JP2005206946A - 物理蒸着によって製造された被膜における応力を低減する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の基材を被膜する方法は、被膜材料のプラズマを発生させる工程と、該プラズマを基材上に蒸着させる工程と、該基材に-1,500V以下のバイアスを印加する
工程と、を含む。基材へのバイアス印加は、可変バイアスによって行うことができる。
【選択図】 なし
Description
物理蒸着(physical vapour deposition: PVD)法による被膜の蒸着の際に、基材に電
圧バイアスを用いることが知られている。この電圧バイアスは、蒸着工程において終始約-1,000Vまたは約-600Vの定電位であることが多い。たとえば、lonbond(R)社は一連のPVD
装置を製造しており、その一つであるPVD-350という装置では、基材に-1,000Vの一定電圧のバイアスが印加される。このバイアス印加は、正の静電電位の発生を抑制し、許容しうる厚さの被膜の蒸着を可能にする。
被膜材料のプラズマを発生させる工程;
該プラズマを基材上に蒸着させる工程;および、
該基材に-1,500V以下のバイアスを印加する工程。
の電圧印加された被膜において、公知の固定バイアスを使用する場合に得られるものと比べて極めて低い応力水準が観測された。
被膜材料のプラズマを発生させる工程;
該プラズマを基材上に蒸着させる工程;および、
可変バイアスによって該基材にバイアスを印加する工程。
バイアスを印加しながら行う。
本発明の方法を行う際には、基材に印加するバイアスは、好適には-10,000V以上、好ましくは-5,000V以上である。さらに大きなピークバイアスを印加してもよいが、上記範囲
内において応力低減が達成されることが見出された。バイアスは、さらに好適には-2,000V以下である。フィルタ処理陰極真空アーク(filtered cathodic vacuum arc: FCVA)源
では、バイアスは-2,000V〜-4,000Vの範囲であり、その他のアーク源では、-2,000V〜-3,000Vの範囲であることが、特に好ましい。
より小さい負の値、たとえば-300V以上、好ましくは-200V以上に戻る。このようなバイアスの変化は、ある程度は使用する電源に依存し、後述する実施例においては、パルスは通常そのピーク値から約-100V〜0Vの値に戻り、一時的には正の値に達することもある。実
施例におけるバイアスの変化は、規則的または不規則な波形を含む他の変化も好適ではあるが、ほぼ矩形波型に従う。
にバイアスをパルスする。
タン被膜の応力を測定したところ、当該応力は1〜2GPaの範囲、通常は約1GPaであった。
この結果に対して、パルスバイアスを使用せずに製造した窒化チタン被膜では対照的に、3GPa以上の応力が確認された。このように、本発明は低い応力水準で被膜を蒸着することを可能にする。したがって、従来技術の被膜は脆弱なため、厚さがある値を超えると基材に固着することができないが、本発明ではより厚い被膜が蒸着可能である。応力が低減された被膜はより柔軟性の高い基材にも適用可能であるため、本発明の被膜技術の用途は広い(従来の被膜はしならせると剥離してしまう)。
加するための電源と、を備える本発明の装置を提供する。本発明のさらなる装置は、真空室と、標的からプラズマを発生させ、該プラズマを基材上に蒸着させて被膜を形成するための陽極および陰極の集合体と、基材に可変バイアスを印加するための電源と、を備える。上記装置の電源は、大きな負電圧のバイアスを印加するとともに、上記方法のようにバイアスを変化させることができるものが好ましい。
間、基材には-2,000V〜-3,000V、周波数1〜3kHz、パルス持続時間5〜10μsで、バイアス
を印加する。約2〜3μmの被膜が得られるまで蒸着を続ける。蒸着後、被膜の応力は通常1〜2GPa、硬度は通常約2,500kg/mm2である。
上にta-C蒸着物を被膜する。蒸着の間、基材には-2,000V〜-4,000V、周波数1.5〜2.5kHz
、パルス持続時間15〜25μsで、バイアスを印加する。最大で約10μmの膜厚が得られるまで、蒸着を続ける。蒸着後、被膜の応力は、通常1GPa未満であり、硬度は通常約25〜40GPa、耐摩耗性は通常約1×10-8〜3×10-8mm3/Nmである。
00V以下のバイアス電圧を使用する方法、および/または、アーク蒸着装置を用いて蒸着
される被膜の応力を低減するために可変バイアス電圧を使用する方法を提供することである。
表1は、高電圧パルス発生器を用いて得たバイアスパラメーターの種々の組み合わせを示す。
図2は、本発明の方法において、基材にバイアスを印加するために使用した出力パルス波形を示す。
