JP2005227798A - Driving circuit for electrooptical apparatus, electrooptical apparatus, and electronic equipment - Google Patents

Driving circuit for electrooptical apparatus, electrooptical apparatus, and electronic equipment Download PDF

Info

Publication number
JP2005227798A
JP2005227798A JP2005115497A JP2005115497A JP2005227798A JP 2005227798 A JP2005227798 A JP 2005227798A JP 2005115497 A JP2005115497 A JP 2005115497A JP 2005115497 A JP2005115497 A JP 2005115497A JP 2005227798 A JP2005227798 A JP 2005227798A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
image signal
tft
conversion circuit
digital image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005115497A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3832492B2 (en
Inventor
Masaya Ishii
賢哉 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2005115497A priority Critical patent/JP3832492B2/en
Publication of JP2005227798A publication Critical patent/JP2005227798A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3832492B2 publication Critical patent/JP3832492B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
  • Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the degradation in display quality due to direct input of a digital image signal to a display panel of an electrooptical apparatus. <P>SOLUTION: An element substrate of a pair of substrates between which a liquid crystal as an electrooptical material is held has a TFT 116 connected to a scanning line 112 and a data line 114, a pixel electrode 118 connected to the TFT 116, and a D/A conversion circuit 160 which converts a digital image signal VID to an analog image signal and supplies the same to a line L. The resistance and switch constituting the D/A conversion circuit 160 are comprised of the TFTs formed by using a manufacturing process common to that for the TFT 116. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、ディジタル画像信号を入力して、電気光学的効果により表示を行う電気光学装置、および、電気光学装置の駆動回路、並びに、この電気光学装置を表示手段に適用した電子機器に関する。   The present invention relates to an electro-optical device that inputs a digital image signal and performs display using an electro-optical effect, a drive circuit for the electro-optical device, and an electronic apparatus in which the electro-optical device is applied to a display unit.

従来の電気光学装置、例えば、アクティブマトリクス方式の液晶表示装置は、主に、マトリクス状に配列した画素電極の各々にスイッチング素子が設けられた素子基板と、カラーフィルタなどが必要に応じて形成された対向基板と、これら両基板との間に充填された液晶とから構成される。このような構成において、走査線を介してスイッチング素子に走査信号を印加すると、当該スイッチング素子が導通状態となる。この導通状態の際に、データ線を介して、画素電極に画像信号を印加すると、当該画素電極および対向電極(共通電極)の間の液晶層に所定の電荷が蓄積される。電荷蓄積後、当該スイッチング素子をオフ状態としても、液晶層の抵抗値が十分に高ければ、当該液晶層における電荷の蓄積が維持される。このように、各スイッチング素子を駆動して蓄積させる電荷量を制御すると、画素毎に液晶の配向状態が変化して、所定の情報を表示することが可能となる。   A conventional electro-optical device, for example, an active matrix liquid crystal display device, mainly includes an element substrate in which switching elements are provided on each of the pixel electrodes arranged in a matrix, a color filter, and the like as necessary. And a liquid crystal filled between these two substrates. In such a configuration, when a scanning signal is applied to the switching element via the scanning line, the switching element becomes conductive. In this conductive state, when an image signal is applied to the pixel electrode via the data line, a predetermined charge is accumulated in the liquid crystal layer between the pixel electrode and the counter electrode (common electrode). Even if the switching element is turned off after the charge accumulation, if the resistance value of the liquid crystal layer is sufficiently high, the charge accumulation in the liquid crystal layer is maintained. In this way, by controlling the amount of charge to be accumulated by driving each switching element, the alignment state of the liquid crystal changes for each pixel, and predetermined information can be displayed.

この際、各画素の液晶層に電荷を蓄積させるのは一部の期間で良いため、第1に、走査線駆動回路によって、各走査線を順次選択するとともに、第2に、走査線の選択期間において、データ線駆動回路によって、データ線を順次選択し、第3に、選択されたデータ線に画像信号をサンプリングして供給する構成により、走査線およびデータ線を複数の画素について共通化した時分割マルチプレックス駆動が可能となる。なお、走査線駆動回路やデータ線駆動回路は、一般的には、それぞれシフトレジスタ回路からなり、これらの各シフトレジスタ回路によって転送される信号に基づいて、走査線駆動回路が垂直走査を行う一方、データ線駆動回路が水平走査を行う構成となっている。   At this time, the charge can be accumulated in the liquid crystal layer of each pixel for a certain period. First, each scanning line is sequentially selected by the scanning line driving circuit, and second, the scanning line is selected. In the period, the data lines are sequentially selected by the data line driving circuit, and thirdly, the scanning lines and the data lines are made common to a plurality of pixels by sampling and supplying the image signals to the selected data lines. Time division multiplex drive becomes possible. Note that the scanning line driving circuit and the data line driving circuit are generally composed of shift register circuits, respectively, and the scanning line driving circuit performs vertical scanning based on signals transferred by these shift register circuits. The data line driving circuit is configured to perform horizontal scanning.

ところで、近年、表示装置としての電気光学装置においては、ディジタル放送の開始などの理由から、受信したディジタル画像信号に基づいて表示させることが検討されている。ここで、電気光学装置は最終的にはアナログ信号に基づいて表示することとの関係上、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換し、この後、電気光学装置における表示パネルのインターフェイスに供給する構成が考えられる。   By the way, in recent years, in an electro-optical device as a display device, it has been studied to display based on a received digital image signal for reasons such as the start of digital broadcasting. Here, the electro-optical device eventually converts the digital image signal into an analog image signal in relation to displaying based on the analog signal, and then supplies the analog image signal to the interface of the display panel in the electro-optical device. Can be considered.

しかしながら、このような構成では、結局のところ、表示パネルにはアナログの画像信号が供給されるので、表示パネルに供給される以前に、アナログ画像信号の劣化が発生して表示品質が低下する可能性がある。また、表示パネルにD/A変換回路を内蔵するにしても、どこまでをディジタル信号とするのか、さらに、どのような構成で内蔵させるのか、などが問題となる。   However, with such a configuration, after all, an analog image signal is supplied to the display panel, so that the analog image signal is deteriorated before being supplied to the display panel, and the display quality can be lowered. There is sex. Even if a D / A conversion circuit is incorporated in the display panel, there are problems such as how far a digital signal is used and how it is built.

本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、電気光学装置の表示パネルにD/A変換回路を内蔵して表示品質の低下を防ぐとともに、そのD/A変換回路の構成を、電気光学装置の表示パネルとの関係において規定した電気光学装置、および、電気光学装置の駆動回路、並びに、この電気光学装置を用いた電子機器を提供することにある。   The present invention has been made in view of such a problem. The object of the present invention is to prevent a deterioration in display quality by incorporating a D / A conversion circuit in a display panel of an electro-optical device. To provide an electro-optical device in which the configuration of a D / A conversion circuit is defined in relation to a display panel of an electro-optical device, a drive circuit for the electro-optical device, and an electronic apparatus using the electro-optical device. is there.

上記目的を達成するために、本発明に係る電気光学装置の駆動回路にあっては、基板に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記走査線と前記データ線とに接続されたスイッチング素子と、このスイッチング素子に接続された画素電極とを備える電気光学装置の駆動回路であって、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換するD/A変換回路を備え、前記D/A変換回路を構成する素子の一部または全部が、前記スイッチング素子と共通の製造プロセスを用いて形成された素子からなることを特徴としている。   In order to achieve the above object, in the drive circuit for the electro-optical device according to the present invention, a substrate is connected to a plurality of scanning lines, a plurality of data lines, and the switching lines connected to the data lines. A driving circuit for an electro-optical device including an element and a pixel electrode connected to the switching element, the driving circuit including a D / A conversion circuit that converts a digital image signal into an analog image signal, and the D / A conversion circuit A part or all of the constituent elements are composed of elements formed using a manufacturing process common to the switching elements.

本発明によれば、D/A変換回路が、画素電極に接続されたスイッチング素子と共通の製造プロセスで形成された素子によって構成されるので、D/A変換回路を、画素電極が形成される領域、すなわち、表示領域の近傍に配置させることが可能となる。このため、表示領域直前までディジタル画像信号の状態が維持されて供給されるので、表示品質の劣化が防止されることとなる。また、D/A変換回路の構成素子の一部または全部が、画素電極に接続されるスイッチング素子の製造プロセスと兼用されて形成されるので、D/A変換回路の形成プロセスが複雑化することもない。   According to the present invention, since the D / A conversion circuit is configured by an element formed by a common manufacturing process with the switching element connected to the pixel electrode, the D / A conversion circuit is formed with the pixel electrode. It becomes possible to arrange in the vicinity of the area, that is, the display area. For this reason, the state of the digital image signal is maintained and supplied until just before the display area, so that the display quality is prevented from deteriorating. In addition, since part or all of the constituent elements of the D / A conversion circuit are formed in combination with the manufacturing process of the switching element connected to the pixel electrode, the formation process of the D / A conversion circuit is complicated. Nor.

ここで、本発明において、前記画素電極に接続されたスイッチング素子は、トランジスタであり、前記D/A変換回路を構成する少なくとも1個以上の抵抗体が、当該トランジスタの電極用配線材からなることが望ましい。抵抗体としては、トランジスタのチャネルを形成する半導体膜、あるいは、これにイオンをドープして抵抗を調節した薄膜が高抵抗体であるので、有効ではあるが、膜厚が薄いので、比抵抗の制御が困難である。これに対して、電極用配線材は、膜厚が比較的厚いので、半導体膜を抵抗としても用いる場合よりも、抵抗値の制御が容易である。ただし、電極用配線材のシート抵抗は一義的に定まってしまうので、実際には、配線材の幅および長さによって抵抗分が制御されることなる。   Here, in the present invention, the switching element connected to the pixel electrode is a transistor, and at least one resistor constituting the D / A conversion circuit is made of an electrode wiring material of the transistor. Is desirable. As a resistor, a semiconductor film that forms a channel of a transistor, or a thin film in which resistance is adjusted by doping ions therein is a high-resistance resistor, which is effective. It is difficult to control. In contrast, since the electrode wiring material has a relatively large film thickness, the resistance value can be controlled more easily than when the semiconductor film is also used as a resistor. However, since the sheet resistance of the electrode wiring material is uniquely determined, the resistance is actually controlled by the width and length of the wiring material.

また、本発明において、前記画素電極に接続されたスイッチング素子は、トランジスタであり、前記D/A変換回路を構成する少なくとも1個以上のスイッチング素子が、前記画素電極に接続されたトランジスタと共通の製造プロセスを用いて形成されたトランジスタからなることが望ましい。すなわち、D/A変換回路にあっては、抵抗体のほかに、各ビットに対応して重み付けを行うためのスイッチング素子が設けられるのが通常であるが、これによれば、重み付けを行うためのスイッチング素子が、画素電極に接続されたトランジスタと共通の製造プロセスを用いて形成されるので、当該スイッチング素子の形成プロセスが複雑化することもない。   In the present invention, the switching element connected to the pixel electrode is a transistor, and at least one or more switching elements constituting the D / A conversion circuit are common to the transistor connected to the pixel electrode. It is desirable that the transistor be formed using a manufacturing process. That is, in the D / A converter circuit, in addition to the resistor, a switching element for performing weighting corresponding to each bit is usually provided, but according to this, weighting is performed. Since the switching element is formed using a manufacturing process common to the transistor connected to the pixel electrode, the formation process of the switching element is not complicated.

くわえて、本発明において、前記画素電極に接続されたスイッチング素子は、トランジスタであり、前記D/A変換回路を構成する少なくとも1個以上の抵抗が、前記画素電極に接続されたトランジスタと共通の製造プロセスを用いて形成されたトランジスタのソース・ドレイン間の抵抗を用いてなることが望ましい。すなわち、トランジスタにおけるオン抵抗を、D/A変換回路の抵抗体として用いるので、配線材料よりもより高い比抵抗が得られるため素子の小型化が可能である。ここで、抵抗値は、チャネルの幅で制御可能であり、広くすると、それだけ抵抗値が小さくなる。また、一定領域であればトランジスタを精度良く形成するのは、比較的容易であるので、当該領域において形成される抵抗値のバラツキを抑えることが可能となる。   In addition, in the present invention, the switching element connected to the pixel electrode is a transistor, and at least one resistor constituting the D / A conversion circuit is common to the transistor connected to the pixel electrode. It is desirable to use a resistance between a source and a drain of a transistor formed by using a manufacturing process. That is, since the on-resistance in the transistor is used as a resistor of the D / A conversion circuit, a higher specific resistance than that of the wiring material can be obtained, so that the element can be downsized. Here, the resistance value can be controlled by the width of the channel. If the resistance value is increased, the resistance value decreases accordingly. In addition, since it is relatively easy to form a transistor with high accuracy in a certain region, variation in resistance value formed in the region can be suppressed.

さらに、本発明において、前記画素電極に接続されたスイッチング素子は、トランジスタであり、前記D/A変換回路を構成する少なくとも1組以上のスイッチング素子と抵抗体とが、前記画素電極に接続されたトランジスタと共通の製造プロセスを用いて形成され、かつトランジスタのソース・ドレイン間の抵抗を用いることで1つの素子として形成されることが望ましい。すなわち、D/A変換において、重み付けを行うためのスイッチング素子と抵抗とが、同一トランジスタで兼用されるので、構成の簡略化を図ることが可能となる。   Furthermore, in the present invention, the switching element connected to the pixel electrode is a transistor, and at least one or more sets of switching elements and resistors constituting the D / A conversion circuit are connected to the pixel electrode. It is desirable that the transistor be formed using a common manufacturing process with the transistor and formed as one element by using a resistance between the source and drain of the transistor. That is, in the D / A conversion, the switching element and the resistor for weighting are shared by the same transistor, so that the configuration can be simplified.

ここで、前記D/A変換回路を構成するスイッチング素子は、参照電位または定電流源を用いて、前記ディジタル画像信号における各ビットの重みに対応した電圧または電流を生成するためのものであることが望ましい。すなわち、D/A変換において、重み付けを行うためのスイッチング素子が、画素電極に接続されたトランジスタと同一の製造プロセスで形成されるので、構成の簡略化を図ることが可能となる。   Here, the switching element constituting the D / A conversion circuit is for generating a voltage or current corresponding to the weight of each bit in the digital image signal using a reference potential or a constant current source. Is desirable. In other words, in the D / A conversion, the switching element for weighting is formed by the same manufacturing process as the transistor connected to the pixel electrode, so that the configuration can be simplified.

一方、本発明において、前記データ線を選択するためのサンプリング信号を順次出力するデータ線駆動回路と、前記D/A変換回路により変換されたアナログ画像信号を、前記サンプリング信号にしたがってサンプリングして前記データ線の各々に供給するサンプリング回路とを備えることが望ましい。これによれば、D/A変換されたアナログ画像信号が、サンプリング信号にしたがってデータ線の各々に供給されるので、D/A変換回路が1つで済む。このため、表示品質の劣化防止や、D/A変換回路の形成プロセスの複雑化防止とともに、構成の簡略化も図られることとなる。   On the other hand, in the present invention, a data line driving circuit that sequentially outputs a sampling signal for selecting the data line, and an analog image signal converted by the D / A conversion circuit are sampled according to the sampling signal and It is desirable to provide a sampling circuit for supplying each of the data lines. According to this, the D / A converted analog image signal is supplied to each of the data lines in accordance with the sampling signal, so that only one D / A conversion circuit is required. For this reason, the structure can be simplified as well as the display quality can be prevented from being deteriorated and the process of forming the D / A conversion circuit can be prevented from becoming complicated.

ここで、本発明において、前記サンプリング回路を前記データ線1本あたり2段以上有し、水平走査の周期に同期し一括してデータ線へ書込みを行うことが望ましい。これにより、水平走査期間毎に線順次でデータ線への書込みが行われるので、表示むらが軽減されて、ディジタルの鮮明な映像の劣化防止が図られる。   Here, in the present invention, it is desirable that the sampling circuit has two or more stages per one data line, and the data lines are collectively written in synchronization with a horizontal scanning cycle. As a result, writing to the data lines is performed line-sequentially for each horizontal scanning period, so that display unevenness is reduced, and deterioration of a clear digital image can be prevented.

また、本発明にあっては、前記D/A変換回路において、前記ディジタル画像信号における各ビットの重みに対応した電流または電圧を生成するための抵抗体と、それ以外の抵抗体とが、前記サンプリング回路を挟んで互いに対向して形成されることが望ましい。これによれば、各ビットの重みに対応した電流または電圧を生成するための抵抗(ラダー回路)と、それ以外の抵抗、例えば、電流−電圧変換用の抵抗や、プルダウン抵抗などの抵抗とは、サンプリング回路を挟んで対向して形成されるので、D/A変換に必要な抵抗が分散されることとなる。このため、D/A変換に必要な抵抗を集中して形成しないで済むので、それだけ、面積の制約が大きい場合に有利となる。   In the present invention, in the D / A conversion circuit, the resistor for generating a current or voltage corresponding to the weight of each bit in the digital image signal, and the other resistor, It is desirable that they are formed to face each other across the sampling circuit. According to this, a resistor (ladder circuit) for generating a current or voltage corresponding to the weight of each bit and other resistors such as a resistor for current-voltage conversion and a resistor such as a pull-down resistor Since they are formed to face each other across the sampling circuit, the resistance necessary for D / A conversion is dispersed. For this reason, it is not necessary to concentrate the resistors necessary for D / A conversion, which is advantageous when the area restriction is large.

