JP2005191094A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 出射光の拡がり角を小さくすることができ小型化可能な半導体レーザ装置を提供する。
【解決手段】 第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されている。活性領域13で放出された光は、活性領域13により導波されて、第1反射部31、第2反射部32または部分反射部33に入射する。活性領域13から第1反射部31に入射して第1反射部31で反射された光L1は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射する。活性領域13から第2反射部32に入射して第2反射部32で反射された光L2,L3は、活性領域13を導波した後に第1反射部31または部分反射部33に入射する。活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち、部分反射部33で反射された光L4は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射し、部分反射部33を透過した光L5は、外部へ出力される。
【選択図】 図3
【解決手段】 第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されている。活性領域13で放出された光は、活性領域13により導波されて、第1反射部31、第2反射部32または部分反射部33に入射する。活性領域13から第1反射部31に入射して第1反射部31で反射された光L1は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射する。活性領域13から第2反射部32に入射して第2反射部32で反射された光L2,L3は、活性領域13を導波した後に第1反射部31または部分反射部33に入射する。活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち、部分反射部33で反射された光L4は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射し、部分反射部33を透過した光L5は、外部へ出力される。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体発光素子を含む半導体レーザ装置に関するものである。
半導体発光素子であるレーザダイオードは、光を放出する活性領域を互いに対向する第1端面と第2端面との間に有しており、第1端面側に部分反射膜が形成され、第2端面側に全反射膜が形成されていて、これら部分反射膜と全反射膜との間でレーザ共振器が構成されている。すなわち、活性領域で放出された光は、全反射膜で全反射されるとともに、部分反射膜で一部が反射されることで、レーザ共振器内を往復し、その際に活性領域において誘導放出を引き起こしてレーザ発振する。そして、活性領域から部分反射膜に入射した光の一部が部分反射膜で反射される一方で残部が部分反射膜を透過して、この透過光が出力レーザ光となる。
このようなレーザダイオードから出力されるレーザ光は、拡がり角が大きく、種々の用途において直ちに用いることはできない。そこで、一般には、レーザダイオードから出力されるレーザ光をコリメートするために、レンズや光路変換素子などの光学素子がレーザダイオードとともに用いられる(特許文献1を参照)。すなわち、上記のようなレーザダイオードと光学素子とを含む半導体レーザ装置では、レーザダイオードから出力されたレーザ光は、当初は拡がり角が大きい発散光であっても、レンズや光路変換素子などの光学素子の作用により拡がり角は小さくなる。
特許第3071360号公報
しかしながら、レーザダイオードは小型であるにも拘らず、上記のようなレーザダイオードと光学素子とを含む半導体レーザ装置は大型になってしまう。特に、レーザダイオードがアレイ配置されて一体化されたレーザダイオードアレイやレーザダイオードアレイスタックの場合には、半導体レーザ装置は更に大型になる。
本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、出射光の拡がり角を小さくすることができ小型化可能な半導体レーザ装置を提供することを目的とする。
本発明に係る半導体レーザ装置は、光を放出する活性領域を互いに対向する第1端面と第2端面との間に有する半導体発光素子において、第1端面上の互いに異なる領域に第1反射部および部分反射部が設けられ、第2端面上に第2反射部が設けられていて、第1反射部と部分反射部との間でレーザ共振器が構成され、その共振光路の途中に第2反射部が設けられていることを特徴とする。
この半導体レーザ装置では、活性領域で放出された光は、活性領域により導波されて、第1反射部、第2反射部または部分反射部に入射する。活性領域から第1反射部に入射して第1反射部で反射された光は、活性領域を導波した後に第2反射部に入射する。活性領域から第2反射部に入射して第2反射部で反射された光は、活性領域を導波した後に第1反射部または部分反射部に入射する。また、活性領域から部分反射部に入射した光のうち、部分反射部で反射された光は、活性領域を導波した後に第2反射部に入射し、部分反射部を透過した光は、外部へ出力される。したがって、活性領域において誘導放出が引き起こされてレーザ発振し、活性領域から部分反射部に入射した光のうち部分反射部を透過した光が出力レーザ光となる。
