JP2005227442A - 顕微鏡用照明装置 - Google Patents

顕微鏡用照明装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005227442A
JP2005227442A JP2004034725A JP2004034725A JP2005227442A JP 2005227442 A JP2005227442 A JP 2005227442A JP 2004034725 A JP2004034725 A JP 2004034725A JP 2004034725 A JP2004034725 A JP 2004034725A JP 2005227442 A JP2005227442 A JP 2005227442A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light source
light emitting
lens
illumination light
microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004034725A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4579554B2 (ja
Inventor
Kentaro Yamazaki
健太郎 山▲崎▼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2004034725A priority Critical patent/JP4579554B2/ja
Publication of JP2005227442A publication Critical patent/JP2005227442A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4579554B2 publication Critical patent/JP4579554B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】 簡易な構成により、明視野と暗視野との観察を同時に行うことができ、また、使用する対物レンズに応じて最適化した光量を標本に照射することを可能とする。
【解決手段】 光軸Bを中心としリング状に複数個並べられた半導体発光素子31と該各半導体発光素子31の近傍に配され半導体発光素子31から照射された光を略平行光に変換するレンズ32とを有する暗視野用照明光源30と、該暗視野用照明光源30を制御する制御部40とを備え、該制御部40が、あらかじめブロックごとに分けられた複数の半導体発光素子31を制御する。
【選択図】 図3