また、本発明において、前記D/A変換回路は、前記データ線の各々に対して設けられる一方、前記D/A変換回路の各々に対して、ラッチ信号を順次出力するデータ線駆動回路を備え、各D/A変換回路は、前記ラッチ信号にしたがって、前記ディジタル画像信号をラッチするとともに、ラッチしたディジタル画像信号を所定のタイミングでアナログ画像信号に変換して、対応するデータ線に供給することが望ましい。これによれば、D/A変換回路がデータ線の各々に対応して設けられるとともに、各D/A変換回路は、ディジタル画像信号をラッチするので、データ線近傍までディジタル画像信号の状態で供給することが可能となる。このため、表示品質の劣化が、より一層防止されることとなる。また、各D/A変換回路がアナログ画像信号を、対応するデータ線に供給するタイミングとしては、ラッチと同時とする第1の場合や、1水平走査期間においてすべてのD/A変換回路がディジタル画像信号をラッチした後とする第2の場合などが考えられる。ここで、第1の場合とすると、アナログ画像信号は、データ線毎に順次供給されることとなる。一方、第2の場合とすると、アナログ信号は、すべてのデータ線に一括して供給されることとなる。   In the present invention, the D / A conversion circuit is provided for each of the data lines, and includes a data line driving circuit that sequentially outputs a latch signal to each of the D / A conversion circuits. Each D / A conversion circuit latches the digital image signal in accordance with the latch signal, converts the latched digital image signal into an analog image signal at a predetermined timing, and supplies the analog image signal to a corresponding data line. Is desirable. According to this, a D / A conversion circuit is provided corresponding to each of the data lines, and each D / A conversion circuit latches the digital image signal, so that it is supplied in the state of the digital image signal to the vicinity of the data line. It becomes possible to do. For this reason, deterioration of display quality is further prevented. The timing at which each D / A conversion circuit supplies the analog image signal to the corresponding data line is the first case where it is simultaneously with the latch, or all D / A conversion circuits are digital in one horizontal scanning period. A second case may be considered after the image signal is latched. Here, in the first case, the analog image signal is sequentially supplied for each data line. On the other hand, in the second case, analog signals are supplied to all data lines at once.

また、本発明は、基板に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記走査線と前記データ線と交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子と、各前記スイッチング素子に対応して設けられた複数の画素電極とを備える電気光学装置の駆動回路であって、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換するD/A変換回路を備え、前記ディジタル画像信号は時間軸に伸長されるとともに、順次シフトされた2以上の系統で供給され、前記D/A変換回路は、前記データ線の各々に対して設けられるとともに、前記各系統に対応する前記データ線毎に位置がずれた千鳥状に配置されていることを特徴とする。これによれば、D/A変換回路をデータ線に対して交差する方向に、複数行にわたって配列させることができるので、データ線のピッチが狭い場合や、D/A変換回路の形成面積が大きく要する場合であっても、比較的容易に構成可能となる。そして、なによりも、データ線側の駆動周波数が、実質的に、系統数の逆数まで低下するので、駆動回路を構成する素子の性能を向上させることなく、高解像度化に対応することが可能となる。   Further, the present invention provides a plurality of scanning lines on the substrate, a plurality of data lines, a plurality of switching elements provided corresponding to the intersections of the scanning lines and the data lines, and each of the switching elements. A drive circuit for an electro-optical device including a plurality of pixel electrodes provided, and a D / A conversion circuit that converts a digital image signal into an analog image signal, and the digital image signal is expanded on a time axis The D / A conversion circuit is provided for each of the data lines and is shifted in a staggered manner for each of the data lines corresponding to each of the systems. It is characterized by being arranged in. According to this, since the D / A conversion circuit can be arranged across a plurality of rows in a direction intersecting the data line, the data line pitch is narrow or the formation area of the D / A conversion circuit is large. Even if necessary, it can be configured relatively easily. Above all, the drive frequency on the data line side is substantially reduced to the reciprocal of the number of systems, so it is possible to cope with higher resolution without improving the performance of the elements constituting the drive circuit. It becomes.

また、本発明は、基板に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記走査線と前記データ線と交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子と、各前記スイッチング素子に対応して設けられた複数の画素電極とを備える電気光学装置の駆動回路であって、ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換するD/A変換回路を備え、前記D/A変換回路において、前記ディジタル画像信号における各ビットの重みに対応した電流を生成するための抵抗体と、当該生成された電流の総和を電圧に変換する抵抗体とが、前記複数の画素電極の形成領域を挟んで互いに対向する位置において、それぞれ前記データ線に電気的に接続されることを特徴とする。これによれば、各ビットの重みに対応した電流または電圧を生成するための抵抗(ラダー回路)と、それ以外の抵抗、例えば、電流−電圧変換用の抵抗や、プルダウン抵抗などの抵抗とは、画素電極形成領域を挟んで対向して形成されるので、D/A変換に必要な抵抗が分散されることとなる。このため、D/A変換に必要な抵抗を集中して形成しないで済むので、それだけ、面積の制約が大きい場合に有利となる。   Further, the present invention provides a plurality of scanning lines on the substrate, a plurality of data lines, a plurality of switching elements provided corresponding to the intersections of the scanning lines and the data lines, and each of the switching elements. A drive circuit for an electro-optical device including a plurality of pixel electrodes provided, and a D / A conversion circuit that converts a digital image signal into an analog image signal, wherein the digital image signal in the D / A conversion circuit A position where a resistor for generating a current corresponding to the weight of each bit and a resistor for converting the sum of the generated currents into a voltage are opposed to each other across the formation region of the plurality of pixel electrodes And are respectively electrically connected to the data lines. According to this, a resistor (ladder circuit) for generating a current or voltage corresponding to the weight of each bit and other resistors such as a resistor for current-voltage conversion and a resistor such as a pull-down resistor Since the pixel electrodes are formed so as to face each other with the pixel electrode formation region interposed therebetween, the resistance necessary for D / A conversion is dispersed. For this reason, it is not necessary to concentrate the resistors necessary for D / A conversion, which is advantageous when the area restriction is large.

さらに、上記目的を達成するために、本発明に係る電気光学装置にあっては、上述した本発明の電気光学装置の駆動回路によって駆動されるので、表示品質の劣化が防止されて、高品位な表示が可能であるとともに、その製造プロセスが簡略化されて、容易に形成することが可能となる。   Furthermore, in order to achieve the above object, the electro-optical device according to the present invention is driven by the above-described drive circuit of the electro-optical device according to the present invention, so that the display quality is prevented from being deteriorated and high quality is achieved. In addition, the manufacturing process can be simplified and can be easily formed.

加えて、本発明に係る電子機器にあっては、上記電気光学装置を備えるので、高品位な表示とともに、形成が容易に可能な電気光学装置を提供することが可能となる。   In addition, since the electronic apparatus according to the present invention includes the electro-optical device, it is possible to provide an electro-optical device that can be easily formed with high-quality display.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
まず、本発明の第1実施形態に係る駆動回路によって駆動される電気光学装置について説明する。図1は、電気光学材料として液晶を用いた液晶パネルの電気的構成を示すブロック図である。この図に示される液晶パネル100は、実際には後述するように、素子基板と対向基板とを互いに電極形成面を対向して貼付した構成となっている。このうち、素子基板にあっては、図1においてX方向に沿って平行に複数本の走査線112が配列して形成され、また、これと直交するY方向に沿って平行にn(nは、偶数)本のデータ線114が形成されている。そして、これらの走査線112とデータ線114との各交点においては、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:以下「TFT」と称する)116のゲート電極が走査線112に接続される一方、TFT116のソース電極がデータ線114に接続されるとともに、TFT116のドレイン電極が画素電極118に接続されている。そして、各画素は、画素電極118と、後述する対向基板に形成された共通電極と、これら両電極間に挟持された液晶とによって構成され、走査線112とデータ線114との各交点に対応してマトリクス状に配列し、表示領域110を形成している。なお、このほかに、蓄積容量(図示省略)が、各画素毎に、電気的にみて画素電極118と共通電極とに挟持された液晶に対して並列に形成されるが、図においては省略されている。
(First embodiment)
First, an electro-optical device driven by the drive circuit according to the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a block diagram showing an electrical configuration of a liquid crystal panel using liquid crystal as an electro-optic material. The liquid crystal panel 100 shown in this figure has a configuration in which an element substrate and a counter substrate are bonded to each other with their electrode formation surfaces facing each other, as will be described later. Among these, in the element substrate, a plurality of scanning lines 112 are formed in parallel along the X direction in FIG. 1, and n (n is parallel to the Y direction orthogonal to the scanning line 112). , Even) data lines 114 are formed. At each intersection of the scanning line 112 and the data line 114, a gate electrode of a thin film transistor (hereinafter referred to as “TFT”) 116 is connected to the scanning line 112, while a source electrode of the TFT 116 is In addition to being connected to the data line 114, the drain electrode of the TFT 116 is connected to the pixel electrode 118. Each pixel includes a pixel electrode 118, a common electrode formed on a counter substrate, which will be described later, and a liquid crystal sandwiched between the two electrodes, and corresponds to each intersection of the scanning line 112 and the data line 114. Thus, the display area 110 is formed in a matrix. In addition, a storage capacitor (not shown) is formed for each pixel in parallel with the liquid crystal sandwiched between the pixel electrode 118 and the common electrode, but is omitted in the drawing. ing.

さて、周辺回路120は、走査線駆動回路130や、データ線駆動回路140のほかに、パルス幅制限回路150、D/A変換回路160、サンプリング回路170などからなり、後述するように素子基板における対向面にあって、表示領域の周辺部に形成されるものである。これらの回路の能動素子は、画素をスイッチングするTFT116と共通の製造プロセスで形成されるpチャネル型TFTおよびnチャネル型TFTの組み合わせにより形成されるものである。   The peripheral circuit 120 includes a scanning line driving circuit 130 and a data line driving circuit 140, a pulse width limiting circuit 150, a D / A conversion circuit 160, a sampling circuit 170, and the like. It is on the opposite surface and is formed in the periphery of the display area. The active elements of these circuits are formed by a combination of a TFT 116 for switching pixels and a p-channel TFT and an n-channel TFT formed by a common manufacturing process.

ここで、周辺回路120のうち、走査線駆動回路130は、シフトレジスタを有し、外部から供給されるクロック信号CLYや、その反転クロック信号CLYINV、転送開始パルスDYなどに基づいて、走査信号を各走査線112に対して順次出力するものである。詳細には、走査線駆動回路130は、第1に、垂直走査期間の最初に供給される転送開始パルスDYを、クロック信号CLYおよび反転クロック信号CLYINVの半周期だけ順次シフトし、第2に、これらシフトした信号を走査信号として、各走査線112に対し水平走査期間毎に順次出力するものである。   Here, among the peripheral circuits 120, the scanning line driving circuit 130 includes a shift register, and the scanning signal is output based on the clock signal CLY supplied from the outside, the inverted clock signal CLYINV, the transfer start pulse DY, and the like. The data is sequentially output to each scanning line 112. Specifically, the scanning line driving circuit 130 first sequentially shifts the transfer start pulse DY supplied at the beginning of the vertical scanning period by a half cycle of the clock signal CLY and the inverted clock signal CLYINV, and secondly, These shifted signals are sequentially output as scanning signals to each scanning line 112 every horizontal scanning period.

また、データ線駆動回路140は、走査線駆動回路130と略同様な構成であるが、供給される信号が異なっている。すなわち、データ線駆動回路140には、クロック信号CLYおよび反転クロック信号CLYINVの替わりに、クロック信号CLXおよび反転クロック信号CLXINVが供給されるとともに、転送開始パルスDYの替わりに、水平走査期間の最初に転送開始パルスDXが供給される構成となっている。このため、データ線駆動回路140は、第1に、水平走査期間の最初に供給される転送開始パルスDXを、クロック信号CLXおよび反転クロック信号CLXINVの半周期だけ順次シフトし、第2に、これらシフトした信号S1’〜Sn’を順次出力することとなる。なお、走査線駆動回路130およびデータ線駆動回路140の詳細な構成については、データ線駆動回路140を例にとって後述することとする。   The data line driving circuit 140 has substantially the same configuration as the scanning line driving circuit 130, but the supplied signals are different. That is, the data line driving circuit 140 is supplied with the clock signal CLX and the inverted clock signal CLXINV instead of the clock signal CLY and the inverted clock signal CLYINV, and at the beginning of the horizontal scanning period instead of the transfer start pulse DY. The transfer start pulse DX is supplied. Therefore, first, the data line driving circuit 140 sequentially shifts the transfer start pulse DX supplied at the beginning of the horizontal scanning period by a half cycle of the clock signal CLX and the inverted clock signal CLXINV, and secondly, The shifted signals S1 ′ to Sn ′ are sequentially output. Note that detailed configurations of the scanning line driving circuit 130 and the data line driving circuit 140 will be described later using the data line driving circuit 140 as an example.

次に、パルス幅制限回路150は、各データ線114に対応して設けられるn組のNAND回路152およびインバータ154からなり、信号S1’〜Sn’のパルス幅を、イネーブル信号ENB1、ENB2によりそれぞれ制限して、サンプリング信号S1〜Snとして出力するものである。ここで、図1において左から数えてi段目に位置するNAND回路152は、iが奇数であれば、信号Si’と信号ENB1との論理積を反転する一方、iが偶数であれば、信号Si’と信号ENB2との論理積を反転するものである。また、各インバータ154は、対応するNAND回路152の出力信号を反転するものである。そして、これらインバータ154の出力信号が順番にサンプリング信号S1、S2、……、Snとして出力される構成となっている。   Next, the pulse width limiting circuit 150 includes n sets of NAND circuits 152 and inverters 154 provided corresponding to the data lines 114, and the pulse widths of the signals S1 ′ to Sn ′ are respectively determined by the enable signals ENB1 and ENB2. It is limited and output as sampling signals S1 to Sn. Here, the NAND circuit 152 located at the i-th stage from the left in FIG. 1 inverts the logical product of the signal Si ′ and the signal ENB1 if i is an odd number, whereas if i is an even number, The logical product of the signal Si ′ and the signal ENB2 is inverted. Each inverter 154 inverts the output signal of the corresponding NAND circuit 152. The output signals of these inverters 154 are sequentially output as sampling signals S1, S2,..., Sn.

一方、D/A変換回路160は、外部から供給される8ビットのディジタル画像信号VIDを、アナログ画像信号に変換してラインLに出力するものであり、その詳細構成については後述することとする。   On the other hand, the D / A conversion circuit 160 converts an externally supplied 8-bit digital image signal VID into an analog image signal and outputs it to the line L. The detailed configuration will be described later. .

また、サンプリング回路170は、各データ線114に対応して設けられるn個のTFT171からなり、サンプリング信号S1〜Snにしたがって、ラインLに供給されたアナログ画像信号を、対応するデータ線114にそれぞれサンプリングして供給するものである。詳細には、スイッチとしてのTFT171の各々は、各データ線114の一端に設けられ、各TFT171のソース電極が、アナログ画像信号が供給されるラインLに接続され、また、各TFT171のドレイン電極が、対応するデータ線114に接続されている。そして、各TFT171のゲート電極には、図において左から順番に、それぞれサンプリング信号S1〜Snが供給される信号線に接続されている。   The sampling circuit 170 includes n TFTs 171 provided corresponding to the respective data lines 114, and analog image signals supplied to the lines L are respectively applied to the corresponding data lines 114 in accordance with the sampling signals S1 to Sn. Sampled and supplied. Specifically, each of the TFTs 171 as a switch is provided at one end of each data line 114, the source electrode of each TFT 171 is connected to a line L to which an analog image signal is supplied, and the drain electrode of each TFT 171 is Are connected to corresponding data lines 114. The gate electrodes of the TFTs 171 are connected to signal lines to which sampling signals S1 to Sn are supplied in order from the left in the drawing.

<データ線駆動回路の構成>
ここで、図1におけるデータ線駆動回路140の詳細に構成について説明する。図2は、データ線駆動回路140の構成を示す回路図である。この図において、クロック信号CLX、その反転信号CLXINV、および、転送開始パルスDXは、いずれも図示しないタイミングジェネレータによって、ディジタル画像信号VIDと同期して供給されるものである。
<Configuration of data line driving circuit>
Here, the configuration of the data line driving circuit 140 in FIG. 1 will be described in detail. FIG. 2 is a circuit diagram showing a configuration of the data line driving circuit 140. In this figure, a clock signal CLX, its inverted signal CLXINV, and a transfer start pulse DX are all supplied in synchronization with the digital image signal VID by a timing generator (not shown).

さて、図2に示されるように、データ線駆動回路140は、シフトレジスタの単位回路R1〜Rn+1を(n+1)段縦続接続したものであり、すなわち、データ線114の本数であるnよりも1だけ多い奇数段接続したものであり、水平走査期間の最初に供給されるパルスDXを、クロック信号CLXおよびその反転クロック信号CLXINVにしたがって、前段(左側)の単位回路から後段(右側)の単位回路へ順次シフトして、信号S1’〜Sn’として出力する構成となっている。このため、各単位回路R1〜Rn+1には、クロック信号CLX、および、反転クロック信号CLXINVが、それぞれ供給されている。   As shown in FIG. 2, the data line driving circuit 140 is formed by cascading (n + 1) stages of unit circuits R1 to Rn + 1 of a shift register, that is, 1 than the number n of data lines 114. An odd number of stages are connected, and the pulse DX supplied at the beginning of the horizontal scanning period is changed from the preceding (left) unit circuit to the following (right) unit circuit according to the clock signal CLX and its inverted clock signal CLXINV. Are sequentially shifted and output as signals S1 ′ to Sn ′. Therefore, the clock signal CLX and the inverted clock signal CLXINV are supplied to the unit circuits R1 to Rn + 1, respectively.

