JP2005191813A - 撮影装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 安価で高フレームレートの映像信号を出力できる撮影装置を提供すること。
【解決手段】レンズブロック２で取り込んだ撮影対象画像光をプリズムで分光し、分光した撮影対象画像光をＣＣＤ３ａ，３ｂに導くようにする。そして、これらＣＣＤ３ａ，３ｂからそれぞれ異なるフィールド画像信号Ｓａ，Ｓｂを出力するようにしている。これにより、ＣＣＤ３ａ，３ｂで撮影した画像を、ＣＣＤ３ａ，３ｂのフレームレートの２倍のフレームレートに対応した映像信号で出力することが可能になる。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えばフレームレートの高い映像信号を出力するのに好適な撮影装置に関するものである。

従来から、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）と呼ばれる撮像素子を用いたカメラ装置が知られている。
ところで、上記したようなＣＣＤを用いたカメラ装置は、ＩＣのウェハーなどを検査する検査装置等においても利用されている。この場合のカメラ装置には、検査時間の短縮を図るために画像の取り込みを出来るだけ短時間で行い出力することが求められていた。
検査装置では、１枚のウェハーにつき数万ポイント（ＩＣの電気的検査のためのＰＡＤ（端子）数×１ウェハー当たりの取り数）の検査が行われる。例えば、１２インチウェハー１枚で端子数が１００ピンのＩＣを５００個とる場合には５００００ポイントの検査が行われる。

検査速度は、カメラ装置の撮影速度と、カメラ装置で撮影した画像の画像処理速度の高速化が重要とされる。そして、カメラ装置で撮影した画像を処理する画像処理装置は日進月歩で高速化が実現されている。このため、実際には、要求される解像度と画像処理（検査ＯＫ／検査ＮＧの判断）の速度にも依存するが、カメラ装置の撮影時間が速いほど検査時間が短くなるものとされる。

なお、特許文献１には低解像度の撮像素子を使用して同一光軸により全体映像と高解像度の詳細映像を同時に撮影して出力する技術が開示されている。

特開２００２−３３５４３５号公報

しかしながら、ＣＣＤは光信号を電気信号（電荷）に光電変換し、その電荷をバケツリレーのごとく順次伝送していることから、電荷の伝送速度は、一部の特殊な技法で伝送速度を高めた高速用デバイスを除いて制限されている。
例えば、解像度（分解能）が６４０×４８０画素とされるＶＧＡ（video graphics array）などに用いられる約３３万画素のＣＣＤでは、その伝送速度は、ＮＴＳＣ（National Television System Committee）方式のフレームレート（３０フレーム／秒）の２倍のフレームレート（６０フレーム／秒）のものが生産されているにすぎなかった。

また、上記したＣＣＤに比べて高速対応が容易なＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）タイプの撮像素子を用いることも考えられるが、ＣＭＯＳタイプの撮像素子は、ＣＣＤに比べて必要な輝度とＳ／Ｎ比を得るのが容易でなかった。このため、ＣＭＯＳタイプの撮像素子をＣＣＤと同価格で実用化することは困難であった。

そこで、本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、安価でしかも高フレームレートの映像信号を出力できる撮影装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の撮影装置は、撮影対象画像光を取り込むレンズ手段と、レンズ手段で取り込んだ撮影対象画像光を分光する分光手段と、分光手段により分光された撮影対象画像光を受光するように複数の撮像素子が配置され、これらの撮像素子において受光された撮影対象画像光をそれぞれ画像信号に光電変換して出力するように構成された撮像手段とを備えている。

上記構成によれば、レンズ手段で取り込んだ撮影対象画像光を分光手段で分光し、分光した撮影対象画像光を複数の撮像素子に導くことで、複数の撮像素子からそれぞれ画像信号を出力することが可能になる。

このような本発明の撮影装置は、複数の撮像素子からそれぞれ画像信号を出力することが可能になるので、例えば複数の撮像素子からそれぞれ異なるフィールドのフィールド画像信号を出力し、これらの複数の撮像素子から出力されるフィールド画像信号を用いてフレーム画像信号を作成すれば、撮像素子の画像取り込み速度、即ち、撮像素子のフレームレートより高いフレームレートの画像信号を得ることが可能になる。

また３つの撮像素子のうち、１の撮像素子から取り込まれる画像信号については、撮像素子の画像取り込み速度に応じた映像信号を出力することが可能になるので、本発明のカメラ装置をＩＣウェハーの検査装置のモニタなどに使用することができるようになる。

