JP2005212066A

JP2005212066A - ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ、該フランジの取り外し具及びウェーハ面取り装置の砥石取付方法

Info

Publication number: JP2005212066A
Application number: JP2004023688A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Katayama; 一郎片山; Satoru Minami; 悟南
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2004-01-30
Filing date: 2004-01-30
Publication date: 2005-08-11

Abstract

【課題】簡易な構成で加工精度を向上させることができるウェーハ面取り用砥石の固定フランジ、該フランジの取り外し具及びウェーハ面取り装置の砥石取付方法を提供する。
【解決手段】その基端部より先端部に向かって縮径するように形成されたテーパ形状のモータ回転軸４０に嵌着される孔１８がその中心部に形成された、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０である。孔１８は、モータ回転軸のテーパ形状と略同一のテーパ形状部を有しており、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの外周部には、ウェーハ面取り用砥石が嵌着される軸部１７が形成されている。モータ回転軸とウェーハ面取り用砥石の固定フランジとの間には、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジをモータ回転軸の軸心方向に移動可能とする位置調整手段が形成されており、位置調整手段により、モータ回転軸とウェーハ面取り用砥石の固定フランジとの相対位置を変更させることにより、ウェーハ面取り用砥石のモータ回転軸に対する求心ができるようになっている。
【選択図】図１

Description

本発明はウェーハ面取り用砥石の固定フランジ、該フランジの取り外し具及びウェーハ面取り装置の砥石取付方法に係り、特にウェーハ面取り用砥石を精度良く砥石軸に取り付けるのに好適なウェーハ面取り用砥石の固定フランジ、該フランジの取り外し具及びウェーハ面取り装置の砥石取付方法に関する。

一般にウェーハ面取り用の砥石は、先ず、砥石溝形成装置によって外周に砥石溝が形成され、その後、砥石バランス調整装置によりバランス調整が行われてから、ウェーハ面取り装置の砥石軸に取り付けられる。その際、砥石は各装置の砥石用モータ軸にフランジを介して取り付けられている。

ところが、砥石のフランジへの取り付けは、嵌め合い公差穴基準で取り付けているため、フランジ側又は砥石側の嵌め合い加工誤差によりアンバランスが発生するという欠点がある。このため、砥石溝形成装置では砥石溝を正確に形成することができず、また、砥石バランス調整装置では正確にバランス調整することができないという欠点がある。そして、この結果、ウェーハ面取り装置ではウェーハの加工精度が低下してしまうという欠点がある。

このような事情に鑑みて、砥石のフランジへの取り付け精度を向上させることができるウェーハ面取り装置の砥石取付方法が本出願人により提案されている（特許文献１参照。）。

この技術によれば、砥石は各装置の砥石軸に油圧フランジを介して取り付けられる。これにより、どの装置においても砥石の中心と砥石軸の中心とが一致し、砥石を高速回転させても振動が発生しなくなる。
特開２０００−１４１１９１号公報

しかしながら、このような油圧フランジは、構成が複雑であり、加工するのに非常な工数とコストとを要し、工程への導入には不向きであるという問題点を有する。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、簡易な構成で加工精度を向上させることができるウェーハ面取り用砥石の固定フランジ、該フランジの取り外し具及びウェーハ面取り装置の砥石取付方法を提供することを目的とする。

請求項１に係る本発明は、前記目的を達成するために、その基端部より先端部に向かって縮径するように形成されたテーパ形状のモータ回転軸に嵌着される孔がその中心部に形成された、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジであって、前記孔は、前記モータ回転軸のテーパ形状と略同一のテーパ形状部を有しており、前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの外周部には、ウェーハ面取り用砥石が嵌着される軸部が形成されており、前記モータ回転軸と前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジとの間には、前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを前記モータ回転軸の軸心方向に移動可能とする位置調整手段が形成されており、前記位置調整手段により、前記モータ回転軸と前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジとの相対位置を変更させることにより、前記ウェーハ面取り用砥石の前記モータ回転軸に対する求心ができるようになっていることを特徴とするウェーハ面取り用砥石の固定フランジを提供する。