Description

本発明は、明視野観察及び暗視野観察が可能な顕微鏡に設けられた顕微鏡用照明装置に関するものである。
一般に同軸落射の顕微鏡照明装置は、標本を照明するための光源と、この光源から照射された光を対物レンズの射出瞳位置に集光させるための明視野照明光学系と、照明光を反射させ、かつ、標本で反射した光を透過させるハーフミラーとを備えている。ここで、暗視野照明を行う照明装置は、明視野光学系により照射され、集光された光を平行光にする暗視野光学系と、平行光のうち周辺部分のみを反射して、対物レンズの暗視野ミラーに導入させるリング状のミラーとを備えている。一般的な落射同軸顕微鏡照明装置では、明視野照明光学系,ハーフミラーと暗視野照明光学系,リングミラーとを機械的に切り替えることで、明視野と暗視野との観察の切り換えを行っている。
このような落射同軸照明装置では、光源としてハロゲンランプ、キセノンアーク等が用いられてきた。しかしながら、これらの光源はかなりの熱を発する上に消費電力が大きいという問題があった。この問題を解決する手段として、光源に光ファイバーを用いる場合もあるが、光量のロスにより、特に暗視野において照明光が暗くなってしまうという問題が生じる。
また、明暗視野照明装置では、上述したように明視野用ハーフミラーと暗視野用リングミラーとを機械的に切り替えているため、操作が煩雑になるという問題がある。このため、電気的に明視野と暗視野との光源を切り替える光学器械の照明装置が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
この特許文献1に記載の光学器械の照明装置は、対物レンズの外径よりも大きいリング状の暗視野照明光源と、この暗視野照明光源より外径の小さい円盤状の明視野光源とを備えており、照明切替手段により、それぞれを切り替えるようになっている。
特開2001−154103号公報
しかしながら、従来の光学器械の照明装置においては、明視野観察または暗視野観察に応じて適確な光量、照明光の角度を調整することが困難である。また、使用する対物レンズの倍率に応じて、対物レンズに入射する光の光量を最適化することも困難である。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成により、明視野と暗視野との観察を同時に行うことができ、また、使用する対物レンズに応じて最適化した光量を標本に照射することが可能な顕微鏡用照明装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の顕微鏡用照明装置は、光軸を中心としリング状に複数個並べられた半導体発光素子と該各半導体発光素子の近傍に配され前記半導体発光素子から照射された光を略平行光に変換するレンズとを有する暗視野用照明光源と、該暗視野用照明光源を制御する制御部とを備え、該制御部が、あらかじめブロックごとに分けられた複数の前記半導体発光素子を制御することを特徴としている。
この発明によれば、制御部により、半導体発光素子をブロックごとに点灯あるいは消灯を行う。すなわち、暗視野用照明光源から照射された光はレンズを介して適切な光量が標本に照射されることになる。したがって、標本の段差情報等を適確に得ることが可能となる。
また、本発明の顕微鏡用照明装置は、前記ブロックが、前記半導体発光素子を放射方向に伸びる分断面に分けてなることが好ましい。
この発明によれば、制御部により、半導体発光素子をブロックごとに点灯あるいは消灯を行う。そして、暗視野用照明光源から照射された光はレンズを介し、適切な方向から光が標本に照射され、偏斜照明を行うことになる。したがって、標本の段差情報等を適確に得ることが可能となる。
また、本発明の顕微鏡用照明装置は、明視野光学系に光を照射する明視野用照明光源を備え、前記制御部が、前記明視野用照明光源と前記暗視野用照明光源とを独立して制御することが好ましい。
この発明によれば、制御部が明視野用照明光源を点灯させ、かつ、暗視野用照明光源の半導体発光素子をブロックごとに点灯あるいは消灯を行うことによって、偏斜照明を行う。これにより、標本の段差等を横から照明することになり、微分干渉のようなコントラストがつき、明視野観察による形状,色等の観察を行いながら、暗視野観察による段差情報を得ることができる。
本発明の顕微鏡用照明装置は、光軸を中心としリング状に複数個並べられた半導体発光素子と該各半導体発光素子の近傍に配され前記半導体発光素子から照射された光を略平行光に変換するレンズとを有する暗視野用照明光源と、該暗視野用照明光源を制御する制御部とを備え、前記レンズが、高倍率用の第1の対物レンズに対応する第1のレンズと、低倍率用の第2の対物レンズに対応する第2のレンズとからなり、前記制御部が、前記第1または第2の対物レンズの切り替えに伴い、それぞれに対応する第1または第2のレンズの近傍に配された半導体発光素子を制御すること特徴としている。
この発明によれば、高倍率用の第1の対物レンズまたは低倍率用の第2の対物レンズを使用する際、制御部により、第1のレンズまたは第2のレンズの近傍に配された半導体発光素子を照射させる。これにより、高倍率あるいは低倍率の観察に応じて照射させる半導体発光素子を制御できるので、適切な輝度の光を標本に照射させることが可能になる。
また、本発明の顕微鏡用照明装置は、前記暗視野用照明光源が、前記顕微鏡から着脱可能にユニット化されていることが好ましい。
この発明によれば、暗視野用照明光源を必要に応じて着脱することが可能となるため、顕微鏡全体としてのコンパクト化を実現できる。
本発明に係る顕微鏡用照明装置によれば、暗視野用照明光源の半導体発光素子をブロックごとに制御することにより、必要に応じた半導体発光素子から照射した光がレンズを介し最適な光量が標本に照射されることになる。したがって、標本の段差情報等を適確に得ることが可能となる。
以下、本発明の第1実施形態に係る顕微鏡装置について図1から図6を参照して説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置1は、図1及び図3に示すような、標本Sの観察を行う顕微鏡10と、暗視野観察を行う暗視野用照明光源(顕微鏡用照明装置)30と、これらを制御する制御部40とを備えている。
