JP2005217256A - Lamination ceramic electronic component and its manufacturing method - Google Patents

Lamination ceramic electronic component and its manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP2005217256A
JP2005217256A JP2004023175A JP2004023175A JP2005217256A JP 2005217256 A JP2005217256 A JP 2005217256A JP 2004023175 A JP2004023175 A JP 2004023175A JP 2004023175 A JP2004023175 A JP 2004023175A JP 2005217256 A JP2005217256 A JP 2005217256A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
via hole
ceramic electronic
connection
interlayer connection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004023175A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junji Kurobe
淳司 黒部
Kenji Iizuka
研二 飯塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2004023175A priority Critical patent/JP2005217256A/en
Publication of JP2005217256A publication Critical patent/JP2005217256A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a lamination ceramic electronic component which surely enables formation of an interlayer connection via hole by a connection land of a minimum area, and to provide its manufacturing method. <P>SOLUTION: A coil conductor pattern 3a has a connection land 5 in an end. An interlayer connection via hole 4 is provided unevenly to the rectangular connection land 5, and has an extension 5a which is at least 10 μm long from an opening of the interlayer connection via hole 4. Since a conductive paste is subjected to screen print on a ceramic green sheet 2, the coil conductor pattern 3a is formed so that the connection land 5 overlaps with a through hole provided to the ceramic green sheet 2, and at the same time the interlayer connection via hole 4 is formed by charging the through hole with the conductive paste. At this time, in the screen print, squeezing is carried out in a direction (shown by an arrow K) parallel with an extension direction of the extension 5a from the extension part 5a toward the through hole. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

本発明は、積層セラミック電子部品、特に、積層インダクタや積層LCフィルタなどの積層セラミック電子部品およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a multilayer ceramic electronic component, in particular, a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer inductor or a multilayer LC filter, and a method for manufacturing the same.

従来より、積層インダクタとして、特許文献1に記載のものが知られている。図4はこの積層インダクタ101の分解斜視図である。積層インダクタ101は、フェライトなどからなるセラミックシート102を複数積み重ねて積層体とし、各コイル導体パターン103をセラミックシート102に設けた層間接続用ビアホール104を介して電気的に接続して、螺旋状のコイルL2を形成している。コイル導体パターン103は、貫通孔を形成した後のセラミックシート102に導電ペーストをスクリーン印刷で塗布して形成されたものであり、この塗布時に、貫通孔内にも導電ペーストが充填され、層間接続用ビアホール104が形成される。   Conventionally, a multilayer inductor described in Patent Document 1 is known. FIG. 4 is an exploded perspective view of the multilayer inductor 101. The multilayer inductor 101 is formed by stacking a plurality of ceramic sheets 102 made of ferrite or the like to form a multilayer body, and electrically connecting the coil conductor patterns 103 via interlayer connection via holes 104 provided in the ceramic sheet 102. A coil L2 is formed. The coil conductor pattern 103 is formed by applying a conductive paste to the ceramic sheet 102 after the through holes are formed by screen printing. At the time of this application, the through holes are filled with the conductive paste, and the interlayer connection A via hole 104 is formed.

コイル導体パターン103は、略コ字形に形成されるとともに、その端部に層間接続用ビアホール104との接続のための接続ランド105を有している。また、螺旋状コイルL2は、外層用セラミックシート102に設けた層間接続用ビアホール104および接続ランド105を介して積層体の両端部に引き出されている。   The coil conductor pattern 103 is formed in a substantially U shape, and has a connection land 105 for connection to the interlayer connection via hole 104 at the end thereof. Further, the spiral coil L2 is drawn out to both ends of the multilayer body through interlayer connection via holes 104 and connection lands 105 provided in the outer layer ceramic sheet 102.