これら各単位回路R1〜Rn+1のうち、奇数段の単位回路R1、R3、……、Rn−1、Rn+1は、クロック信号CLXが「H」レベルの場合(反転クロック信号CLXが「L」レベルの場合)に入力信号を反転するクロックドインバータ142と、このクロックドインバータ142による反転信号を再反転して、当該単位回路の出力とするインバータ144と、クロック信号CLXが「L」レベルの場合(反転クロック信号CLXINVが「H」レベルの場合)に、インバータ144の出力信号を反転して、インバータ144の入力に帰還するクロックドインバータ146とから構成される。   Among these unit circuits R1 to Rn + 1, odd-numbered unit circuits R1, R3,..., Rn−1, Rn + 1 are used when the clock signal CLX is at “H” level (the inverted clock signal CLX is at “L” level). A clocked inverter 142 that inverts the input signal, an inverter 144 that reinverts the inverted signal by the clocked inverter 142 and outputs the unit circuit, and the clock signal CLX is at the “L” level ( A clocked inverter 146 that inverts the output signal of the inverter 144 and feeds it back to the input of the inverter 144 (when the inverted clock signal CLXINV is at “H” level).

ここで、奇数段の単位回路におけるクロックドインバータ142の具体的構成について説明すると、図3(a)に示されるように、高位側電源Vddと低位側電源Vssとの間に、ゲート電極に反転クロック信号CLXINVを入力するpチャネル型TFTと、入力信号をゲート電極にそれぞれ入力する相補型のpチャネル型TFT・nチャネル型TFTと、ゲート電極にクロック信号CLXを入力するnチャネル型TFTとを直列に接続した構成となっている。また、奇数段におけるクロックドインバータ146については、図3(b)に示される通りであり、クロック信号CLXおよび反転クロック信号CLXINVが供給されるTFTが、図3(a)とは反対となっている。さらに、インバータ144については、図4に示されるように、高位側電源Vddと低位側電源Vssとの間に、入力信号をゲート電極にそれぞれ入力するpチャネル型TFTおよびnチャネル型TFTとを、直列に相補型に接続した構成となっている。   Here, the specific configuration of the clocked inverter 142 in the odd-numbered unit circuit will be described. As shown in FIG. 3A, the gate electrode is inverted between the high power supply Vdd and the low power supply Vss. A p-channel TFT for inputting the clock signal CLXINV, a complementary p-channel TFT / n-channel TFT for inputting the input signal to the gate electrode, and an n-channel TFT for inputting the clock signal CLX to the gate electrode. The configuration is connected in series. In addition, the clocked inverter 146 in the odd-numbered stage is as shown in FIG. 3B, and the TFT to which the clock signal CLX and the inverted clock signal CLXINV are supplied is opposite to that in FIG. Yes. Further, for the inverter 144, as shown in FIG. 4, a p-channel TFT and an n-channel TFT for inputting an input signal to the gate electrode, respectively, between the high-side power supply Vdd and the low-side power supply Vss, It is configured to be connected in a complementary manner in series.

一方、各単位回路R1〜Rn+1のうち、偶数段の単位回路R2、R4、……、Rn−2、Rnは、基本的に、奇数段の単位回路と同様な構成であるが、クロックドインバータ142は、クロック信号CLXが「L」レベルの場合に入力信号を反転する一方、クロックドインバータ146は、クロック信号CLXが「H」レベルの場合に入力信号を反転する点において異なっている。したがって、偶数段におけるクロックドインバータ142は、図3(b)に示される構成となり、偶数段におけるクロックドインバータ146は、図3(a)に示される構成となて、それぞれ奇数段のものと入れ替わった関係にある。   On the other hand, among the unit circuits R1 to Rn + 1, the even-numbered unit circuits R2, R4,..., Rn-2, Rn are basically similar in configuration to the odd-numbered unit circuits, but are clocked inverters. 142 is different in that the input signal is inverted when the clock signal CLX is at “L” level, whereas the clocked inverter 146 is inverted when the clock signal CLX is at “H” level. Therefore, the clocked inverter 142 in the even stage has the configuration shown in FIG. 3B, and the clocked inverter 146 in the even stage has the configuration shown in FIG. It is in a relationship that has been replaced.

なお、図2において、奇数段のクロックドインバータ142および偶数段のクロックドインバータ146には、それぞれクロック信号CLXのみ供給されているが、実際には図3(a)に示されるように、反転クロック信号CLXINVも供給されている。同様に、図2においては、奇数段のクロックドインバータ146および偶数段のクロックドインバータ142には、反転クロック信号CLXINVのみ供給されているが、実際には図3(b)に示されるように、クロック信号CLXも供給されている。また、これらのクロックドインバータや、インバータは、高位側電源Vddおよび低位側電源Vssの間に接続されるため、これらの電源配線が各単位回路R1〜Rn+1において引き回されている。   In FIG. 2, only the clock signal CLX is supplied to each of the odd-numbered clocked inverters 142 and the even-numbered clocked inverters 146, but in reality, as shown in FIG. A clock signal CLXINV is also supplied. Similarly, in FIG. 2, only the inverted clock signal CLXINV is supplied to the odd-numbered clocked inverter 146 and the even-numbered clocked inverter 142, but actually, as shown in FIG. The clock signal CLX is also supplied. Further, since these clocked inverters and inverters are connected between the high-order power supply Vdd and the low-order power supply Vss, these power supply wirings are routed in the unit circuits R1 to Rn + 1.

<D/A変換回路>
次に、図1におけるD/A変換回路160の詳細構成について説明する。図5は、D/A変換回路160の等価回路を示す図である。
<D / A conversion circuit>
Next, the detailed configuration of the D / A conversion circuit 160 in FIG. 1 will be described. FIG. 5 is a diagram showing an equivalent circuit of the D / A conversion circuit 160.

この図に示されるように、D/A変換回路160は、いわゆるR−2Rのラダー(はしご)回路を用いてD/A変換を行うものであり、ディジタル画像信号VIDの各ビット(最上位ビットをMSB、以下、2SB、3SB、……、7SB、最下位ビットをLSBとする)に対応してスイッチSw1〜Sw8を備えている。これらの各スイッチSw1〜Sw8は、対応ビットが「1」である場合には端子aに接続する一方、対応ビットが「0」である場合には端子bに接続するものである。ここで、説明の便宜上、端子aに接続する場合を、当該スイッチがオンであるとし、端子bに接続する場合を、当該スイッチがオフであるものとする。また、各スイッチSw1〜Sw8の端子aは、それぞれ参照電位Vrefが供給される信号線に接続される一方、端子bは、それぞれ基準電位に接続されている。   As shown in this figure, the D / A conversion circuit 160 performs D / A conversion using a so-called R-2R ladder circuit, and each bit (the most significant bit) of the digital image signal VID. , MSB, 2SB, 3SB,..., 7SB, and the least significant bit is LSB). Each of the switches Sw1 to Sw8 is connected to the terminal a when the corresponding bit is “1”, and is connected to the terminal b when the corresponding bit is “0”. Here, for convenience of explanation, it is assumed that the switch is on when connected to the terminal a, and the switch is off when connected to the terminal b. The terminals a of the switches Sw1 to Sw8 are connected to signal lines to which the reference potential Vref is supplied, respectively, while the terminals b are connected to the reference potential.

また、各スイッチSw1〜Sw8の共通端子は、それぞれ抵抗値が2Rである抵抗を介して接続点A〜Hに接続されている。また、各接続点A〜Hにおいて、互いに隣接する接続点間は、抵抗値がRである抵抗を介して接続されている。このため、抵抗値が2Rの抵抗と、抵抗値がRの抵抗とで構成されたラダー回路において、各抵抗の接続点A〜Hの各々から上位ビット方向、下位ビット方向、および、スイッチ方向のいずれをみても、抵抗値が2Rとなるように形成されている。そして、接続点AがラインLに接続されて、D/A変換回路160の出力端Eoutとなっている。   Further, the common terminals of the switches Sw1 to Sw8 are connected to the connection points A to H through resistors having a resistance value of 2R, respectively. Further, at each of the connection points A to H, the connection points adjacent to each other are connected via a resistor having a resistance value of R. Therefore, in a ladder circuit composed of a resistor having a resistance value of 2R and a resistor having a resistance value of R, the upper bit direction, the lower bit direction, and the switch direction from each of the connection points A to H of the resistors. In any case, the resistance value is 2R. The connection point A is connected to the line L and serves as the output terminal Eout of the D / A conversion circuit 160.

このような構成において、「1」である入力ビットに対応するスイッチがオンすると、出力端Eoutには、各ビットの重みに対応する電圧が出力される。例えば、最上位ビットMSBが「1」であれば、スイッチSw1がオンすることにより、Vref/2の電圧が、また、それよりも2ビット下位の3SBが「1」であれば、スイッチSw3がオンすることにより、Vref/8の電圧が、それぞれEoutに発生することとなる。   In such a configuration, when a switch corresponding to an input bit of “1” is turned on, a voltage corresponding to the weight of each bit is output to the output terminal Eout. For example, if the most significant bit MSB is “1”, the switch Sw1 is turned on, so that the voltage of Vref / 2 is set, and if the 3SB lower by 2 bits is “1”, the switch Sw3 is set. By turning on, a voltage of Vref / 8 is generated at Eout.

次に、D/A変換回路160における構成素子の実際について説明する。すでに図5を参照して説明したように、D/A変換回路160は、スイッチSw1〜Sw8と、ラダー回路の抵抗とによって構成されている。このうち、本実施形態においては、抵抗分を、主に、TFTにおけるゲート電極用配線材のポリシリコンから構成する場合〔1〕と、TFTにおけるソース・ドレイン間の抵抗を用いる場合〔2〕との2通りを想定している。   Next, actual components in the D / A conversion circuit 160 will be described. As already described with reference to FIG. 5, the D / A conversion circuit 160 includes the switches Sw <b> 1 to Sw <b> 8 and the resistance of the ladder circuit. Of these, in the present embodiment, the resistance is mainly composed of polysilicon as a gate electrode wiring material in the TFT [1], and the resistance between the source and drain in the TFT is used [2]. Are assumed.

そこでまず、抵抗分をポリシリコンから形成する場合〔1〕について説明する。ここでは、図5において、破線で示される部分1600、すなわち、スイッチSw1と、抵抗値が2Rである抵抗とからなる部分1600について検討する。抵抗分をポリシリコンから形成する場合、部分1600については、図6(a)に示されるように、ディジタル画像信号VIDのうち、最上位ビットMSBの信号をゲート信号として入力して、互いに排他的にオンオフするnチャネル型TFT1601・pチャネル型TFT1602と、ゲート電極用配線材のポリシリコンからなる抵抗1603とから構成される。   First, the case [1] in which the resistance component is formed from polysilicon will be described. Here, a portion 1600 indicated by a broken line in FIG. 5, that is, a portion 1600 including a switch Sw1 and a resistor having a resistance value of 2R is considered. When the resistance component is formed of polysilicon, as shown in FIG. 6A, the most significant bit MSB signal of the digital image signal VID is input as a gate signal for the portion 1600 and the portions 1600 are mutually exclusive. And n-channel TFT 1601 and p-channel TFT 1602 that are turned on and off, and a resistor 1603 made of polysilicon as a gate electrode wiring material.

ここで、抵抗体としては、TFTの半導体膜が高抵抗体であるため、これを用いることも考えられるが、膜厚が薄いので、抵抗値の制御が困難である。これに対して、ゲート電極用配線材は、比較的膜厚が厚いので、半導体膜自体を抵抗としても用いる場合よりも、抵抗分の制御が容易である。ただし、ゲート電極用配線材の膜厚は、形成されるTFTによって一義的に定まってしまうので、実際には、配線材の幅および長さによって抵抗分を制御することなる。   Here, as the resistor, the semiconductor film of the TFT is a high resistor, so that it may be used. However, since the film thickness is thin, it is difficult to control the resistance value. On the other hand, since the gate electrode wiring material has a relatively large thickness, it is easier to control the resistance than when the semiconductor film itself is used as a resistor. However, since the film thickness of the gate electrode wiring material is uniquely determined by the TFT to be formed, the resistance is actually controlled by the width and length of the wiring material.

また、TFT1601、1602のオン抵抗は抵抗1603に対して十分低いことが望ましいが、これらのソース・ドレイン間の抵抗値は、無視できないことが多い。このため、TFT1601または1602がオンする場合におけるソース・ドレイン間の抵抗と、ポリシリコンからなる抵抗1603との直列抵抗値が2Rとなるように、TFT1601、1602および抵抗1603がそれぞれ形成される。すなわち、部分1600におけるスイッチSw1のスイッチング機能については、TFT1601、1602が担い、また、抵抗値が2Rである抵抗の機能については、これらTFTのソース・ドレイン間の抵抗と抵抗1603との直列抵抗が担うのである。また、部分1600については、最上位ビットMSB以外のビットに対応して同様に形成される。くわえて、各接続点A〜Hにおいて、互いに隣接する接続点間を接続する抵抗については、ポリシリコンから形成して、その抵抗値がRとなるようにしても良いし、TFT1601、1602のチャネル幅と比べて半分にしたダミーのTFTを形成して、そのソース・ドレイン間の抵抗値がRとなるようにしても良い。なお、図6(a)における端子a、b、c、dは、それぞれ図5における同符号の端子に相当している。   The on-resistances of the TFTs 1601 and 1602 are desirably sufficiently lower than the resistance 1603, but the resistance values between these sources and drains are often not negligible. Therefore, the TFTs 1601 and 1602 and the resistor 1603 are formed so that the series resistance value of the resistance between the source and the drain when the TFT 1601 or 1602 is turned on and the resistor 1603 made of polysilicon is 2R. That is, the switching function of the switch Sw1 in the portion 1600 is handled by the TFTs 1601 and 1602, and the function of the resistance having a resistance value of 2R is the series resistance of the resistance between the source and drain of the TFT and the resistance 1603. It bears. The portion 1600 is similarly formed corresponding to the bits other than the most significant bit MSB. In addition, at each of the connection points A to H, a resistance connecting between adjacent connection points may be formed of polysilicon so that the resistance value is R, or the channel of the TFTs 1601 and 1602 A dummy TFT having a half width compared to the width may be formed so that the resistance value between the source and drain becomes R. Note that the terminals a, b, c, and d in FIG. 6A correspond to the terminals having the same reference numerals in FIG.

一方、抵抗分をTFTにおけるソース・ドレイン間の抵抗を用いる場合〔2〕について説明する。ここでも、抵抗分をポリシリコンから形成する場合〔1〕と同様に、図5において、スイッチSw1と、抵抗値が2Rである抵抗とからなる部分1600について検討する。抵抗分をTFTのソース・ドレイン間の抵抗を用いて形成する場合、部分1600については、図6(b)に示されるように、最上位ビットMSBの信号をゲート信号として入力して、互いに排他的にオンオフするpチャネル型TFT1607・nチャネル型TFT1608が、部分1600におけるスイッチSw1のスイッチング機能と、抵抗値が2Rである抵抗の機能とを同時に担うのである。すなわち、TFT1607(1608)がオンする場合におけるソース・ドレイン間の抵抗を、ラダー回路における抵抗として積極的に用いて、それぞれ2Rとなるように形成するのである。また、部分1600については、最上位ビットMSB以外のビットに対応して同様に形成される。くわえて、各接続点A〜Hにおいて、互いに隣接する接続点間を接続する抵抗については、ダミーTFTを設けて、そのソース・ドレイン間の抵抗値がRとなるよう形成される。   On the other hand, the case of using the resistance between the source and drain in the TFT [2] will be described. Here, as in the case of forming the resistance component from polysilicon [1], in FIG. 5, a portion 1600 composed of the switch Sw1 and a resistance having a resistance value of 2R will be considered. When the resistance is formed by using the resistance between the source and drain of the TFT, as shown in FIG. 6B, for the portion 1600, the signal of the most significant bit MSB is inputted as a gate signal and mutually exclusive. The p-channel TFT 1607 and the n-channel TFT 1608 that are turned on and off simultaneously perform the switching function of the switch Sw1 in the portion 1600 and the function of the resistance having a resistance value of 2R. That is, when the TFT 1607 (1608) is turned on, the resistance between the source and the drain is positively used as the resistance in the ladder circuit so as to be 2R. The portion 1600 is similarly formed corresponding to the bits other than the most significant bit MSB. In addition, at each of the connection points A to H, a dummy TFT is provided for the resistance connecting between adjacent connection points, and the resistance value between the source and the drain is set to R.

このように形成すると、スイッチであるTFTのオン抵抗が低い必要がないため、チャネル幅を小さくできるうえ、あえて抵抗体を形成ないため、回路サイズを大幅に縮小することが可能である。ラダー抵抗における抵抗値のばらつきは、D/A変換の精度に直接影響を与えるので、パターニングに工夫が必要となるなどの点に留意すべきであるが、この手段は比較的低ビット数のD/A変換である場合や、D/A変換回路を狭い領域に集積する際に有効である。なお、図6(b)における端子a、b、c、dは、それぞれ図5における同符号の端子に相当している。   When formed in this manner, the on-resistance of the TFT, which is a switch, does not need to be low, so that the channel width can be reduced and a resistor is not formed, so that the circuit size can be greatly reduced. It should be noted that the variation in resistance value in the ladder resistor directly affects the accuracy of the D / A conversion, so that it is necessary to devise in patterning. This is effective in the case of / A conversion or when the D / A conversion circuit is integrated in a narrow area. Note that the terminals a, b, c, and d in FIG. 6B correspond to the terminals having the same symbols in FIG.

また、図6(a)におけるnチャネル型TFT1602、および、図6(b)におけるnチャネル型TFT1608については、デプレッション型とエンハンスメント型といった排他的なスイッチの組み合わせでも可能であるし、対応ビットの信号をインバータにより反転してゲート信号として入力する構成とすれば、nチャネル型TFTを用いることも可能であり、また、この逆にpチャネル型TFTを用いることも可能である。さらに、nチャネルおよびpチャネル型TFTを並列に接続したトランスミッションゲートに置き換えて、基準電位に対して参照電位を正負に反転させることで反転駆動に対応可能である。   In addition, the n-channel TFT 1602 in FIG. 6A and the n-channel TFT 1608 in FIG. 6B can be combined with an exclusive switch such as a depletion type and an enhancement type, and the corresponding bit signal Is inverted by an inverter and input as a gate signal, an n-channel TFT can be used, and conversely, a p-channel TFT can be used. Further, by replacing the n-channel and p-channel TFTs with transmission gates connected in parallel and inverting the reference potential positively and negatively with respect to the reference potential, inversion driving can be supported.