請求項１に係る本発明によれば、砥石は各装置の砥石用モータ回転軸に対して求心ができるように取り付けられる。これにより、どの装置においても砥石の中心と砥石用モータ回転軸の中心とが一致し、ウェーハ面取り装置の加工精度が向上する。

請求項２に係る本発明は、前記位置調整手段は、前記モータ回転軸に設けられた雌ねじ部と、軸部が前記雌ねじ部に螺合する雄ねじ部材と、前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの前記孔内に設けられ、前記雄ねじ部材の軸部を貫通可能とするとともに、前記雄ねじ部材の頭部の貫通を妨げる内径の貫通孔が形成されている規制部材と、よりなる請求項１に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジを提供する。このような位置調整手段であれば、構成が簡易であり、加工するのに工数とコストとをさほど要しない。

請求項３に係る本発明は、前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用してウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸にウェーハ面取り用砥石を取り付けるウェーハ面取り装置の砥石取付方法において、砥石溝が形成されていない砥石を、砥石溝形成装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石溝形成装置で前記砥石の外周に砥石溝を形成し、該砥石溝が形成された砥石を、砥石バランス調整装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石バランス調整装置で前記砥石のバランスを調整し、該バランス調整された砥石を、前記ウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して取り付けることを特徴とするウェーハ面取り装置の砥石取付方法を提供する。

請求項３に係る本発明によれば、砥石は各装置の砥石用モータ回転軸に対して求心ができるように取り付けられる。これにより、どの装置においても砥石の中心と砥石用モータ回転軸の中心とが一致し、砥石を高速回転させても振動が発生しなくなる。この結果、正確に砥石溝を形成することができるとともに、正確にバランス調整を行なうことができるようになり、ウェーハ面取り装置の加工精度が向上する。

請求項４に係る本発明は、前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用してウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸にウェーハ面取り用砥石を取り付けるウェーハ面取り装置の砥石取付方法において、砥石溝が形成されていない砥石を、砥石溝形成装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石溝形成装置で前記砥石の外周に砥石溝を形成し、該砥石溝が形成された砥石を、前記ウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して取り付けることを特徴とするウェーハ面取り装置の砥石取付方法を提供する。

請求項４に係る本発明によれば、砥石は各装置の砥石用モータ回転軸に対して求心ができるように取り付けられる。これにより、どの装置においても砥石の中心と砥石軸の中心とが一致し、砥石を高速回転させても振動が発生しなくなる。この結果、正確に砥石溝を形成することができるようになり、ウェーハ面取り装置の加工精度が向上する。

請求項５に係る本発明は、前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用してウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸にウェーハ面取り用砥石を取り付けるウェーハ面取り装置の砥石取付方法において、前記ウェーハ面取り用砥石を、砥石バランス調整装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石バランス調整装置で前記砥石のバランスを調整し、該バランス調整された砥石を、前記ウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して取り付けることを特徴とするウェーハ面取り装置の砥石取付方法を提供する。

請求項５に係る本発明によれば、砥石は各装置の砥石用モータ回転軸に対して求心ができるように取り付けられる。これにより、どの装置においても砥石の中心と砥石軸の中心とが一致し、砥石を高速回転させても振動が発生しなくなる。この結果、正確にバランス調整を行なうことができるようになり、ウェーハ面取り装置の加工精度が向上する。

請求項６に係る本発明は、前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジをモータ回転軸より取り外す際に使用される取り外し具であって、前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの外周部に形成された雄ねじ部と螺合する雌ねじ部を有するとともに、中央に貫通する雌ねじ孔を有する板状部材と、前記雌ねじ孔に螺合する雄ねじと、よりなることを特徴とするウェーハ面取り用砥石の固定フランジの取り外し具を提供する。

請求項６に係る本発明によれば、簡易な構成の取り外し具ではあるが、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジをモータ回転軸より確実に取り外せる。

以上説明したように、本発明によれば、砥石は各装置の砥石用モータ回転軸に対して求心ができるように取り付けられる。これにより、どの装置においても砥石の中心と砥石用モータ回転軸の中心とが一致し、ウェーハ面取り装置の加工精度が向上する。