顕微鏡10は、図1に示すように、ステージ11が設けられたL字状の胴部12と、この胴部12の接続された落射投光管13と、この落射投光管13の先端部に設けられ、ステージ11と対向させて配されたレボルバ14と、落射投光管13の内部に配された明視野用照明光源15と、落射投光管13の先端部に設けられた鏡筒16と、この鏡筒16に設けられた接眼レンズ17とを備えている。
ステージ11は、被写体としての標本Sを載置するものである。また、胴部12には、焦準ハンドル18が設けられており、この焦準ハンドル18の操作により、対物レンズが胴部12に沿ってAB方向に移動可能になっている。
レボルバ14は、複数の対物レンズ19を支持するもので、所定の対物レンズ19を選択的に光路上に切り換えるようになっている。
明視野用照明光源(顕微鏡用照明装置)15は、照明光軸A上に配された凸レンズ20a,20bを有する明視野光学系20と、ランプハウス21内に配され、明視野光学系20に光を照射させる光源22と、照明光軸A上に配されたハーフミラー23とを備えている。このハーフミラー23に入射し反射された光束は、観察光軸(光軸)B上の対物レンズ19を透過して標本Sに照射し、さらに標本Sからの反射光は、対物レンズ19を介してハーフミラー23に入射し、このハーフミラー23を透過して鏡筒16に入射して接眼レンズ17に導かれ、目視観察されるようになっている。
暗視野用照明光源30は、図2及び図3に示すように、リング状に複数個並べられたLED(半導体発光素子)31と、各LED31に一対一に対応し、標本S側に位置するように配されたコリメートレンズ(レンズ)32とを備えている。このコリメートレンズ32は、LED31から照射された光を略平行光に変換するようになっている。また、暗視野用照明光源30は、図4に示すように、レボルバ14に形成された凹部14aに着脱可能になっている。すなわち、この暗視野用照明光源30を、レボルバ14に取り付けた際、リング状に複数個並べられたLED31の中心が観察光軸Bと略一致するようになっている。
制御部40は、明視野用照明光源15と、暗視野照明用光源30とを独立して制御するようになっている。また、図2に示すように、リング状に複数個並べられたLED(例えば、図示例では8個)31は、中心から放射方向に伸びる分断面B1,B2,B3,B4にブロック化されており、制御部40により、これらのブロックごとに制御するようになっている。また、制御部40には、画像を記憶する画像記憶部41が設けられている。この画像記憶部41は、制御部40による制御に応じて変化する標本Sの段差情報を取得して記憶するようになっている。
次に、上記のように構成された顕微鏡装置1の使用方法について説明する。
まず、図5(a)及び図5(b)に示すような、標本Sをステージ11に載置する。次に、レボルバ14に形成された凹部14aに暗視野用照明光源30を押し込み、取り付ける。このような準備がなされた後、制御部40により、光源22を作動させ、光源22から照射された照明光が落射投光管13内部の凸レンズ20a及び20bを介してハーフミラー23に入射する。ハーフミラー23に入射した光は、略90度反射されて観察光軸B上の対物レンズを透過して標本Sに照射される。さらに、標本Sからの反射光は、対物レンズ19を介してハーフミラー23を透過して鏡筒16に入射し接眼レンズ17に導かれ、標本Sの明視野観察が行われる。
また、暗視野用照明光源30のLED31も同様に制御部40により制御され、ブロックごとに点灯し、図5(c)に示すように、偏斜照明を行う。そして、標本Sによって散乱した光が対物レンズ19により結像し、その後は明視野観察の場合と同じ光路を経て、接眼レンズ17に導かれ、暗視野観察が行われる。
このとき、制御部40により、図6(a)に示すように、明視野用照明光源15のみを照明する場合、標本Sの輪郭がはっきり観察でき、逆に暗視野用照明光源30のみを照明する場合、図6(b)に示すように、標本Sの輪郭以外の部分が観察できる。次いで、明視野用照明光源15及び暗視野用照明光源30を照明した場合、図6(c)に示すように、標本Sを立体的に観察できる。
また、明視野用照明光源15及び暗視野用照明光源30のB1を照明する場合、図6(d)に示すように、コントラストがつけられる。この状態で、明視野用照明光源15を消灯すると、図6(g)に示すように、コントラストが反転した影を得ることができる。同様にして、明視野用照明光源15及び暗視野用照明光源30のB3を照明する場合、図6(e)に示すように、コントラストがつけられ、明視野用照明光源15を消灯すると、図6(h)に示すように、コントラストが反転し、さらに明視野用照明光源15及び暗視野用照明光源30のB4を照明する場合、図6(f)に示すように、コントラストがつけられ、明視野用照明光源15を消灯すると、図6(i)に示すように、コントラストが反転した影を得ることができる。このように、暗視野用照明光源30を点灯させるブロックの制御に応じて、画像記憶部41により、標本Sの段差方向の情報を取得する。
すなわち、本実施形態に係る暗視野用照明光源30によれば、制御部40が明視野用照明光源15を点灯させ、かつ、暗視野用照明光源30のLED31をブロックごとに点灯あるいは消灯を行うことによって、標本Sの段差等を横から照明することになり、微分干渉のようなコントラストがつき、明視野観察による形状,色等の観察を行いながら、暗視野観察による段差情報を得ることができる。
特に、微分干渉顕微鏡用の特殊な素子を用意しなくても同様の効果が得られる。また、微分干渉では影の付き方は素子の配置される方向に依存しており、例えば、横方向のみで縦方向には影の明暗を付けることができなかった。しかし、本実施形態のように、制御部40により、LED31をブロックごとに選択して点灯させることによって、縦,横,斜めのいずれの方向にも影の明暗を付けることが可能となる。
また、暗視野照明光源30において、リング状に並べたLED31を選択的に点灯した場合、段差の向きによっては照明の向きと同じでないと光らないため、制御部40により、点灯方向を順次変えて画像を取得し、段差情報のみを取得することが可能となる。さらに、段差が大きいほど明るくなり、段差が少ないほど暗く光るため、段差の高さ情報の概略を知ることもできる。
