JP2005189002A - 流量測定システム - Google Patents

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武 小林
Takao Yamakoshi
孝夫 山越
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公彦 土屋
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Abstract

【課題】細いチューブ内の流量をより精度良く測定する。
【解決手段】振動子14の径方向振動または横振動の共振を利用し、チューブ12内に軸方向平面波を生じさせる。径方向振動または横振動の共振を利用することで、厚み方向振動または縦振動の共振を利用する場合に比べて、振動子14を小型化することができる。また、振動子14を軸方向平面波を生じる低い周波数で振動させる。軸方向平面波は、管路の曲がり等による減衰が少ないので、振動子14間の距離を比較的長くとることができ、流量の測定精度が向上する。
【選択図】図1

Description

本発明は振動子を用いてチューブ内を流れる流体の速度(流量)を測定する流量測定システムに関し、特に、細いチューブ内を流れる流体の流量測定に好適な技術に関する。
従来より、超音波振動子等の振動子を用いてチューブ内の流量を測定する流量測定システムがある。この流量測定システムでは、上流側と下流側の二箇所に振動子が設置され、波動が上流側から下流側に伝搬するのに要した時間と下流側から上流側に伝搬するのに要した時間との時間差、および当該波動の伝搬距離から、チューブ内の流速が測定される。
特許文献1には、チューブの軸方向に対して傾斜した姿勢で当該チューブの外壁に当接した振動子を用いてチューブ内に斜めに波動を送波し、チューブ内壁で反射した波動をもう一つの傾斜配置した振動子で受波する構成が開示されている。しかしながら、この方式では、チューブが細い場合には伝搬距離が短くなるため、それによって短くなる伝搬時間を精度良く計測するのが難しいという問題があった。
特許文献2には、円環状の板状振動子の中央の孔にチューブを挿入する構成が開示されている。この方式によれば、細いチューブ内の流量を測定する場合にも、特許文献1の方式で生じていたような時間の計測精度の問題は生じない。
特開2002−22505号公報 特開2003−83787号公報
しかしながら、円環状の超音波振動子は、中央の孔の内壁とチューブの外壁とを密着させるのが難しく、隙間等により振動が減衰し、ひいては流量の測定精度が低下してしまうというおそれがあった。また、円環状の超音波振動子は穴の無い板状振動子に比べると、製造に手間がかかり、製造コストが高くなってしまうという問題もあった。
本発明にかかる流量測定システムは、電極の形成された表面が流量測定の対象となるチューブの外壁に沿う姿勢で当該外壁に直接または間接的に当接される板状振動子の対であって、その各々が当該チューブの上流側および下流側に配置される板状振動子の対と、上記対をなす板状振動子のいずれか一方を送波素子としてその径方向または横方向の共振周波数で振動させる駆動回路と、上記送波素子の振動によってチューブ内の流体に生じた軸方向平面波が検出素子としての他方の振動子で検出されるまでの伝搬時間を取得する伝搬時間取得部と、を含む。
また、上記本発明にかかる流量測定システムでは、上記板状振動子は、上記チューブを嵌脱自在に挟持する挟持部を有するクランプに装着されるのが好適である。
また、上記本発明にかかる流量測定システムでは、上記板状振動子は、開閉自在な二つのアームを有し当該アームによって上記チューブを挟み込むクリップに装着されるのが好適である。
また、上記本発明にかかる流量測定システムで用いられる振動子装着用のクランプは、上記チューブを嵌脱自在に挟持する挟持部を有し、上記板状振動子を当該チューブの外壁に直接または間接的に当接させるように保持する。
また、上記本発明にかかる流量測定システムで用いられる振動子装着用のクリップは、上記チューブを挟み込む二つのアームを備え、上記板状振動子を当該チューブの外壁に直接または間接的に当接させるように保持する。
本実施形態にかかる流量測定システムでは、チューブが音響管として機能するように、すなわち、振動子の振動によって生じる波動が流体中を主として管軸方向に平面波として伝搬するようにする。平面波は、比較的長い距離にわたって伝搬することができ、しかも管路の曲がりによる減衰が少ない。このような平面波を得るには、振動の周波数を、チューブ内の流体の半径方向の共振周波数のうち最低のものに比べて十分に低くする必要があり、チューブを円環状断面の剛管であると仮定した場合、振動の周波数fを、
Figure 2005189002
とする必要があることが知られている(ここに、c:流体中の音速、d:チューブの内径)。ここで、内径dが小さいほど右辺の値が大きくなり、式(1)の不等式の関係が得られやすいことがわかる。すなわち、この方式は、比較的細いチューブ内の流量を計測するのに適していることがわかる。
ところが、低い周波数を、振動子の厚み方向振動あるいは縦振動での共振周波数として得る場合には、振動子を大きくせざるを得ない。そこで、本実施形態では、図4に示すように、板状の振動子14の径方向振動あるいは横振動の共振周波数fが、厚み方向振動あるいは縦振動の共振周波数f0より低くなることを利用する。こうすれば、比較的小型の振動子を用いても低い共振周波数を得ることができる。表裏面に電極14aが形成される円板状の振動子の径方向基本振動の共振周波数fは、
Figure 2005189002
となる。また、表裏面に電極が形成される矩形板状の振動子の横方向基本振動の共振周波数fは、
Figure 2005189002
となる。ただし、η:係数(=2.08;ただし、ポアソン比σE=0.35のとき)、D:円板状振動子の直径、Y11 E:弾性係数、ρ:密度である。なお、添え字11は、面方向(拡がり方向)を意味し、添え字Eは電界E=一定の条件にあることを意味する。
すなわち、本実施形態にかかる流量測定システムでは、径方向振動あるいは横振動の共振として、上記式(1)を満たす周波数の振動を得ることで、細いチューブの流量を、比較的小型の振動子を用いて、より精度良く計測することを可能とする。一例として、一辺の長さa=8[mm]の矩形状の振動子の径方向振動の共振周波数は、式(3)から、f=220×103[Hz]となる。ここで、式(1)を変形すると、
Figure 2005189002
となり、この式(4)の右辺は、流体中の音速cを1500[m/sec]とすると、0.586×1500[m/sec]/(220×103[Hz])×103≒4[mm]となる。すなわち、一辺の長さaが8[mm]の矩形状の振動子の径方向振動を利用する場合、式(4)より、内径dが4[mm]以下のチューブに対しては、管軸方向に伝搬する平面波が得られることがわかる。なお、内径dが6[mm]以下のチューブについては、他の内径dの場合についても同様に、矩形状の振動子については、その一辺の長さaを、チューブの内径d[mm]の2倍程度とすれば良いことが判明した。
図1は、本実施形態にかかる流量測定システム10の要部構成の一例を示す図である。流量測定システム10は、チューブ12の上流、下流にそれぞれ設けられる一対の板状の振動子14(14u,14d)と、各振動子14に設けられる駆動回路/検出回路16と、駆動回路/検出回路16を制御する制御部18と、振動子14間の波動の伝搬時間を取得する伝搬時間取得部20と、伝搬時間からチューブ12内の流体の流量を算出する流量算出部22と、を備える。
振動子14は、その表裏面に電極14aが形成され、分極された圧電素子(ピエゾ素子)として構成される。
二つの駆動回路/検出回路16は、制御部18によって制御され、そのうち一方が駆動回路、他方が検出回路として機能するように切り替えられる。駆動回路に接続される振動子14は送波素子となり、検出回路に接続される振動子14は受波素子となる。駆動回路は、振動子14を、径方向または横方向の共振周波数で振動させる。
伝搬時間取得部20は、二つの駆動回路/検出回路16あるいは制御部18から取得した情報に基づいて、送波素子として機能する振動子14から出力された波動が受波素子として機能する振動子14で受信されるまでの時間T(Tu,Td)を計測する。
流量算出部22は、例えば、上流側の振動子14uから下流側の振動子14dに波動が伝搬した時間Tdと、下流側の振動子14dから上流側の振動子14uに波動が伝搬した時間Tuとの差ΔT(=|Tu−Td|)に基づいて、次の式
Figure 2005189002
から、流量Qを取得する(ここに、L:二つの振動子14間の距離、A(=π・d2/4):チューブの流路面積)。
図2は、振動子14をチューブ12の外壁に当接させるためのクランプ24の一構成例を示す図(径断面図)である。このクランプ24は、内板26、本体28、振動子14を含む。
内板26の断面は、コの字型となっている。そして、内板26の互いに対向する壁面間の距離δは、チューブ12の外径より僅かに小さく形成されており、これにより、チューブ12が当該コの字の内側に嵌脱自在に挟持される。すなわち、この例では、内板26が狭持部として機能している。
振動子14の表面(または裏面)と内板26の裏面(チューブ12に当接する面の裏面)とは、例えば接着され、これにより、振動子14は内板26に固定されている。このとき、振動子14は、その表面(または裏面)がチューブ12の外壁に沿う姿勢となる。また、かかる構成では、振動子14は、チューブ12の外壁に内板26を介して間接的に当接され、振動子14とチューブ12内の流体との間には、内板26およびチューブ12が介在することになる。したがって、内板26の厚みや材質は、内板26およびチューブ12が整合層として機能するように決定するのが好適である。
本体28は、外板部30と、その先端に内板26を例えば接着によって固定する支持板部32とから構成されている。かかる構成により、クランプ24を中空構造とし、軽量化を図っている。
以上、クランプ24は、極めて簡単にチューブ12に取り付けることができ、また取り外すことができる。すなわち、この例によれば、チューブ12の外壁に振動子14をより容易にかつより確実に当接させ、また離間させることができる。
図3は、振動子14をチューブ12の外壁に当接させるためのクリップ34の一構成例を示す図(側面図)である。このクリップ34は、二つのアーム36,38、シャフト40、弾性部材としてのスプリング42、および振動子14を備える。
二つのアーム36,38のうち少なくともいずれか一方はシャフト40に回動自在に支持されており、これらアーム36,38によってチューブ12が挟み込まれる構造となっている。この例では、スプリング42の付勢力によってアーム36,38が近接する側にチューブ12が狭持される。ただし、この場合は、付勢力が過大となってチューブ12を押しつぶさないように注意すべきである。すなわち、図3の例のように、ストッパ36a,38aを設けるなどして、アーム36,38が、チューブ12の外径より僅かに小さい距離δ以下に接近しないようにするのが好適である。
また、各アーム36,38は、上記クランプ24と同様の中空構造(図示せず)をなす内板36b,38bおよび本体36c,38cを備える。
そして、振動子14の表面(または裏面)は、いずれか一方のアーム36,38の内板36b,38bの裏面に例えば接着され、これにより、振動子14が内板26に固定される。この例でも、振動子14は、その表面(または裏面)がチューブ12の外壁に沿う姿勢で、当該外壁に間接的に当接される。また、この例でも、内板36b,38bの厚みや材質は、内板36b,38bおよびチューブ12が整合層として機能するように決定するのが好適である。
以上、クリップ34は、極めて簡単にチューブ12に取り付けることができ、また取り外すことができる。すなわち、この例によれば、チューブ12の外壁に振動子14をより容易にかつより確実に当接させ、かつ離間させることができる。
以上説明したように、本実施形態にかかる流量測定システムによれば、φ6[mm]以下程度の比較的細いチューブ内を流れる流体の流量を、より小型の振動子を用いてより精度良く測定することができるようになる。
なお、本発明は上記実施形態には限定されず、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、各クリップまたはクランプに振動子をそれぞれ一個ずつ装着する場合について例示したが、これには限定されず、各クリップまたはクランプに振動子を複数設けてもよい。また、上記実施形態では、振動子が内板を介してチューブの外壁に当接される場合について例示したが、これには限定されず、振動子の表面が直接チューブの外壁に当接されるように構成してもよい。ただし、内板等、何らかの部材を介在させる構成とする方が、振動子の保護という観点からは有利である。
本発明の実施形態にかかる流量測定システムの要部構成の一例を示す図である。 本発明の実施形態にかかる流量測定システムに含まれる振動子をチューブに装着するためのクランプの一例を示す断面図である。 本発明の実施形態にかかる流量測定システムに含まれる振動子をチューブに装着するためのクリップの一例を示す側面図である。 振動子(ただし(a):円形振動子、(b):矩形振動子)の径方向振動(横方向振動)および厚み方向振動(縦方向振動)を示す説明図である。
符号の説明
10 流量測定システム、12 チューブ、14(14u,14d) 振動子、14a 電極、16 駆動回路/検出回路、18 制御部、20 伝搬時間取得部、22 流量算出部、24 クランプ、26 内板、28 本体、30 外板部、32 支持板部、34 クリップ、36,38 アーム、36a,38a ストッパ、36b,38b 内板、36c,38c 本体、40 シャフト、42 スプリング。

Claims (5)

  1. 電極の形成された表面が流量測定の対象となるチューブの外壁に沿う姿勢で当該外壁に直接または間接的に当接される板状振動子の対であって、その各々が当該チューブの上流側および下流側に配置される板状振動子の対と、
    前記対をなす板状振動子のいずれか一方を送波素子としてその径方向または横方向の共振周波数で振動させる駆動回路と、
    前記送波素子の振動によってチューブ内の流体に生じた軸方向平面波が検出素子としての他方の振動子で検出されるまでの伝搬時間を取得する伝搬時間取得部と、
    を含む流量測定システム。
  2. 前記板状振動子は、前記チューブを嵌脱自在に挟持する挟持部を有するクランプに装着されることを特徴とする請求項1に記載の流量測定システム。
  3. 前記板状振動子は、開閉自在な二つのアームを有し当該アームによって前記チューブを挟み込むクリップに装着されることを特徴とする請求項1に記載の流量測定システム。
  4. 請求項2に記載の流量測定システムで用いられる振動子装着用のクランプであって、前記チューブを嵌脱自在に挟持する挟持部を有し、前記板状振動子を当該チューブの外壁に直接または間接的に当接させるように保持することを特徴とするクランプ。
  5. 請求項3に記載の流量測定システムで用いられる振動子装着用のクリップであって、前記チューブを挟み込む二つのアームを備え、前記板状振動子を当該チューブの外壁に直接または間接的に当接させるように保持することを特徴とするクリップ。
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