JP2005238404A - 両面研磨装置及び両面研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上下の定盤26a,26bと、該上下の定盤にそれぞれ貼付された研磨布27a,27bと、該上下の研磨布間でウエーハ状のワークWを保持するための保持孔5が形成されたキャリア4と、前記研磨布とワークとの間に研磨スラリーを供給する研磨スラリー供給手段23とを有し、少なくとも前記キャリア及び/又は下定盤の研磨布に対してガスを噴射することにより前記キャリア及び/又は研磨布から液体を飛散させるガス噴射手段8を備えていることを特徴とする両面研磨装置。下定盤の研磨布上にキャリアをセットした後、ワークを前記キャリアの保持孔内に挿入する前に、前記キャリア及び/又は下定盤の研磨布から液体を飛散させる。
【選択図】図2
Description
例えば、遊星歯車構造の両面研磨装置では、キャリアのウエーハ保持面を視覚センサにより認識し、認識した画像データからウエーハ保持孔の位置を算定し、その算定結果に基づいてウエーハ搬送ロボットの位置を制御する自動搬送装置が提案されている(特許文献3参照)。
また、保持孔からウエーハの一部が飛び出した(脱落)状態で研磨を行ったり、研磨中に保持孔からウエーハが飛び出してしまった場合、ウエーハのワレやカケが生じて不良率が高くなってしまう。さらに、ウエーハが保持孔から飛び出してしまうと、ウエーハの搬送を停止したり、あるいはそのまま研磨を行ってしまったときに、研磨布さらには定盤をも損傷するなどの研磨装置の異常やトラブルが生じ、生産性の低下につながってしまう。
このようにキャリアの保持孔内にウエーハを挿入して保持する工程が、生産性の低下を招き、特に両面研磨工程の自動化の妨げとなっている。
このような揺動式の両面研磨装置は、比較的小型の装置で大直径のウエーハを研磨することができ、上記のようなガス噴射手段を設けたものとすることで、大直径の鏡面研磨ウエーハを高い生産性で製造することができる。
ドライエアーや窒素は、コストが低く利用し易い上、研磨布やウエーハを汚染することもないので好適である。
このようないずれかの手段を1つ以上行うようにすれば、下定盤の研磨布等から液体を効率的に飛散させることができる。
このように下定盤の回転と同じ方向にキャリアを揺動あるいは回転させれば、下定盤の研磨布から液体をより早く、かつ確実に飛散させることができる。
このように下定盤の研磨布上にキャリアをセットする前に研磨布から液体を予め飛散させれば、キャリアをセットした後での研磨布からの液体の飛散をより素早く、より効果的に行うことができる。
これらのガスであればコストが低く利用し易い上、研磨布等を汚染することもない。
このようにキャリアを揺動させて研磨を行えば、特に大直径の鏡面研磨ウエーハを高い生産性で製造することができる。
図1は、本発明に係る両面研磨装置の一例の概略を示し、図2は研磨装置本体(研磨部)2の概略を示している。
この両面研磨装置1は、研磨時に本体2のキャリア4が自転せずに小さな円を描くように揺動する揺動タイプであり、ウエーハの自動搬送を行うため、ローダ部10、搬送ロボット13、アンローダ部16等も設けられている。
下定盤26bは、下定盤回転モータ25bにより回転され、上定盤26aも同様に回転させることができる。
また、キャリア4は、キャリア上下動アクチュエーター25cによってホルダ3と共に上下動することができる。
そこで、本発明では、ウエーハをキャリアの保持孔に挿入する前に、キャリア4及び/又は下定盤26bの研磨布27bから水や研磨スラリー等の液体を飛散させる(以下、「水切り」と言う場合がある。)。
まず、前に行った研磨による研磨布の目詰まりを除去するため、必要に応じて研磨布27a,27bのドレッシングを行う。
例えば、上定盤26aの研磨布27aのドレッシングとして、キャリア4の保持孔内にセラミック製のドレッサーを保持し、研磨布27a,27bに多量の水を高圧で吹き付けるとともに、上下の定盤26a,26bを15〜25rpmの回転数でそれぞれ逆方向に回転させる。