以下添付図面に従って本発明に係るウェーハ面取り用砥石の固定フランジ、該フランジの取り外し具及びウェーハ面取り装置の砥石取付方法の好ましい実施の形態について詳説する。

先ず、本発明に係るウェーハ面取り用砥石の固定フランジの構成について説明する。図１は、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの構成を示す正面断面図である。図２は、図１の平面図である。図１に示されるように、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０は、ビルトインスピンドル４１のモータ回転軸４０に取り付けられるフランジ本体１２と、そのフランジ本体１２に取り付けられて砥石５０をクランプする押さえ板１４とから構成されている。

モータ回転軸４０は、その基端部より先端部に向かって縮径するように形成されたテーパ形状となっている。またモータ回転軸４０の中心には、軸心方向に雌ねじ孔（雌ねじ部）４３が形成されている。

フランジ本体１２は、その下端部にフランジ１６が形成されており、このフランジ１６と押さえ板１４との間で砥石５０をクランプできるようになっている。すなわち、フランジ本体１２の軸部１７の上部約１／３の外周には雄ねじ２０が形成されており、円盤状の押さえ板１４の中央部には雄ねじ２０と螺合する貫通雌ねじ孔２２が形成されており、フランジ本体１２と押さえ板１４とを相対回転させることにより、フランジ１６と押さえ板１４との間で砥石５０をクランプできる。

その際、両者の締め込みが容易にできるように、フランジ１６と押さえ板１４には、回転工具の爪を引っ掛けられるような切り欠き部１６Ａ、１４Ａがそれぞれ設けられている。

フランジ本体１２の軸部１７の中央部には軸線に沿って貫通孔１８が形成されており、貫通孔１８の下部の約２／３はテーパ状に形成されている。このテーパ形状は、モータ回転軸４０のテーパ形状（雄形状）と略同一の雌形状となっている。

また、貫通孔１８の上部にはこの貫通孔１８を塞ぐ天板（規制部材）３０が固着されており、この天板３０の中心には、後述する六角キャップボルト（雄ねじ部材）３４の軸部が貫通できるサイズ（内径）の貫通孔３２が形成されている。この貫通孔３２は、後述する六角キャップボルト３４の頭部の貫通を妨げるサイズ（内径）である。

フランジ本体１２の軸部１７の外周部は、砥石５０が若干の隙間をもって嵌着できるサイズ（外径）に形成されている。

モータ回転軸４０に設けられた雌ねじ孔（雌ねじ部）４３と、軸部が雌ねじ孔４３に螺合する六角キャップボルト（雄ねじ部材）３４と、貫通孔１８の天板３０とで、モータ回転軸４０とウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０との間における、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０をモータ回転軸４０の軸心方向に移動可能とする位置調整手段が形成される。

すなわち、六角キャップボルト３４を雌ねじ孔４３に螺合させ、締め込むことにより、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０とモータ回転軸４０との軸心方向の距離が縮まるようになっている。

その際、六角キャップボルト３４の雌ねじ孔４３への締め込みを続けると、モータ回転軸４０のテーパ状部分と、貫通孔１８のテーパ状部分とが密着するようになる。更にこの締め込みを続けると、フランジ本体１２の軸部１７が弾性変形し、軸部１７の外径が増大していく。したがって、この位置調整手段により、砥石５０をモータ回転軸４０に対して求心させ得る。この詳細は、後述するフランジ本体１２のモータ回転軸４０への取り付け方法の箇所で説明する。

図３は、本発明に係るフランジの取り外し具４２の構成を示す正面断面図である。このフランジの取り外し具４２は、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０をモータ回転軸４０より取り外す際に使用される取り外し具であり、円盤（板状部材）４４と、抜きボルト（雄ねじ）４６とより構成される。

円盤４４は、フランジ本体１２の軸部１７の外周部に形成された雄ねじ２０と螺合する雌ねじ部４４Ａを有するとともに、中央に貫通する雌ねじ孔４４Ｂを有する板状部材である。抜きボルト４６は、雌ねじ孔４４Ｂに螺合する雄ねじ部４６Ａを有する。