また、LED31は消費電力が少ないため、低消費電力の落射投光管13が実現できる。さらに、LED31はハロゲンランプ、キセノンアークに比べて耐久時間が長いため、メンテナンスの必要がなくなる。さらには、明視野観察及び暗視野観察の切り換えはLED31のON,OFFにより電気的に制御することができるため、機械的可動部で生ずるゴミ問題を解消することにもなる。
なお、本実施形態において、制御部40が、図2に示すように、リング状に複数個並べられたLED31の中心から放射方向に伸びる分断面に分けられたブロックごとに制御可能としたが、これに代えて、例えば、LED31の周方向に少なくとも一つおきに制御する構成にしても良い。このような構成にすることで、標本に応じた暗視野用照明光源30を用いることで、適確な光量を標本に照射することも可能となる。
次に、本発明の第2実施形態に係る顕微鏡装置について図7を参照して説明する。なお、以下に説明する各実施形態において、上述した第1実施形態に係る顕微鏡装置1と構成を共通とする箇所には同一符号を付けて、説明を省略することにする。
本実施形態に係る顕微鏡装置において、暗視野用照明光源(顕微鏡用照明装置)60の構成と、制御部40のLED31の制御とにおいて第1実施形態と異なっている。
暗視野用照明光源60は、図3におけるコリメートレンズ32が、第1のコリメートレンズ61(第1のレンズ)と第2のコリメートレンズ(第2のレンズ)62とからなっている。この第1のコリメートレンズ61は、高倍率用の第1の対物レンズ63に対応しており、第2のコリメートレンズ62は、低倍率用の第2の対物レンズ64に対応している。これら第1のコリメートレンズ61及び第2のコリメートレンズ62は、図7に示すように、リング状に複数個並べられたLED31に対応して周方向にそれぞれ交互に配置されている。
また、第1のコリメートレンズ61は、第2のコリメートレンズ62に比べ焦点距離が短いレンズになっているため、第2のコリメートレンズ62に比べLED31に近接して配置されている。これにより、図8(a)に示すように、LED31から照射され、第1のコリメートレンズ62を介した光束の幅は、図8(b)に示すように、第2のコリメートレンズ62を介した光束の幅より細くなっている。
制御部40は、高倍率用の第1の対物レンズ63、または、低倍率用の第2の対物レンズ64の切り替えに伴い、それぞれに対応する第1,第2のコリメートレンズ61,62の近傍に配されたLED31を制御するようになっている。
次に、上記のように構成された顕微鏡装置の使用方法について説明する。
まず、第1実施形態と同様に、標本Sをステージ11に載置し、暗視野用照明光源60を取り付ける。このような準備がなされた後、高倍率用の第1の対物レンズ63を選択した場合、制御部40により、第1のコリメートレンズ61に対応したLED31を照射させる。照射された光は、第1のコリメートレンズ61を介し、第1の対物レンズ63を透過して標本Sに向かって照射される。このとき、図8(a)に示すように、幅の細い光束が対物レンズを透過して標本Sに照射される。また、低倍率用の第2の対物レンズ64を選択した場合、制御部40により、第2のコリメートレンズ62に対応したLED31を照射させ、図8(b)に示すように、幅の太い光束が対物レンズを透過して標本に照射されるため、高倍率用観察に比べ標本Sに照射される光量が多くなる。
すなわち、本実施形態に係る暗視野用照明光源60によれば、高倍率あるいは低倍率の観察に応じて照射させるLED31を制御できるので、適切な輝度の光を標本Sに照射させることが可能になる。
なお、本実施形態において、第1,第2のコリメートレンズ61,62に対応する位置にLED31を設けたが、これに代えて、図9に示すように、一つおきにLED31を配した暗視野用光源70を用いても良い。この構成の場合には、第1,第2のコリメートレンズ61,62をリング状に並べられたLED31に沿って回転可能にユニット化し、対物レンズの倍率の切り換えに伴い、このレンズユニットを回転させる。これにより、対物レンズに応じて最適な光束の光を標本Sに照射させることが可能となる。
なお、本発明の上記各実施形態において、暗視野用照明光源30または60をレボルバ14に形成された凹部14aに着脱可能としたが、これに代えて、落射投光管13内に設けたり、レボルバ14内に固着させてあっても良い。ここで、レボルバ14内に暗視野用照明光源30または60を設けた場合、落射投光管13内には暗視野用の照明光学系を配置する必要がなくなる。これにより、落射投光管13内には明視野用照明光源15のみとなり、最適な光学系として設計が可能となる。
また、本発明の技術範囲は上記各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
本発明の第1実施形態に係る顕微鏡装置の全体構成を示す概略図である。 本発明の第1実施形態に係る暗視野用照明光源のLEDの配置を示す平面図である。 本発明の第1実施形態に係る顕微鏡装置を用いて標本を観察するときの全体構成を示す概略図である。 本発明の第1実施形態に係る暗視野用照明光源を顕微鏡装置に装着したときの斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る顕微鏡装置を用いて(a),(b)の標本を観察するときの(c)は顕微鏡装置の一部を示す斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る顕微鏡装置を用いて標本を観察したときの取得画像の一例を示す平面図である。 本発明の第2実施形態に係る暗視野用照明光源を示す斜視図である。 本発明の第2実施形態に係る暗視野用照明光源の(a)は高倍率用の(b)は低倍率用の対物レンズを用いたときの光路を示す平面図である。 図7のLEDの構成の他の変形例を示す拡大平面図である。
符号の説明
A 照明光軸
B 観察光軸(光軸)
10 顕微鏡
20 明視野光学系
30,60 暗視野用照明光源
31 LED(半導体発光素子)
32 コリメートレンズ(レンズ)
40 制御部
61 第1のコリメートレンズ(第1のレンズ)
62 第2のコリメートレンズ(第2のレンズ)
63 第1の対物レンズ
64 第2の対物レンズ