ここで、導電ペーストをセラミックシート102上にスクリーン印刷することによって、セラミックシート102に設けた貫通孔に重なるように接続ランド105を形成するとともに、貫通孔に導電ペーストを充填して層間接続用ビアホール104を形成する場合、接続ランド105の面積が小さいと、貫通孔に導電ペーストが充分に充填されず、層間接続用ビアホール104を確実に形成することができないことが知られている。接続ランド105の面積を大きくすると、確実に貫通孔に導電ペーストが充填されることはわかっているが、限られた部品サイズの範囲内で接続ランドの面積を大きくすることは困難である。特に、図4に示すように、接続ランド105が層間接続用ビアホール104に対して全方向に大きくなっている場合には、その困難性は著しい。
特開2000−286125号公報
Here, the conductive paste is screen-printed on the ceramic sheet 102 to form the connection lands 105 so as to overlap the through holes provided in the ceramic sheet 102, and the through holes are filled with the conductive paste and the via holes for interlayer connection are formed. In forming 104, if the area of the connection land 105 is small, it is known that the through hole is not sufficiently filled with the conductive paste, and the interlayer connection via hole 104 cannot be reliably formed. It is known that when the area of the connection land 105 is increased, the conductive paste is surely filled in the through hole, but it is difficult to increase the area of the connection land within a limited component size range. In particular, as shown in FIG. 4, when the connection land 105 is large in all directions with respect to the interlayer connection via hole 104, the difficulty is remarkable.
JP 2000-286125 A

そこで、本発明の目的は、できるだけ小さい面積の接続ランドで確実に層間接続用ビアホールを形成することができる積層セラミック電子部品およびその製造方法を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a multilayer ceramic electronic component capable of reliably forming an interlayer connection via hole with a connection land having an area as small as possible, and a method for manufacturing the same.

前記目的を達成するため、本発明に係る積層セラミック電子部品は、内部導体パターンが印刷された複数のセラミックシートを積層して構成した積層セラミック電子部品であって、内部導体パターンは接続ランドを有し、該接続ランドに設けた層間接続用ビアホールによって異なる層の内部導体パターン同士が電気的に接続され、接続ランドは層間接続用ビアホールの開口部から10μm以上の長さの延伸部を有していることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a multilayer ceramic electronic component according to the present invention is a multilayer ceramic electronic component configured by laminating a plurality of ceramic sheets on which an internal conductor pattern is printed, and the internal conductor pattern has a connection land. The internal conductor patterns of different layers are electrically connected by the interlayer connection via hole provided in the connection land, and the connection land has an extended portion having a length of 10 μm or more from the opening of the interlayer connection via hole. It is characterized by being.

接続ランドは、例えば略長方形、略長円形および略楕円形のいずれか一つの形状であり、接続ランドの延伸部の延伸方向と直交する方向の幅は、層間接続用ビアホールの径以上の寸法をもっている。   The connection land is, for example, any one of a substantially rectangular shape, a substantially oval shape, and a substantially oval shape, and the width in the direction perpendicular to the extending direction of the extending portion of the connecting land has a dimension equal to or larger than the diameter of the via hole for interlayer connection. Yes.

また、本発明に係る積層セラミック電子部品の製造方法は、導電ペーストをセラミックシート上にスクリーン印刷することによって、セラミックシートに設けた貫通孔に重なるように接続ランドを形成するとともに、貫通孔に導電ペーストを充填して層間接続用ビアホールを形成し、スクリーン印刷の際には、延伸部の延伸方向と平行な方向でかつ延伸部から貫通孔に向かう方向にスキージングを行うことを特徴とする。   In the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the present invention, the conductive land is screen-printed on the ceramic sheet to form a connection land so as to overlap the through hole provided in the ceramic sheet, and the through hole is electrically conductive. An interlayer connection via hole is formed by filling with paste, and during screen printing, squeezing is performed in a direction parallel to the extending direction of the extending portion and in a direction from the extending portion toward the through hole.

本発明によれば、接続ランドは層間接続用ビアホールの開口部から10μm以上の長さの延伸部を有しているので、導電ペーストの塗布量が多く、貫通孔に導電ペーストを充分に充填することができる。一方、接続ランドの延伸部の延伸方向と直交する方向の幅は、必要最小限の寸法に設定されるので、接続ランドの面積を小さくできる。   According to the present invention, since the connection land has an extended portion having a length of 10 μm or more from the opening of the via hole for interlayer connection, the amount of the conductive paste applied is large, and the through paste is sufficiently filled with the conductive paste. be able to. On the other hand, since the width in the direction orthogonal to the extending direction of the extending portion of the connection land is set to the minimum necessary size, the area of the connection land can be reduced.