以下、本発明の撮影装置の実施の形態について説明する。
先ず、図１〜図５を用いて第１の実施の形態としてのカメラ装置の構成を説明する。
図１は、本実施の形態としてのカメラ装置の構成を示したブロック図である。
この図１において、撮像素子であるＣＣＤ３ａ，３ｂは、後述するレンズブロック２で集光された画像光を画像信号に光電変換する撮像素子であり、レンズブロック２の画像光から画像信号を得るようにしている。

図２は、図１に示したレンズブロック２の概略構成を示した図である。
この図２（ａ）に示すように、レンズブロック２はレンズ群１１と分光手段であるプリズム１２とから構成されている。
この場合、レンズ群１１で集光された光はプリズム１２により分光されて、図２（ｂ）に示すように、プリズム１２に貼り付けられているＣＣＤ３ａ，３ｂにそれぞれ導かれている。

レンズ群１１やプリズム１２の配置位置は、レンズ群１１で集光された光がＣＣＤ３ａ，３ｂ上において焦点を結ぶように調整されている。
また、ＣＣＤ３ａ，３ｂは、各ＣＣＤにおいて受光した画像光を電気信号として取り出したときに、位置ズレなどの問題が生じないようにプリズム１２の光軸及び回転方向に対して精度良く貼りつけられている。なお、２枚のＣＣＤ３ａ，３ｂの貼り合わせ位置精度は、例えば３ＣＣＤカメラにおいて一般に用いられている貼り合わせ技術を適用することで容易に実現することができる。

図３は、上記したようなＣＣＤの内部構成の一例を示したブロックである。
なお、ＣＣＤは感光部と転送部の配列方式により、フレーム転送方式とインターライン方式という２つの方式に分けられるが、本実施の形態ではインターライン方式でＮＴＳＣ方式のフレームレート（３０フレーム／秒）に対応したＣＣＤ３ａ，３ｂを例に挙げて説明する。

この図３において、フォトセンサ２１は、例えばレンズブロック２で集光された画像光を信号電荷に光電変換し、所定のタイミングでもって垂直レジスタ２２に転送する。
垂直レジスタ２２は、図示するように、垂直方向に配列された複数のフォトセンサ２１，２１に対してそれぞれ設けられている。
そして、後述するタイミングジェネレータ７からタイミングクロック信号ＴＣ１として入力される垂直レジスタ転送クロック信号（以下、「垂直転送クロック信号」という）ＳVに基づいて、各フォトセンサ２１，２１・・・からそれぞれ転送されてくる信号電荷を蓄積すると共に、蓄積した信号電荷を水平レジスタ２３に転送する。なお、このようなインターライン方式のＣＣＤでは、各フォトセンサ２１と垂直レジスタ２２により単位画素が形成されている。

水平レジスタ２３は、同じくタイミングジェネレータ７からタイミングクロック信号ＴＣ１として入力される水平レジスタ転送クロック信号（以下、「水平転送クロック信号」という）ＳHに基づいて、各垂直レジスタ２２，２２・・・から転送されてくる信号電荷を出力アンプ２４に出力する。出力アンプ２４は、水平レジスタ２３からの信号電荷を増幅して出力する。

ところで、ＣＣＤにはフィールド単位で画像の読み出しを行うフィールド読み出し方式のものと、フレーム単位で画像の読み出しを行うフレーム読み出し方式のものが知られている。現行のテレビジョン走査方式は、ノンインターレース（順次走査）でなく、インターレース（飛び越し走査）が採用されている。この場合、ＣＣＤではフィールド読み出し方式のものが採用される。

インターレース走査方式では、図４に示すような１フレームの画面を形成するにあたり、走査線を１本おきに飛び越し走査して、実線で示した奇数（ＯＤＤ）の走査線からなるＯＤＤフィールド画面と、破線で示した偶数（ＥＶＥＮ）の走査線からなるＥＶＥＮフィールド画面を、交互にそれぞれ１／６０秒間ずつ表示することで、これらＯＤＤフィールド画面とＥＶＥＮフィールド画面の重ね合わせで１枚のフレーム画像を得るようにしている。

図３に示したＣＣＤでは、フィールド読み出し方式を実現するために、例えば垂直方向において隣接する２画素分の信号電荷を垂直レジスタ２２で混合することで、フィールド画面を生成するようにしている。
このとき、混合するフィールドごとにフォトセンサ２１（画素）の組み合わせをかえることで、ＯＤＤフィールドに対応した画像信号とＥＶＥＮフィールドに対応した画像信号を得るようにしている。