<製造プロセス〔1〕>
次に、周辺回路120および表示領域110における構成素子の製造プロセスについて説明する。上述したように、周辺回路120のうち、D/A変換回路160における抵抗については、ポリシリコンおよびTFTを用いて形成する場合(図6(a)参照)と、TFTのソース・ドレイン間の抵抗のみを用いて形成する場合(図6(b)参照)との2通りが考えられる。そこでまず、前者のポリシリコンおよびTFTを用いて形成する場合について説明することとする。なお、以下における工程は、表示領域110におけるTFT116、すなわち、画素電極118に接続されたTFT116を基準にしたものである。また、周辺回路120としては、図6(a)におけるTFT1602および抵抗1603の直列部分を例にとって説明するが、抵抗1603以外のものについても、すなわち、データ線駆動回路140やサンプリング回路170を構成するTFTについても、基本的にTFT1602と同様に形成される。
<Manufacturing process [1]>
Next, the manufacturing process of the constituent elements in the peripheral circuit 120 and the display area 110 will be described. As described above, the resistance in the D / A conversion circuit 160 in the peripheral circuit 120 is the resistance between the source and the drain of the TFT when formed using polysilicon and TFT (see FIG. 6A). There are two possible cases: a case where the film is formed using only (see FIG. 6B). First, the case where the former is formed using polysilicon and TFT will be described. The following process is based on the TFT 116 in the display region 110, that is, the TFT 116 connected to the pixel electrode 118. The peripheral circuit 120 will be described by taking the series part of the TFT 1602 and the resistor 1603 in FIG. 6A as an example, but other than the resistor 1603, that is, the data line driving circuit 140 and the sampling circuit 170 are configured. The TFT is basically formed in the same manner as the TFT 1602.

まず、図7の工程(1)に示されるように、ガラスや石英などの基板101の上面全体に、例えば減圧CVD法などによって、ポリシリコン層1を、約50〜200nmの厚さで、好ましくは約100nmの厚さとなるまで固相成長させる。この際、nチャネル型のTFTを形成する場合には、Sb(アンチモン)や、As(砒素)、P(リン)などのV属元素のドーパントを、わずかにイオン注入等によりドーピングする。また、pチャネル型TFTを形成する場合には、Al(アルミニウム)や、B(ボロン)、Ga(ガリウム)などのIII属元素のドーパントを、同様に、わずかにイオン注入等によりドーピングする。
次に、図7の工程(2)に示されるように、ポリシリコン層1を、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程等によってパターニングして、表示領域110にあってはTFT116における能動層1aを、周辺回路120にあってはTFT1601などにおける能動層1bを、それぞれ島状に形成する。
First, as shown in step (1) of FIG. 7, the polysilicon layer 1 is preferably deposited on the entire upper surface of the substrate 101 such as glass or quartz by a low-pressure CVD method or the like with a thickness of about 50 to 200 nm. Is solid-phase grown to a thickness of about 100 nm. At this time, when an n-channel TFT is formed, a dopant of a group V element such as Sb (antimony), As (arsenic), or P (phosphorus) is slightly doped by ion implantation or the like. When a p-channel TFT is formed, a dopant of a group III element such as Al (aluminum), B (boron), and Ga (gallium) is similarly doped slightly by ion implantation or the like.
Next, as shown in step (2) of FIG. 7, the polysilicon layer 1 is patterned by a photolithography process, an etching process, or the like, and in the display region 110, the active layer 1a in the TFT 116 is replaced with a peripheral circuit. In 120, the active layer 1b in the TFT 1601 or the like is formed in an island shape.

さらに、図7の工程(3)に示されるように、能動層1a、1bの表面を熱酸化処理して、ゲート絶縁膜2a、2bをそれぞれ能動層1a、1bの表面に形成する。この工程により、能動層1a、1bは最終的に約30〜150nmの厚さ、好ましくは約35〜45nmの厚さとなる一方、ゲート絶縁膜2a、2bは約60〜150nmの厚さ、好ましくは約30nmの厚さとなる。   Further, as shown in step (3) of FIG. 7, the surfaces of the active layers 1a and 1b are thermally oxidized to form gate insulating films 2a and 2b on the surfaces of the active layers 1a and 1b, respectively. By this step, the active layers 1a and 1b finally have a thickness of about 30 to 150 nm, preferably about 35 to 45 nm, while the gate insulating films 2a and 2b have a thickness of about 60 to 150 nm, preferably The thickness is about 30 nm.

そして、図7の工程(4)に示されるように、ゲート絶縁膜2a、2bおよび基板101の上面に、ポリシリコン層12を減圧CVD法等により堆積する。このポリシリコン層12は、表示領域110にあっては、TFT116のゲート電極を兼用する走査線となるべき部分であり、周辺回路120にあっては、TFT1601などの各種TFTにおけるゲート電極、および、抵抗1603となるべき部分である。なお、走査線112となるべき部分については、ポリシリコンではなく、Alなどの金属膜や金属シリサイド膜から形成しても良いし、これらの金属膜または金属シリサイド膜とポリシリコンとを多層形成しても良い。また、ゲート電極の配線材料としては、ポリシリコンのほか、Mo(モリブデン)、Ta(タンタル)、Ti(チタン)、W(タングステン)等の高融点金属や、これらの金属シリサイドを用いることができるが、抵抗1603となるべき部分に限って言えば、低抵抗材料を用いると高抵抗化することが困難となる点に留意すべきである。   Then, as shown in step (4) in FIG. 7, a polysilicon layer 12 is deposited on the upper surfaces of the gate insulating films 2a and 2b and the substrate 101 by a low pressure CVD method or the like. The polysilicon layer 12 is a portion to be a scanning line that also serves as the gate electrode of the TFT 116 in the display region 110, and in the peripheral circuit 120, the gate electrode in various TFTs such as the TFT 1601, and This is the part that should become the resistor 1603. Note that the portion to be the scanning line 112 may be formed from a metal film such as Al or a metal silicide film instead of polysilicon, or a multilayer of these metal films or metal silicide films and polysilicon may be formed. May be. As the wiring material for the gate electrode, in addition to polysilicon, refractory metals such as Mo (molybdenum), Ta (tantalum), Ti (titanium), W (tungsten), and metal silicides thereof can be used. However, it should be noted that it is difficult to increase the resistance if a low-resistance material is used as far as the portion to be the resistance 1603 is concerned.

次に、図8の工程(5)に示されるように、ポリシリコン層12を、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程等によってパターニングして、表示領域110にあっては、TFT116のゲート電極を兼用する走査線112を形成し、周辺回路120にあっては、TFT1601のゲート電極12bや、抵抗1603を形成する。なお、ゲート電極12bは、図6(a)における端子dに相当するものである。この際、周辺回路120にあっては、TFT1601以外のTFTにおけるゲート電極も同様に形成される。
さらに、図8の工程(6)に示されるように、走査線112(ゲート電極)、ゲート電極12bをマスクとして不純物(例えばリン)のドーパントをドーピングして、nチャネル型のTFTの能動層1a、1bにおいて、自己整合されたソース領域およびドレイン領域となる半導体領域を形成する。なお、TFTをpチャネル型とする場合には、能動層1bにおいてソース領域およびドレイン領域を形成するために、BなどのIII属元素のドーパントをドーピングする。
Next, as shown in step (5) of FIG. 8, the polysilicon layer 12 is patterned by a photolithography process, an etching process, or the like, and in the display region 110, scanning that also serves as the gate electrode of the TFT 116. A line 112 is formed, and in the peripheral circuit 120, a gate electrode 12b of the TFT 1601 and a resistor 1603 are formed. Note that the gate electrode 12b corresponds to the terminal d in FIG. At this time, in the peripheral circuit 120, gate electrodes in TFTs other than the TFT 1601 are formed in the same manner.
Further, as shown in step (6) of FIG. 8, an impurity (for example, phosphorus) dopant is doped using the scanning line 112 (gate electrode) and the gate electrode 12b as a mask to make the active layer 1a of the n-channel TFT. In 1b, semiconductor regions to be self-aligned source and drain regions are formed. When the TFT is a p-channel type, a dopant of a group III element such as B is doped to form a source region and a drain region in the active layer 1b.

また、ソース・ドレイン領域は、第1に、ドーパンドを、1×1013〜3×1013[atms/cm]のドーズ量にてライトドーピングして、低濃度領域を形成し、第2に、走査線112(ゲート電極)やゲート電極12bよりも幅広のマスク層を、当該走査線112およびゲート電極12b上に形成し、第3に、同じドーパンドを、1×1015〜3×1015[atms/cm]のドーズ量でドーピングして、高濃度領域を形成し、これにより、マスクされた領域がライトリー・ドープド・ドレイン(LDD)構造のTFTとなるように形成しても良い。また、ライトリー・ドープせずに走査線112およびゲート電極12bよりも幅広のマスクを使用してパターンを形成し、続いて、不純物をドーピングしてソース・ドレインを形成した後に、ゲート電極をオーバーエッチングすることにより、オフセット構造のTFTを形成しても良い。 In the source / drain region, first, a dopant is light-doped with a dose of 1 × 10 13 to 3 × 10 13 [atms / cm 2 ] to form a low concentration region, and secondly A mask layer wider than the scanning line 112 (gate electrode) or the gate electrode 12b is formed on the scanning line 112 and the gate electrode 12b, and thirdly, the same dopant is 1 × 10 15 to 3 × 10 15. A high concentration region may be formed by doping at a dose of [atms / cm 2 ], and thereby the masked region may be formed to be a TFT having a lightly doped drain (LDD) structure. . Further, a pattern is formed by using a mask wider than the scanning line 112 and the gate electrode 12b without lightly doping, and then the source and drain are formed by doping impurities, and then the gate electrode is overlaid. An TFT having an offset structure may be formed by etching.

続いて、図8の工程(7)に示されるように、層間絶縁膜3を、走査線112やゲート電極12bなどを覆うように、例えば、CVD法等によって約500〜1500nmの厚さに堆積する。なお、層間絶縁膜3の材質としては、NSG、PSG、BSG、BPSGなどのシリケートガラス膜や、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜などが挙げられる。   Subsequently, as shown in step (7) of FIG. 8, the interlayer insulating film 3 is deposited to a thickness of about 500 to 1500 nm by, for example, a CVD method so as to cover the scanning line 112, the gate electrode 12b, and the like. To do. Examples of the material of the interlayer insulating film 3 include silicate glass films such as NSG, PSG, BSG, and BPSG, silicon nitride films, and silicon oxide films.

そして、図8の工程(8)に示されるように、表示領域110にあっては、層間絶縁膜3に対して、TFT116のソース領域に対応した位置にコンタクトホール41を、ドライエッチング等により形成する。一方、周辺回路120にあっては、層間絶縁膜3に対し、TFT1601のドレイン領域と、ソース領域と、抵抗1603とに接続するためのコンタクトホール42、43、44、45を同様に形成する。なお、コンタクトホール41、42、43は、層間絶縁膜3と、ゲート絶縁膜2aまたは2bとの重ね膜を開孔するものである。   Then, as shown in step (8) of FIG. 8, in the display region 110, a contact hole 41 is formed in the position corresponding to the source region of the TFT 116 with respect to the interlayer insulating film 3 by dry etching or the like. To do. On the other hand, in the peripheral circuit 120, contact holes 42, 43, 44, 45 for connecting to the drain region, the source region, and the resistor 1603 of the TFT 1601 are similarly formed in the interlayer insulating film 3. The contact holes 41, 42, and 43 are used to open an overlap film of the interlayer insulating film 3 and the gate insulating film 2a or 2b.

次に、図9の工程(9)に示されるように、層間絶縁膜3の上に、アルミニウムなどの低抵抗金属や金属シリサイドなどの導電層14を、スパッタリング処理などによって約100〜500nmの厚さに堆積する。この導電層14は、表示領域110にあっては、TFT116のソース電極を兼用するデータ線114となるべき部分であり、周辺回路120にあっては、TFT1601を含むTFTのソース電極や、ドレイン電極、抵抗1603などを接続する配線部分となるべき部分である。   Next, as shown in step (9) of FIG. 9, a conductive layer 14 of a low resistance metal such as aluminum or a metal silicide is formed on the interlayer insulating film 3 by a sputtering process or the like to a thickness of about 100 to 500 nm. Sedimentation. The conductive layer 14 is a portion to be the data line 114 that also serves as the source electrode of the TFT 116 in the display region 110, and the source electrode and drain electrode of the TFT including the TFT 1601 in the peripheral circuit 120. , A portion to be a wiring portion for connecting the resistor 1603 and the like.

さらに、図9の工程(10)に示されるように、導電層14を、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程等によってパターニングして、表示領域110にあっては、TFT116のソース電極を兼用するデータ線114を形成する。また、この導電層14のパターニングにより、周辺回路120にあっては、TFT1601のソース電極a’や、TFT1601のドレイン電極と抵抗1603の一方の端子との接続配線e’、抵抗1603における他方の端子の引き出し配線c’などの各種配線を形成する。なお、図9の(10)において、TFT1601のソース電極a’は、図6(a)の端子aに相当するものであり、また、TFT1601のドレイン電極の接続配線e’は、図6(a)の端子eに相当するものであり、さらに、引き出し配線c’は、図6(a)の端子cに相当するものである。   Further, as shown in step (10) of FIG. 9, the conductive layer 14 is patterned by a photolithography process, an etching process, or the like, and in the display region 110, the data line 114 that also serves as the source electrode of the TFT 116. Form. Also, by patterning the conductive layer 14, in the peripheral circuit 120, the source electrode a ′ of the TFT 1601, the connection wiring e ′ between the drain electrode of the TFT 1601 and one terminal of the resistor 1603, and the other terminal of the resistor 1603. Various wirings such as a lead-out wiring c ′ are formed. In FIG. 9 (10), the source electrode a ′ of the TFT 1601 corresponds to the terminal a in FIG. 6A, and the connection wiring e ′ of the drain electrode of the TFT 1601 is shown in FIG. ) And the lead-out line c ′ corresponds to the terminal c in FIG. 6A.

続いて、図9の工程(11)に示されるように、絶縁膜5を、データ線114や配線a’、e’、c’などを覆うように、例えば、CVD法等によって約500〜1500nmの厚さに堆積する。なお、絶縁膜5の材質としては、層間絶縁膜3と同様に、NSG、PSG、BSG、BPSGなどのシリケートガラス膜や、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜などが挙げられる。   Subsequently, as shown in step (11) of FIG. 9, the insulating film 5 is covered with the data line 114, the wirings a ′, e ′, c ′, etc. by, for example, about 500 to 1500 nm by the CVD method or the like. To a thickness of. As the material of the insulating film 5, similarly to the interlayer insulating film 3, silicate glass films such as NSG, PSG, BSG, and BPSG, silicon nitride films, and silicon oxide films are exemplified.

次に、図9の工程(12)に示されるように、表示領域110における絶縁膜5に対し、TFT116のドレイン領域に対応した位置にコンタクトホール61を、ドライエッチング等により形成する。   Next, as shown in step (12) in FIG. 9, a contact hole 61 is formed in the insulating film 5 in the display region 110 at a position corresponding to the drain region of the TFT 116 by dry etching or the like.

そして、図10の工程(13)に示されるように、絶縁膜5の上面に、ITOなどの透明導電性薄膜18を、スパッタリング処理などによって約50〜200nmの厚さに堆積した後、同図(14)に示されるように、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程等によってパターニングして、画素電極118を形成する。なお、液晶パネル100を反射型とする場合には、透明導電性薄膜18に替えて、アルミニウムなどの反射率の高い不透明導電性薄膜から画素電極118を形成することとなる。   Then, as shown in step (13) of FIG. 10, a transparent conductive thin film 18 such as ITO is deposited on the upper surface of the insulating film 5 to a thickness of about 50 to 200 nm by sputtering or the like. As shown in (14), the pixel electrode 118 is formed by patterning through a photolithography process, an etching process, or the like. When the liquid crystal panel 100 is of a reflective type, the pixel electrode 118 is formed from an opaque conductive thin film having a high reflectance such as aluminum instead of the transparent conductive thin film 18.

このような工程(1)〜(14)により、表示領域110におけるTFT116の製造プロセスを用いて、周辺回路120の構成素子、特に、D/A変換回路160のスイッチや各種抵抗が、画素をスイッチングするTFT116と同時に形成されることとなる。
なお、TFTに光が進入すると、リークにより性能低下を来すので、実際には、遮光層がTFTの形状に合わせて形成されるが、図においては、本発明には直接関係ないので省略するものとする。
Through the steps (1) to (14), the components of the peripheral circuit 120, particularly the switches of the D / A conversion circuit 160 and various resistors, switch the pixels using the manufacturing process of the TFT 116 in the display region 110. The TFT 116 is formed at the same time.
Note that when light enters the TFT, the performance deteriorates due to leakage, so the light shielding layer is actually formed in accordance with the shape of the TFT, but it is omitted in the figure because it is not directly related to the present invention. Shall.