さらに、セラミックシート上にスクリーン印刷することによって、接続ランドを形成するとともに、貫通孔に導電ペーストを充填して層間接続用ビアホールを形成する際には、延伸部の延伸方向と平行な方向でかつ延伸部から貫通孔に向かう方向にスキージングを行うことにより、接続ランドへの導電ペーストの吐出量が多くなり、貫通孔に導電ペーストを充分に充填して確実に層間接続用ビアホールを形成することができる。   Further, when the connection land is formed by screen printing on the ceramic sheet, and the via hole for interlayer connection is formed by filling the through hole with the conductive paste, the direction is parallel to the extending direction of the extending portion and By performing squeezing in the direction from the stretched part toward the through hole, the amount of conductive paste discharged to the connection land increases, and the through hole is sufficiently filled with the conductive paste to reliably form the via hole for interlayer connection. Can do.

以下、本発明に係る積層セラミック電子部品およびその製造方法の実施例について添付の図面を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of a multilayer ceramic electronic component and a manufacturing method thereof according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図1に示すように、積層インダクタ1は、コイル導体パターン3aと引出し導体パターン6と層間接続用ビアホール4とを設けたセラミックグリーンシート2と、コイル導体パターン3b,3cと層間接続用ビアホール4をそれぞれ設けたセラミックグリーンシート2と、コイル導体パターン3dと引出し導体パターン7を設けたセラミックグリーンシート2と、予め導体パターンを設けていない外層用セラミックグリーンシート2などで構成されている。   As shown in FIG. 1, the multilayer inductor 1 includes a ceramic green sheet 2 provided with a coil conductor pattern 3a, a lead conductor pattern 6, and interlayer connection via holes 4, coil conductor patterns 3b and 3c, and interlayer connection via holes 4. The ceramic green sheet 2 provided, the ceramic green sheet 2 provided with the coil conductor pattern 3d and the lead conductor pattern 7, the ceramic green sheet 2 for the outer layer not provided with the conductor pattern in advance, and the like.

セラミックグリーンシート2は、例えばFe−Ni−Cu系のフェライトセラミック粉末や誘電体セラミック粉末を結合剤などと一緒に混練したものを、ドクターブレード法などの方法でシート状にしたものである。   The ceramic green sheet 2 is obtained by kneading, for example, an Fe—Ni—Cu ferrite ceramic powder or dielectric ceramic powder together with a binder or the like into a sheet shape by a method such as a doctor blade method.

コイル導体パターン3a〜3dは端部に接続ランド5を有し、該接続ランド5に設けた層間接続用ビアホール4によって異なる層のコイル導体パターン3a〜3d同士が電気的に直列に接続して螺旋状コイルL1を形成する。   Each of the coil conductor patterns 3a to 3d has a connection land 5 at an end, and the coil conductor patterns 3a to 3d of different layers are electrically connected in series by the interlayer connection via hole 4 provided in the connection land 5 and spiral. The coil L1 is formed.

接続ランド5は、図2に示すように、例えば略長方形、略長円形および略楕円形のいずれか一つの形状である。本実施例では、長方形の接続ランド5とした。この接続ランド5に対して、層間接続用ビアホール4は片寄った位置に設けられており、層間接続用ビアホール4の開口部から10μm以上の長さWの延伸部5aを有している。接続ランド5の延伸部5aの延伸方向と直交する方向の幅Dは、層間接続用ビアホール4の径d以上の寸法をもっている。またここでは、幅Dはコイル導体パターン3aの幅よりも広く形成した。   As shown in FIG. 2, the connection land 5 has, for example, any one of a substantially rectangular shape, a substantially oval shape, and a substantially oval shape. In this embodiment, the connection land 5 is rectangular. The interlayer connection via hole 4 is provided at an offset position with respect to the connection land 5, and has an extended portion 5 a having a length W of 10 μm or more from the opening of the interlayer connection via hole 4. The width D in the direction orthogonal to the extending direction of the extending portion 5 a of the connection land 5 has a dimension equal to or larger than the diameter d of the interlayer connection via hole 4. Here, the width D is formed wider than the width of the coil conductor pattern 3a.