ここで説明を図１に戻す。
本実施の形態のカメラ装置１は、これまでの説明から分かるように、２つのＣＣＤ３ａ，３ｂを設け、各ＣＣＤ３ａ，３ｂにおいてレンズブロック２からの画像光をフィールド単位の画像信号に変換して出力するようにしている。
このとき、ＣＣＤ３ａから出力される画像信号ＳａとＣＣＤ３ｂから出力される画像信号Ｓｂとが、それぞれ異なるフィールド画像信号となるように制御が行われている。つまり、ＣＣＤ３ａから画像信号ＳａとしてＥＶＥＮフィールドの画像信号が出力されるときは、ＣＣＤ３ｂから画像信号ＳｂとしてＯＤＤフィールドの画像信号が出力されることになる。

ＣＣＤ３ａ，３ｂから出力される画像信号Ｓａ，Ｓｂは、アナログフロントエンド部（以下、「ＡＦＥ部」と表記する）４ａ，４ｂにそれぞれ出力される。
ＡＦＥ部４ａ，４ｂは、タイミングジェネレータ７からのタイミングクロック信号ＴＣ２に基づいて、ＣＣＤ３ａ，３ｂから入力される画像信号Ｓａ，Ｓｂにサンプルホールド処理などを施して信号処理部５に出力するようにされる。

信号処理部５は、フィールドメモリ６ａ，６ｂを備えて構成され、タイミングジェネレータ７からのタイミングクロック信号ＴＣ３に基づいて、ＡＦＥ部４ａ，４ｂから入力されるフィールド画像信号Ｓａ１，Ｓｂ１に所定の信号処理を施して、１枚のフレーム映像信号Ｓｆを出力するようにしている。

例えば信号処理部５は、ＡＦＥ部４ａ，４ｂから入力されるアナログの画像信号をデジタルの画像信号（画像データ）にＡ／Ｄ変換した後、それぞれの画像データをフィールドメモリ６ａ，６ｂに取り込む。そして、それぞれのフィールドメモリ６ａ，６ｂに取り込んだフィールド画像データを所定のタイミングで読み出した後、Ｄ／Ａ変換し、さらに同期信号を付加して出力するようにしている。

上記したＣＣＤ３ａ，３ｂ、ＡＦＥ４ａ，４ｂ、信号処理部５の動作は、タイミングジェネレータ７において生成される各種タイミングクロック信号により制御される。

タイミングジェネレータ７は、例えば、図示していない発振回路等からの基準信号に基づいて各種クロック信号を生成して出力するようにしている。
例えば、タイミングジェネレータ７は、ＣＣＤ３ａ，３ｂに対して、タイミングクロック信号ＴＣ１として、図３に示したＣＣＤ３ａ内の垂直レジスタ２２を駆動するための垂直転送クロック信号ＳVと、水平レジスタ２３を駆動するための水平転送クロック信号ＳHとを出力するようにされる。
このとき、ＣＣＤ３ａに供給するタイミングクロック信号ＴＣ１と、ＣＣＤ３ｂに供給するタイミングクロック信号ＴＣ１とは、各ＣＣＤ３ａ，３ｂからそれぞれ異なるフィールド画像信号Ｓａ，Ｓｂが出力されるように位相調整がされたクロック信号とされる。

また、タイミングジェネレータ７は、ＡＦＥ４ａ，４ｂに対して、タイミングクロック信号ＴＣ２として、サンプルホールドのタイミングを制御するクロック信号を出力する。
また信号処理部５には、タイミングクロック信号ＴＣ３として、信号処理部５の内部に設けられているフィールドメモリ６ａ，６ｂへの画像データの取り込みタイミングや読み出しタイミングを制御するためのクロック信号や、同期信号を付加するタイミングを制御するためのクロック信号を出力する。

ここで、図５を用いて、本実施の形態のカメラ装置１における各部の動作タイミング例について説明しておく。
この場合、ＣＣＤ３ａからは、蓄積された信号電荷から、図５（ａ）に示すような順序でフィールド単位の画像信号が出力される。すなわち、奇数フィールドの画像信号ＯＤＤ１、偶数フィールドの画像信号ＥＶＥＮ２、奇数フィールドの画像信号ＯＤＤ３というような順序で画像信号Ｓａが出力され、ＡＦＥ４ａを介して信号処理部５に取り込まれることになる。このときのフィールド画像信号Ｓａの周期は１／６０秒とされる。