次いで、下定盤上に置かれていたキャリア4を上昇させ、下定盤26bの研磨布27bに対してさらにドレッシングを行う。
なお、各ノズル9a,9bから噴射するガスは、研磨布27bや研磨するウエーハWに対して汚染を引き起こさないものを使用することができ、ドライエアーのほか、窒素ガスも好ましい。ドライエアーや窒素は、研磨布やウエーハを汚染せず、また、コストが低く利用し易いため好適に用いることができる。
そこで、キャリア4をセットした後、ウエーハWをキャリア4の保持孔内に挿入する前に、キャリア4及び/又はキャリア4の保持孔内における下定盤26bの研磨布27bから液体を飛散させる。
このときの水切りは、例えば、下定盤26bの回転、下定盤26bの研磨布27bに対するガス噴射、キャリア4に対するガス噴射、キャリア4の揺動、及びキャリア4の回転の少なくとも1つ以上の手段により行うことができる。
また、下定盤26bを回転させ、さらにキャリア4も下定盤26bと同一方向に回転させる。このとき、キャリア4の回転を速くするほど水切り効果が増すが、装置の構造上、下定盤26bほどの回転速度は出にくい。そこで、キャリア4を回転させるとともに揺動させることで、回転速度がそれほど速くなくても水切り効果が増し、より短時間で水を切ることができる。このときキャリア4の揺動は、研磨時と同様に小さな円を描くような円運動となるが、下定盤26bの回転方向と同一方向に揺動させることが好ましい。すなわち、下定盤26bを回転させるとともにキャリア4を下定盤26bの回転と同一方向に回転させながら揺動させることで遠心力が大きくなり、キャリア4の保持孔内に残存する水や研磨スラリーをより早く、かつ確実に飛散させることができる。
なお、搬送ロボット13については、例えば上下左右の動きや回転が可能なものとし、研磨装置内の上部に設けたフレームから吊るされ、関節部を有するものとすることが好ましい。このような搬送ロボットであれば、両面研磨装置1をより小型化することができ、また、下部に設置されたアンローダ部16等との干渉を防ぐこともできる。また、例えば、搬送ロボット13の先端に板状の保持手段を設けておき、ローダ部10のボックス内に水平に収容されているウエーハの下面側をすくい上げて水平に保持することができるものとする。
他の保持孔5についてもインデックステーブル20等により、72°間隔でキャリア4を回し、搬送ロボット13によりウエーハWを各保持孔に挿入する。このようにキャリア4を回転する際、既に保持孔内に挿入されたウエーハWは、水に浮くことはないので、保持孔5から飛び出してしまうこともない。
そして、上下の定盤26a,26bを所定の方向に回転させるとともに、キャリア4を揺動させることにより、ウエーハWの両面を上下の研磨布27a,27bと摺接させる。また、スラリー供給孔23、キャリア4のスラリー通過孔6を通じてウエーハWと研磨布27a,27bとの間に研磨スラリーを供給する。これによりウエーハWは保持孔内に確実に保持され、ウエーハWの両面を同時に研磨することができる。
このような水切り工程を含む研磨作業を繰り返し、ボックス内の全てのウエーハWが研磨され、回収用容器内17に収容された後、自動搬送装置(AGV)18により次工程(洗浄)へと運ばれる。
従って、鏡面研磨ウエーハの良品率を向上させることができ、また、機械トラブルの発生を防止し、生産性を向上させることができる。
その結果、研磨工程の全自動化にも資するところ大である。
(実施例)
図1のような揺動式の両面研磨装置において、セラミックドレッサーを用いて上下の研磨布をドレッシングした。
ドレッシング後、上定盤とキャリアを上方に移動させた状態で下定盤を25rpmの回転数で20秒間回転させることで、下定盤側の研磨布に含まれる多量の水を予め飛散させた。
しかし、上記のような水切り工程を付加したことでウエーハが保持孔から飛び出すことが無くなり、ウエーハの自動搬送、自動研磨が容易に行えるようになった。