コイル導体パターン3a〜3dや引出し導体パターン6,7は、Ag,Pd,Cu,Auやこれらの合金などからなり、スクリーン印刷の方法により形成される。また、層間接続用ビアホール4は、レーザビームなどを用いてセラミックグリーンシート2に貫通孔を形成し、この貫通孔にAg,Pd,Cu,Auやこれらの合金などの導電ペーストを充填することによって形成される。   The coil conductor patterns 3a to 3d and the lead conductor patterns 6 and 7 are made of Ag, Pd, Cu, Au, alloys thereof, or the like, and are formed by a screen printing method. Further, the interlayer connection via hole 4 is formed by forming a through hole in the ceramic green sheet 2 using a laser beam or the like and filling the through hole with a conductive paste such as Ag, Pd, Cu, Au, or an alloy thereof. It is formed.

すなわち、導電ペーストをセラミックグリーンシート2上にスクリーン印刷することによって、セラミックグリーンシート2に設けた貫通孔に接続ランド5が重なるようにコイル導体パターン3a〜3cを形成すると同時に、貫通孔に導電ペーストを充填して層間接続用ビアホール4を形成する。このとき、スクリーン印刷は、延伸部5aの延伸方向と平行な方向でかつ延伸部5aから貫通孔に向かう方向(図1および図2において矢印Kの方向)にスキージングを行う。これにより、スクリーン版を通して多くの導電ペーストが接続ランド5の延伸部5aに塗布されるとともに、貫通孔に充填される。   That is, the conductive paste is screen-printed on the ceramic green sheet 2 to form the coil conductor patterns 3a to 3c so that the connection lands 5 overlap the through holes provided in the ceramic green sheet 2, and at the same time, the conductive paste is formed in the through holes. Then, the via hole 4 for interlayer connection is formed. At this time, screen printing performs squeezing in a direction parallel to the extending direction of the extending portion 5a and in a direction from the extending portion 5a toward the through hole (the direction of the arrow K in FIGS. 1 and 2). As a result, a large amount of conductive paste is applied to the extending portions 5a of the connection lands 5 through the screen plate and filled into the through holes.

螺旋状コイルL1の両端部は引出し導体パターン6,7に電気的に接続されている。引出し導体パターン6,7はシート2の左右の辺にそれぞれ露出している。   Both ends of the spiral coil L1 are electrically connected to the lead conductor patterns 6 and 7. The lead conductor patterns 6 and 7 are exposed on the left and right sides of the sheet 2, respectively.

各シート2は積み重ねられて圧着された後、一体的に焼成されて図3に示すような直方体形状を有する積層体11とされる。積層体11の左右の端面には入出力外部電極12,13が形成されている。外部電極12、13は、塗布焼付、スパッタリング、あるいは蒸着などの方法により形成される。外部電極12,13には、引出し導体パターン6,7がそれぞれ接続されている。さらに、外部電極12,13の表面に、はんだ付け性改善などの目的でNiめっきおよびSnめっきなどを施す。   Each sheet 2 is stacked and pressure-bonded, and then fired integrally to form a laminate 11 having a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. Input / output external electrodes 12 and 13 are formed on the left and right end faces of the laminate 11. The external electrodes 12 and 13 are formed by a method such as coating baking, sputtering, or vapor deposition. Lead conductor patterns 6 and 7 are connected to the external electrodes 12 and 13, respectively. Further, Ni plating and Sn plating are performed on the surfaces of the external electrodes 12 and 13 for the purpose of improving solderability.

以上の構成からなる積層インダクタ1は、接続ランド5が層間接続用ビアホール4の開口部から10μm以上の長さの延伸部5aを有しているので、導電ペーストの塗布量が多く、貫通孔に導電ペーストを充分に充填することができる。一方、接続ランド5の延伸部5aの延伸方向と直交する方向の幅Dは、必要最小限の寸法に設定されるので、接続ランド5の面積を図4に示した従来の接続ランド105と比較して小さくできる。   In the multilayer inductor 1 having the above configuration, since the connection land 5 has the extending portion 5a having a length of 10 μm or more from the opening of the interlayer connection via hole 4, the amount of conductive paste applied is large, and the through hole is formed in the through hole. The conductive paste can be sufficiently filled. On the other hand, since the width D in the direction orthogonal to the extending direction of the extending portion 5a of the connection land 5 is set to the minimum necessary dimension, the area of the connection land 5 is compared with the conventional connection land 105 shown in FIG. To make it smaller.