で設定できる制御パネルを有している。また、過電流および短絡が防止されたスイッチング装置の絶縁ゲート複極トランジスター(insulated gate bipolar transistor: IGBT)
も使用される。パルス発生器にはまた、出力フューズが設置される。
であり、周波数は10kHz以下、好ましくは1〜3kHz、より好ましくは1.5〜2.5kHzである。
う)。PVD装置の操作中、HVPGを設定して、基材に大きな負電圧のパルスを印加させた。HVPGは、手動または遠隔操作によって開始および停止させた。
時間20μs、周波数10kHzのパルスを発生させた。
続時間10μs、周波数3kHzのパルスを発生させた。
次に、本発明のパルス型バイアス法によって製造した窒化チタン被膜の応力を、種々の試験板上において測定したところ、1〜2GPaの範囲の値であった。測定した被膜の多くについては、応力は1GPa付近の値であった。この結果に対して、パルスバイアス印加をせずに製造した窒化チタン被膜では対照的に、3GPa以上の応力が観測された。
約1×10-8〜3×10-8mm3/Nmであった。
Claims (26)
- 被膜材料のプラズマを発生させる工程と、
該プラズマを基材上に蒸着させる工程と、
該基材に-1,500V以下のバイアスを印加する工程と、
を含む、基材を被膜する方法。 - 被膜材料のプラズマを発生させる工程と、
該プラズマを基材上に蒸着させる工程と、
可変バイアスによって該基材にバイアスを印加する工程と、
を含む、基材を被膜する方法。 - 印加するバイアスが-1,500V以下である、請求項2に記載の方法。
- 印加するバイアスが-10,000V以上である、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 印加するバイアスが-5,000V以上である、請求項4に記載の方法。
- 印加するバイアスが-2,000V以下である、請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 印加するバイアスが-2,000V〜-4,000Vである、請求項6に記載の方法。
- バイアスを10kHz以下の周波数のパルスで印加する、請求項1〜7のいずれかに記載の
方法。 - 周波数が1〜3kHzである、請求項8に記載の方法。
- パルス持続時間が1〜25μsである、請求項8または9に記載の方法。
- パルス持続時間が5〜10μsである、請求項10に記載の方法。
- 真空室と、標的と、該標的からプラズマを発生させるための陽極および陰極と、を備えるアーク蒸着装置内で行う、請求項1〜11のいずれかに記載の方法。
- 該装置がフィルタ処理陰極真空アーク源(filtered cathodic vacuum arc source)を
備える、請求項12に記載の方法。 - 標的が金属である、請求項12または13に記載の方法。
- 標的がグラファイトである、請求項13に記載の方法。
- 標的がチタン、クロム、アルミニウム、ガリウム、または前記金属のいずれかの混合物もしくは合金からなる、請求項12〜14のいずれかに記載の方法。
- ガスを真空室内に導入して、該ガスと該標的との化合物の被膜を基材上に形成する、請求項12〜16のいずれかに記載の方法。
- 真空室と、標的からプラズマを発生させ、該プラズマを基材上に蒸着させて被膜を形成するための陽極および陰極の集合体と、該基材に-1,500V以下のバイアスを印加するため
の電源と、を備える、基材を被膜するための装置。 - 真空室と、標的からプラズマを発生させ、該プラズマを基材上に蒸着させて被膜を形成するための陽極および陰極の集合体と、該基材に可変バイアスを印加するための電源と、を備える、基材を被膜するための装置。
- 電源が、-1,500V以下のバイアスを基材に印加する、請求項19に記載の装置。
- 電源が、-2,000V〜-4,000Vのバイアスを基材に印加する、請求項18〜20のいずれかに記載の装置。
- 電源が、1〜3kHzの周波数のパルスでバイアスを基材に印加する、請求項18〜21の
いずれかに記載の装置。 - 電源が、パルス持続時間が5〜10μsのパルスでバイアスを基材に印加する、請求項18〜22のいずれかに記載の装置。
- アーク蒸着装置を用いて蒸着された被膜における応力を低減するための、-1,500V以下
のバイアス電圧の使用。 - FCVA源を用いて蒸着された被膜における応力を低減するための、-2,000V〜-4,000Vのバイアス電圧の使用。
- アーク蒸着装置を用いて蒸着された被膜における応力を低減するための、可変バイアス電圧の使用。
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