<製造プロセス〔2〕>
次に、周辺回路120のうち、D/A変換回路160における抵抗を、TFTのソース・ドレイン間の抵抗のみを用いて形成する場合(図6(b)参照)の製造プロセスについて説明する。ここで、周辺回路120としては、図6(b)における部分1600のうち、TFT1607を例にとって説明すると、その製造プロセスについては、図11の工程(1)から図14の工程(14)までに示される通りとなる。ただし、これらの工程は、図7の工程(1)から図10の工程(14)までにおいて、ポリシリコンからなる抵抗1603を除外したものと等しいから、その詳細な説明については省略することとする。
<Manufacturing process [2]>
Next, a manufacturing process in the case where the resistance in the D / A conversion circuit 160 in the peripheral circuit 120 is formed using only the resistance between the source and drain of the TFT (see FIG. 6B) will be described. Here, as the peripheral circuit 120, the TFT 1607 in the portion 1600 in FIG. 6B will be described as an example. The manufacturing process thereof is from step (1) in FIG. 11 to step (14) in FIG. As shown. However, these steps are the same as the steps (1) in FIG. 7 to the step (14) in FIG. 10 excluding the resistor 1603 made of polysilicon, and therefore detailed description thereof will be omitted. .

そして、これらの工程(1)〜(14)により、表示領域110におけるTFT116の製造プロセスを用いて、周辺回路120の構成素子、特に、D/A変換回路160のスイッチや各種抵抗が、画素をスイッチングするTFT116と共通のプロセスによって同時に形成されることとなる。なお、ソース・ドレイン間の抵抗は、TFTのチャネル幅や、チャネル長、LDD長等で制御され、具体的には、高抵抗となるほど、チャネル幅を狭く、チャネル長を長く、あるいはLDD長を長くする必要がある。   Through these steps (1) to (14), using the manufacturing process of the TFT 116 in the display region 110, the components of the peripheral circuit 120, in particular, the switches and various resistors of the D / A conversion circuit 160, The TFTs 116 to be switched are simultaneously formed by a common process. The resistance between the source and the drain is controlled by the channel width, channel length, LDD length, etc. of the TFT. Specifically, the higher the resistance, the narrower the channel width, the longer the channel length, or the LDD length. It needs to be long.

<第1実施形態の動作>
次に、第1実施形態に係る液晶パネルの動作について、図15に示されるタイミングチャートを参照して説明する。
<Operation of First Embodiment>
Next, the operation of the liquid crystal panel according to the first embodiment will be described with reference to the timing chart shown in FIG.

まず、タイミングt11において、水平走査期間の最初にパルスDXが入力されるとともに、クロック信号CLXが立ち上がると(反転クロック信号CLXINVが立ち下がると)、データ線駆動回路140において、第1段目の単位回路R1におけるクロックドインバータ142は、転送開始パルスDXの「H」レベルを反転し、同じく第1段目の単位回路R1におけるインバータ144が、同クロックドインバータ142の反転結果を反転するので、第1段目の単位回路R1による出力信号S1’は「H」レベルとなる。   First, at timing t11, when the pulse DX is input at the beginning of the horizontal scanning period and the clock signal CLX rises (when the inverted clock signal CLXINV falls), the data line driving circuit 140 uses the first stage unit. The clocked inverter 142 in the circuit R1 inverts the “H” level of the transfer start pulse DX. Similarly, the inverter 144 in the first stage unit circuit R1 inverts the inversion result of the clocked inverter 142. The output signal S1 ′ from the unit circuit R1 at the first stage becomes “H” level.

次に、タイミングt12において、転送開始パルスDXが入力されている期間に、クロック信号CLXが立ち下がると(反転クロック信号CLXINVが立ち上がると)、第1段目の単位回路R1におけるクロックドインバータ146は、「H」レベルの出力信号S1’をインバータ144に反転帰還するので、出力信号S1’は「H」レベルを維持することとなる。また、第2段目の単位回路R2におけるクロックドインバータ142は、第1段目の単位回路R1による出力信号S1’の「H」レベルを反転し、同じく第2段目の単位回路R2におけるインバータ144が、同クロックドインバータ142の反転結果を反転するので、第2段目の単位回路R2の出力信号S2’は「H」レベルとなる。   Next, when the clock signal CLX falls (when the inverted clock signal CLXINV rises) during the period when the transfer start pulse DX is input at the timing t12, the clocked inverter 146 in the unit circuit R1 in the first stage , The output signal S1 ′ at “H” level is inverted and fed back to the inverter 144, so that the output signal S1 ′ maintains the “H” level. The clocked inverter 142 in the second-stage unit circuit R2 inverts the “H” level of the output signal S1 ′ from the first-stage unit circuit R1, and similarly the inverter in the second-stage unit circuit R2. 144 inverts the inversion result of the clocked inverter 142, so that the output signal S2 ′ of the second-stage unit circuit R2 becomes “H” level.

そして、タイミングt13において、転送開始パルスDXの入力が終了して、再び、クロック信号CLXが立ち上がると(反転クロック信号CLXINVが立ち下がると)、第1段目の単位回路R1におけるクロックドインバータ142は、転送開始パルスDXの「L」レベルを取り込むので、その単位回路R1の出力信号S1’は「L」レベルとなる。一方、第2段目の単位回路R2におけるクロックドインバータ146は、「H」レベルの出力信号S2’をインバータ144に反転帰還するので、出力信号S2’は「H」レベルを維持することとなる。また、第3段目の単位回路R3におけるクロックドインバータ142は、第2段目の単位回路R2による出力信号S2’の「H」レベルを反転し、同じく第2段目の単位回路R2のインバータ144が、同クロックドインバータ142の反転結果を反転するので、第3段目の単位回路R3による出力信号S3’は「H」レベルとなる。   At time t13, when the input of the transfer start pulse DX ends and the clock signal CLX rises again (when the inverted clock signal CLXINV falls), the clocked inverter 142 in the first stage unit circuit R1 Since the “L” level of the transfer start pulse DX is captured, the output signal S1 ′ of the unit circuit R1 becomes the “L” level. On the other hand, the clocked inverter 146 in the second-stage unit circuit R2 inverts and feeds back the “H” level output signal S2 ′ to the inverter 144, so that the output signal S2 ′ maintains the “H” level. . Also, the clocked inverter 142 in the third stage unit circuit R3 inverts the “H” level of the output signal S2 ′ from the second stage unit circuit R2, and similarly the inverter of the second stage unit circuit R2. 144 inverts the inversion result of the clocked inverter 142, so that the output signal S3 ′ from the unit circuit R3 at the third stage becomes the “H” level.

以下、同様な動作が繰り返される結果、最初に入力された転送開始パルスDXがクロック信号CLXおよびその反転クロック信号CLXINVの半周期だけ順次シフトされて、各段の単位回路R1〜Rnから出力信号S1’〜Sn’として出力されることとなる。   Thereafter, as a result of repeating the same operation, the first input transfer start pulse DX is sequentially shifted by a half cycle of the clock signal CLX and its inverted clock signal CLXINV, and the output signal S1 from the unit circuits R1 to Rn of each stage. It will be output as '˜Sn'.

このような信号S1’〜Sn’のうち、奇数段目の単位回路からの出力信号は信号ENB1のパルス幅に、また、偶数段目の単位回路からの出力信号は信号ENB2のパルス幅に、それぞれ各段のNAND回路152によって制限された後、各段のインバータ154によって再反転されて、サンプリング信号S1〜Snとして出力される。このため、サンプリング信号S1〜Snは、互い隣接する信号が同時に「H」レベルとならずに出力されることとなる。   Among such signals S1 ′ to Sn ′, the output signal from the odd-numbered unit circuit has the pulse width of the signal ENB1, and the output signal from the even-numbered unit circuit has the pulse width of the signal ENB2. After being limited by the NAND circuit 152 at each stage, it is re-inverted by the inverter 154 at each stage and output as sampling signals S1 to Sn. For this reason, the sampling signals S1 to Sn are output without the signals adjacent to each other being simultaneously at the “H” level.

一方、走査線駆動回路130についても、データ線駆動回路140と同様な構成であるため、同様な動作となるが、供給される信号が異なるために、水平走査期間毎に、図において上から下方向に走査信号を走査線112の1本毎に供給することとなる。   On the other hand, the scanning line driving circuit 130 has the same configuration as that of the data line driving circuit 140 and thus operates in the same manner. However, since the supplied signals are different, the horizontal scanning period is changed from top to bottom in the figure. The scanning signal is supplied to each scanning line 112 in the direction.

ここで、ある1本の走査線112が選択されている期間において、サンプリング信号S1が出力されると、その時点において変換されたアナログ画像信号、すなわち、D/A変換回路160によって、ディジタル画像信号VIDからD/A変換されてラインLに供給されたアナログ画像信号が、サンプリング信号S1に対応するデータ線に対してサンプリングされ、現時点で選択されている走査線と交差する画素に、当該TFT116によって書き込まれることとなる。   Here, when the sampling signal S1 is output in a period in which a certain one scanning line 112 is selected, the analog image signal converted at that time, that is, the digital image signal is converted by the D / A conversion circuit 160. The analog image signal which is D / A converted from VID and supplied to the line L is sampled with respect to the data line corresponding to the sampling signal S1, and a pixel intersecting the currently selected scanning line is applied to the pixel by the TFT 116. Will be written.

この後、サンプリング信号S2が出力されると、今度は、次のデータ線114にアナログ画像信号がサンプリングされて、その時点で選択された走査線と交差する画素に、当該TFT116によって書き込まれることとなる。   Thereafter, when the sampling signal S2 is output, this time, the analog image signal is sampled on the next data line 114 and written to the pixel intersecting with the scanning line selected at that time by the TFT 116. Become.

以下同様にして、サンプリング信号S3、S4、……、Snが順次出力されると、各サンプリング信号に属するデータ線114にそれぞれアナログ画像信号がサンプリングされて、その時点で選択された走査線と交差する画素に書き込まれることとなる。そして、この後、次の走査線が選択され、再び、サンプリング信号S1〜Snが順次出力されて、同様な書き込みが繰り返し実行されることとなる。   Similarly, when the sampling signals S3, S4,..., Sn are sequentially output, the analog image signals are sampled on the data lines 114 belonging to the respective sampling signals, and intersect with the scanning line selected at that time. Will be written to the pixel. Thereafter, the next scanning line is selected, the sampling signals S1 to Sn are sequentially output again, and similar writing is repeatedly executed.

なお、信号S1’〜Sn’を信号ENB1、ENB2のパルス幅に制限するのは、隣接するサンプリング信号が同時に出力されて、相隣接するデータ線114に対応するスイッチとしてのTFT171が同時にオンするのを防止して、ラインLに供給されるアナログ画像信号が、隣接するデータ線114同士においてオーバラップしたタイミングでサンプリングされないようにするためである。したがって、クロック信号CLXおよびその反転クロック信号CLXINVの周波数を低く設定することにより、相隣接するサンプリング信号S1〜Snが実質的に重ならないように構成するのであれば、データ線駆動回路140の後段において、パルス幅を狭めるパルス幅制限回路150を省略することができる。この点については、走査線駆動回路130においても同様である。   Note that the signals S1 ′ to Sn ′ are limited to the pulse widths of the signals ENB1 and ENB2 because the adjacent sampling signals are output at the same time and the TFTs 171 as the switches corresponding to the adjacent data lines 114 are simultaneously turned on. This is to prevent the analog image signal supplied to the line L from being sampled at an overlapping timing between the adjacent data lines 114. Therefore, if the sampling signals S1 to Sn that are adjacent to each other are not substantially overlapped by setting the frequency of the clock signal CLX and its inverted clock signal CLXINV to be low, in the subsequent stage of the data line driving circuit 140. The pulse width limiting circuit 150 for narrowing the pulse width can be omitted. The same applies to the scanning line driving circuit 130.

このように第1実施形態によれば、抵抗分を主に配線用ポリシリコンで形成する場合〔1〕にあっては、D/A変換回路160が、表示領域110におけるTFT116と共通の製造プロセスで形成されたTFTやポリシリコン抵抗1603によって構成されるので、D/A変換回路160を、表示領域110の近傍に配置させることが可能となる。このため、画像信号をディジタルで入力して、表示領域直前までディジタル画像信号の状態が維持されるので、表示品質の劣化を防止することが可能となるとともに、抵抗値のばらつきを抑えて、D/A変換の精度向上を図ることも可能となる。また、抵抗分をTFTのソース・ドレイン間の抵抗を用いる場合〔2〕にあっては、抵抗分をポリシリコンから形成する場合と同様に、表示品質の劣化を防止することが可能となり、さらに素子の小型化による高密度化をはかることが可能となる。さらに、上記場合〔1〕、〔2〕のいずれにおいても、D/A変換回路160における構成素子が、表示領域110におけるTFT116と共通の製造プロセスで形成されるので、D/A変換回路160を形成するための工程が別途必要になることもない。   As described above, according to the first embodiment, in the case where the resistance component is mainly formed of polysilicon for wiring [1], the D / A conversion circuit 160 is manufactured in common with the TFT 116 in the display region 110. Therefore, the D / A conversion circuit 160 can be disposed in the vicinity of the display area 110. For this reason, since the image signal is inputted digitally and the state of the digital image signal is maintained until just before the display area, it is possible to prevent the display quality from being deteriorated and suppress the variation of the resistance value. It is also possible to improve the accuracy of / A conversion. Further, in the case of using the resistance between the source and drain of the TFT as the resistance [2], it is possible to prevent the display quality from being deteriorated, as in the case where the resistance is formed from polysilicon. It is possible to increase the density by downsizing the element. Further, in any of the above cases [1] and [2], the constituent elements in the D / A conversion circuit 160 are formed by the same manufacturing process as the TFT 116 in the display region 110. There is no need for a separate process for formation.

<D/A変換回路の他の例>
上述したD/A変換回路160は、ディジタル画像信号VIDにおける各ビットの重みに対応して、参照電位Vrefを分割するという構成であったが、本発明はこれに限られず、種々の方式を用いたD/A変換回路に適用可能である。
<Other examples of D / A conversion circuit>
The D / A conversion circuit 160 described above is configured to divide the reference potential Vref corresponding to the weight of each bit in the digital image signal VID. However, the present invention is not limited to this, and various methods are used. The present invention can be applied to the D / A conversion circuit.

例えば、図16に示されるD/A変換回路162のように、ディジタル画像信号VIDにおける各ビットの重みに対応して、基準定電流Irefを分割し加算する、という電流加算型の構成に適用しても良い。このような構成では、出力たるラインLに、ディジタル画像信号VIDにおける各ビットの重みを加算した電流がラインLに流れるため、これをアナログ画像信号とすべく電圧に変換する必要がある。通常、このような電流−電圧変換は、オペアンプを用いれば容易に構成可能であるが、一般的に、精度の良いオペアンプをTFTのみによって構成するのは困難である。このため、ラインLには、オペアンプの替わりに、基準電位にプルダウンする基準抵抗Rrefが設けられ、これによって、ラインLに流れる電流が電圧に変換されることとなる。ここで、基準抵抗Rrefについては、D/A変換回路162のラダー回路近傍に設ける必要がないことから、図16に示されるように、サンプリング回路170の形成領域を挟んで対向する位置に形成するのが望ましい。上述のように、TFTのソース・ドレイン間を高抵抗化すると、当該TFTのサイズが大きくなるが、基準抵抗Rrefを、ラダー回路の抵抗と距離を置いて形成すると、それだけ抵抗を分散させることができるので、スペースが限られるている場合や発熱が問題にされる場合に、特に有効な措置となる。同様な理由で定電流源をD/A変換回路162側ではなく、Rref側に設けてもよい。   For example, as in the D / A conversion circuit 162 shown in FIG. 16, the reference constant current Iref is divided and added corresponding to the weight of each bit in the digital image signal VID. May be. In such a configuration, since a current obtained by adding the weight of each bit in the digital image signal VID to the output line L flows in the line L, it is necessary to convert this into a voltage to be an analog image signal. Normally, such current-voltage conversion can be easily configured by using an operational amplifier, but it is generally difficult to configure a highly accurate operational amplifier only by TFTs. For this reason, the line L is provided with a reference resistor Rref that pulls down to the reference potential instead of the operational amplifier, whereby the current flowing through the line L is converted into a voltage. Here, since it is not necessary to provide the reference resistor Rref in the vicinity of the ladder circuit of the D / A conversion circuit 162, the reference resistor Rref is formed at a position facing the sandwiching region of the sampling circuit 170 as shown in FIG. Is desirable. As described above, when the resistance between the source and drain of the TFT is increased, the size of the TFT increases. However, if the reference resistor Rref is formed at a distance from the resistance of the ladder circuit, the resistance can be dispersed accordingly. This is particularly effective when space is limited or when heat generation is a problem. For the same reason, the constant current source may be provided on the Rref side instead of the D / A conversion circuit 162 side.

なお、図5に示されるような電圧分割型のD/A変換回路160にあっても、ラインLの電位が不定となるのを防ぐために、図16に示されるような基準抵抗Rrefを同様に設けて、ラインLを基準電位にプルダウンする構成としても良い。この構成においても、基準抵抗Vrefを、ラダー回路の抵抗と距離を置いて形成するのが望ましいのは言うまでもない。
また、D/A変換回路にあっては、R−2Rの抵抗ラダーを用いた構成のほか、ディジタル画像信号VIDのうち、最上位ビットMSBから数えてm番目(mは、本実施形態にあっては1、2、3、……、8)のビット信号については、抵抗が2(m−1)Rである抵抗を介して入力し、その後、各ビットの信号を加算する構成、すなわち、いわゆるnビット重み付け抵抗型の構成に適用しても良い。ただし、ディジタル画像信号が多ビット化するにつれて、必要となる抵抗値が指数関数的に増加するので、広い面積を必要とする。このため、上述したR−2Rのラダー回路を用いた構成の方が好ましいと言える。
Even in the voltage division type D / A converter circuit 160 as shown in FIG. 5, in order to prevent the potential of the line L from becoming unstable, the reference resistor Rref as shown in FIG. The line L may be pulled down to the reference potential. Also in this configuration, it is needless to say that the reference resistor Vref is preferably formed at a distance from the ladder circuit resistor.
In the D / A conversion circuit, in addition to the configuration using the R-2R resistance ladder, the digital image signal VID is the m-th counted from the most significant bit MSB (m is in the present embodiment). 1, 2, 3,..., 8) are input via a resistor having a resistance of 2 (m−1) R, and then the signals of each bit are added, that is, The present invention may be applied to a so-called n-bit weighting resistance type configuration. However, since the required resistance value increases exponentially as the digital image signal becomes multi-bit, a large area is required. Therefore, it can be said that the configuration using the R-2R ladder circuit described above is preferable.