Claims (5)

  1. 光軸を中心としリング状に複数個並べられた半導体発光素子と該各半導体発光素子の近傍に配され前記半導体発光素子から照射された光を略平行光に変換するレンズとを有する暗視野用照明光源と、
    該暗視野用照明光源を制御する制御部とを備え、
    該制御部が、あらかじめブロックごとに分けられた複数の前記半導体発光素子を制御することを特徴とする顕微鏡用照明装置。
  2. 前記ブロックが、前記半導体発光素子を放射方向に伸びる分断面に分けてなることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡用照明装置。
  3. 明視野光学系に光を照射する明視野用照明光源を備え、
    前記制御部が、前記明視野用照明光源と前記暗視野用照明光源とを独立して制御することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の顕微鏡用照明装置。
  4. 光軸を中心としリング状に複数個並べられた半導体発光素子と該各半導体発光素子の近傍に配され前記半導体発光素子から照射された光を略平行光に変換するレンズとを有する暗視野用照明光源と、
    該暗視野用照明光源を制御する制御部とを備え、
    前記レンズが、高倍率用の第1の対物レンズに対応する第1のレンズと、
    低倍率用の第2の対物レンズに対応する第2のレンズとからなり、
    前記制御部が、前記第1または第2の対物レンズの切り替えに伴い、それぞれに対応する第1または第2のレンズの近傍に配された半導体発光素子を制御すること特徴とする顕微鏡用照明装置。
  5. 前記暗視野用照明光源が、前記顕微鏡から着脱可能にユニット化されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の顕微鏡用照明装置。