一方、ＣＣＤ３ｂからは、図５（ｂ）に示すような、偶数フィールドの画像信号ＥＶＥＮ１、奇数フィールドの画像信号ＯＤＤ２、偶数フィールドの画像信号ＥＶＥＮ３・・・の順で画像信号が出力されてＡＦＥ４ｂを介して信号処理部５に取り込まれる。このときのフィールド画像信号Ｓｂの周期も１／６０秒とされる。

そして、信号処理部５では、上記したＣＣＤ３ａ，ＣＣＤ３ｂから取り込んだフィールド画像信号を、図５（ｃ）に示すような順番、すなわち、ＣＣＤ３ａで取り込んだ奇数フィールドの画像信号ＯＤＤ１、ＣＣＤ３ｂで取り込んだ偶数フィールドの画像信号ＥＶＥＮ１、ＣＣＤ３ｂで取り込んだ奇数フィールドの画像信号ＯＤＤ２、ＣＣＤ３ａで取り込んだ偶数フィールドの画像信号ＥＶＥＮ２・・・の順に出力するようにしている。このとき、各画像信号には垂直同期信号ＶＤを付加して映像信号を出力するようにしている。
このようにすれば、信号処理部５からは、ＣＣＤ３ａで取り込んだフィールド画像信号と、ＣＣＤ３ｂで取り込んだフィールド画像信号により、インターレース方式のフレーム映像信号を出力することができる。
また、ＣＣＤ３ｂで取り込んだ奇数フィールドの画像信号ＯＤＤ２と、ＣＣＤ３ａで取り込んだ偶数フィールドの画像信号ＥＶＥＮ２により、次のフレーム映像信号を出力することができる。

従って、このような本実施の形態のカメラ装置１によれば、信号処理部５から１／６０秒の周期でフレーム映像信号を出力することができる。つまり、カメラ装置１の信号処理部５から出力されるフレーム映像信号のフレームレートをＣＣＤ３ａ，３ｂのフレームレートの２倍にすることができるようになる。

また、本実施の形態のカメラ装置１は、ＣＣＤを２枚使用することで、カメラ装置の撮影速度を２倍にしているので、例えば汎用的に用いられている比較的安価なＣＣＤを２枚使用して構成すれば、特別に作製した２倍のフレームレートを有する１枚のＣＣＤを用いてカメラ装置を構成する場合より安価で実現することができる。

この結果、本実施の形態のカメラ装置１を、ＩＣウェハーなどを検査する検査装置に適用すれば、大幅なコストアップなしに、ＩＣウェハーの検査時間の約半分程度まで短縮することが可能になる。
例えば、３０フレーム／秒で画像を出力できるＣＣＤを用いた従来のカメラ装置を備えた検査装置では、１枚のＩＣウェハーの検査に１分という時間を要したとする。
これに対して、同様のＣＣＤを用いた本実施の形態のカメラ装置１を備えた検査装置では、６０フレーム／秒で画像出力が可能になるため、ＩＣウェハー１枚の検査時間を約３０秒に短縮することができる。つまり、検査装置の検査能力を２倍にすることができるようになる。
これにより、ＩＣウェハーの検査に要する検査費用を従来の半分程度に下げることができる。また、検査装置が複数台設置されているような使用状況下においては、検査装置の台数を半分程度に減らすことができる。よって、検査装置の設置スペースも半分で済むことになる。

また、本実施の形態のカメラ装置１を、例えば自動車の衝突防止用の画像認識カメラなどに用いると１フレーム画像あたりに進む距離が短くなり性能が格段に向上し、事故防止などに役立つカメラ装置を提供することが可能になる。

例えば時速１００ｋｍ／ｈのスピードで動いている自動車の画像認識カメラに、従来の一般的なＣＣＤカメラ（３０フレーム／秒）を使用すると、１フレーム画像を得る間に約１ｍ（９２．６ｃｍ）進んでしまうことになるが、本実施の形態のカメラ装置（６０フレーム／秒）を使用すると１フレーム画像を得る間に約半分の距離（４６．３ｃｍ）で済むことになる。したがって、本実施の形態のカメラ装置１を自動車の画像認識カメラなどに用いるようにすれば、衝突防止用の画像認識カメラの性能向上を図ることができる。

