JP2005203477A - 圧電素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の上に下部電極と、この下部電極の上に圧電薄膜と、この圧電薄膜の上に上部電極とを順次積層して形成する成膜工程と、前記下部電極と上部電極との間に電圧を印加して圧電薄膜の分極方向を揃える分極工程と、前記基板の上に付着した有機物を除去する洗浄工程と、エッチングにより加工して少なくとも1つの個片にする加工工程とを含み、この個片にする加工工程まで前記圧電薄膜の所定分極状態を保持するようにした圧電素子の製造方法であり、圧電薄膜への電界の発生を防止し、分極処理において所定の分極方向に揃えることができ、圧電素子に高い圧電特性を確保することができる。
【選択図】図1
Description
2 下部電極
3 圧電薄膜
4 上部電極
5 第一のレジスト
6 第二のレジスト
7 導電体
8 第三のレジスト
Claims (8)
- 基板の上に下部電極と、この下部電極の上に圧電薄膜と、この圧電薄膜の上に上部電極とを順次積層して形成する成膜工程と、前記下部電極と上部電極との間に電圧を印加して圧電薄膜の分極方向を揃える分極工程と、前記基板の上に付着した有機物を除去する洗浄工程と、エッチングにより加工して少なくとも1つの個片にする加工工程とを含み、この個片にする加工工程まで前記圧電薄膜の所定分極状態を保持するようにした圧電素子の製造方法。
- 圧電薄膜の分極状態の保持を下部電極と上部電極とを短絡して行う請求項1に記載の圧電素子の製造方法。
- 圧電薄膜の面積を下部電極の面積より小さくし、前記圧電薄膜の上に形成する上部電極の一部分と下部電極とを短絡させるようにする請求項2に記載の圧電素子の製造方法。
- 下部電極と上部電極との短絡を導電体またはワイヤーボンディングで行う請求項2に記載の圧電素子の製造方法。
- 短絡を分極処理工程より前とし、この分極工程直前に開放する請求項2に記載の圧電素子の製造方法。
- 短絡を分極工程直後とし、個片にする加工工程により開放する請求項2に記載の圧電素子の製造方法。
- 基板の上に形成する少なくとも1つの圧電素子の下部電極間および上部電極間を電気的に接続されるように形成し、下部電極と上部電極とを1個所で短絡する請求項2に記載の圧電素子の製造方法。
- 洗浄工程にUV/オゾンを用いた請求項1に記載の圧電素子の製造方法。
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