フランジの取り外し具４２を使用する際には、円盤４４の雌ねじ部４４Ａをフランジ本体１２の雄ねじ２０と螺合させ、抜きボルト４６を雌ねじ孔４４Ｂに螺合させ、抜きボルト４６を締め込むことにより行う。

前記のごとく構成されたフランジ本体１２をモータ回転軸４０に取り付ける方法は次の通りである。先ず、フランジ本体１２の中央部に形成されている貫通孔１８をモータ回転軸４０に嵌め合わせる。ここで、既述のように、モータ回転軸４０の先端部分は、貫通孔１８に形成されているテーパ部分と同じテーパ比でテーパ状に形成されているので、貫通孔１８を嵌め合わせることにより、フランジ本体１２はモータ回転軸４０と同軸上に装着される。

モータ回転軸４０に装着されたフランジ本体１２を六角キャップボルト３４によって緩くボルト止めし、これにより、フランジ本体１２がモータ回転軸４０に固定される。

次いで、砥石５０をフランジ本体１２の軸部１７に嵌め合わせる。この状態では、砥石５０の内径と軸部１７との間には若干の隙間が形成されている。

次いで、押さえ板１４の貫通雌ねじ孔２２をフランジ本体１２の軸部１７の雄ねじ２０に螺合させる。そして、フランジ本体１２と押さえ板１４とを相対回転させることにより、フランジ１６と押さえ板１４との間で砥石５０をクランプさせる。

次いで、フランジ本体１２を保持しながら六角キャップボルト３４を更に締め込む。これにより、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０とモータ回転軸４０との軸心方向の距離が縮まる。そして、モータ回転軸４０のテーパ状部分と、貫通孔１８のテーパ状部分とが密着するようになる。

更にこの締め込みを続けると、フランジ本体１２の軸部１７が弾性変形し、軸部１７の外径が同心状態で均等に増大していく。したがって、砥石５０をモータ回転軸４０に対して求心させることができる。

すなわち、フランジ本体１２の軸部１７は、フランジ本体１２の全周にわたって均一に弾性変形し、この均一に変形した軸部１７がフランジ本体１２に装着された砥石５０の内周面を押圧し、砥石５０をフランジ本体１２の同軸上に位置決めする。

一方、装着した砥石５０をフランジ本体１２から取り外す場合は、次の通りである。

先ず、フランジ本体１２を保持しながら六角キャップボルト３４を緩める。これにより、変形した軸部１７が元の状態に戻り、砥石５０の内周面とフランジ本体１２の外周面との間に所定のクリアランスが生じる。

次いで、押さえ板１４をフランジ本体１２から取り外し、砥石５０をフランジ本体１２から取り外す。そして、フランジ本体１２を保持しながら六角キャップボルト３４を緩め、フランジ本体１２より六角キャップボルト３４を取り外す。最後に、フランジ本体１２をモータ回転軸４０から取り外す。

なお、モータ回転軸４０のテーパ状部分と、貫通孔１８のテーパ状部分とが密着して離れない場合には、適宜の段階において、既述したフランジの取り外し具４２を使用することが好ましい。

このフランジの取り外し具４２を使用する際には、先ず、円盤４４の雌ねじ部４４Ａをフランジ本体１２の雄ねじ２０と螺合させる。次いで、抜きボルト４６を雌ねじ孔４４Ｂに螺合させ、抜きボルト４６をスパナ等の工具を使用して締め込む。これにより、強制的にモータ回転軸４０とフランジ本体１２との距離を増大させ、モータ回転軸４０とフランジ本体１２とを引き離すことが容易にできる。

以上説明したように、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介してモータ回転軸４０に砥石５０を取り付けることにより、砥石５０は自動的にモータ回転軸４０の同軸上に取り付けられるので、高速回転させても振動が発生することがない。

次に、前記のごとく構成されたウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を用いた本発明に係るウェーハ面取り装置の砥石取付方法について説明する。

一般にウェーハ面取り用の砥石は、先ず、砥石溝形成装置によって外周に砥石溝を形成し、その後、砥石バランス調整装置でバランス調整を行ってから、ウェーハ面取り装置のモータ回転軸に取り付けられる。本発明に係るウェーハ面取り装置の砥石の取付方法では、各装置のモータ回転軸に砥石を取り付ける際、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して砥石をモータ回転軸に取り付ける。具体的には次の通りである。