さらに、D/A変換回路にあっては、抵抗の替わりに、スイッチドキャパシタを用いた構成、すなわち、スイッチとコンデンサとを組み合わせるとともに、このスイッチをオンオフすることによって、当該コンデンサを見掛けの抵抗に置き換える構成に適用しても良い。
加えて、上述したディジタル画像信号VIDについては8ビットとしたが、これはあくまでも、説明の便宜上であり、これに限られることはない。なお、実施形態のようにディジタル画像信号VIDを8ビットにするとともに、RGBの3原色に対応してカラー表示を行う場合には、1原色に8ビットが対応することになるので、RGB全体では24ビットが対応する結果、約1670万色(正確には224色)のカラー表示が可能となる。
Furthermore, in the D / A converter circuit, a configuration using a switched capacitor instead of a resistor, that is, combining a switch and a capacitor, and turning on and off the switch, the capacitor becomes an apparent resistor. You may apply to the structure which replaces.
In addition, although the digital image signal VID described above is 8 bits, this is merely for convenience of explanation and is not limited to this. When the digital image signal VID is set to 8 bits as in the embodiment and color display is performed corresponding to the three primary colors of RGB, 8 bits correspond to one primary color. 24 bits corresponding results, it is possible to color display 16.7 million colors (more precisely, 2 24 colors).

<極性反転>
ところで、電気光学装置にあっては、液晶などの電気光学材料に直流を印加すると、当該電気光学材料が劣化するので、正極性駆動と負極性駆動とを交互に行う交流駆動方式が一般的である。また、フリッカーや、輝度ムラ、クロストークなどを防止するために、データ信号の印加を、〔1〕走査線単位に極性反転して行う、〔2〕データ単位に極性反転を行う、〔3〕画素単位に極性反転を行うなどの対策がとられる。これらの理由により、データ線114に供給するアナログ画像信号については、上記〔1〕、〔2〕、〔3〕のいずれかに応じて、極性反転を行う必要がある。
<Polarity reversal>
By the way, in an electro-optical device, when a direct current is applied to an electro-optical material such as a liquid crystal, the electro-optical material is deteriorated. Therefore, an AC driving method in which positive polarity driving and negative polarity driving are alternately performed is common. is there. Further, in order to prevent flicker, luminance unevenness, crosstalk, and the like, data signals are applied by [1] polarity inversion for each scanning line, [2] polarity inversion for each data unit, [3] Measures such as polarity inversion for each pixel are taken. For these reasons, it is necessary to invert the polarity of the analog image signal supplied to the data line 114 in accordance with any one of [1], [2], and [3].

このように極性反転を行う場合、図5に示されるD/A変換回路160にあっては、正極性駆動の際には参照電位を+Vrefとし、負極性駆動の際には参照電位を−Vrefとして供給する構成とすれば良い。一方、図16に示されるD/A変換回路162にあっては、正極性駆動の際には基準定電流を+Irefとし、負極性駆動の際には基準定電流を−Irefとして供給する構成とすれば良い。なお、ここでいう極性反転は、上述したように、アナログ画像信号の振幅中心電位を基準電位として、その電圧レベルまたは電流方向を交互に反転させることをいう。   When polarity inversion is performed in this way, in the D / A conversion circuit 160 shown in FIG. 5, the reference potential is set to + Vref during positive polarity driving and the reference potential is set to −Vref during negative polarity driving. It may be configured to supply as. On the other hand, in the D / A conversion circuit 162 shown in FIG. 16, a reference constant current is supplied as + Iref during positive polarity driving, and a reference constant current is supplied as -Iref during negative polarity driving. Just do it. Note that the polarity inversion here refers to alternately inverting the voltage level or current direction with the amplitude center potential of the analog image signal as the reference potential, as described above.

また、参照電位Vref、または、基準定電流Irefを反転させるのではなく、ディジタル画像信号VIDのうち、1ビットを極性情報として割り当てる構成でも、もちろん良い。ただし、この構成では、階調数が実質的に1ビット分減少してしまう。   Further, it is of course possible to adopt a configuration in which one bit of the digital image signal VID is assigned as polarity information instead of inverting the reference potential Vref or the reference constant current Iref. However, with this configuration, the number of gradations is substantially reduced by 1 bit.

<液晶パネルの構成例>
次に、上述した電気的構成に係る液晶パネル100の全体構成について図17および図18を参照して説明する。ここで、図17は、液晶パネル100の構成を示す斜視図であり、図18は、図17におけるA−A’線断面図である。
<Configuration example of liquid crystal panel>
Next, the overall configuration of the liquid crystal panel 100 according to the electrical configuration described above will be described with reference to FIGS. 17 and 18. Here, FIG. 17 is a perspective view showing a configuration of the liquid crystal panel 100, and FIG. 18 is a cross-sectional view taken along the line AA 'in FIG.

これらの図に示されるように、液晶パネル100は、画素電極118等が形成された素子基板101と、共通電極108等が形成されたガラス等の透明な対向基板102とを、スペーサ103が混入されたシール材104によって一定の間隙を保って、互いに電極形成面が対向するように貼り合わせるとともに、この間隙に電気光学材料としての液晶105を封入した構造となっている。なお、シール材104は、対向基板102の基板周辺に沿って形成されるが、液晶105を封入するために一部が開口している。このため、液晶105の注入後に、その開口部分が封止材106によって封止されている。   As shown in these drawings, in the liquid crystal panel 100, a spacer 103 is mixed between an element substrate 101 on which pixel electrodes 118 and the like are formed and a transparent counter substrate 102 such as glass on which a common electrode 108 and the like are formed. The sealing material 104 is bonded so that the electrode forming surfaces face each other while maintaining a certain gap, and a liquid crystal 105 as an electro-optic material is sealed in the gap. Note that the sealant 104 is formed along the periphery of the counter substrate 102, but a part thereof is opened to enclose the liquid crystal 105. Therefore, after the liquid crystal 105 is injected, the opening is sealed with the sealing material 106.

ここで、素子基板101の対向面であって、シール材104の外側一辺においては、上述したデータ線駆動回路140、パルス幅制限回路150およびサンプリング回路170が形成されて、Y方向に延在するデータ線114を駆動する構成となっている。さらに、この一辺には複数の接続電極107が形成されて、上述した各種のタイミング信号や、ディジタル画像信号VIDなどを入力する構成となっている。また、この一辺に隣接する2辺には、2個の走査線駆動回路130およびD/A変換回路160が形成されて、X方向に延在する走査線112およびラインLを、それぞれ両側から駆動する構成となっている。なお、走査線112に供給される走査信号の遅延およびラインLに供給されるアナログ画像信号の遅延が問題にならないのであれば、走査線駆動回路130およびD/A変換回路160を片側1辺に1個だけに形成する構成でも良い。また、D/A変換回路160のラダー回路が、例えば図17または図18において※3で示される位置に片側1辺に設けられるのであれば、これに対向する※4(図18参照)で示される位置に基準抵抗Rrefが設けられることとなる。ほかに、素子基板101においては、データ線114への画像信号の書込負荷を低減するために、各データ線114を、アナログ画像信号の供給に先行するタイミングにおいて所定電位にプリチャージするプリチャージ回路を形成しても良い。   Here, the data line driving circuit 140, the pulse width limiting circuit 150, and the sampling circuit 170 described above are formed on the opposite surface of the element substrate 101 and on the outer side of the sealing material 104, and extend in the Y direction. The data line 114 is driven. Further, a plurality of connection electrodes 107 are formed on this side, and the various timing signals described above, the digital image signal VID, and the like are input. In addition, two scanning line driving circuits 130 and a D / A conversion circuit 160 are formed on two sides adjacent to the one side, and the scanning line 112 and the line L extending in the X direction are driven from both sides. It is the composition to do. Note that if the delay of the scanning signal supplied to the scanning line 112 and the delay of the analog image signal supplied to the line L are not a problem, the scanning line driving circuit 130 and the D / A conversion circuit 160 are arranged on one side of one side. The structure formed in only one may be sufficient. Further, if the ladder circuit of the D / A conversion circuit 160 is provided on one side on one side, for example, at the position indicated by * 3 in FIG. 17 or FIG. 18, it is indicated by * 4 (see FIG. 18) facing this. The reference resistor Rref is provided at the position where the signal is to be transmitted. In addition, in the element substrate 101, in order to reduce the writing load of the image signal to the data line 114, each data line 114 is precharged to a predetermined potential at a timing preceding the supply of the analog image signal. A circuit may be formed.

一方、対向基板102の共通電極108は、素子基板101との貼合部分における4隅のうち、少なくとも1箇所において設けられた導通材によって、素子基板101との電気的導通が図られている。ほかに、対向基板102には、液晶パネル100の用途に応じて、例えば、第1に、ストライプ状や、モザイク状、トライアングル状等に配列したカラーフィルタが設けられ、第2に、例えば、クロムやアルミニウムなどの金属材料や、カーボンなどをフォトレジストに分散した樹脂ブラックなどのブラックマトリクスが設けられ、第3に、透明導電膜が設けられる。なお、色光変調の用途の場合には、カラーフィルタは形成されずにブラックマトリクスと透明導電膜が対向基板102に設けられる。さらに、光利用効率の向上を図るときには、各画素に対応したマイクロレンズがアレイ状に配列される。   On the other hand, the common electrode 108 of the counter substrate 102 is electrically connected to the element substrate 101 by a conductive material provided in at least one of the four corners of the bonding portion with the element substrate 101. In addition, the counter substrate 102 is provided with color filters arranged in a stripe shape, a mosaic shape, a triangle shape, or the like according to the use of the liquid crystal panel 100, and secondly, for example, chromium. A metal material such as aluminum or aluminum, or a black matrix such as resin black in which carbon or the like is dispersed in a photoresist, is provided, and third, a transparent conductive film is provided. In the case of color light modulation, a black matrix and a transparent conductive film are provided on the counter substrate 102 without forming a color filter. Furthermore, when improving the light utilization efficiency, microlenses corresponding to each pixel are arranged in an array.

くわえて、素子基板101および対向基板102の対向面には、それぞれ所定の配向処理された配向膜などが設けられる一方、その各背面側には配向方向に応じた偏光子(図示省略)がそれぞれ設けられる。ただし、液晶105として、高分子中に微小粒として分散させた高分子分散型液晶を用いれば、前述した配向膜や、偏光子等が不要となるので、光利用効率が高まる結果、高輝度化や低消費電力化などの点において有利である。
なお、周辺回路120の一部または全部を、素子基板101に形成する替わりに、例えば、TAB(Tape Automated Bonding)技術を用いてフィルムに実装された駆動用ICチップを、素子基板101の所定位置に設けられる異方性導電フィルムを介して電気的および機械的に接続する構成としても良いし、駆動用ICチップ自体を、COG(Chip On Grass)技術を用いて、素子基板101の所定位置に異方性導電フィルムを介して電気的および機械的に接続する構成としても良い。
In addition, the opposing surfaces of the element substrate 101 and the counter substrate 102 are each provided with an alignment film that has been subjected to a predetermined alignment process, and a polarizer (not shown) corresponding to the alignment direction is provided on each back side thereof. Provided. However, if the polymer dispersion type liquid crystal dispersed as fine particles in the polymer is used as the liquid crystal 105, the alignment film, the polarizer and the like described above are unnecessary, and as a result, the light utilization efficiency is increased, resulting in higher luminance. This is advantageous in terms of reducing power consumption.
Instead of forming part or all of the peripheral circuit 120 on the element substrate 101, for example, a driving IC chip mounted on a film by using a TAB (Tape Automated Bonding) technique is used. The driving IC chip itself may be connected to a predetermined position of the element substrate 101 using COG (Chip On Grass) technology. It is good also as a structure electrically and mechanically connected through an anisotropic conductive film.

<第1実施形態の変形>
ここで、上述した第1実施形態の変形例について、図19を参照して説明する。図19は、この変形例に係る液晶パネルの全体構成を示すブロック図である。図1に示される第1実施形態では、D/A変換回路160によって変換されたアナログ画像信号を、サンプリング回路170の各TFT171が、サンプリング信号S1〜Snにしたがってサンプリングして、各データ線114に供給する構成であったが、この変形例にあっては、図19に示されるように、第1ラッチ回路181および第2ラッチ回路182によってラッチして、各データ線114に供給する構成となっている。
<Modification of First Embodiment>
Here, a modification of the above-described first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 19 is a block diagram showing an overall configuration of a liquid crystal panel according to this modification. In the first embodiment shown in FIG. 1, the analog image signal converted by the D / A conversion circuit 160 is sampled by the TFTs 171 of the sampling circuit 170 according to the sampling signals S <b> 1 to Sn, and is applied to the data lines 114. In this modification, as shown in FIG. 19, the first latch circuit 181 and the second latch circuit 182 latch the data and supply the data lines 114. ing.

ここで、第1ラッチ回路181は、データ線駆動回路140によって出力されるサンプリング信号S1〜Snにしたがって、D/A変換回路160によるアナログ画像信号を順番にラッチするものであり、また、第2ラッチ回路182は、第1ラッチ回路181においてラッチされた各アナログ画像信号を、水平帰線期間に出力されるラッチ信号LPにしたがって、一斉にそれぞれデータ線114に供給するものである。
この構成では、第1ラッチ回路181によって順番にラッチされたアナログ画像信号が、同時にすべてのデータ線114に供給されて、選択された走査線112と交差する画素に書き込まれるので、クロック信号CLXおよび反転クロック信号CLXINVのデューティ比などに起因して発生する表示むらが軽減される。このため、ディジタル画像信号による鮮明な映像が劣化するのが多少なりとも防止されることとなる。
Here, the first latch circuit 181 sequentially latches the analog image signal by the D / A conversion circuit 160 in accordance with the sampling signals S1 to Sn output by the data line driving circuit 140, and the second The latch circuit 182 supplies each analog image signal latched in the first latch circuit 181 to the data lines 114 all at once according to the latch signal LP output in the horizontal blanking period.
In this configuration, the analog image signals sequentially latched by the first latch circuit 181 are supplied to all the data lines 114 at the same time and written to the pixels intersecting with the selected scanning lines 112, so that the clock signals CLX and Display unevenness caused by the duty ratio of the inverted clock signal CLXINV is reduced. For this reason, it is possible to prevent the sharp image by the digital image signal from being deteriorated to some extent.

なお、ラッチ信号LPは、水平帰線期間に供給される必要はなく、水平走査に同期する信号であれば足りる。また、ラッチ回路をデータ線114の1本に対してさらに、3段以上設ける構成であっても良い。   Note that the latch signal LP need not be supplied during the horizontal blanking period, and may be a signal that is synchronized with the horizontal scanning. In addition, a configuration in which three or more latch circuits are further provided for one data line 114 may be employed.

(第2実施形態)
上述した第1実施形態にあっては、液晶パネル100に形成されたD/A変換回路160によってディジタル画像信号VIDをアナログ画像信号に変換して、ラインLに供給する構成としたが、ラインLは、サンプリング信号S1〜Snが供給される信号線と交差するために、これらの容量結合の影響を受けやすい。このため、第1実施形態にあっては、ディジタル画像信号VIDを直接入力する構成ではあるが、変換後のアナログ画像信号が劣化して、表示品質が少なからず低下する、という問題が想起される。
(Second Embodiment)
In the first embodiment described above, the digital image signal VID is converted into an analog image signal by the D / A conversion circuit 160 formed in the liquid crystal panel 100 and supplied to the line L. However, the line L Is easily affected by these capacitive couplings because it intersects the signal lines to which the sampling signals S1 to Sn are supplied. For this reason, in the first embodiment, although the digital image signal VID is directly input, there is a problem that the converted analog image signal is deteriorated and the display quality is deteriorated. .

そこで、この問題を解決した第2実施形態について説明することとする。図20は、この第2実施形態に係る駆動回路が適用される液晶パネルの電気的構成を示すブロック図である。この図に示される液晶パネルが、第1実施形態の液晶パネル(図1参照)と相違する点は、パルス幅制限回路150およびサンプリング回路170が廃されるとともに、D/A変換回路162が各データ線162に対応して設けられている点にある。なお、そのほかの点については、図1に示される液晶パネルと同一であるので、説明を省略することとする。   Therefore, a second embodiment that solves this problem will be described. FIG. 20 is a block diagram showing an electrical configuration of a liquid crystal panel to which the drive circuit according to the second embodiment is applied. The liquid crystal panel shown in this figure is different from the liquid crystal panel of the first embodiment (see FIG. 1) in that the pulse width limiting circuit 150 and the sampling circuit 170 are eliminated, and the D / A conversion circuit 162 This is in the point provided corresponding to the data line 162. Since the other points are the same as those of the liquid crystal panel shown in FIG.

