JP2005206748A - 研磨材および研磨材を用いた研磨方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 研磨中に発生する異物が飛散することなく研磨を行うことができる研磨材を提供する。
【解決手段】 被研磨材12に衝突させ被研磨材12の表面を研磨する研磨材1であって、
複数の研磨粒2および水を含有させたゼラチンまたは膠にて成る複数の集塵粒3が混在して成り、集塵粒3は水を含有させたことにより粘着力を有し、水を含有させたことによる粘着力を集塵粒3にもたせた状態で研磨粒2とともに研磨に使用し、被研磨材12の表面の研磨粒2の研磨により生じた異物を集塵粒3の粘着力により捕獲するものである。
【選択図】 図1

Description

本発明は、被研磨材を研磨する研磨材および研磨材を用いた研磨方法に関するもので、研磨時に発生する異物を集塵することができるものである。
従来、被研磨材に研磨材を衝突させ、被研磨材の表面を研磨する研磨材としてはさまざまなものが開発されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−187070号公報
従来の研磨材は、被研磨材の研磨を行うと、そのことにより生じる異物、特に粉塵が多く発生するため、研磨装置にはその集塵を収集するための集塵装置が必ず設置されていた。しかしながら、細かな粉塵はこの集塵装置を通り抜け外部に放出され、環境的に悪影響をおよぼしていた。また、集塵装置は高価であり研磨装置のコストがかさむという問題点があった。
また、従来の研磨材では、被研磨材の研磨の一種としてのバリ取りを行うと、その研磨により取り除かれたバリ異物が集塵装置にて集塵されずに、研磨材に混在して残り、被研磨材に研磨材と同様に衝突する。すると、このバリ異物が被研磨材を傷つけてしまい被研磨材の商品価値が無くなるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためなされたもので、被研磨材の研磨を確実に行うことができ、かつ、集塵装置がなくとも異物、特に粉塵を外部に放出することなく研磨を行うことができる研磨材および研磨材を用いた研磨方法を提供することを目的とする。
本発明は、被研磨材に衝突させ被研磨材の表面を研磨する研磨材であって、
複数の研磨粒および水を含有させたゼラチンまたは膠にて成る複数の集塵粒が混在して成り、集塵粒は水を含有させたことにより粘着力を有し、水を含有させたことによる粘着力を集塵粒にもたせた状態で研磨粒とともに研磨に使用し、被研磨材の表面の研磨粒の研磨により生じた異物を集塵粒の粘着力により捕獲するものである。
本発明の研磨材は、被研磨材に衝突させ被研磨材の表面を研磨する研磨材であって、
複数の研磨粒および水を含有させたゼラチンまたは膠にて成る複数の集塵粒が混在して成り、集塵粒は水を含有させたことにより粘着力を有し、水を含有させたことによる粘着力を集塵粒にもたせた状態で研磨粒とともに研磨に使用し、被研磨材の表面の研磨粒の研磨により生じた異物を集塵粒の粘着力により捕獲するので、研磨中に発生する異物が飛散することなく研磨を行うことができる。
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態について説明する。図1はこの発明の実施の形態1の研磨材の構成を示す図、図2は被研磨材に図1に示した研磨材を噴射して被研磨材に衝突させるための研磨装置の構成を示す図である。図1において、研磨材1は、複数の研磨粒2と、水を含有させたゼラチンまたは膠にて成る複数の集塵粒3が混在して成る。そして集塵粒3の表面には集塵粒3同士が粘着することを防止する粘着防止粉30が集塵粒3の粘着力により粘着されている。
さらに、具体例を述べると、集塵粒3は、水を含有することにより粘着性を有する、ゼラチンまたは膠にて成る。粘着性を保たせるために、一般的にゼラチンまたは膠と水との重量比率が、100対1から100対30にて成る。これはゼラチンまたは膠に所望の粘着力が発生するための条件であり、100対1より水の量が少ないと、異物を粘着するほどの粘着性を有さないためであり、また、100対30より水の量が多いと、粘着性が大きくなりすぎ、研磨装置の内壁に付着してしまい研磨材としての使用が困難になるためである。また、この集塵粒3に使用するゼラチンまたは膠の径は、研磨の異物の捕獲の点からみて、0.1mmから5mmのものが適当な大きさであると考えられる。
また、集塵粒3には集塵粒3の研磨におけるゼラチンまたは膠からの水分の蒸発を防止するために蒸発防止材が添加することが考えられる。例えば水溶性オイルにてなり、エチレングリコールまたは、ソルビトール等の利用が考えられる。そしてこの集塵粒3の表面の粘着防止粉30は、水が含浸しないまたは水を含浸することにより粘着力を有しない物質が適当であり、例えば、鉄粉、ステンレス粉、布粉、木粉にて成る。また、大きさとしては本来の研磨または集塵において差し障りが出ない程度の大きさであるのはもちろんのこと、研磨粒2の大きさより小さく、0.1mm以下の径程度が好ましいと考えられる。次に、研磨粒2は、具体的には、鉄粒、ステンレス粒、ガラス粒、ジルコニア粒、ダイヤ粒、の内の1種または複数種を用いるものが考えられる。これらにて形成される研磨粒2の径は、研磨の観点から考えて、0.1μmから1.0mmのものが適当であると考えられる。
図2において、研磨装置11は被研磨材12を研磨材1にて研磨するための装置で、研磨装置11内に取り付けられた噴射用ロータ13は、回転駆動することにより被研磨材12に多数の研磨材1を噴射する噴出部である。噴出用ロータ13に研磨材1を供給する供給部は、ベルトコンベア15および研磨材ガイド16にて構成される。ベルトコンベア15は研磨装置11の下部に溜まった研磨材1を上方へ搬送し、研磨材ガイド16が一定量の割合で噴射用ロータ13の開口部に研磨材1を供給する。
プーリ18を介して無端のベルト17が噴射用ロータ13の下端近傍から回転方向に沿ってその上端近傍まで噴射用ロータ13の外周を閉塞している。そして、4つのプーリ18がベルト17に従動して回転し、噴射用ロータ13の開口部に導入された研磨材1は、噴出用ロータ13の回転による遠心力で、図中、3本の矢印で示す方向に噴出し被研磨材12に吹き付けられ所望の研磨機能を発揮する。被研磨材12に噴射された研磨材1は、研磨装置11の下部に溜まり、再び、ベルトコンベア15を経て噴出用ロータ13に導入される。
次に上記のように構成された実施の形態1の研磨材を使用した研磨装置における研磨方法について説明する。まず、水を所定量含有し表面に粘着防止粉30を粘着させてなる多数の集塵粒3と各集塵粒3の多数の研磨粒2にて成る研磨材1を準備する。次に、研磨材1を研磨装置11内に投入して、被研磨材12の研磨を行う。そして、研磨材1を繰り返して研磨に使用する。この研磨において、被研磨材12は研磨粒2にて研磨され、これとほぼ同時に被研磨材12に噴出される集塵粒3によってこの研磨により発生する異物(粉塵)をその粘着性により捕獲する。よって、研磨装置11内にて異物が飛散したり、研磨装置11外に異物が飛散したりすることを防止することができる。
また、上記のように構成された実施の形態1の研磨材をバリ取りに使用する方法について説明する。まず、上記と同様に研磨材1を準備する。次に、研磨材1を研磨装置11内に投入して、被研磨材12のバリ取りを行う。そして、研磨材1を繰り返して研磨に使用する。この研磨において、被研磨材12は研磨粒2にてバリが取り除かれ、これとほぼ同時に被研磨材12に噴出される集塵粒3によってこのバリ取りにより発生するバリをその粘着性により捕獲する。よって、研磨装置11内にてバリが飛散したり、被研磨材12に取り除かれたバリが研磨粒とともに循環して噴射用ロータ13から吹き付けられ被研磨材11に衝突して傷つけたりすることを防止することができる。
上記のように構成された実施の形態1の研磨装置による研磨方法によれば、多数の研磨材1を用いて連続して研磨を行っても、被研磨材12の研磨における異物が飛び散ることが無くなるため、集塵装置などを設置する必要が無く、快適な研磨状態を持続することができる。また、集塵粒の表面には粘着防止粉が存在するため、研磨材を連続して使用しても集塵粒3同士が粘着することを防止できる。
また、研磨材における、研磨粒と集塵粒との重量比は、1対9から9対1までいずれであっても上記効果を奏することができ、その重量比は研磨の条件、研磨量、集塵量などに応じて適宜変更して使用することができる。
尚、上記にて示した研磨装置は1例であり、研磨材を被研磨材に衝突させ被研磨材の表面を研磨する装置であればどのような装置であってもよく、同様の効果を奏することは言うまでもない。
この発明の実施の形態1の研磨材の構成を示す図である。 図1に示した研磨材を用いた研磨装置の構成を示す図である。
符号の説明
1 研磨材、2 研磨粒、3 集塵粒、11 研磨装置、12 被研磨材、
30 粘着防止粉。