さらに、本発明は揺動式の両面研磨装置に限定されず、4ウエイ方式の両面研磨装置に適用しても良い。
5…保持孔、 6…スラリー通過孔、 7…偏心アーム、 8…ガス噴射手段、
9…ノズル、 10…ローダ部、 11…ウエーハ収容ボックス、
12…ガス供給源、 13…搬送ロボット、 14…ボックス自動搬送装置、
15…センタリングステージ、 16…アンローダ部、 17…回収用容器(水槽)、
18…自動搬送装置、 19…エアーバルブ、 20…インデックステーブル、
23…スラリー供給孔、 W…ウエーハ。
Claims (9)
- 少なくとも、上下の定盤と、該上下の定盤にそれぞれ貼付された研磨布と、該上下の研磨布間でウエーハ状のワークを保持するための保持孔が形成されたキャリアと、前記研磨布とワークとの間に研磨スラリーを供給する研磨スラリー供給手段とを有する両面研磨装置であって、少なくとも前記キャリア及び/又は下定盤の研磨布に対してガスを噴射することにより前記キャリア及び/又は研磨布から液体を飛散させるガス噴射手段を備えていることを特徴とする両面研磨装置。
- 前記両面研磨装置が、前記キャリアを揺動させて前記ワークの研磨を行うものであることを特徴とする請求項1に記載の両面研磨装置。
- 前記ガスとして、ドライエアー又は窒素を噴射するものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の両面研磨装置。
- 上下の定盤を有する両面研磨装置を用い、下定盤に貼付された研磨布上にキャリアをセットし、該キャリアの保持孔内にウエーハ状のワークを挿入し、該キャリアの保持孔内に保持されたワークを上下の研磨布間に挟み込み、前記ワークの両面を前記上下の研磨布と摺接させるとともに前記ワークと研磨布との間に研磨スラリーを供給することによりワークの両面を研磨する方法において、前記下定盤の研磨布上にキャリアをセットした後、前記ワークを前記キャリアの保持孔内に挿入する前に、前記キャリア及び/又は下定盤の研磨布から液体を飛散させることを特徴とするワークの両面研磨方法。
- 前記液体の飛散を、前記下定盤の回転、前記研磨布に対するガス噴射、前記キャリアに対するガス噴射、前記キャリアの揺動、及び前記キャリアの回転の少なくとも1つの手段により行うことを特徴とする請求項4に記載のワークの両面研磨方法。
- 前記下定盤を回転させるとともに前記キャリアを揺動及び/又は回転させて液体を飛散させるときに、前記キャリアを、下定盤の回転と同一方向に揺動及び/又は回転させることを特徴とする請求項5に記載のワークの両面研磨方法。
- 前記下定盤の研磨布上にキャリアをセットする前に、前記下定盤の回転及び/又は前記下定盤の研磨布に対するガス噴射により前記研磨布から液体を予め飛散させることを特徴とする請求項4ないし請求項6のいずれか1項に記載のワークの両面研磨方法。
- 前記噴射するガスとして、ドライエアー又は窒素を用いることを特徴とする請求項5ないし請求項7のいずれか1項に記載のワークの両面研磨方法。
- 前記キャリアを揺動させて研磨を行うことを特徴とする請求項4ないし請求項8のいずれか1項に記載のワークの両面研磨方法。
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JP2004052976A JP2005238404A (ja) | 2004-02-27 | 2004-02-27 | 両面研磨装置及び両面研磨方法 |
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2004
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US9744641B2 (en) | 2014-09-11 | 2017-08-29 | Lg Siltron Incorporated | Wafer polishing apparatus |
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