先ず、各装置の構成について説明する。始めに砥石溝形成装置の構成について説明する。

面取り用の砥石には、結合材にメタルボンドを使用したメタルボンド砥石と、結合材にレジンボンドを使用したレジンボンド砥石があり、一般にメタルボンド砥石の場合は放電加工により、またレジンボンド砥石の場合はツルーイングにより砥石溝を形成する。

図４は、放電加工によって砥石溝を形成する砥石溝形成装置６０の概略構成を示す正面図である。図４に示されるように、加工槽６１内には放電加工液６２が満たされており、その放電加工液６２中に放電体６３と砥石５０が浸漬配置されている。放電体６３は円筒状に形成されており、その外周部に砥石５０に形成する砥石溝５０Ｇ（図１、図７等参照）の形状に合致した凸部が形成されている。この放電体６３は放電体駆動モータ６４のスピンドル６５に取り付けられており、放電体駆動モータ６４を駆動することにより回転する。

一方、砥石５０は砥石駆動モータ６６のスピンドル（砥石軸）６７にウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して取り付けられており、砥石駆動モータ６６を駆動することにより回転する。そして、放電体６３には高電圧電源６８のマイナス極が接続されており、砥石５０には高電圧電源６８のプラス極が接続されている。

砥石溝５０Ｇの加工は、放電加工液６２中に浸漬された放電体６３と砥石５０との間に高電圧を印加し、両者を回転させつつ互いに近づけることにより行う。

図５は、ツルーイングによって砥石溝を形成する砥石溝形成装置７０の概略構成を示す正面図である。図５に示されるように、砥石５０に砥石溝５０Ｇ（図１、図７等参照）を加工するツルアー７１は、円盤状に形成されており、その外周部が砥石５０に形成する砥石溝５０Ｇの形状に合致した断面形状のツルーイング砥石が固着されている。このツルアー７１は、ツルアー駆動モータ７２のスピンドル７３に取り付けられており、ツルアー駆動モータ７２を駆動することにより回転する。

一方、砥石５０は、砥石駆動モータ７４のスピンドル（砥石軸）７５にウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して取り付けられており、砥石駆動モータ７４を駆動することにより回転する。

砥石溝５０Ｇの加工は、ツルアー７１と砥石５０を回転させながら互いに近づけることにより、ツルアー７１で砥石５０の外周を研削することによりなされる。

次に、砥石バランス調整装置の構成について説明する。図６は、砥石バランス調整装置８０の概略構成を示す正面図である。図６に示されるように、砥石５０は砥石駆動モータ８１のスピンドル（砥石軸）８２にウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して取り付けられており、砥石駆動モータ８１を駆動することにより回転する。

ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０の上端外周部には反射テープ８３が貼付されており、この反射テープ８３の加速度振動を加速度センサー８４で計測し、この計測結果に基づいてバランス測定器８５が砥石５０のアンバランス量と方向を計算する。そして、この計算結果に基づいて砥石５０の台金部分にバランス穴を穿孔する。

次に、ウェーハ面取り装置の構成について説明する。図７は、ウェーハ面取り装置９０の概略構成を示す正面図である。図７に示されるように、砥石５０は砥石駆動モータ９１のスピンドル（砥石軸）９２にウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して取り付けられており、砥石駆動モータ９１を駆動することにより回転する。

一方、この砥石５０で面取り加工するウェーハＷは、ウェーハテーブル９３に吸着保持されており、ウェーハテーブル９３はテーブル駆動モータ９４のスピンドル９５に固着されている。

加工は、ウェーハＷと砥石５０を高速回転させながら互いに近づけることにより、砥石５０の砥石溝５０ＧにウェーハＷの周縁を押し当てて行う。

次に、上記の説明になる各装置とウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を用いた本発明に係るウェーハ面取り装置の砥石取付方法について説明する。