より具体的には、図2に示すように、層間接続用ビアホール4の径d、層間接続用ビアホール4の開口部から接続ランド5の延伸部5aの端部までの長さW、さらに、接続ランド5の延伸部5aの延伸方向と直交する方向の幅Dを種々変えた積層インダクタ1(実施例1〜実施例8)を作成して、その評価を行った。評価結果を表1―1に示す。なお、表1―2には、比較例1および比較例2を記載している。   More specifically, as shown in FIG. 2, the diameter d of the interlayer connection via hole 4, the length W from the opening of the interlayer connection via hole 4 to the end of the extension portion 5a of the connection land 5, and the connection The multilayer inductor 1 (Examples 1 to 8) in which the width D in the direction orthogonal to the extending direction of the extending part 5a of the land 5 was changed was created and evaluated. The evaluation results are shown in Table 1-1. In Table 1-2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2 are described.

Figure 2005217256
Figure 2005217256

表1−1と表1−2より、長さWが10μm以上のときは、層間接続用ビアホール4の断線率は0%、かつ、サージ試験(±30kV×20回)による断線率も0%であった。つまり、長さWが10μm以上であれば、延伸部5aの延伸方向と平行な方向でかつ延伸部5aから貫通孔に向かう方向にスキージングを行うことにより、接続ランド5への導電ペーストの吐出量が多くなり、貫通孔に導電ペーストが充分に充填されて確実に層間接続用ビアホール4を形成できることがわかる。   From Table 1-1 and Table 1-2, when the length W is 10 μm or more, the disconnection rate of the interlayer connection via hole 4 is 0%, and the disconnection rate by the surge test (± 30 kV × 20 times) is also 0%. Met. That is, if the length W is 10 μm or more, the conductive paste is discharged to the connection land 5 by performing squeezing in a direction parallel to the extending direction of the extending portion 5a and in a direction from the extending portion 5a toward the through hole. It can be seen that the amount increases, and the through hole is sufficiently filled with the conductive paste to reliably form the interlayer connection via hole 4.

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。積層セラミック電子部品としては、積層インダクタの他に、例えば積層LCフィルタ、積層インピーダンス素子などがある。   In addition, this invention is not limited to the said Example, It can change variously within the range of the summary. Examples of the multilayer ceramic electronic component include a multilayer LC filter and a multilayer impedance element in addition to the multilayer inductor.

本発明に係る積層セラミック電子部品の一実施例を示す分解斜視図。1 is an exploded perspective view showing an embodiment of a multilayer ceramic electronic component according to the present invention. 図1に示した積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための平面図。FIG. 2 is a plan view for explaining a method for manufacturing the multilayer ceramic electronic component shown in FIG. 1. 図1に示した積層セラミック電子部品の外観斜視図。FIG. 2 is an external perspective view of the multilayer ceramic electronic component shown in FIG. 1. 従来例を示す分解斜視図。The exploded perspective view which shows a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

1…積層インダクタ
2…セラミックグリーンシート
3a〜3d…コイル導体パターン
4…層間接続用ビアホール
5…接続ランド
5a…延伸部
L1…螺旋状コイル
W…延伸部の長さ
D…接続ランドの幅
d…層間接続用ビアホールの径
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer inductor 2 ... Ceramic green sheet 3a-3d ... Coil conductor pattern 4 ... Via-hole for interlayer connection 5 ... Connection land 5a ... Extension part L1 ... Spiral coil W ... Length of extension part D ... Connection land width d ... Diameter of via hole for interlayer connection

Claims (4)