次に、本実施の形態としてのカメラ装置の他の構成例について説明する。
図６は、本実施の形態のカメラ装置の他の構成例を示したブロック図である。なお、図１と同一ブロックには同一番号を付して、その詳細は省略する。
この図６に示すカメラ装置２０では、撮像手段としてＣＣＤ３ａ，ＣＣＤ３ｂに加えて、ＣＣＤ３ｃが設けられている。
ＣＣＤ３ｃは、通常のインターレース方式の画像信号を出力するように制御される。すなわち、奇数フィールドの画像信号と偶数フィールドの画像信号を交互に出力するように制御が行われる。ＣＣＤ３ｃから出力されるフィール画像信号は、ＡＦＥ部４ｃにおいてサンプルホールド処理などが施されて信号処理部１５に供給される。

信号処理部１５は、ＡＦＥ部４ａ，４ｂから入力されるフィールド画像信号Ｓａ１，Ｓｂ１を取り込むためのフィールドメモリ６ａ，６ｂに加えて、ＡＦＥ部４ｃから入力される画像信号Ｓｃ１を取り込むためのフィールドメモリ６ｃが備えられている。
この場合、信号処理部１５では、フィールドメモリ６ａ，６ｂに取り込んだフィールド画像信号を上記図５（ｃ）に示したような順番で出力することで、ＣＣＤ３ａ，３ｂを利用してインターレース方式のフレーム映像信号Ｓｆ１を出力することができる。

また信号処理部１５は、ＡＦＥ部４ｃから入力されるフィールド画像信号Ｓｃ１を画像データにＡ／Ｄ変換した後、フィールドメモリ６ｃに取り込み、取り込み順に読み出しを行うことでフレーム映像信号Ｓｆ２を出力するようにしている。

つまり、信号処理部１５は、ＣＣＤ３ａ，３ｂからＡＦＥ部４ａ，４ｂを介して入力されるフィールド画像信号Ｓａ１，Ｓｂ１を利用して、ＣＣＤ３ａ，３ｂのフレームレートの２倍に対応したフレーム映像信号Ｓｆ１を出力すると共に、ＣＣＤ３ｃからＡＦＥ部４ｃを介して入力されるフィールド画像信号Ｓｃ１により、ＣＣＤ３ｃのフレームレートに対応したフレーム映像信号Ｓｆ２を出力するように構成されているものである。

このため、タイミングジェネレータ１７は、ＣＣＤ３ｃに対して、タイミングクロック信号ＴＣ１として、偶数フィールドと奇数フィールドの画像信号Ｓｃが交互に出力させるようなクロック信号を出力するようにされる。
またＡＦＥ４ｃには、タイミングクロック信号ＴＣ２として、サンプルホールドのタイミングを制御するクロック信号を出力するようにされる。さらに、信号処理部１５には、タイミングクロック信号ＴＣ３として、信号処理部１５内のフィールドメモリ６ｃへの画像データの取り込みタイミングや読み出しタイミングを制御するためのクロック信号や、同期信号を付加するタイミングを制御するためのクロック信号を合わせて出力するようにしている。

図７は、上記図６に示したカメラ装置に設けられているレンズブロック２の概略構成を示した図である。
この図７（ａ）に示すように、レンズブロック２は、レンズ群１１とプリズム１２とから構成され、レンズ群１１で集光された光はプリズム１２により分光されて、図７（ｂ）に示すように、プリズム１２に貼り付けられているＣＣＤ３ａ，３ｂ，３ｃにそれぞれ導かれることになる。
この場合、レンズ群１１やプリズム１２の配置位置は、レンズ群１１で集光された光がＣＣＤ３ａ〜３ｃ上において焦点を結ぶように調整されている。
また、ＣＣＤ３ａ，３ｂは、位置ズレなどの問題が生じないようにプリズム１２の光軸及び回転方向に対して精度良く貼りつける必要がある。
これに対して、ＣＣＤ３ｃの画像信号Ｓｃは上記ＣＣＤ３ａ，３ｂの画像信号Ｓａ，Ｓｂと組み合わせることがないのでその必要はない。

なお、一般的な３分光プリズムでは、その一つは他の映像に対して鏡像となるため、この場合は画像処理用ＣＣＤ３ａ，３ｂとして同じ位相で使用し、モニター用のＣＣＤ３ｃを、この鏡像となるところに使用すれば、ＣＣＤ３ａ，３ｂの位相が異なることによる不具合を回避することが可能である。