先ず、砥石５０に砥石溝５０Ｇを加工する。メタルボンド砥石の場合、砥石溝５０Ｇは、図４に示される放電加工による砥石溝形成装置６０を用いて形成する。

ここで、この砥石溝形成装置６０の砥石軸（スピンドル）６７に砥石５０を取り付ける際、砥石５０をウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して砥石軸６７に取り付ける。これにより、砥石５０は砥石軸６７の同軸上に取り付けられる。したがって、砥石５０の外側への軸芯からの距離が一定で正確な砥石溝５０Ｇを形成することができる。

図５に示されるレジンボンド砥石の場合も同様である。砥石５０を砥石溝形成装置７０の砥石軸（スピンドル）７５に取り付ける際、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して砥石軸７５に取り付ける。これにより、砥石５０は砥石軸７５の同軸上に取り付けられ、正確に砥石溝５０Ｇを形成することができる。

砥石溝５０Ｇを形成し終えた砥石５０は、砥石溝形成装置６０（又は７０）の砥石軸６７（又は７５）から取り外し、次に、砥石バランス調整装置８０でバランス調整を行う。ここで、図６に示される砥石バランス調整装置８０の砥石軸８２に砥石５０を取り付ける際、砥石５０をウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して砥石軸８２に取り付ける。これにより、砥石軸８２の同軸上に砥石５０が取り付けられるので、正確に砥石５０のアンバランス量と方向を測定することができる。したがって、正確に砥石５０のバランス調整を行うことができる。

以上の工程を経ることにより、砥石５０は正確に砥石溝５０Ｇが形成され、正確にバランス調整がなされる。

次に、砥石５０を砥石バランス調整装置８０の砥石軸８２から取り外し、図７に示されるウェーハ面取り装置９０の砥石軸９２に取り付ける。ここで、砥石５０をウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して砥石軸９２に取り付ける。これにより、砥石５０は砥石軸９２の同軸上に取り付けられるので、高速回転させても振動が発生しなくなる。また、砥石溝５０Ｇの振れがないため、ウェーハＷを精度良く加工することができる。

以上説明したように、本発明に係るウェーハ面取り装置の砥石取付方法によれば、砥石溝形成装置６０、７０、砥石バランス調整装置８０及びウェーハ面取り装置９０の各装置の砥石軸（砥石用モータ回転軸）にウェーハ面取り用砥石の固定フランジ１０を介して砥石５０を取り付ける。

これにより、砥石溝形成装置６０、７０では正確に砥石溝５０Ｇを形成することができ、また、砥石バランス調整装置８０では正確に砥石５０のバランス調整を行うことができる。そして、このように正確に砥石溝５０Ｇが形成され、正確にバランス調整がなされた砥石５０をウェーハ面取り装置９０の砥石軸９２の同軸上に取り付けることができる。したがって、ウェーハ面取り装置９０の砥石軸９２の同軸上に取り付けられた砥石５０は、高速回転させても振動が発生せず、砥石溝５０Ｇの振れがないため、高精度にウェーハＷを面取り加工することができる。このように、本発明によれば、きわめて簡単にウェーハＷの加工精度を向上させることができる。

なお、本実施の形態では、砥石溝形成装置、砥石バランス調整装置及びウェーハ面取り装置の各装置でウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して砥石を砥石軸に取り付けるようにしているが、砥石溝形成装置とウェーハ面取り装置に砥石を取り付ける場合にのみウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用するようにしてもよい（砥石バランス調整装置に砥石を取り付ける際は通常のフランジを使用する。）。これにより、砥石溝を正確に形成することができ、また、ウェーハ面取り装置の砥石軸と同軸上に砥石を装着することができるので、この場合であってもウェーハの加工精度の向上を図ることができる。

同様に砥石バランス調整装置とウェーハ面取り装置に砥石を取り付ける場合にのみウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用するようにしてもよい（砥石溝形成装置に砥石を取り付ける際は通常のフランジを使用する。）。これにより、正確に砥石のバランスを調整をすることができ、また、ウェーハ面取り装置の砥石軸と同軸上に砥石を装着することができるので、ウェーハの加工精度を向上させることができる。

また、上述した構成の砥石溝形成装置６０、７０、砥石バランス調整装置８０及びウェーハ面取り装置９０は、各装置の一例に過ぎず、他の構成の装置にも本発明は有効に適用することができる。

