JP2005197591A - 撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源2と、高倍用CCDカメラ16と、光源2から出射した照明光がウエハ8に照射されてこのウエハ8で反射した反射光を高倍用CCDカメラ16の撮像面に集光結像する高倍用結像光学系17からなり、高倍用CCDカメラ16から出力される信号を処理してウエハ8の画像を得る重ね合わせ測定装置1において、回転式波長選択フィルタ3により少なくとも2つの異なる波長帯域の反射光を切り替えて高倍用CCDカメラ16で検出し、それぞれの反射光に対応したウエハ8の画像からコントラストの最も高い波長帯域の画像を選択して出力するように構成する。
【選択図】 図1
Description
2 光源
3 回転式波長選択フィルタ(波長選択装置)
8 ウエハ(物体)
16,116 高倍用CCDカメラ(カメラ)
17 高倍用結像光学系(結像光学系)
24 画像処理部
116a カラーCCD(撮像素子)
FR,FG,FB,FW フィルタ部
Claims (4)
- 光源と、カメラと、前記光源から出射した照明光が物体に照射されて前記物体で反射した反射光を前記カメラの撮像面に集光結像する結像光学系とからなり前記カメラから出力される信号を処理して前記物体の画像を得る撮像装置において、
少なくとも2つの異なる波長帯域の前記反射光を前記カメラで検出してそれぞれの前記反射光に対応した前記物体の画像からコントラストの最も高い画像を選択して出力するように構成されたことを特徴とする撮像装置。 - 前記照明光若しくは前記反射光の光路上に互いに異なる波長帯域の光を透過する少なくとも2つのフィルタ部を有する波長選択装置を有し、前記波長選択装置により透過させる波長帯域を切り替えて前記カメラで前記波長帯域に対応した前記反射光を検出するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記カメラが、前記反射光に含まれる少なくとも2つの異なる波長帯域の光を同時に検出する撮像素子を有するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記物体の前記画像を低倍率と高倍率との2つの倍率を切り替えて撮像するように構成され、
前記画像を低倍率で撮像するときに、並行して前記画像処理部がコントラストの高い画像が得られる波長帯域を選択し、
前記画像を高倍率で撮像するときに、前記選択された波長帯域の画像を出力するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
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