JP2004034725A 2004-02-12 2004-02-12 顕微鏡用照明装置 Expired - Fee Related JP4579554B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004034725A JP4579554B2 (ja) 2004-02-12 2004-02-12 顕微鏡用照明装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004034725A JP4579554B2 (ja) 2004-02-12 2004-02-12 顕微鏡用照明装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005227442A true JP2005227442A (ja) 2005-08-25
JP4579554B2 JP4579554B2 (ja) 2010-11-10

Family

ID=35002210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004034725A Expired - Fee Related JP4579554B2 (ja) 2004-02-12 2004-02-12 顕微鏡用照明装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4579554B2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011142099A1 (ja) * 2010-05-10 2011-11-17 株式会社ハイロックス デジタル顕微鏡
JP2014092697A (ja) * 2012-11-05 2014-05-19 Olympus Corp 顕微鏡及び暗視野対物レンズ
CN104111522A (zh) * 2013-04-19 2014-10-22 卡尔蔡司显微镜有限公司 照明数字光学显微镜中物体的方法、数字光学显微镜及该显微镜的明视野反射光照明装置
JP2016138939A (ja) * 2015-01-26 2016-08-04 オリンパス株式会社 顕微鏡用照明装置
JP2016177169A (ja) * 2015-03-20 2016-10-06 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
JP2016212252A (ja) * 2015-05-08 2016-12-15 オリンパス株式会社 顕微鏡システムおよび照明操作装置
WO2017210180A1 (en) * 2016-05-31 2017-12-07 Molecular Devices, Llc Imaging system with oblique illumination
CN117212736A (zh) * 2023-11-09 2023-12-12 苏州高视半导体技术有限公司 用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6370626B2 (ja) 2014-07-24 2018-08-08 オリンパス株式会社 照明光学系、照明装置、及び照明光学素子