Claims (10)

  1. 被研磨材に衝突させ上記被研磨材の表面を研磨する研磨材であって、
    複数の研磨粒および水を含有させたゼラチンまたは膠にて成る複数の集塵粒が混在して成り、上記集塵粒は水を含有させたことにより粘着力を有し、上記水を含有させたことによる粘着力を上記集塵粒にもたせた状態で上記研磨粒とともに上記研磨に使用し、上記被研磨材の表面の上記研磨粒の研磨により生じた異物を上記集塵粒の粘着力により捕獲することを特徴とする研磨材。
  2. 上記集塵粒の表面には、上記集塵粒同士の粘着を防止する粘着防止粉が上記集塵粒の粘着力により粘着されていることを特徴とする請求項1に記載の研磨材。
  3. 上記集塵粒は、ゼラチンまたは膠と水との重量比率が、100対1から100対30にて成ることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研磨材。
  4. 上記集塵粒に水分蒸発を防止する蒸発防止材を含有させたことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の研磨材。
  5. 上記集塵粒の大きさは、径が0.1mmから5mmの大きさにて成ることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の研磨材。
  6. 上記研磨粒は、鉄粒、ステンレス粒、ガラス粒、ジルコニア粒、ダイヤ粒にて成ることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の研磨材。
  7. 上記研磨粒の大きさは、径が0.1μmから1.0mmの大きさにて成ることを特徴とする請求項6に記載の研磨材。
  8. 上記粘着防止粉の大きさは、径が上記研磨粒の径の大きさより小さくかつ0.1mm以下の大きさにて成ることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の研磨材。
  9. 上記粘着防止粉は、鉄粉、ステンレス粉、布粉、木粉にて成ることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の研磨材。
  10. 請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の研磨材を、上記集塵粒に水を保持させた状態にて被研磨材に衝突させ、上記被研磨材の表面の上記研磨粒の研磨によて生じた異物を上記集塵粒の粘着力により上記集塵粒に粘着させ捕獲して取り除きながら研磨を行うことを特徴とする研磨材を用いた研磨方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007291187A (ja) * 2006-04-21 2007-11-08 Mitsubishi Electric Corp 研磨材及びその製造方法

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