内部導体パターンが印刷された複数のセラミックシートを積層して構成した積層セラミック電子部品において、
前記内部導体パターンは接続ランドを有し、該接続ランドに設けた層間接続用ビアホールによって異なる層の内部導体パターン同士が電気的に接続され、前記接続ランドは前記層間接続用ビアホールの開口部から10μm以上の長さの延伸部を有していることを特徴とする積層セラミック電子部品。
In a multilayer ceramic electronic component constructed by laminating a plurality of ceramic sheets printed with an internal conductor pattern,
The internal conductor pattern has a connection land, and the internal conductor patterns of different layers are electrically connected to each other by an interlayer connection via hole provided in the connection land, and the connection land is 10 μm from the opening of the interlayer connection via hole. A multilayer ceramic electronic component having an extending portion having the above length.
前記接続ランドの延伸部の延伸方向と直交する方向の幅が、前記層間接続用ビアホールの径以上の寸法をもっていることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミック電子部品。   2. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein a width in a direction orthogonal to an extending direction of the extending portion of the connection land has a dimension equal to or larger than a diameter of the interlayer connection via hole. 前記接続ランドは略長方形、略長円形および略楕円形のいずれか一つの形状であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の積層セラミック電子部品。   3. The multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the connection land has any one of a substantially rectangular shape, a substantially oval shape, and a substantially oval shape. 4. 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の積層セラミック電子部品の製造方法であって、
導電ペーストを前記セラミックシート上にスクリーン印刷することによって、前記セラミックシートに設けた貫通孔に重なるように前記接続ランドを形成するとともに、前記貫通孔に導電ペーストを充填して前記層間接続用ビアホールを形成し、前記スクリーン印刷の際には、前記延伸部の延伸方向と平行な方向でかつ前記延伸部から前記貫通孔に向かう方向にスキージングを行うことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。
A method for producing a multilayer ceramic electronic component according to any one of claims 1 to 3,
The connection lands are formed so as to overlap the through holes provided in the ceramic sheet by screen-printing the conductive paste on the ceramic sheets, and the via holes for interlayer connection are formed by filling the through holes with the conductive paste. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, wherein squeezing is performed in the direction parallel to the stretching direction of the stretched portion and in the direction from the stretched portion toward the through hole during the screen printing. .
JP2004023175A 2004-01-30 2004-01-30 Lamination ceramic electronic component and its manufacturing method Pending JP2005217256A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004023175A JP2005217256A (en) 2004-01-30 2004-01-30 Lamination ceramic electronic component and its manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004023175A JP2005217256A (en) 2004-01-30 2004-01-30 Lamination ceramic electronic component and its manufacturing method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005217256A true JP2005217256A (en) 2005-08-11

Family

ID=34906290

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004023175A Pending JP2005217256A (en) 2004-01-30 2004-01-30 Lamination ceramic electronic component and its manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005217256A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109065332A (en) * 2018-07-11 2018-12-21 深圳振华富电子有限公司 Flat-plate transformer
CN109065337A (en) * 2018-07-11 2018-12-21 深圳振华富电子有限公司 Printed circuit board flat-plate transformer
CN109872867A (en) * 2017-12-05 2019-06-11 株式会社村田制作所 Coil component

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109872867A (en) * 2017-12-05 2019-06-11 株式会社村田制作所 Coil component
JP2019102691A (en) * 2017-12-05 2019-06-24 株式会社村田製作所 Coil component
CN109065332A (en) * 2018-07-11 2018-12-21 深圳振华富电子有限公司 Flat-plate transformer
CN109065337A (en) * 2018-07-11 2018-12-21 深圳振华富电子有限公司 Printed circuit board flat-plate transformer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4283834B2 (en) Multilayer capacitor
US8159322B2 (en) Laminated coil
US6590486B2 (en) Multilayer inductor
JP2007096926A (en) Multilayered filter
JP4432973B2 (en) Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component
JP3058164B1 (en) Multilayer inductor
JP6328370B2 (en) Multilayer chip electronic components
JP5262775B2 (en) Multilayer electronic component and manufacturing method thereof
JP2018006411A (en) Laminated coil component
JP3594031B1 (en) Multilayer ceramic electronic component, multilayer coil component, and method of manufacturing multilayer ceramic electronic component
JP2006310475A (en) Laminated coil
JP2005217256A (en) Lamination ceramic electronic component and its manufacturing method
JP6784183B2 (en) Multilayer coil parts
JP2004039957A (en) Multilayer inductor
JP2005142302A (en) Laminated coil component and manufacturing method thereof
JP2012221995A (en) Multilayer electronic component
KR101963267B1 (en) Multi-layered inductor and board for mounting the same
JP2005167029A (en) Laminated inductor
JP2001060518A (en) Laminated electronic component
JP3582480B2 (en) Screen printing plate, screen printing method, and multilayer capacitor
JP4185452B2 (en) Multilayer electronic components
JP2009164513A (en) Electronic component
JP4325357B2 (en) Multilayer coil component and method for manufacturing multilayer coil component
JP2005072267A (en) Laminated inductor
JP2006352568A (en) Multilayer filter

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061212

A977 Report on retrieval

Effective date: 20090612

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090623

A02 Decision of refusal

Effective date: 20091027

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02