本発明に係るウェーハ面取り用砥石の固定フランジの構成を示す正面断面図図１の平面図本発明に係るフランジの取り外し具の構成を示す正面断面図砥石溝形成装置の概略構成を示す正面図（メタルボンド砥石用）砥石溝形成装置の概略構成を示す正面図（レジンボンド砥石用）砥石バランス調整装置の概略構成を示す正面図ウェーハ面取り装置の概略構成を示す正面図

符号の説明

１０…ウェーハ面取り用砥石の固定フランジ、１２…フランジ本体、１４…押さえ板、１６…フランジ、１７…軸部、１８…貫通孔、４０…モータ回転軸、５０…砥石、５０Ｇ…砥石溝、６０…砥石溝形成装置（メタルボンド砥石用）、６７…スピンドル（砥石軸）、７０…砥石溝形成装置（レジンボンド砥石用）、７５…スピンドル（砥石軸）、８０…砥石バランス調整装置、８２…スピンドル（砥石軸）、９０…ウェーハ面取り装置、９２…スピンドル（砥石軸）

Claims

その基端部より先端部に向かって縮径するように形成されたテーパ形状のモータ回転軸に嵌着される孔がその中心部に形成された、ウェーハ面取り用砥石の固定フランジであって、
前記孔は、前記モータ回転軸のテーパ形状と略同一のテーパ形状部を有しており、
前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの外周部には、ウェーハ面取り用砥石が嵌着される軸部が形成されており、
前記モータ回転軸と前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジとの間には、前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを前記モータ回転軸の軸心方向に移動可能とする位置調整手段が形成されており、
前記位置調整手段により、前記モータ回転軸と前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジとの相対位置を変更させることにより、前記ウェーハ面取り用砥石の前記モータ回転軸に対する求心ができるようになっていることを特徴とするウェーハ面取り用砥石の固定フランジ。
前記位置調整手段は、前記モータ回転軸に設けられた雌ねじ部と、軸部が前記雌ねじ部に螺合する雄ねじ部材と、前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの前記孔内に設けられ、前記雄ねじ部材の軸部を貫通可能とするとともに、前記雄ねじ部材の頭部の貫通を妨げる内径の貫通孔が形成されている規制部材と、よりなる請求項１に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジ。
前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用してウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸にウェーハ面取り用砥石を取り付けるウェーハ面取り装置の砥石取付方法において、
砥石溝が形成されていない砥石を、砥石溝形成装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石溝形成装置で前記砥石の外周に砥石溝を形成し、
該砥石溝が形成された砥石を、砥石バランス調整装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石バランス調整装置で前記砥石のバランスを調整し、
該バランス調整された砥石を、前記ウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して取り付けることを特徴とするウェーハ面取り装置の砥石取付方法。
前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用してウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸にウェーハ面取り用砥石を取り付けるウェーハ面取り装置の砥石取付方法において、
砥石溝が形成されていない砥石を、砥石溝形成装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石溝形成装置で前記砥石の外周に砥石溝を形成し、
該砥石溝が形成された砥石を、前記ウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して取り付けることを特徴とするウェーハ面取り装置の砥石取付方法。
前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジを使用してウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸にウェーハ面取り用砥石を取り付けるウェーハ面取り装置の砥石取付方法において、
前記ウェーハ面取り用砥石を、砥石バランス調整装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して装着し、該砥石バランス調整装置で前記砥石のバランスを調整し、
該バランス調整された砥石を、前記ウェーハ面取り装置の砥石用モータ回転軸に前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジを介して取り付けることを特徴とするウェーハ面取り装置の砥石取付方法。
前記請求項１又は２に記載のウェーハ面取り用砥石の固定フランジをモータ回転軸より取り外す際に使用される取り外し具であって、
前記ウェーハ面取り用砥石の固定フランジの外周部に形成された雄ねじ部と螺合する雌ねじ部を有するとともに、中央に貫通する雌ねじ孔を有する板状部材と、
前記雌ねじ孔に螺合する雄ねじと、
よりなることを特徴とするウェーハ面取り用砥石の固定フランジの取り外し具。