JP2005233811A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】軸部21に一対のアーム部22を有し、圧電素子からなる音叉型の振動子23と、この振動子23を駆動させ、振動子23に与えられた角速度を検出する制御回路部24とを備え、モニタ信号27(振動周波数)の振幅とドライブ信号25(特定周波数)の振幅との振幅差の最大値を予め設定するとともに、最大値を超える振幅差が生じた場合は、是正信号をドライブ信号25に入力しない判定回路部42を設けた構成である。
【選択図】図1
Description
22 アーム部
23 振動子
24 制御回路部
25 ドライブ信号
26 ドライブ電極部
27 モニタ信号
28 モニタ電極部
29 センス信号
30 センス電極部
31 モニタ回路部
32 AGC回路部
33 駆動回路部
34 角速度検出回路部
35 補正回路部
36 第1ノイズ用補正回路
37 第2ノイズ用補正回路
38 メモリ部
39 スイッチ
40 ラダー抵抗
41 ノイズ信号端子
42 判定回路部
43 付加回路部
Claims (1)
- 振動子と、前記振動子を駆動して前記振動子に与えられた角速度を検出する制御回路部とを備え、前記振動子には、前記振動子を特定周波数で振動させるためのドライブ信号を入力するドライブ電極部と、前記振動子の振動周波数を検知しモニタ信号として出力するモニタ電極部と、前記振動子に与えられた角速度に起因して前記モニタ信号に同期した同期周波数を検知しセンス信号として出力するセンス電極部とを形成し、前記振動周波数の振幅が前記特定周波数の振幅と異なる場合、前記振動周波数の振幅と前記特定周波数の振幅が互いに一致するように、前記振動周波数の振幅が前記特定周波数の振幅よりも小さい場合は、前記特定周波数の振幅を増加させる是正信号を前記ドライブ信号に付加するとともに、前記振動周波数の振幅が前記特定周波数の振幅よりも大きい場合は、前記特定周波数の振幅を減少させる是正信号を前記ドライブ信号に付加する付加回路部を有し、前記振動周波数の振幅と前記特定周波数の振幅との振幅差の最大値を予め設定するとともに、最大値を超える振幅差が生じた場合は、前記是正信号を前記ドライブ信号に入力しない判定回路部を設けた角速度センサ。
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WO2015080110A1 (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
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