本発明に係る半導体レーザ装置は、第1端面における活性領域の形状が第1端面上の第1方向よりこれに直交する第2方向に長く、この第2方向に沿って互いに異なる領域に第1反射部および部分反射部が設けられているのが好適である。この場合には、第1反射部と部分反射部とを設けるのに好都合である。
本発明に係る半導体レーザ装置は、第1反射部で反射角0度で反射された光線が第2反射部に到達するまでに通過する活性領域中の部分において、第1端面側の断面積より第2端面側の断面積が狭いのが好適である。この場合には、第1反射部31と第2反射部32との間での垂直共振が抑えられて、第1反射部31と部分反射部33との間での共振が効率的に発生し、部分反射部33から出力されるレーザ光のパワーが強くなる。
本発明に係る半導体レーザ装置は、部分反射部で反射角0度で反射された光線が第2反射部に到達するまでに通過する活性領域中の部分において、第1端面側の断面積より第2端面側の断面積が狭いのが好適である。この場合には、部分反射部33と第2反射部32との間での垂直共振が抑えられて、第1反射部31と部分反射部33との間での共振が効率的に発生し、部分反射部33から出力されるレーザ光のパワーが強くなる。
本発明に係る半導体レーザ装置は、半導体発光素子が複数の活性領域を含み、これら複数の活性領域が同一端面側に光を出射し得るようにして1次元状または2次元状にアレイ配置されているのが好適である。
本発明に係る半導体レーザ装置は、出射光の拡がり角を小さくすることができ、しかも、小型化が可能である。
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一または同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図には説明の便宜のためにxyz直交座標系が示されている。
(第1実施形態)
先ず、本発明に係る半導体レーザ装置の第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の斜視図である。図2は、第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の正面図である。また、図3は、第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の断面図である。
先ず、本発明に係る半導体レーザ装置の第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の斜視図である。図2は、第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の正面図である。また、図3は、第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の断面図である。
これらの図に示される半導体レーザ装置1は、光を放出する活性領域13を互いに対向する第1端面11と第2端面12との間に有する半導体発光素子10において、第1端面11上に第1反射膜21および部分反射膜23が形成され、第2端面12上に第2反射膜22が形成されている。第1端面11および第2端面12それぞれはxy平面に平行である。
図2は、第1端面11をz軸方向に見た図である。この図2に示されるように、半導体発光素子10における各層はx軸方向に積層されており、活性領域13のxy断面形状はx軸方向よりy軸方向に長い。部分反射膜23は、第1端面11上において活性領域13の全面およびその周辺を覆うように形成されており、また、第1反射膜21は、第1端面11上において活性領域13の一部を覆うように部分反射膜23の外側に形成されている。第2反射膜22は、第2端面12上において活性領域13の全面およびその周辺を覆うように形成されている。これらは誘電体多層膜からなる。或いは、第1反射膜21および第2反射膜22それぞれは金属膜からなる。第1反射膜21および第2反射膜22それぞれの反射率は略100%である。また、部分反射膜23の反射率は3%〜15%である。
図3は、活性領域13を含むyz断面を示す図である。この図3に示されるように、第1端面11において、第1反射膜21のうち活性領域13と重なる部分が第1反射部31を構成しており、部分反射膜23のうち第1反射膜21と重ならない部分が部分反射部33を構成している。第2端面12において、第2反射膜22のうち活性領域13と重なる部分が第2反射部32を構成している。また、第1実施形態に係る半導体レーザ装置1では、活性領域13のx軸方向の厚みはz軸方向に沿って一定であり、活性領域13のy軸方向の幅もz軸方向に沿って一定である。
半導体レーザ装置1の具体的寸法の一例は以下のとおりである。半導体発光素子10全体のx軸方向の厚みは100μm〜150μmであり、半導体発光素子10全体のy軸方向の幅は500μm〜1000μmであり、半導体発光素子10全体のz軸方向の長さは0.5mm〜2mmである。活性領域13のx軸方向の厚みは1μmであり、活性領域13のy軸方向の幅は100μm〜250μmである。また、第1端面11において活性領域13と第1反射膜21との重なり部分のy軸方向の幅は40μm〜125μmである。
