JP2005210158A - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電基板と、前記圧電基板に形成された第1の弾性表面波共振子と、前記第1の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第2の弾性表面波共振子とを有し、前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に前記重なり合う弾性表面波伝搬領域を上半分と下半分に分割し、前記分割された上半分の領域と下半分の領域において、前記第1の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段を有する。
【選択図】図5
Description
る。
L=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1,2・・・)
(ただし、Vmは前記金属薄膜下での速度、Vfは前記金属膜のない領域での速度、fは駆動周波数とする)
ことを特徴とする。
L=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1,2・・・)
(ただし、Vmは前記金属薄膜下での速度、Vfは前記金属膜のない領域での速度、fは前記第1の弾性表面波共振子の駆動周波数とする)
ことを特徴とする。
4*N/λ=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1、2、・・・)
(ただし、λは伝搬する弾性表面波の波長であり、前記反射器の長さをλ/4とする)ことを特徴とする。
L=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1,2・・・)
(ただし、Vmは前記金属薄膜下での速度、Vfは前記金属膜のない領域での速度、fは駆動周波数とする)
ことを特徴とする。
子T4→T3→T2→アンテナパッドANT→受信側共振子R1→R2→R3を通り受信側端子RPに出力される伝達特性を示す。望ましくは、かかる伝達特性は、−50dB以下の減衰であることが望ましい。
信側領域IIの二つの領域に分離している。溝2により送信側領域Iの共振子から受信側領
域IIの共振子に弾性表面波が短絡伝播する経路が形成されることを防ぐことができる。
L/Vm−L/Vf=(2n+1)/(2*f)
⇒L=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1,2・・・)
・・・式1
の条件を満たす切り欠き長さLの時に、伝搬される弾性表面波5のSAW共振子2に到達する上半分の弾性表面波SAW−Uと下半分の弾性表面波SAW−Dに関し、弾性表面波の半波長の奇数倍の位相差を有することになる。
W共振子11においてSAW共振子12に向かい合う反射器13の一部の開口幅を半分の大きさにする。すなわち、反射器13を構成する複数の電極のうちN本の反射器部分電極13−1の幅を半分にしている。
4*N/λ=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1、2、・・・)
を満たすN本分の長さの反射器部分13−1の開口幅を半分にすることで、上記実施の形態例と同様な作用、効果が得られる。ただし、Vmは、反射器電極を有する部分の速度を、Vfは、反射器電極を有しない部分の速度である。
Vm=4113.3(m/s)、Vf=4210.3(m/s)、f=800MHzとすると、
L=4113.3*4210.3*0.5/(800*97*106)(m)
=111 *10-6(m)
=111 (μm) が求められる。
2 溝
3 弾性表面波吸収剤
10 圧電基板
11 送信側SAW共振子
12 受信側SAW共振子
4 電極
5 弾性表面波の伝搬路
SAW−U 上半分の弾性表面波
SAW−D 下半分の弾性表面波
101,102 切り欠き
TP 送信側端子
RP 受信側端子
ANT アンテナ端子
GND 接地端子
EL1,2 引き回し電極
T1,T2,T3,T4 送信側共振子
R1,R2,R3,R4 受信側共振子
Claims (6)
- 圧電基板と、
前記圧電基板に形成された第1の弾性表面波共振子と、
前記第1の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第2の弾性表面波共振子とを有し、
前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に
前記重なり合う弾性表面波伝搬領域を上半分と下半分に分割し、前記分割された上半分の領域と下半分の領域において、前記第1の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段を有する
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 圧電基板と、
前記圧電基板に形成された第1の弾性表面波共振子と、
前記第1の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第2の弾性表面波共振子とを有し、
前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に
前記重なり合う弾性表面波伝搬領域を複数個に分割し、前記分割されたそれぞれにおける上半分の領域と下半分の領域において、前記第1の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段を有する
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項1又は2において、
前記第1の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段は、前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子との間で、前記圧電基板上に形成され、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さLの切り欠きを備えた金属膜である
L=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1,2・・・)
(ただし、Vmは前記金属薄膜下での速度、Vfは前記金属膜のない領域での速度、fは駆動周波数とする)
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 請求項1又は2において、
前記第1の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段は、前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子との間で、前記圧電基板上に形成され、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さLの金属膜である
L=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1,2・・・)
(ただし、Vmは前記金属薄膜下での速度、Vfは前記金属膜のない領域での速度、fは前記第1の弾性表面波共振子の駆動周波数とする)
ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 圧電基板と、
前記圧電基板に形成された第1の弾性表面波共振子と、
前記第1の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第2の弾性表面波共振子を有し、
前記第1の弾性表面波共振子の前記第2の弾性表面波共振子に対向する側に配置される反射器を構成する複数電極のうち以下の関係にあるN本の電極は、前記反射器部分の開口幅の半分の大きさを有し、
前記1/2の幅の上半分の領域と下半分の領域において、前記第1の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする
4*N/λ=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1、2、・・・)
(ただし、λは伝搬する弾性表面波の波長であり、前記反射器の長さをλ/4とする)ことを特徴とする弾性表面波装置。 - 縦続接続された少なくとも2つ以上の弾性表面波共振子を、圧電基板上に少なくとも2組以上配置した弾性表面波装置であって、
異なる組の隣接する第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に
前記隣接する第1の弾性表面波共振子と第2の弾性表面波共振子の間に、引き回し電極が形成され、
前記引き回し電極は、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さLの切り欠きを備えている
L=Vm*Vf*(2n+1)/(2*(Vf−Vm)*f)(n=1,2・・・)
(ただし、Vmは前記金属薄膜下での速度、Vfは前記金属膜のない領域での速度、fは駆動周波数とする)
ことを特徴とする弾性表面波装置。
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