ここで、D/A変換回路162について、図20において左からi段目(i=1、2、3、……、n)のデータ線114に対応するD/A変換回路162を例にとって説明する。図21は、このD/A変換回路162の等価回路を示す図である。この図に示されるD/A変換回路162は、各ビットに対応してスイッチSw1〜Sw8と、抵抗値がR、2Rからなるラダー回路とを有する点において、図5に示されるD/A変換回路160と共通であるが、各スイッチSw1〜Sw8のスイッチングを制御するスイッチ・コントロールユニット1620をさらに有する点と、出力端Eoutがデータ線114に直接接続されている点とにおいて、図5に示されるD/A変換回路160と相違する。   Here, the D / A conversion circuit 162 will be described taking the D / A conversion circuit 162 corresponding to the data line 114 at the i-th stage (i = 1, 2, 3,..., N) from the left in FIG. 20 as an example. To do. FIG. 21 is a diagram showing an equivalent circuit of the D / A conversion circuit 162. The D / A conversion circuit 162 shown in this figure has D / A conversion shown in FIG. 5 in that it has switches Sw1 to Sw8 corresponding to each bit and a ladder circuit having resistance values R and 2R. Although common to the circuit 160, it is shown in FIG. 5 in that it further includes a switch / control unit 1620 for controlling the switching of each of the switches Sw1 to Sw8 and that the output terminal Eout is directly connected to the data line 114. This is different from the D / A conversion circuit 160.

ここで、スイッチ・コントロールユニット1620は、データ線駆動回路140のうち、対応する単位回路Riから出力される信号Si’の立ち下がりにおいて、ディジタル画像信号VIDの各ビット信号をラッチし、そのラッチした各ビット信号に応じてスイッチSw1〜Sw8をオンオフさせるものである。   Here, the switch control unit 1620 latches each bit signal of the digital image signal VID at the falling edge of the signal Si ′ output from the corresponding unit circuit Ri in the data line driving circuit 140, and latches the latch. The switches Sw1 to Sw8 are turned on / off according to each bit signal.

なお、D/A変換回路162は、図21に示される例にあっては電圧分割型であるが、図22に示されるような電流加算型を用いても良い。ただし、図16に示される例と同様に、ディジタル画像信号VIDにおける各ビットの重みに対応して加算した電流を、電圧に変換する基準抵抗Rrefが設けられる。なお、基準抵抗Rrefは、抵抗を分散させる観点から、表示領域110を挟んで対向した位置に設けられる。すなわち、D/A変換回路160のラダー回路が、例えば図18において※3で示される位置に設けられるのであれば、これに対向する※4で示される位置に基準抵抗Rrefが設けられることとなる。ここで、基準抵抗Vrefが、TFTにおけるソース・ドレイン間の抵抗によって形成されるのであれば、当該TFTのソースを、プリチャージ信号を供給する信号線にも切替可能とすれば、当該TFTを、プリチャージ回路のスイッチとして兼用することができ、構成の簡略化に寄与することとなる。   The D / A conversion circuit 162 is a voltage division type in the example shown in FIG. 21, but a current addition type as shown in FIG. 22 may be used. However, as in the example shown in FIG. 16, a reference resistor Rref is provided for converting a current obtained by adding corresponding to the weight of each bit in the digital image signal VID into a voltage. The reference resistance Rref is provided at a position facing the display area 110 from the viewpoint of dispersing the resistance. That is, if the ladder circuit of the D / A conversion circuit 160 is provided at a position indicated by * 3 in FIG. 18, for example, the reference resistor Rref is provided at a position indicated by * 4 opposite to the ladder circuit. . Here, if the reference resistance Vref is formed by the resistance between the source and drain in the TFT, the TFT can be switched if the source of the TFT can be switched to a signal line that supplies a precharge signal. It can also be used as a switch for the precharge circuit, which contributes to simplification of the configuration.

次に、第2実施形態に係る液晶パネルの動作について、図23に示されるタイミングチャートを参照して説明する。すでに第1実施形態において説明したように、データ線駆動回路140における単位回路R1〜Rnからは、転送開始パルスDXをクロック信号CLXおよびその反転クロック信号CLXINVの半周期だけ順次シフトした信号S1’〜Sn’が出力される。   Next, the operation of the liquid crystal panel according to the second embodiment will be described with reference to the timing chart shown in FIG. As already described in the first embodiment, from the unit circuits R1 to Rn in the data line driving circuit 140, the signal S1 ′ to which the transfer start pulse DX is sequentially shifted by the half cycle of the clock signal CLX and its inverted clock signal CLXINV. Sn 'is output.

ここで、信号S1’の立ち下がりタイミングt13においては、第1段目のD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VIDをラッチする。これにより、ラッチされた各ビット信号の重みに対応して変換されたアナログ画像信号が、第1段目のデータ線114に供給されて、現時点で選択された走査線と交差する画素に、当該TFT116によって書き込まれることとなる。   Here, at the falling timing t13 of the signal S1 ', the first-stage D / A conversion circuit 162 latches the digital image signal VID. As a result, the analog image signal converted corresponding to the weight of each latched bit signal is supplied to the first-stage data line 114, and the pixel crossing the currently selected scan line is It is written by the TFT 116.

次に、信号S2’の立ち下がりタイミングt14においては、第2段目のD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VIDをラッチする。これにより、ラッチされた各ビット信号の重みに対応して変換されたアナログ画像信号が、第2段目のデータ線114に供給されて、現時点で選択された走査線と交差する画素に、当該TFT116によって書き込まれることとなる。   Next, at the falling timing t14 of the signal S2 ', the second-stage D / A conversion circuit 162 latches the digital image signal VID. As a result, the analog image signal converted corresponding to the weight of each latched bit signal is supplied to the second-stage data line 114, and the pixel crossing the currently selected scan line is It is written by the TFT 116.

以下同様にして、信号S3’、S4’、……、Sn’の立ち下がりタイミングにおいて、その信号が供給されるD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VIDをラッチして、これにより、ラッチされた各ビット信号の重みに対応して変換されたアナログ画像信号が、対応するデータ線114に供給されて、現時点で選択された走査線と交差する画素に、当該TFT116によって順次書き込まれることとなる。   Similarly, at the falling timing of the signals S3 ′, S4 ′,..., Sn ′, the D / A conversion circuit 162 to which the signals are supplied latches the digital image signal VID, thereby latching. The analog image signal converted in accordance with the weight of each bit signal is supplied to the corresponding data line 114 and sequentially written by the TFT 116 in the pixel intersecting with the currently selected scanning line. Become.

このように第2実施形態によれば、ディジタル画像信号VIDが、データ線114の各々に対応して設けられたD/A変換回路162まで供給されるので、第1実施形態のように、変換後のアナログ画像信号が劣化する可能性をより低く抑えることが可能となる。   As described above, according to the second embodiment, the digital image signal VID is supplied to the D / A conversion circuit 162 provided corresponding to each of the data lines 114, so that the conversion is performed as in the first embodiment. It is possible to further reduce the possibility that the later analog image signal will deteriorate.

ところで、第2実施形態にあっては、走査線112の1本が選択された場合に、D/A変換回路162の各々が、信号S1’〜Sn’の各立ち下がりタイミングにおいて、順番にディジタル画像信号VIDをラッチして、その都度、アナログ画像信号を対応するデータ線114に供給する構成としたが、本発明はこれに限られない。例えば、D/A変換回路162の各々が、ディジタル画像信号VIDを順番にラッチした後、すべてのD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VIDをラッチしたならば、アナログ画像信号をすべてのデータ線114に対して一括して供給する構成としても良い。すなわち、実施形態のように点順次駆動方式ではなく、線順次駆動方式としても良い。   By the way, in the second embodiment, when one of the scanning lines 112 is selected, each of the D / A conversion circuits 162 is sequentially digitalized at each falling timing of the signals S1 ′ to Sn ′. Although the image signal VID is latched and the analog image signal is supplied to the corresponding data line 114 each time, the present invention is not limited to this. For example, if each of the D / A conversion circuits 162 latches the digital image signal VID after each of the D / A conversion circuits 162 sequentially latches the digital image signal VID, the analog image signal is converted into all data. A configuration may be used in which the lines 114 are supplied collectively. That is, instead of the dot sequential driving method as in the embodiment, a line sequential driving method may be used.

(第3実施形態)
上述した第2実施形態にあっては、単に、データ線114の各々に対応してD/A変換回路162を設ける構成としたが、1個のD/A変換回路162を形成するためには、ラダー回路を構成する抵抗を多数形成する必要があるので、比較的広い面積が必要とされる。このため、第2実施形態のように、データ線114の各々に対応するD/A変換回路162を、信号S1’〜Sn’が供給される信号線に対して交差する方向に一行に配列させる構成では、データ線114のピッチが狭い場合や、基板面積の制約が大きい場合などでは、不利となる。
(Third embodiment)
In the second embodiment described above, the D / A conversion circuit 162 is simply provided corresponding to each of the data lines 114, but in order to form one D / A conversion circuit 162, Since it is necessary to form a large number of resistors constituting the ladder circuit, a relatively large area is required. Therefore, as in the second embodiment, the D / A conversion circuits 162 corresponding to each of the data lines 114 are arranged in a line in a direction intersecting the signal lines to which the signals S1 ′ to Sn ′ are supplied. This configuration is disadvantageous when the pitch of the data lines 114 is narrow or when the substrate area is largely limited.

そこで、この問題点を解決した第3実施形態について説明することとする。図24は、この第3実施形態に係る駆動回路が適用される液晶パネルの電気的構成を示すブロック図である。この図に示される液晶パネルが、第2実施形態の液晶パネル(図20参照)と相違する点は、D/A変換回路162が、各データ線114に対して交互に配置されるとともに、奇数段目に位置するD/A変換回路162にはディジタル画像信号VID1が供給される一方、偶数段目に位置するD/A変換回路162にはディジタル画像信号VID2が供給される点にある。また、図24において、ディジタル画像信号VID1、VID2は、本来1系統で供給されるディジタル画像信号を、時間軸に伸長して2系統に振り分けたものである。なお、そのほかの点については、図1や図20に示される液晶パネルと同一であるので、説明を省略することとする。   Therefore, a third embodiment that solves this problem will be described. FIG. 24 is a block diagram showing an electrical configuration of a liquid crystal panel to which the drive circuit according to the third embodiment is applied. The liquid crystal panel shown in this figure is different from the liquid crystal panel of the second embodiment (see FIG. 20) in that the D / A conversion circuit 162 is alternately arranged with respect to each data line 114 and is odd. The digital image signal VID1 is supplied to the D / A conversion circuit 162 located at the stage, while the digital image signal VID2 is supplied to the D / A conversion circuit 162 located at the even stage. In FIG. 24, digital image signals VID1 and VID2 are obtained by extending a digital image signal originally supplied from one system to two systems by extending the time axis. Since the other points are the same as those of the liquid crystal panel shown in FIG. 1 or 20, description thereof will be omitted.

次に、第3実施形態に係る液晶パネルの動作について、図25に示されるタイミングチャートを参照して説明する。すでに第1実施形態において説明したように、データ線駆動回路140における単位回路R1〜Rnからは、転送開始パルスDXをクロック信号CLXおよびその反転クロック信号CLXINVの半周期だけ順次シフトした信号S1’〜Sn’が出力される。   Next, the operation of the liquid crystal panel according to the third embodiment will be described with reference to the timing chart shown in FIG. As already described in the first embodiment, from the unit circuits R1 to Rn in the data line driving circuit 140, the signal S1 ′ to which the transfer start pulse DX is sequentially shifted by the half cycle of the clock signal CLX and its inverted clock signal CLXINV. Sn 'is output.

ここで、信号S1’の立ち下がりタイミングt13においては、図24にて第1段目に位置するD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VID1をラッチする。これにより、ラッチされた各ビット信号の重みに対応して変換されたアナログ画像信号が、第1段目に位置するデータ線114に供給されて、現時点で選択された走査線と交差する画素に、当該TFT116によって書き込まれることとなる。   Here, at the falling timing t13 of the signal S1 ', the D / A conversion circuit 162 located at the first stage in FIG. 24 latches the digital image signal VID1. As a result, the analog image signal converted in accordance with the weight of each latched bit signal is supplied to the data line 114 located in the first stage, and is supplied to the pixel intersecting with the currently selected scanning line. The data is written by the TFT 116.

次に、信号S2’の立ち下がりタイミングt14においては、図24にて第2段目に位置するD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VID2をラッチする。これにより、ラッチされた各ビット信号の重みに対応して変換されたアナログ画像信号が、第2段目に位置するデータ線114に供給されて、現時点で選択された走査線と交差する画素に、当該TFT116によって書き込まれることとなる。   Next, at the falling timing t14 of the signal S2 ', the D / A conversion circuit 162 located at the second stage in FIG. 24 latches the digital image signal VID2. As a result, the analog image signal converted in accordance with the weight of each latched bit signal is supplied to the data line 114 located in the second stage, and the pixel intersecting with the currently selected scanning line is supplied to the pixel. The data is written by the TFT 116.

以下同様にして、信号S3’、S4’、……、Sn’の立ち下がりタイミングにおいて、奇数段目に位置するD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VID1をラッチして、各ビット信号の重みに対応して変換したアナログ画像信号を対応データ線114に供給した後、これに続く偶数段目に位置するD/A変換回路162が、ディジタル画像信号VID2をラッチして、各ビット信号の重みに対応して変換したアナログ画像信号を、対応データ線114に供給して、その時点で選択された走査線と交差する画素に、当該TFT116によって順次書き込まれることとなる。   Similarly, at the falling timing of the signals S3 ′, S4 ′,..., Sn ′, the D / A conversion circuit 162 located at the odd-numbered stage latches the digital image signal VID1 and outputs each bit signal. After the analog image signal converted in accordance with the weight is supplied to the corresponding data line 114, the D / A conversion circuit 162 located in the subsequent even number stage latches the digital image signal VID2 and outputs each bit signal. The analog image signal converted in accordance with the weight is supplied to the corresponding data line 114, and is sequentially written by the TFT 116 in the pixel intersecting with the scanning line selected at that time.

このような第3実施形態によれば、奇数段目に位置するD/A変換回路162と、偶数段目に位置するD/A変換回路162とを、データ線114の配列に対して千鳥状に交互配置したので、データ線114のピッチが狭く、これに対応して信号S1’〜Sn’が供給される信号線のピッチが狭い場合であっても、D/A変換回路162を形成するために必要な面積を比較的容易に確保することが可能となる。   According to the third embodiment, the D / A conversion circuit 162 located at the odd-numbered stage and the D / A conversion circuit 162 located at the even-numbered stage are staggered with respect to the arrangement of the data lines 114. The D / A conversion circuit 162 is formed even when the pitch of the data lines 114 is narrow and the pitch of the signal lines to which the signals S1 ′ to Sn ′ are supplied correspondingly is narrow. For this reason, it is possible to secure a necessary area relatively easily.

また、高解像度になるにつれ、一般に、電気光学装置におけるクロック周波数が高くなるので、アナログ画像信号のサンプリング能力が不足したり、駆動回路を構成するTFTの遅延が表示品質に悪影響を及ぼすことがある。これに対し、第3実施形態によれば、時間軸に伸長されて2系統に展開されたディジタル画像信号VID1、VID2を入力するので、データ線側の駆動周波数が実質的に1/2に低下することになる。このため、駆動回路を構成するTFTの性能を向上させることなく、高解像度化に対応することが可能となる。   Also, as the resolution is increased, the clock frequency in the electro-optical device generally increases, so that the sampling ability of the analog image signal is insufficient, and the delay of the TFTs constituting the drive circuit may adversely affect the display quality. . On the other hand, according to the third embodiment, since the digital image signals VID1 and VID2 expanded on the time axis and expanded into two systems are input, the drive frequency on the data line side is substantially reduced to ½. Will do. For this reason, it is possible to cope with higher resolution without improving the performance of the TFT constituting the drive circuit.

なお、第3実施形態にあっては、ディジタル画像信号を2系統に展開して供給する構成としたが、この展開数については、3以上としても良い。このような展開数としては、カラーの画像信号が3つの原色に対応する信号からなることとの関係上、から、3の倍数であることが制御や回路を簡易化する上で好ましい。   In the third embodiment, the digital image signal is developed and supplied in two systems, but the number of development may be three or more. In view of the fact that the color image signal is composed of signals corresponding to the three primary colors, the number of expansions is preferably a multiple of 3 in order to simplify the control and the circuit.

さらに、第3実施形態にあっては、第2実施形態と同様に、D/A変換回路162の各々が、ディジタル画像信号VIDを順番にラッチするとともに、すべてのD/A変換回路162がディジタル画像信号VIDをラッチしたならば、アナログ画像信号を一括して供給する構成として、走査線112毎に順次駆動する方式としても良い。   Further, in the third embodiment, as in the second embodiment, each of the D / A conversion circuits 162 sequentially latches the digital image signal VID, and all the D / A conversion circuits 162 are digital. If the image signal VID is latched, an analog image signal may be supplied all at once, so that the scanning lines 112 are sequentially driven.

<走査方向や、素子基板の構成など>
上述した各実施形態においては、走査線駆動回路130が、走査線112を図1、図20または図24において上から下方向へ選択し、データ線駆動回路140が、データ線114を図1、図20または図24において左から右方向へ選択するというように、いずれも一方向のみに供給する構成としたが、双方向に転送可能なシフトレジスタを用いて、走査線112を上方向にも下方向に選択可能とするとともに、データ線114を左方向にも右方向にも選択可能としても良い。
<Scanning direction, element substrate configuration, etc.>
In each of the embodiments described above, the scanning line driving circuit 130 selects the scanning line 112 from the top to the bottom in FIG. 1, FIG. 20, or FIG. 24, and the data line driving circuit 140 selects the data line 114 in FIG. 20 or FIG. 24, in which all are supplied in only one direction, such as selecting from left to right, the scanning line 112 is also moved upward using a shift register capable of bidirectional transfer. It is possible to select the data line 114 in the downward direction and select the data line 114 in the left direction or the right direction.