第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されている。すなわち、活性領域13で放出された光は、活性領域13により導波されて、第1反射部31、第2反射部32または部分反射部33に入射する。活性領域13から第1反射部31に入射して第1反射部31で反射された光L1は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射する。活性領域13から第2反射部32に入射して第2反射部32で反射された光L2,L3は、活性領域13を導波した後に第1反射部31または部分反射部33に入射する。また、活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち、部分反射部33で反射された光L4は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射し、部分反射部33を透過した光L5は、外部へ出力される。
このように、第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されていて、その共振光路の途中に第2反射部32が設けられている。したがって、活性領域13において誘導放出が引き起こされてレーザ発振し、活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち部分反射部33を透過した光が出力レーザ光となる。
このようにして本実施形態に係る半導体レーザ装置1の部分反射部33から出力されるレーザ光は或る拡がり角を有しているが、そのうち、y軸方向への拡がり角は、従来のレーザダイオードの出射光のy軸方向への拡がり角と比べて1/2〜1/4に低減される。しかも、本実施形態に係る半導体レーザ装置1は、レーザダイオードから出射した発散光をコリメートするためのレンズや光路変換素子などの光学素子を用いることなく、y軸方向への拡がり角が小さいレーザ光を出力することができるので、小型化が可能である。さらに、活性領域13のサイズが従来のものと同程度とした場合に、レーザ光を出射する部分(本実施形態では部分反射部33)の面積は、従来のレーザダイオードの出射部分の面積より狭いので、この半導体レーザ装置1から出力されるレーザ光のパワー密度が高い。
(第2実施形態)
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第2実施形態について説明する。図4は、第2実施形態に係る半導体レーザ装置2の断面図である。なお、この第2実施形態に係る半導体レーザ装置2の外観は、前述の第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の外観(図1、図2)と同様である。
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第2実施形態について説明する。図4は、第2実施形態に係る半導体レーザ装置2の断面図である。なお、この第2実施形態に係る半導体レーザ装置2の外観は、前述の第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の外観(図1、図2)と同様である。
この図4に示されるように、第1端面11において、第1反射膜21のうち活性領域13と重なる部分が第1反射部31を構成しており、部分反射膜23のうち第1反射膜21と重ならない部分が部分反射部33を構成している。第2端面12において、第2反射膜22のうち活性領域13と重なる部分が第2反射部32を構成している。
第2実施形態に係る半導体レーザ装置2では、活性領域13のx軸方向の厚みはz軸方向に沿って一定であるが、活性領域13のy軸方向の幅は、第1端面11側より第2端面12側の方が狭くなっている。特に、幾何光学的に考えたときに、第1反射部31で反射角0度で反射された光線が第2反射部32に到達するまでに通過する活性領域13中の部分において、第1端面11側の幅より第2端面12側の幅が狭い。この点で、第1実施形態の場合と相違する。活性領域13の幅は、z軸方向に沿った全範囲に亘って変化していてもよいし、z軸方向に沿った一部範囲に亘ってのみ変化していてもよい。
第1実施形態の場合と同様に、この第2実施形態に係る半導体レーザ装置2でも、第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されていて、その共振光路の途中に第2反射部32が設けられている。したがって、活性領域13において誘導放出が引き起こされてレーザ発振し、活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち部分反射部33を透過した光が出力レーザ光となる。
この第2実施形態に係る半導体レーザ装置2は、第1実施形態の場合と同様の効果を奏する他、以下のような効果をも奏することができる。すなわち、この半導体レーザ装置2では、上述したような活性領域13の形状となっていることから、第1反射部31と第2反射部32との間での垂直共振が抑えられて、第1反射部31と部分反射部33との間での共振が効率的に発生し、部分反射部33から出力されるレーザ光のパワーが強くなる。また、部分反射部33から出力されるレーザ光のy軸方向への拡がり角が更に小さくなる。
(第3実施形態)
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第3実施形態について説明ずる。図5は、第3実施形態に係る半導体レーザ装置3の断面図である。なお、この第3実施形態に係る半導体レーザ装置3の外観は、前述の第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の外観(図1、図2)と同様である。
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第3実施形態について説明ずる。図5は、第3実施形態に係る半導体レーザ装置3の断面図である。なお、この第3実施形態に係る半導体レーザ装置3の外観は、前述の第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の外観(図1、図2)と同様である。
この図5に示されるように、第1端面11において、第1反射膜21のうち活性領域13と重なる部分が第1反射部31を構成しており、部分反射膜23のうち第1反射膜21と重ならない部分が部分反射部33を構成している。第2端面12において、第2反射膜22のうち活性領域13と重なる部分が第2反射部32を構成している。
第3実施形態に係る半導体レーザ装置3では、活性領域13のx軸方向の厚みはz軸方向に沿って一定であるが、活性領域13のy軸方向の幅は、第1端面11側より第2端面12側の方が狭くなっている。特に、幾何光学的に考えたときに、部分反射部33で反射角0度で反射された光線が第2反射部32に到達するまでに通過する活性領域13中の部分において、第1端面11側の幅より第2端面12側の幅が狭い。この点で、第1実施形態の場合と相違する。活性領域13の幅は、z軸方向に沿った全範囲に亘って変化していてもよいし、z軸方向に沿った一部範囲に亘ってのみ変化していてもよい。
第1実施形態の場合と同様に、この第3実施形態に係る半導体レーザ装置3でも、第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されていて、その共振光路の途中に第2反射部32が設けられている。したがって、活性領域13において誘導放出が引き起こされてレーザ発振し、活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち部分反射部33を透過した光が出力レーザ光となる。
この第3実施形態に係る半導体レーザ装置3は、第1実施形態の場合と同様の効果を奏する他、以下のような効果をも奏することができる。すなわち、この半導体レーザ装置2では、上述したような活性領域13の形状となっていることから、部分反射部33と第2反射部32との間での垂直共振が抑えられて、第1反射部31と部分反射部33との間での共振が効率的に発生し、部分反射部33から出力されるレーザ光のパワーが強くなる。また、部分反射部33から出力されるレーザ光のy軸方向への拡がり角が更に小さくなる。
(第4実施形態)
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第4実施形態について説明ずる。図6は、第4実施形態に係る半導体レーザ装置4の断面図である。なお、この第4実施形態に係る半導体レーザ装置4の外観は、前述の第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の外観(図1、図2)と同様である。
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第4実施形態について説明ずる。図6は、第4実施形態に係る半導体レーザ装置4の断面図である。なお、この第4実施形態に係る半導体レーザ装置4の外観は、前述の第1実施形態に係る半導体レーザ装置1の外観(図1、図2)と同様である。
この図6に示されるように、第1端面11において、第1反射膜21のうち活性領域13と重なる部分が第1反射部31を構成しており、部分反射膜23のうち第1反射膜21と重ならない部分が部分反射部33を構成している。第2端面12において、第2反射膜22のうち活性領域13と重なる部分が第2反射部32を構成している。
第4実施形態に係る半導体レーザ装置4では、活性領域13のx軸方向の厚みはz軸方向に沿って一定であるが、活性領域13のy軸方向の幅は、第1端面11側より第2端面12側の方が狭くなっている。特に、幾何光学的に考えたときに、第1反射部31で反射角0度で反射された光線が第2反射部32に到達するまでに通過する活性領域13中の部分において、第1端面11側の幅より第2端面12側の幅が狭い。また、幾何光学的に考えたときに、部分反射部33で反射角0度で反射された光線が第2反射部32に到達するまでに通過する活性領域13中の部分において、第1端面11側の幅より第2端面12側の幅が狭い。この点で、第1実施形態の場合と相違する。活性領域13の幅は、z軸方向に沿った全範囲に亘って変化していてもよいし、z軸方向に沿った一部範囲に亘ってのみ変化していてもよい。
第1実施形態の場合と同様に、この第4実施形態に係る半導体レーザ装置4でも、第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されていて、その共振光路の途中に第2反射部32が設けられている。したがって、活性領域13において誘導放出が引き起こされてレーザ発振し、活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち部分反射部33を透過した光が出力レーザ光となる。
この第4実施形態に係る半導体レーザ装置4は、第1実施形態の場合と同様の効果を奏する他、以下のような効果をも奏することができる。すなわち、この半導体レーザ装置2では、上述したような活性領域13の形状となっていることから、第1反射部31と第2反射部32との間での垂直共振が抑えられ、また、部分反射部33と第2反射部32との間での垂直共振が抑えられて、第1反射部31と部分反射部33との間での共振が効率的に発生し、部分反射部33から出力されるレーザ光のパワーが強くなる。また、部分反射部33から出力されるレーザ光のy軸方向への拡がり角が更に小さくなる。
(第5実施形態)
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第5実施形態について説明する。図7は、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5の斜視図である。図8は、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5の正面図である。また、図9は、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5の断面図である。
次に、本発明に係る半導体レーザ装置の第5実施形態について説明する。図7は、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5の斜視図である。図8は、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5の正面図である。また、図9は、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5の断面図である。
これらの図に示される半導体レーザ装置5では、半導体発光素子10が複数の活性領域13を含み、これら複数の活性領域13が同一端面側に光を出射し得るようにして1次元状にアレイ配置されている。半導体発光素子10は、互いに対向する第1端面11と第2端面12との間に各活性領域13を有し、第1端面11上に第1反射膜21および部分反射膜23が形成され、第2端面12上に第2反射膜22が形成されている。第1端面11および第2端面12それぞれはxy平面に平行である。
図8は、第1端面11をz軸方向に見た図である。この図8に示されるように、半導体発光素子10における各層はx軸方向に積層されており、複数の活性領域13はy軸方向にアレイ配置され、各活性領域13のxy断面形状はx軸方向よりy軸方向に長い。部分反射膜23は、第1端面11上において各活性領域13の全面およびその周辺を覆うように形成されており、また、第1反射膜21は、第1端面11上において各活性領域13の一部を覆うように部分反射膜23の外側に形成されている。第2反射膜22は、第2端面12上において各活性領域13の全面およびその周辺を覆うように形成されている。これらは誘電体多層膜からなる。或いは、第1反射膜21および第2反射膜22それぞれは金属膜からなる。第1反射膜21および第2反射膜22それぞれの反射率は略100%である。また、部分反射膜23の反射率は3%〜15%である。
図9は、各活性領域13を含むyz断面を示す図である。この図9に示されるように、第1端面11において、第1反射膜21のうち各活性領域13と重なる部分が第1反射部31を構成しており、部分反射膜23のうち第1反射膜21と重ならない部分が部分反射部33を構成している。第2端面12において、第2反射膜22のうち各活性領域13と重なる部分が第2反射部32を構成している。また、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5では、各活性領域13のx軸方向の厚みはz軸方向に沿って一定であり、各活性領域13のy軸方向の幅もz軸方向に沿って一定である。
この半導体レーザ装置5では、アレイ配置された複数の活性領域13それぞれについて、第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されている。すなわち、活性領域13で放出された光は、活性領域13により導波されて、第1反射部31、第2反射部32または部分反射部33に入射する。活性領域13から第1反射部31に入射して第1反射部31で反射された光L1は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射する。活性領域13から第2反射部32に入射して第2反射部32で反射された光L2,L3は、活性領域13を導波した後に第1反射部31または部分反射部33に入射する。また、活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち、部分反射部33で反射された光L4は、活性領域13を導波した後に第2反射部32に入射し、部分反射部33を透過した光L5は、外部へ出力される。
このように、第1反射部31と部分反射部33との間でレーザ共振器が構成されていて、その共振光路の途中に第2反射部32が設けられている。したがって、各活性領域13において誘導放出が引き起こされてレーザ発振し、各活性領域13から部分反射部33に入射した光のうち部分反射部33を透過した光が出力レーザ光となる。
このようにして本実施形態に係る半導体レーザ装置5の部分反射部33から出力されるレーザ光は或る拡がり角を有しているが、そのうち、y軸方向への拡がり角は、従来のレーザダイオードの出射光のy軸方向への拡がり角と比べて1/2〜1/4に低減される。しかも、本実施形態に係る半導体レーザ装置5は、レーザダイオードから出射した発散光をコリメートするためのレンズや光路変換素子などの光学素子を用いることなく、y軸方向への拡がり角が小さいレーザ光を出力することができるので、小型化が可能である。さらに、各活性領域13のサイズが従来のものと同程度とした場合に、レーザ光を出射する部分(本実施形態では部分反射部33)の面積は、従来のレーザダイオードの出射部分の面積より狭いので、この半導体レーザ装置5から出力されるレーザ光のパワー密度が高い。
また、各部分反射部33のy軸方向の幅をaとし、複数の活性領域13のy軸方向の配列ピッチをbとしたときに、従来より比(a/b)が小さいので、各部分反射部33から出力されたレーザ光をマイクロレンズアレイによりコリメートする際に、y軸方向のコリメート効果が向上する。すなわち、出射光のy軸方向への拡がり角が小さいことに加えて比(a/b)が小さいと、隣同士の部分反射部33それぞれから出力される光束が互いに重なるまでの距離が長いので、焦点距離が長いマイクロレンズアレイを用いることができ、したがって、マイクロレンズアレイによりコリメートされた光の平行性がよい。
(変形例)
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5において、第2〜第4の実施形態で説明したような活性領域の形状としてもよい。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5において、第2〜第4の実施形態で説明したような活性領域の形状としてもよい。
また、第5実施形態に係る半導体レーザ装置5では、複数の活性領域がy軸方向に1次元状にアレイ配列されていたが、複数の活性領域がx軸方向およびy軸方向に2次元状にアレイ配列されていてもよい。この場合、図7および図8に示された構成のものとヒートシンクとがx軸方向に交互に積層される。
さらに、上記の各実施形態では、第1端面11において部分反射膜23が全面に形成され、その部分反射膜23の一部領域の外側に第1反射膜21が形成されていたが、第1反射部31の領域には部分反射膜23は形成されていなくてもよい。図10は変形例の半導体レーザ装置6の斜視図であり、図11は変形例の半導体レーザ装置6の正面図である。これらの図に示されるように、第1反射膜21は第1端面11上において活性領域13の一部を覆うように形成され、部分反射膜23は第1端面11上において活性領域13の残部を覆うように形成されていてもよい。
1〜5…半導体レーザ装置、10…半導体発光素子、11…第1端面、12…第2端面、13…活性領域、21…第1反射膜、22…第2反射膜、23…部分反射膜、31…第1反射部、32…第2反射部、33…部分反射部。
Claims (5)
- 光を放出する活性領域を互いに対向する第1端面と第2端面との間に有する半導体発光素子において、前記第1端面上の互いに異なる領域に第1反射部および部分反射部が設けられ、前記第2端面上に第2反射部が設けられていて、前記第1反射部と前記部分反射部との間でレーザ共振器が構成され、その共振光路の途中に前記第2反射部が設けられている、ことを特徴とする半導体レーザ装置。
- 前記第1端面における前記活性領域の形状が前記第1端面上の第1方向よりこれに直交する第2方向に長く、この第2方向に沿って互いに異なる領域に前記第1反射部および前記部分反射部が設けられている、ことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1反射部で反射角0度で反射された光線が前記第2反射部に到達するまでに通過する前記活性領域中の部分において、前記第1端面側の断面積より前記第2端面側の断面積が狭い、ことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記部分反射部で反射角0度で反射された光線が前記第2反射部に到達するまでに通過する前記活性領域中の部分において、前記第1端面側の断面積より前記第2端面側の断面積が狭い、ことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記半導体発光素子が複数の活性領域を含み、これら複数の活性領域が同一端面側に光を出射し得るようにして1次元状または2次元状にアレイ配置されている、ことを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
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