいて、前記膨張体によって円筒状基体を把持した状態で前記搬送ステージを上下動自在な昇降機構と、
前記ステーション間で、前記膨張体によって円筒状基体を把持した状態で前記搬送ステージを水平方向に移動させる水平移動機構と、
を備えることを特徴とする円筒状基体の搬送装置。 - 請求項4〜6のうちいずれか一つに記載の円筒状基体の搬送装置で用いられる搬送ステージであって、
前記変形体として、円筒状基体の端部から筒内に挿入された状態で気体加圧されて膨張することにより円筒状基体を把持する膨張体を有し、その気体を加圧状態で密封することにより当該膨張体によって把持された円筒状基体を第1のステーションから第2のステーションに搬送する搬送ステージ。 - 請求項4〜6のうちいずれか一つに記載の円筒状基体の搬送装置と、
所定の処理を施す前の円筒状基体を把持する第1のステーションと、
円筒状基体に所定の処理を施す処理ステーションと、
前記処理後の円筒状基体を解放する第2のステーションと、
を備える円筒状基体処理システム。 - 前記処理は、塗布液槽にその上方から円筒状基体を浸漬させ、円筒状基体の外周面に塗膜を形成する処理及び下端部の不要な塗膜を除去する処理であることを特徴とする請求項8に記載の円筒状基体処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007144540A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 筒状体の支持装置 |
CN114178125A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-03-15 | 武汉奥绿新生物科技股份有限公司 | 一种涂层工艺设备 |
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