このようにカメラ装置２０を構成すれば、ＣＣＤ３ｃのフレームレート（画像取り込み速度）に応じた映像信号と、ＣＣＤ３ａ，３ｂの２倍のフレームレートに対応した映像信号を出力することが可能になる。
従って、このようなカメラ装置２０をＩＣウェハーの検査装置に適用した場合は、検査用のフレーム映像信号（ＣＣＤの２倍のフレームレートに対応した映像信号）と、作業者のモニタ用のフレーム映像信号（ＣＣＤのフレームレートに応じた映像信号）を１台のカメラ装置２０から同時に出力することができるようになる。
よって、例えばＣＣＤ３ｃとして「ＥＩＡ／ＣＣＩＲ」基準の映像出力仕様のデバイスを用いれば、検査装置のモニタで動画を表示することができるので、検査装置にモニタ用のカメラ装置を別途設ける必要が無くなる。この結果、さらなる検査装置の小型化、低コストを図ることができるようになる。
また、例えばＣＣＤ３ｃとして、全画素対応（ＸＧＡフォーマット等）のデバイスを用いると、フレームレートは低下するが解像度の高い映像を表示することも可能になる。

なお、本実施の形態ではＣＣＤのフレームレートを３０フレーム／秒として説明したが、これはあくまでも一例であり、例えば６０フレーム／秒の伝送速度を有するＣＣＤを用いてカメラ装置を構成すれば、６０フレーム／秒の２倍の１２０フレーム／秒でフレーム映像信号を出力することも可能である。

また、本実施の形態では、２枚のＣＣＤを用いてフレームレートをＣＣＤのフレームレートの２倍にする場合を例に挙げて説明したが、３枚若しくはそれ以上のＣＣＤを用いてカメラ装置１を構成すれば、カメラ装置１のフレームレートをＣＣＤの３倍若しくはそれ以上にすることも可能である。
また撮像素子はＣＣＤに限定されるものでなく、ＣＭＯＳタイプのものなどもを用いることも可能である。
さらに、本実施の形態では、ＣＣＤの読み出し方式をフィールド読み出し方式として説明したがフレーム読み出し方式のＣＣＤを用いて本発明の撮影装置を実現することも可能である。

また本実施の形態では、撮像素子であるＣＣＤからそれぞれ出力される画像信号を利用して、ＣＣＤのフレームレートより高いフレームレートの画像信号を出力する場合を例に挙げて説明したが、これはあくまでも一例であり、本発明は、複数のＣＣＤを備え、レンズブロックで取り込んだ撮影対象画像光をプリズムにより分光し、分光した撮影対象画像光を受光するように複数の撮像素子が配置され、これらの撮像素子からそれぞれ画像信号を出力することができるように構成される撮影装置に適用可能である。

本発明の実施の形態としてのカメラ装置の構成を示したブロック図である。 図１に示したカメラ装置のレンズブロックの構造を示した図である。 図１に示したカメラ装置のＣＣＤの内部構成を示したブロック図である。 図１に示したカメラ装置の各部のタイミング図である。 本実施の形態としてのカメラ装置のタイミング図である。 他の実施の形態とされるカメラ装置の構成を示したブロック図である。 図６に示したカメラ装置のレンズブロックの構造を示した図である。

符号の説明

１ カメラ装置、２ レンズブロック、３ａ〜３ｃ ＣＣＤ、４ａ〜４ｃ アナログフロントエンド部、５ １５ 信号処理部 ６ａ〜６ｃ フィールドメモリ、７ １７ タイミングジェネレータ、１１ レンズ群、１２ プリズム、２１ フォトセンサ、２２ 垂直レジスタ、２３ 水平レジスタ、２４ 出力アンプ

Claims (4)

1. 撮影対象画像光を取り込むレンズ手段と、
   前記レンズ手段で取り込んだ撮影対象画像光を分光する分光手段と、
   前記分光手段により分光された撮影対象画像光を受光するように複数の撮像素子が配置され、これらの撮像素子において受光された撮影対象画像光をそれぞれ画像信号に光電変換して出力するように構成された撮像手段と、
   を備えていることを特徴とする撮影装置。
2. 前記複数の撮像素子から得られる画像信号を所定の順番に並べ替えて出力する信号処理手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の撮影装置。
3. 前記撮像手段に２つの撮像素子を設け、各撮像素子からそれぞれ異なるフィールドのフィールド画像信号を出力させるようにしたことを特徴する請求項１に記載の撮影装置。
4. 前記撮像手段に少なくとも３つの撮像素子を設け、
   前記信号処理手段は、前記３つの撮像素子のうち、１の撮像素子から取り込まれる画像信号については取り込み順に読み出しを行って出力することを特徴とする請求項１に記載の撮影装置。
   

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