また、上述した各実施形態においては、液晶パネル100の素子基板101をガラス等の透明な絶縁性基板により構成して、当該基板上にポリシリコン層を形成するとともに、当該ポリシリコン層にソース、ドレイン、チャネルが形成されたTFTによって、画素のスイッチング素子(TFT116)や、周辺回路120の(抵抗を含む)構成素子を構成するとして説明したが、本発明はこれに限られるものではない。   Further, in each of the above-described embodiments, the element substrate 101 of the liquid crystal panel 100 is configured by a transparent insulating substrate such as glass, and a polysilicon layer is formed on the substrate, and a source, Although it has been described that the TFT in which the drain and the channel are formed constitutes the switching element (TFT 116) of the pixel and the constituent element (including the resistor) of the peripheral circuit 120, the present invention is not limited to this.

例えば、素子基板101を半導体基板により構成して、当該半導体基板の表面にソース、ドレイン、チャネルが形成された絶縁ゲート型電界効果トランジスタによって、画素のスイッチング素子や周辺回路120の構成素子を形成しても良い。このように素子基板101を半導体基板により構成する場合には、透過型の表示パネルとして用いることができないため、画素電極118をアルミニウムなどで形成して、反射型として用いられることとなる。また、単に、素子基板101を透明基板として、画素電極118を反射型にしても良い。   For example, the element substrate 101 is formed of a semiconductor substrate, and a switching element of the pixel or a component of the peripheral circuit 120 is formed by an insulated gate field effect transistor in which a source, a drain, and a channel are formed on the surface of the semiconductor substrate. May be. When the element substrate 101 is formed of a semiconductor substrate as described above, it cannot be used as a transmissive display panel. Therefore, the pixel electrode 118 is formed of aluminum or the like and used as a reflective type. Alternatively, the element substrate 101 may be a transparent substrate and the pixel electrode 118 may be a reflection type.

さらに、電気光学材料としては、液晶のほかに、エレクトロ・ルミネッセンス素子などを用いて、その電気光学効果により表示を行う表示装置にも適用可能である。すなわち、本発明は、上述した液晶表示装置と類似の構成を有するすべての電気光学装置に適用可能である。   Furthermore, as an electro-optic material, in addition to liquid crystal, an electroluminescence element or the like can be used for a display device that performs display by the electro-optic effect. That is, the present invention is applicable to all electro-optical devices having a configuration similar to that of the liquid crystal display device described above.

<電子機器>
次に、上述した液晶表示装置を各種の電子機器に適用される場合について説明する。この場合、電子機器は、図26に示されるように、主に、表示情報出力源1000、表示情報処理回路1002、電源回路1004、液晶パネル100、周辺回路120、および、タイミングジェネレータ200により構成される。このうち、表示情報出力源1000は、ROM(Read Only Memory)や、RAM(Random Access Memory)などのメモリ、各種ディスクなどのストレージユニット、ディジタル画像信号を同調出力する同調回路などを備え、タイミングジェネレータ200により生成される各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの表示情報を表示情報処理回路1002に供給するものである。次に、表示情報処理回路1002は、上記第3実施形態において用いられる時間軸伸長回路や分配回路のほか、増幅・反転回路や、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像信号をクロック信号CLKとともに、周辺回路120に供給するものである。また、電源回路1004は、各構成要素に所定の電源を供給するものである。
<Electronic equipment>
Next, the case where the above-described liquid crystal display device is applied to various electronic devices will be described. In this case, as shown in FIG. 26, the electronic device is mainly configured by a display information output source 1000, a display information processing circuit 1002, a power supply circuit 1004, a liquid crystal panel 100, a peripheral circuit 120, and a timing generator 200. The Among these, the display information output source 1000 includes a memory such as a ROM (Read Only Memory) and a RAM (Random Access Memory), a storage unit such as various disks, a tuning circuit that tunes and outputs a digital image signal, and the like. Display information such as an image signal in a predetermined format is supplied to the display information processing circuit 1002 based on the various clock signals generated by 200. Next, the display information processing circuit 1002 includes well-known various circuits such as an amplification / inversion circuit, a rotation circuit, a gamma correction circuit, and a clamp circuit in addition to the time axis expansion circuit and the distribution circuit used in the third embodiment. And processing the inputted display information, and supplying the image signal to the peripheral circuit 120 together with the clock signal CLK. The power supply circuit 1004 supplies predetermined power to each component.

次に、上述した液晶表示装置を具体的な電子機器に用いた例のいくつかについて説明する。   Next, some examples in which the above-described liquid crystal display device is used in a specific electronic device will be described.

<その1:プロジェクタ>
まず、この液晶パネルをライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図27は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。
<Part 1: Projector>
First, a projector using this liquid crystal panel as a light valve will be described. FIG. 27 is a plan view showing a configuration example of the projector.

この図に示されるように、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド1104内に配置された4枚のミラー1106および2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gに入射される。   As shown in this figure, a lamp unit 1102 including a white light source such as a halogen lamp is provided inside the projector 1100. The projection light emitted from the lamp unit 1102 is separated into three primary colors of RGB by four mirrors 1106 and two dichroic mirrors 1108 arranged in the light guide 1104, and serves as a light valve corresponding to each primary color. The light enters the liquid crystal panels 1110R, 1110B, and 1110G.

液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gの構成は、上述した液晶パネル100と同等であり、画像信号処理回路(図示省略)から供給されるR、G、Bの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム1112に3方向から入射される。このダイクロイックプリズム1112においては、RおよびBの光が90度に屈折する一方、Gの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ1114を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。   The configuration of the liquid crystal panels 1110R, 1110B, and 1110G is the same as that of the liquid crystal panel 100 described above, and is driven by R, G, and B primary color signals supplied from an image signal processing circuit (not shown). The light modulated by these liquid crystal panels enters the dichroic prism 1112 from three directions. In this dichroic prism 1112, R and B light is refracted at 90 degrees, while G light travels straight. Accordingly, as a result of the synthesis of the images of the respective colors, a color image is projected onto the screen or the like via the projection lens 1114.

なお、液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gには、ダイクロイックミラー1108によって、R、G、Bの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。   Note that since light corresponding to the primary colors R, G, and B is incident on the liquid crystal panels 1110R, 1110B, and 1110G by the dichroic mirror 1108, it is not necessary to provide a color filter.

<その2:モバイル型コンピュータ>
次に、この液晶パネルを、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図28は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図において、パーソナルコンピュータ1200は、キーボード1202を備えた本体部1204と、液晶表示ユニット1206とから構成されている。この液晶表示ユニット1206は、先に述べた液晶パネル100の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
<Part 2: Mobile computer>
Next, an example in which this liquid crystal panel is applied to a mobile personal computer will be described. FIG. 28 is a perspective view showing the configuration of this personal computer. In the figure, a personal computer 1200 includes a main body 1204 having a keyboard 1202 and a liquid crystal display unit 1206. The liquid crystal display unit 1206 is configured by adding a backlight to the back surface of the liquid crystal panel 100 described above.

<その3:携帯電話>
さらに、この液晶パネルを、携帯電話に適用した例について説明する。図29は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図において、携帯電話1300は、複数の操作ボタン1302とともに、反射型の液晶パネル100を備えるものである。この反射型の液晶パネル100にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。
<Part 3: Mobile phone>
Further, an example in which this liquid crystal panel is applied to a mobile phone will be described. FIG. 29 is a perspective view showing the configuration of this mobile phone. In the figure, a mobile phone 1300 includes a reflective liquid crystal panel 100 together with a plurality of operation buttons 1302. In the reflective liquid crystal panel 100, a front light is provided on the front surface thereof as necessary.

なお、図27〜図29を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。   In addition to the electronic devices described with reference to FIGS. 27 to 29, a liquid crystal television, a viewfinder type, a monitor direct view type video tape recorder, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator, a word processor, a work Stations, videophones, POS terminals, devices equipped with touch panels, and the like. Needless to say, the present invention can be applied to these various electronic devices.

本発明の第1実施形態に係る駆動回路を適用した液晶パネルの全体構成を示すブロック図である。1 is a block diagram illustrating an overall configuration of a liquid crystal panel to which a drive circuit according to a first embodiment of the present invention is applied. 同駆動回路におけるデータ線駆動回路の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the data line drive circuit in the drive circuit. (a)、(b)は、それぞれ同データ線駆動回路の単位回路におけるクロックドインバータの構成を示す回路図である。(A), (b) is a circuit diagram which shows the structure of the clocked inverter in the unit circuit of the data line drive circuit, respectively. 同データ線駆動回路の単位回路におけるインバータの構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the inverter in the unit circuit of the data line drive circuit. 同駆動回路におけるD/Aコンバータの構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the D / A converter in the drive circuit. (a)、(b)は、それぞれ同D/Aコンバータにおける構成素子の等価回路を示す図である。(A), (b) is a figure which shows the equivalent circuit of the component in a D / A converter, respectively. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスを示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスを示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスを示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスを示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスの別例を示す図である。It is a figure which shows another example of the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスの別例を示す図である。It is a figure which shows another example of the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスの別例を示す図である。It is a figure which shows another example of the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 周辺回路および表示領域における構成素子の製造プロセスの別例を示す図である。It is a figure which shows another example of the manufacturing process of the component in a peripheral circuit and a display area. 同駆動回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。4 is a timing chart for explaining the operation of the drive circuit. 同D/Aコンバータの別形態の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of another form of the same D / A converter. 同液晶パネルの構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the liquid crystal panel. 同液晶パネルの構造を説明するための一部断面図である。4 is a partial cross-sectional view for explaining the structure of the liquid crystal panel. FIG. 第1実施形態の変形例に係る液晶パネルの全体構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the liquid crystal panel which concerns on the modification of 1st Embodiment. 本発明の第2実施形態に係る駆動回路を適用した液晶パネルの全体構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the liquid crystal panel to which the drive circuit which concerns on 2nd Embodiment of this invention is applied. 同駆動回路におけるD/Aコンバータの構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of the D / A converter in the drive circuit. 同D/Aコンバータの別形態の構成を示す回路図である。It is a circuit diagram which shows the structure of another form of the same D / A converter. 同駆動回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。3 is a timing chart for explaining the operation of the drive circuit. 本発明の第3実施形態に係る駆動回路を適用した液晶パネルの全体構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the whole structure of the liquid crystal panel to which the drive circuit which concerns on 3rd Embodiment of this invention is applied. 同駆動回路の動作を説明するためのタイミングチャートである。4 is a timing chart for explaining the operation of the drive circuit. 同液晶表示装置が適用される電子機器の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the electronic device to which the liquid crystal display device is applied. 同液晶表示装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the projector which is an example of the electronic device to which the liquid crystal display device is applied. 同液晶表示装置を適用した電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the personal computer which is an example of the electronic device to which the liquid crystal display device is applied. 同液晶表示装置を適用した電子機器の一例たる携帯電話の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the mobile telephone which is an example of the electronic device to which the liquid crystal display device is applied.

符号の説明Explanation of symbols

12……ポリシリコン
100……液晶パネル
101……素子基板
102……対向基板
105……液晶
110……表示領域
112……走査線
114……データ線
116、161、162、167、168、171……TFT
118……画素電極
120……周辺回路
130……走査線駆動回路
140……データ線駆動回路
150……パルス幅制限回路
160、162……D/A変換回路
170……サンプリング回路
181……第1ラッチ回路
182……第2ラッチ回路
12 ... Polysilicon 100 ... Liquid crystal panel 101 ... Element substrate 102 ... Counter substrate 105 ... Liquid crystal 110 ... Display area 112 ... Scan line 114 ... Data lines 116, 161, 162, 167, 168, 171 ...... TFT
118... Pixel electrode 120... Peripheral circuit 130... Scan line drive circuit 140... Data line drive circuit 150... Pulse width limiting circuit 160 and 162. 1 latch circuit 182, second latch circuit

Claims (5)

基板に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記走査線と前記データ線と交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子と、各前記スイッチング素子に対応して設けられた複数の画素電極とを備える電気光学装置の駆動回路であって、
ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換するD/A変換回路を備え、
前記D/A変換回路において、
前記ディジタル画像信号における各ビットの重みに対応した電流を生成するための抵抗体と、当該生成された電流の総和を電圧に変換する抵抗体とが、前記複数の画素電極の形成領域を挟んで互いに対向する位置において、それぞれ前記データ線に電気的に接続される
ことを特徴とする電気光学装置の駆動回路。
A plurality of scanning lines, a plurality of data lines, a plurality of switching elements provided corresponding to the intersections of the scanning lines and the data lines, and a plurality of pixels provided corresponding to the switching elements on the substrate An electro-optical device drive circuit comprising an electrode,
A D / A conversion circuit for converting a digital image signal into an analog image signal;
In the D / A conversion circuit,
A resistor for generating a current corresponding to the weight of each bit in the digital image signal and a resistor for converting the sum of the generated currents into a voltage sandwiching the formation region of the plurality of pixel electrodes A drive circuit for an electro-optical device, wherein the drive circuit is electrically connected to the data lines at positions facing each other.
前記D/A変換回路は、前記データ線の各々に対して設けられる一方、
前記D/A変換回路の各々に対して、ラッチ信号を順次出力するデータ線駆動回路を備え、
各D/A変換回路は、前記ラッチ信号にしたがって、前記ディジタル画像信号をラッチするとともに、ラッチしたディジタル画像信号を所定のタイミングでアナログ画像信号に変換して、対応するデータ線に供給する
ことを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置の駆動回路。
The D / A conversion circuit is provided for each of the data lines,
A data line driving circuit for sequentially outputting a latch signal to each of the D / A conversion circuits;
Each D / A conversion circuit latches the digital image signal according to the latch signal, converts the latched digital image signal into an analog image signal at a predetermined timing, and supplies the analog image signal to a corresponding data line. The drive circuit of the electro-optical device according to claim 1, wherein
基板に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記走査線と前記データ線と交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子と、各前記スイッチング素子に対応して設けられた複数の画素電極とを備える電気光学装置の駆動回路であって、
ディジタル画像信号をアナログ画像信号に変換するD/A変換回路を備え、
前記ディジタル画像信号は時間軸に伸長されるとともに、順次シフトされた2以上の系統で供給され、
前記D/A変換回路は、前記データ線の各々に対して設けられるとともに、前記各系統に対応する前記データ線毎に位置がずれた千鳥状に配置されている
ことを特徴とする電気光学装置の駆動回路。
A plurality of scanning lines, a plurality of data lines, a plurality of switching elements provided corresponding to the intersections of the scanning lines and the data lines, and a plurality of pixels provided corresponding to the switching elements on the substrate An electro-optical device drive circuit comprising an electrode,
A D / A conversion circuit for converting a digital image signal into an analog image signal;
The digital image signal is expanded in the time axis and supplied in two or more systems shifted sequentially,
The D / A conversion circuit is provided for each of the data lines, and is arranged in a staggered manner with a position shifted for each data line corresponding to each of the systems. Drive circuit.
請求項1乃至3のいずれか記載の電気光学装置の駆動回路によって駆動されることを特徴とする電気光学装置。 An electro-optical device driven by the drive circuit for the electro-optical device according to claim 1. 請求項4に記載の電気光学装置を備える
ことを特徴とする電子機器。

An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 4.

JP2005115497A 2005-04-13 2005-04-13 Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus Expired - Fee Related JP3832492B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005115497A JP3832492B2 (en) 2005-04-13 2005-04-13 Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005115497A JP3832492B2 (en) 2005-04-13 2005-04-13 Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11252399A Division JP2000305527A (en) 1999-04-20 1999-04-20 Driving circuit of electrooptic device, electrooptic device and electronic equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005227798A true JP2005227798A (en) 2005-08-25
JP3832492B2 JP3832492B2 (en) 2006-10-11

Family

ID=35002498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005115497A Expired - Fee Related JP3832492B2 (en) 2005-04-13 2005-04-13 Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3832492B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009294424A (en) * 2008-06-05 2009-12-17 Epson Imaging Devices Corp Electrooptical panel, electrooptical device and electronic equipment
JP2015004911A (en) * 2013-06-24 2015-01-08 セイコーエプソン株式会社 Electro-optic panel and electronic equipment

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009294424A (en) * 2008-06-05 2009-12-17 Epson Imaging Devices Corp Electrooptical panel, electrooptical device and electronic equipment
JP2015004911A (en) * 2013-06-24 2015-01-08 セイコーエプソン株式会社 Electro-optic panel and electronic equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP3832492B2 (en) 2006-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3755277B2 (en) Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus
US7164403B2 (en) Liquid crystal display device having a gray-scale voltage selector circuit
KR100691620B1 (en) Liquid crystal display device
US7492340B2 (en) Liquid crystal display device having stabilized drive circuit
KR100503708B1 (en) Driving circuit for electrooptical device, electrooptical device, and electronic apparatus
JP3946307B2 (en) Display device
JP3791208B2 (en) Electro-optical device drive circuit
JP2004004553A (en) Liquid crystal display panel and driving circuit
JP3758503B2 (en) Electro-optical device, drive circuit, and electronic device
JP5120066B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP2008008942A (en) Electro-optical device and electronic equipment equipped with the same
JP4385967B2 (en) Electro-optical device drive circuit, electro-optical device including the same, and electronic apparatus
JPH10111520A (en) Liquid crystal display panel and electronic equipment using it
JP3832492B2 (en) Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus
JP3669282B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus
JP4058847B2 (en) Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and projection display device
JP3893819B2 (en) Electro-optical device drive circuit, data line drive circuit, scanning line drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus
JP2000305527A (en) Driving circuit of electrooptic device, electrooptic device and electronic equipment
JP4103977B2 (en) D / A conversion circuit, semiconductor device and electronic apparatus
JP3633255B2 (en) Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus
US6683593B2 (en) Liquid crystal display
JP4945985B2 (en) Electro-optical device and electronic apparatus including the same
JP3804596B2 (en) Scan line driving circuit, electro-optical device and electronic apparatus using the same
JP2000310964A (en) Driving circuit of electro-optical device, electro-optical device, and electronic apparatus
JP3832495B2 (en) Electro-optical device drive circuit, electro-optical device, and electronic apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060228

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060428

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060627

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060710

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees