JP2005221926A - Sheet stripper - Google Patents

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慶則 保木
Shinichi Hiratani
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sheet stripper capable of stripping a sheet tightly stuck to a substrate from the substrate with high accuracy without damaging patterns with a simple configuration. <P>SOLUTION: The sheet stripper includes a sheet end clamping means (30) for clamping the end of the sheet (12); moving means (36, 38, 40) for relatively parallel moving the sheet in a stripping direction; a stripping angle holding means (50) for holding the angle to strip the sheet from the substrate constant; and means (52, 54, 56) for moving the stripping angle holding means in parallel with the substrate in synchronization with the moving means. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、シート剥がし装置に係り、特に、プリント配線基板のレーザによるパターン加工に際して、レーザ加工後のガラス基板よりPETフィルムを剥がす際に用いるのに好適な、基板に密着されたシートを、基板から剥ぎ取るためのシート剥がし装置に関する。   The present invention relates to a sheet peeling apparatus, and in particular, when patterning with a laser of a printed wiring board, a sheet closely attached to a substrate, which is suitable for use in peeling a PET film from a glass substrate after laser processing, The present invention relates to a sheet peeling apparatus for peeling from a sheet.

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線基板は、銅等の所定パターンの配線がガラス等の絶縁性基板の片面(又は両面)に形成されたものである。   A printed wiring board used in an electronic device such as a computer has a predetermined pattern of wiring such as copper formed on one side (or both sides) of an insulating substrate such as glass.

この種のプリント配線基板では、従来、エッチングにより配線パターンを形成していたが、最近、レーザビームでパターンを描画する、いわゆるレーザパターニングも実用化されつつある。   In this type of printed wiring board, conventionally, a wiring pattern has been formed by etching. Recently, so-called laser patterning, in which a pattern is drawn with a laser beam, is also being put into practical use.

いずれにしても、このようなプリント配線基板の製造工程においては、加工前に基板に貼った透光性樹脂(例えばPET)フィルムを、エッチング後、又は、レーザパターニング後、剥離する工程が必要とされている。そのため、例えば特許文献1においては、フィルムを剥ぎ取るための一対のコンベアを基板上方に配置して、該コンベアでフィルムを狭持して剥ぎ取ることが記載されている。   In any case, in the manufacturing process of such a printed wiring board, a process of peeling off a light-transmitting resin (for example, PET) film attached to the board before processing after etching or laser patterning is required. Has been. Therefore, for example, Patent Document 1 describes that a pair of conveyors for peeling off the film is arranged above the substrate, and the film is nipped and peeled off by the conveyor.

特開昭63−37352号公報JP-A-63-37352

しかしながら特許文献1のようにベルトコンベアを基板上に配設するのでは装置が大掛かりとなり、コストも高いという問題点を有していた。   However, disposing the belt conveyor on the substrate as in Patent Document 1 has a problem that the apparatus becomes large and the cost is high.

一方、基板からシートを一気に剥がしてしまうと、パターンが曲がったり、欠けたりすることがあった。   On the other hand, if the sheet is peeled off from the substrate at once, the pattern may be bent or chipped.

本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、簡単な構成で、パターンを損傷することなく、基板に密着されたシートを基板から高精度で剥ぎ取ることを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and an object of the present invention is to peel off a sheet in close contact with a substrate with high accuracy with a simple configuration without damaging the pattern.

本発明は、基板に密着されたシートを、基板から剥ぎ取るためのシート剥がし装置において、シートの端部をクランプするシート端部クランプ手段と、該シート端部クランプ手段と基板を、シートを剥がす方向に相対的に平行移動させる移動手段と、基板からシートを剥がす角度を一定に保持するための剥がし角度保持手段と、該剥がし角度保持手段を、前記移動手段と同期して基板と平行移動させる手段とを備えることにより、前記課題を解決したものである。   The present invention relates to a sheet peeling apparatus for peeling a sheet in close contact with a substrate from the substrate, a sheet end clamping means for clamping the edge of the sheet, and the sheet edge clamping means and the substrate are peeled off. A moving means that translates relative to the direction, a peeling angle holding means for keeping the angle at which the sheet is peeled from the substrate constant, and a peeling angle holding means that translates relative to the substrate in synchronization with the moving means. The above-described problems are solved by providing the means.

又、前記剥がし角度保持手段を、基板と平行に配設された、回転自在なローラとして、シートの傷付きを防止したものである。   Further, the peeling angle holding means is a rotatable roller disposed parallel to the substrate to prevent the sheet from being damaged.

あるいは、前記剥がし角度保持手段を、基板と平行に配設された、回転しないバーとして、構成を簡略化したものである。   Alternatively, the peel angle holding means is a non-rotating bar arranged in parallel with the substrate, and the configuration is simplified.

又、前記剥がし角度を調整可能として、シートの種類や状態に応じた適切なシート剥がしが行なえるようにしたものである。   In addition, the peeling angle can be adjusted so that appropriate sheet peeling according to the type and state of the sheet can be performed.

本発明によれば、簡単な構成で、剥がし角度を一定に保持して、パターンを損傷することなく、基板に密着されたシートを高精度で基板から剥がすことができる。   According to the present invention, with a simple configuration, it is possible to keep a peeling angle constant and to peel a sheet adhered to the substrate from the substrate with high accuracy without damaging the pattern.

特に、剥がし角度保持手段を、基板と平行に配設されたローラ又はバーとした場合には、シート端部クランプ手段とローラ又はバーの相対的な位置関係やクランプ手段の移動速度を調整することで、剥がし角度や剥ぎ取り速度を容易に調整可能である。   In particular, when the peeling angle holding means is a roller or bar arranged in parallel with the substrate, the relative positional relationship between the sheet end clamping means and the roller or bar and the moving speed of the clamping means should be adjusted. Thus, the peeling angle and the peeling speed can be easily adjusted.

以下図面を参照して、レーザ加工後の処理として、ガラス基板(薄板)に密着しているPETフィルムシートを自動で剥ぎ取る装置に適用した、本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention applied to an apparatus for automatically peeling off a PET film sheet that is in close contact with a glass substrate (thin plate) will be described in detail as a process after laser processing with reference to the drawings.

本実施形態は、図1(正面図)、図2(側面図)及び図3(平面図)に示す如く構成される。   This embodiment is configured as shown in FIG. 1 (front view), FIG. 2 (side view), and FIG. 3 (plan view).

図において、12は、例えば膜厚0.15〜0.05mm、サイズ1850×1550mm〜100×100mmの剥ぎ取るべきPETフィルム(以下、単にフィルムと称する)で、図4に示す如く、周りがガラス基板10から約20〜70mm程度はみ出した状態で、ガラス基板10に密着されている。   In the figure, 12 is a PET film (hereinafter simply referred to as a film) having a film thickness of 0.15 to 0.05 mm and a size of 1850 × 1550 mm to 100 × 100 mm, for example, and as shown in FIG. The glass substrate 10 is in close contact with the substrate 10 protruding from the substrate 10 by about 20 to 70 mm.

20は、例えば吸引ブロワを備えたガラス基板吸着テーブルで、図5に示す如く、例えば三重矩形状の基板吸着エリア22A、22B、22C及び隅部吸着エリア22Dにより、内側の基板吸着エリア22Aから外側の基板吸着エリア22C及び隅部吸着エリア22Dに向かって順次吸着することによって、その上に配置されるガラス基板10を吸着、固定する。   Reference numeral 20 denotes, for example, a glass substrate suction table equipped with a suction blower. As shown in FIG. 5, for example, a triple rectangular substrate suction area 22A, 22B, 22C and a corner suction area 22D are provided outside the inner substrate suction area 22A. By sequentially adsorbing toward the substrate adsorption area 22C and the corner adsorption area 22D, the glass substrate 10 disposed thereon is adsorbed and fixed.

24A〜24Fは、前記基板吸着エリア22Bの外側に設けられた、例えば吸引ブロワを備えたフィルム吸着エリアであり、例えば図の右側のエリア24Aから左側のエリア24Fに向かって順次吸着することによって、フィルム12のしわを伸ばしながらフィルムの全周を吸着する。フィルムを剥がす場合には、逆の順で吸着が解除され、最後にエリア24Aのみでフィルムの端部を吸着した状態となる。本実施形態では、図の右端のフィルム吸着エリア24Aが、フィルム右端を基板に保持するための下部吸着プレートも兼ねているので、構成が簡略である。なお、フィルムエリア吸着エリア24Aとは独立した下部吸着プレートを設けることもできる。保持方法も吸引ブロワによる吸着に限定されない。   24A to 24F are film adsorption areas provided with, for example, a suction blower provided outside the substrate adsorption area 22B. For example, by sequentially adsorbing from the right area 24A to the left area 24F in the figure, While extending the wrinkles of the film 12, the entire circumference of the film is adsorbed. When the film is peeled off, the suction is released in the reverse order, and finally the end of the film is sucked only by the area 24A. In the present embodiment, since the film suction area 24A at the right end in the figure also serves as a lower suction plate for holding the film right end on the substrate, the configuration is simple. Note that a lower suction plate independent of the film area suction area 24A may be provided. The holding method is not limited to adsorption by a suction blower.

30は、フィルム12の端部全幅をクランプするフィルム端部クランプ機構であり、例えば吸引ブロワによりフィルム12の端部を吸着するための上部吸着プレート32も含まれる。このクランプ機構30は、上下機構34により上下方向に移動されると共に、クランプ移動用駆動モータ36及びタイミングベルト38により、直進(LM)ガイド40上を図1の左右方向に移動可能とされている。   Reference numeral 30 denotes a film end clamping mechanism that clamps the entire width of the end of the film 12, and includes an upper suction plate 32 for sucking the end of the film 12 by, for example, a suction blower. The clamp mechanism 30 is moved up and down by an up-and-down mechanism 34, and can be moved in the left-right direction in FIG. 1 by a clamp movement drive motor 36 and a timing belt 38 on a straight (LM) guide 40. .

50は、本発明に係るフィルム剥がし角度保持ローラであり、ローラ移動用駆動モータ52及びボールねじ54によって、直進(LM)ガイド56上をフィルム端部クランプ機構30の半分の速度で同じ方向に同期移動するようにされている。   Reference numeral 50 denotes a film peeling angle holding roller according to the present invention, which is synchronized with the roller moving drive motor 52 and the ball screw 54 in the same direction at a half speed of the film end clamping mechanism 30 on the linear advance (LM) guide 56. Have been to move.

60は、PETフィルム剥がし装置へガラス基板10を供給、排出するためのロボットアーム、62は、剥ぎ取ったフィルムを収納するためのPETフィルム回収スペース、64は静電気除去装置である。   60 is a robot arm for supplying and discharging the glass substrate 10 to and from the PET film peeling apparatus, 62 is a PET film collection space for storing the peeled film, and 64 is a static electricity removing apparatus.

以下、図6を参照して、剥ぎ取り装置の作用を説明する。   Hereinafter, the operation of the stripping device will be described with reference to FIG.

まずステップ100で、ロボットアーム60により、ガラス基板吸着テーブル20上に、PETフィルム12が密着されたガラス基板10を装着する。この際、パターンの損傷を防止するために、図7に示す如く、主たるパターン11の方向とフィルムを剥がす方向を一致させるのが望ましい。   First, in step 100, the glass substrate 10 to which the PET film 12 is closely attached is mounted on the glass substrate suction table 20 by the robot arm 60. At this time, in order to prevent damage to the pattern, it is desirable to match the direction of the main pattern 11 with the direction of peeling the film, as shown in FIG.

次いで、ステップ110で、基板吸着エリア22A〜22C、隅部吸着エリア22D、フィルム吸着エリア24A〜24Fにより、ガラス基板10、及び、該ガラス基板10からはみ出したフィルム12の端部(約20〜700mm)を、図5に示したように、しわが寄らないように吸着した後、順次吸着を解除して、下部吸着プレート24Aのみでフィルム12の右端のみが吸着された状態にする。   Next, in step 110, the substrate suction areas 22A to 22C, the corner suction areas 22D, and the film suction areas 24A to 24F cause the glass substrate 10 and the end of the film 12 protruding from the glass substrate 10 (about 20 to 700 mm). 5), as shown in FIG. 5, the suction is sequentially released so that only the right end of the film 12 is sucked only by the lower suction plate 24A.

次いでステップ120で、図1中に符号Aで示した如く、下部吸着プレート24Aの上位置にフィルム端部クランプ機構30を移動させて、上下機構34により下降させる。   Next, at step 120, as indicated by symbol A in FIG. 1, the film end clamping mechanism 30 is moved to the upper position of the lower suction plate 24A and lowered by the vertical mechanism.

下降させると、ステップ130で、図8に符号Bで示す如く、上部吸着プレート32と下部吸着プレート24Aが一致し、フィルム12の右端部が下部吸着プレート24Aから上部吸着プレート32に受け渡される。   When lowered, the upper suction plate 32 and the lower suction plate 24A coincide with each other and the right end portion of the film 12 is transferred from the lower suction plate 24A to the upper suction plate 32 in step 130, as indicated by symbol B in FIG.

次いでステップ140で、図9に示す如く、フィルム端部クランプ機構30が上下機構34により上昇し、上部吸着プレート32との間でフィルム12の端部を機械的にクランプする。なお、上部吸着プレート32による吸着が強力でフィルム剥がしに耐えられる場合は、独立したクランプ機構30を省略して、上部吸着プレート32のみによりクランプすることもできる。   Next, at step 140, as shown in FIG. 9, the film end clamping mechanism 30 is raised by the vertical mechanism 34 to mechanically clamp the end of the film 12 with the upper suction plate 32. If the suction by the upper suction plate 32 is strong and can withstand film peeling, the independent clamping mechanism 30 can be omitted and the upper suction plate 32 can be used for clamping.

次いでステップ150に進み、直進ガイド40によりガイドされたフィルム端部クランプ機構30を、クランプ移動用駆動モータ36に駆動されるタイミングベルト40により、符号Cに示す如く、図の左方向に走行して、フィルム12の剥ぎ取りを開始する。この際、フィルム剥がし角度保持ローラ50が、ローラ移動用モータ52に駆動されるボールねじ54により、図8に示した如く、クランプ機構30の半分の速度で遅れて移動することにより、剥ぎ取りの方向性が一定に保持される。   Next, the routine proceeds to step 150 where the film end clamping mechanism 30 guided by the linear guide 40 is run in the left direction of the figure as indicated by reference numeral C by the timing belt 40 driven by the clamp movement drive motor 36. Then, stripping of the film 12 is started. At this time, the film peeling angle holding roller 50 is moved with a half speed of the clamping mechanism 30 by the ball screw 54 driven by the roller moving motor 52 as shown in FIG. Directionality is kept constant.

次いでステップ160に進み、符号Dに示す如く、剥ぎ取り部が移動端まで到達すると、フィルム12の吸着/クランプを解除して、フィルム12を回収スペース62に落下させ、当該基板のフィルム剥がしを終了する。   Next, the process proceeds to step 160, and when the peeled portion reaches the moving end as shown by reference numeral D, the suction / clamping of the film 12 is released, the film 12 is dropped into the collection space 62, and the film peeling of the substrate is finished. To do.

本実施形態においては、ローラ50とガラス基板10の相対位置やクランプ機構30の移動速度を変えることで、剥がし角度を容易に調整可能である。   In the present embodiment, the peeling angle can be easily adjusted by changing the relative position of the roller 50 and the glass substrate 10 and the moving speed of the clamp mechanism 30.

又、本実施形態においては、フィルム剥がし角度保持手段がローラ50とされているので、フィルム12とローラ表面が擦れることがなく、フィルム表面が傷つけられることがない。なお、ローラ50の代わりに回転しないバーを用いることも可能である。   Further, in this embodiment, since the film peeling angle holding means is the roller 50, the film 12 and the roller surface are not rubbed and the film surface is not damaged. It is also possible to use a non-rotating bar instead of the roller 50.

前記実施形態においては、クランプ機構30がタイミングベルト38を用いて直進ガイド40上を移動し、フィルム剥がし角度保持ローラ50がボールねじ54を用いて直進ガイド56上を移動するようにされていたが、これらを移動するための構成は、これに限定されない。   In the above embodiment, the clamp mechanism 30 moves on the rectilinear guide 40 using the timing belt 38, and the film peeling angle holding roller 50 moves on the rectilinear guide 56 using the ball screw 54. The configuration for moving these is not limited to this.

本発明は、特にレーザ加工後の処理として、ガラス基板に密着しているPETフィルムを自動で剥ぎ取る際に用いるのに好適である。なお、本発明の適用対象はこれに限定されず、基板に密着されたシート一般を基板から剥ぎ取る際に適用可能である。   The present invention is suitable for use when automatically peeling off a PET film that is in close contact with a glass substrate, particularly as a treatment after laser processing. In addition, the application object of this invention is not limited to this, It is applicable when peeling off the sheet | seat in general contact | adhered to the board | substrate from a board | substrate.

本発明の実施形態の正面図Front view of an embodiment of the present invention 同じく側面図Same side view 同じく平面図Same top view 同じくフィルムが貼り付けられたガラス基板を示す平面図The top view which similarly shows the glass substrate where the film was stuck 同じく基板吸着テーブルを示す平面図The top view which similarly shows a substrate adsorption table 本実施形態における剥ぎ取り手順を示す流れ図Flow chart showing the stripping procedure in this embodiment 同じくパターンと剥ぎ取りの望ましい方向を示す平面図A plan view showing the pattern and the desired direction of stripping 同じく剥ぎ取っている状態を示す正面図Front view showing the same state 同じくクランプした状態を示す正面図Front view showing the clamped state

符号の説明Explanation of symbols

10…ガラス基板
12…PETフィルム
20…ガラス基板吸着テーブル
22A〜22C…基板吸着エリア
22D…隅部吸着エリア
24A〜24F…フィルム吸着エリア
24F…下部吸着プレート
30…フィルム端部クランプ機構
32…上部吸着プレート
34…クランプ上下機構
36…クランプ移動用駆動モータ
38…タイミングベルト
40、56…直進(LM)ガイド
50…フィルム剥がし角度保持ローラ
52…ローラ移動用駆動モータ
54…ボールねじ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Glass substrate 12 ... PET film 20 ... Glass substrate adsorption table 22A-22C ... Substrate adsorption area 22D ... Corner adsorption area 24A-24F ... Film adsorption area 24F ... Lower adsorption plate 30 ... Film edge clamp mechanism 32 ... Upper adsorption Plate 34 ... Clamp up / down mechanism 36 ... Drive motor for clamp movement 38 ... Timing belt 40, 56 ... Straight (LM) guide 50 ... Film peeling angle holding roller 52 ... Drive motor for roller movement 54 ... Ball screw

Claims (4)

基板に密着されたシートを、基板から剥ぎ取るためのシート剥がし装置において、
シートの端部をクランプするシート端部クランプ手段と、
該シート端部クランプ手段と基板を、シートを剥がす方向に相対的に平行移動させる移動手段と、
基板からシートを剥がす角度を一定に保持するための剥がし角度保持手段と、
該剥がし角度保持手段を、前記移動手段と同期して基板と平行移動させる手段と、
を備えたことを特徴とするシート剥がし装置。
In the sheet peeling device for peeling off the sheet adhered to the substrate from the substrate,
Sheet end clamping means for clamping the end of the sheet;
A moving means for relatively moving the sheet end clamping means and the substrate in the direction of peeling the sheet;
A peeling angle holding means for holding the angle at which the sheet is peeled from the substrate constant;
Means for moving the peeling angle holding means in parallel with the substrate in synchronization with the moving means;
A sheet peeling apparatus comprising:
前記剥がし角度保持手段が、基板と平行に配設された、回転自在なローラであることを特徴とする請求項1に記載のシート剥がし装置。   The sheet peeling apparatus according to claim 1, wherein the peeling angle holding unit is a rotatable roller disposed in parallel with the substrate. 前記剥がし角度保持手段が、基板と平行に配設された、回転しないバーであることを特徴とする請求項1に記載のシート剥がし装置。   The sheet peeling apparatus according to claim 1, wherein the peeling angle holding means is a non-rotating bar disposed in parallel with the substrate. 前記剥がし角度が調整可能とされていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のシート剥がし装置。   The sheet peeling apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the peeling angle is adjustable.
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