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04125609A (ja) * 1990-09-18 1992-04-27 Satoshi Kawada 光学顕微鏡
JPH0868942A (ja) * 1994-08-29 1996-03-12 Olympus Optical Co Ltd 光学顕微鏡用照明装置
JPH1054940A (ja) * 1996-05-13 1998-02-24 Opt Gaging Prod Inc 入射照明の配向と傾斜を調節する手段を備えた表面照明器
JPH11242162A (ja) * 1997-12-09 1999-09-07 Opt Gaging Prod Inc 表面照明器
JP2001124998A (ja) * 1999-10-28 2001-05-11 Keyence Corp 照明装置
JP2001154098A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Mitsutoyo Corp 画像プローブ
JP2001154103A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Mitsutoyo Corp 光学器械の照明装置
JP2002189174A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡用照明装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04125609A (ja) * 1990-09-18 1992-04-27 Satoshi Kawada 光学顕微鏡
JPH0868942A (ja) * 1994-08-29 1996-03-12 Olympus Optical Co Ltd 光学顕微鏡用照明装置
JPH1054940A (ja) * 1996-05-13 1998-02-24 Opt Gaging Prod Inc 入射照明の配向と傾斜を調節する手段を備えた表面照明器
JPH11242162A (ja) * 1997-12-09 1999-09-07 Opt Gaging Prod Inc 表面照明器
JP2001124998A (ja) * 1999-10-28 2001-05-11 Keyence Corp 照明装置
JP2001154098A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Mitsutoyo Corp 画像プローブ
JP2001154103A (ja) * 1999-11-30 2001-06-08 Mitsutoyo Corp 光学器械の照明装置
JP2002189174A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡用照明装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9766444B2 (en) 2010-05-10 2017-09-19 Hirox Co., Ltd. Digital microscope
JP2011237574A (ja) * 2010-05-10 2011-11-24 Hirox Co Ltd デジタル顕微鏡
WO2011142099A1 (ja) * 2010-05-10 2011-11-17 株式会社ハイロックス デジタル顕微鏡
JP2014092697A (ja) * 2012-11-05 2014-05-19 Olympus Corp 顕微鏡及び暗視野対物レンズ
CN104111522A (zh) * 2013-04-19 2014-10-22 卡尔蔡司显微镜有限公司 照明数字光学显微镜中物体的方法、数字光学显微镜及该显微镜的明视野反射光照明装置
JP2014211633A (ja) * 2013-04-19 2014-11-13 カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーCarl Zeiss Microscopy Gmbh デジタル光顕微鏡において物体を照明するための方法、デジタル光顕微鏡およびデジタル光顕微鏡用の明視野反射光照明デバイス
EP2793067A3 (de) * 2013-04-19 2014-11-05 Carl Zeiss Microscopy GmbH Verfahren zur Beleuchtung eines Objektes in einem digitalen Lichtmikroskop, digitales Lichtmikroskop und Hellfeld-Auflichtbeleuchtungsvorrichtung für ein digitales Lichtmikroskop
JP2016138939A (ja) * 2015-01-26 2016-08-04 オリンパス株式会社 顕微鏡用照明装置
US9891419B2 (en) 2015-01-26 2018-02-13 Olympus Corporation Microscope illumination apparatus
JP2016177169A (ja) * 2015-03-20 2016-10-06 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
JP2016212252A (ja) * 2015-05-08 2016-12-15 オリンパス株式会社 顕微鏡システムおよび照明操作装置
US9958662B2 (en) 2015-05-08 2018-05-01 Olympus Corporation Microscope system and illumination operation device
WO2017210180A1 (en) * 2016-05-31 2017-12-07 Molecular Devices, Llc Imaging system with oblique illumination
CN117212736A (zh) * 2023-11-09 2023-12-12 苏州高视半导体技术有限公司 用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统
CN117212736B (zh) * 2023-11-09 2024-01-23 苏州高视半导体技术有限公司 用于半导体暗场检测的照明装置以及检测系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP4579554B2 (ja) 2010-11-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4538633B2 (ja) Dlp式スリット光走査顕微鏡
US20100302630A1 (en) Incident illumination device for a microscope
JP2001154103A (ja) 光学器械の照明装置
JP3142994U (ja) 暗視野照明装置
JP2004086009A5 (ja)
JP2003075725A (ja) 透過照明装置
JP4579554B2 (ja) 顕微鏡用照明装置
JP2009063856A (ja) 暗視野対物レンズ装置
JP2004347777A (ja) 全反射蛍光顕微鏡
JP2010217473A (ja) 照明装置及びこれを備える顕微鏡
JP3877380B2 (ja) 光学顕微鏡
US8523359B2 (en) Illumination device and observation device
JP4689975B2 (ja) 顕微鏡照明強度測定装置
JP2007093887A (ja) 照明装置及び顕微鏡
JP2010257585A (ja) 照明装置及びこの照明装置を備えた光学装置
US20080013169A1 (en) Illumination System For A Microscope
JP2007025212A (ja) 拡大撮像装置
JP2006337925A (ja) 顕微鏡の照明装置
JP2009116054A (ja) 光学装置および顕微鏡
JP4532930B2 (ja) 暗視野照明装置
JPH05173078A (ja) システム顕微鏡
JP2015127776A (ja) 拡大観察装置及び拡大画像観察方法
JP3157973U (ja) 光学顕微鏡の照明装置
JP2013190760A (ja) 顕微鏡用照明装置
JP3137236U (ja) 暗視野対物レンズ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100330

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100526

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20100526

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100810

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100826

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4579554

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees