JP2005183929A - 自己修正可能な半導体、およびその方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】多重の機能ユニットを備えた、自己修正可能な半導体を提供する。
【解決手段】 自己修正可能な半導体は、同じ機能を実行しかつ副機能ユニットを有する、多数の機能ユニットを備える。半導体は、完全または部分的な1つ以上のスペア機能ユニットを備え、当該スペア機能ユニットは、半導体へと集積される、副機能ユニットの欠陥が検出されると、その副機能ユニットは、切り替えられて、完全または部分的なスペア機能ユニットにおける副機能ユニットと、置き換えられる。この再構成は、副機能ユニットと関連付けられたスイッチング・デバイスによって実現される。欠陥のある機能ユニットや副機能ユニットは、組立後に電源を投入している最中に動作中に周期的に検出されてよく、および/又は手動で検出してもよい。
【選択図】なし

Description

本出願は、2003年2月5日に出願された米国特許出願番号10/358、709号の部分継続出願であり、この出願は、2002年12月2日に出願された米国特許仮出願番号60/430、199の便益を主張する。また本出願は、2003年12月18日に出願された米国特許仮出願番号60/531,023号の便益を主張する。上記の出願で開示された内容を参照することにより、その内容は、本出願に組み込まれる。
本発明は、半導体に関しており、特に、同じ機能を実行する多重の機能ユニットを備えた、自己修正が可能な半導体に関する。
半導体産業で増加しつつあるトレンドは、集積回路を多重回数、高度に集積化することである。例えば半導体は、通常は同じ機能を実行する独立した機能ユニットを多数有してよい。機能ユニットのそれぞれは、複数の同じ副機能ユニットを有する。
ここで図1を参照すると、半導体8は、高レベルの同じ機能を実行する、一般的に独立したM個の機能ユニット10−1、10−2、・・・10−M(まとめて機能ユニット10と称する)を備える。それぞれの機能ユニット10は、N個の同じ副機能ユニットを有する。例えば機能ユニット10−1は、副機能ユニット11、21、31、・・・、およびN1を含む。機能ユニット10−2は、副機能ユニット12、22、32、・・・、およびN2を含む。機能ユニット10Mは、副機能ユニット1M、2M、3M、・・・、およびNMを含む。一つの行上にある副機能ユニットは、同じ低レベルの機能を実行する。通常、機能ユニット同士の間には、グランドと電力以外の接続はない。しかしながら、機能ユニット内の副機能ユニット同士の間には、接続が存在する。この接続は、一方向や双方向であってよく、一以上の接続ワイヤを含んでよい。
ここで図2を参照すると、典型的な機能ユニットは、ギガビットの物理レイヤ・デバイス70であってよい。例えば、4ギガビットや8ギガビットの物理レイヤ・デバイスが、半導体に製造されてよい。物理レイヤ・デバイス70は物理コーディングサブレイヤ機能(PCS)、FCT機能、および判定帰還系列推定(DFSE)を実行する第1の副機能ユニット74を有する。第2の副機能ユニット76は、有限インパルス応答(FIR)フィルタ機能を実行する。第3の副機能ユニット78は、エコーおよび近端漏話(NEXT)機能を実行する。第4および第5の副機能ユニット80および84は、デジタルおよびアナログフロントエンド機能(AFE)を実装する。
個々の機能ユニットの歩留が90%である場合、x個の同じ機能ユニットを有する半導体の歩留まりは、(0.9)となる。例えば、90%の歩留りの機能ユニットを、半導体が8個有する場合、半導体の歩留りは43%であり、これは許容される歩留りでない。
本発明の幾つかの実施形態によれば、請求項1で特定されるような、自己修正可能な半導体が提供される。
本発明の幾つかの実施形態によれば、請求項16で特定されるような、システムが提供される。
本発明の幾つかの実施形態によれば、請求項20で特定されるような、自己修正可能な半導体が提供される。
本発明の適応可能な範囲は、以下に提供された詳細な説明から明らかとなる。詳細な説明と具体例は本発明における好ましい実施形態を示してはいるが、単なる事例の提示を目的としており、本発明の範囲を限定することを意図するものではないと理解されるべきである。
1つ以上の好ましい実施形態についての以下の記述は、事実上、単なる事例にすぎず、本発明、その適用、またはその使用を制限するものではない。明確さを期する為に、図面においては、同じ構成要素を識別するのに同じ参照番号が使用される。
本発明における自己修正可能な半導体は、1以上の完全または部分的なスペア機能ユニットを備える。機能ユニットまたは副機能ユニットに欠陥が検出された場合、その機能ユニットまたは副機能ユニットは切り替えられ、そして完全または部分的なスペア機能ユニット内の機能ユニットや機能ユニットに置き換えられる。この再構成はスイッチング・デバイスにより実現されてよく、このスイッチング・デバイスは、機能ユニットや副機能ユニットと共に集積化されてもよいし、或いは機能ユニットや副機能ユニットから分離されてもよい。
欠陥のある機能ユニットや副機能ユニットは、組立後や電源を投入している間に検出する事が出来、或いは、動作中に定期的に検出するか、および/又は手動で検出することもできる。本発明は、具体例に関連して記載されるが、当業者であれば、それぞれの半導体が同じ機能を実行する高レベルの機能ユニットをいくつ有してもよいことは、明らかである。また機能ユニットは、共通の副機能ユニットをいくつ含んでいてもよい。
更に、具体的なスイッチング・デバイスと配列とが図示されているが、実際に使用される具体的なスイッチング・デバイスや配列は、特定の実施例や、特定の機能ユニットおよび/又は副機能ユニットの詳細や、その他の通常の設計基準に依存する。同じ半導体において、動作不能の機能ユニット、および/又は副機能ユニットを置き換える為に、同じ種類や異なる種類のスイッチング・デバイスが使用されてよい。副機能ユニット間の接続ワイヤがアナログ信号を伝達する場合、アナログ・スイッチングが実行され、これは、好ましくは、通常はアナログ出力信号の為の電流スイッチング素子と、アナログ入力信号の為の加算ノード・スイッチングとを使用する。この種のスイッチング・デバイスは、例えば、低い減衰、低いインピーダンス、低い歪み等、電圧に基づくスイッチング・デバイスに対していくつかの利点を有する。図13は、加算ノード・スイッチングの一例を示す。加算ノード・スイッチングは入力アナログ信号を提供し、それはVddや負電圧(negative)より大きくてよい。電圧モードスイッチングとは対照的に、Vddや負電圧よりも大きい電圧信号は、スイッチングトランジスタにフォワードバイアスをさせてよい。アクティブな加算素子の更なる説明は、2000年7月31日に出願され、本発明の譲受人に譲渡された、出願番号09/629、092号「トランジスタハイブリッドの為のアクティブな抵抗加算器」に見る事が出来、その内容は、参照することによって、本願に組み込まれる。
デジタルスイッチング・デバイスは、デジタル信号を伝達する接続ワイヤの為に使用されてよい。この種のスイッチは、例えば、標準的な論理回路、マルチプレクサ、ゲート、トランジスタ等を含む。
ここで図3(a)を参照すると、本実施形態のそれぞれにおける半導体86は、オンチップに配置され、スイッチング・デバイス90および副機能ユニット92と通信を行うコントローラ88を備える事が出来る。試験・欠陥確認回路94は、動作不能の副機能ユニット92を識別し、コンフィギュレーションデータを生成する。コントローラ88は、前述したように、動作不能な副機能ユニット92を置き換えるように、スイッチング・デバイス90に命令する。コントローラ88は、組立の後に組込み自己検査モードを実行してよく、これは、電源を投入最中に実行してもよいし、動作中に定期的に実行してもよいし、手動で行ってもよい。
ここで図3(b)を参照すると、本実施形態のそれぞれにおける半導体86は、オンチップに配置され、例えば不揮発メモリ等のオンチップのメモリ98に着脱時際に接続されたコントローラ96を備える事が出来る。メモリ98は、スイッチング・デバイス90のスイッチング位置を定めるコンフィギュレーションデータを記憶する。コントローラ96は、副機能ユニット92に接続され、故障を、検出および/又は試験する。コントローラ96は、コンフィギュレーションデータを定める為にテスト結果を使用し、定められたコンフィギュレーションデータはメモリ98に記憶される。電源投入時、コンフィギュレーションデータは、複数の副機能ユニット92を構成するために用いられる。スイッチング・デバイスを実装するその他の様々な方法があることは明らかである。例えばレーザヒューズ等のヒューズや、ヒューズ以外のものが、機能ユニットおよび/又は副機能ユニットを置き換える為の接続を構築および/又は破壊するのに使用する事が出来る。また、外部ピンやディップスイッチが、使用されてもよい。
ここで図4を参照すると、機能ユニット10−1、10−2、・・・、10−6に加えて、スペアの機能ユニット10−Sが、半導体90に製造されている。更に、複数のスイッチング・デバイス94は、副機能ユニットにおける、いくつかの入力および出力、或いは全ての入力および出力に配置される。図3に示す典型的な実施形態では、スペア機能ユニット10−Sは、複数の機能ユニット10の間に位置する。しかしながら、スペアの機能ユニット10−Sは、半導体100において、どのような位置に配置されてもよい。例えばスペアの機能ユニット10−Sは、いずれかの機能ユニット10の左または右に位置してよい。
スイッチング・デバイス94およびスペア機能ユニット10−Sは、半導体90に、動作不能な機能ユニット10−1、10−2、10−3、10−4、10−5、および/又は10−6を置き換えさせる事が出来る。図4の実施例において、スペア機能ユニット10−Sによって、1つの機能ユニット中のいずれの副機能ユニットが機能しなくても、そのことが許容される。動作不能な機能ユニットの置換が許容されることにより、半導体90の歩留りは、大幅に改善される。(ハッチングしたシェーディングに示すように)機能ユニット10−1における副機能ユニット11、21、31、および/または41の、1つ或いはいずれかの組み合わせが機能しない場合に、スペア機能ユニット10−Sの副機能ユニットと動作不能となった副機能ユニット11、21、31、および41とを置き換える為に、複数のスイッチ94が再構成される。
例えば、副機能ユニット11が動作不能である場合、副機能ユニット1、12、および13への入力92−1、92−2、および92−3は、スイッチ94−1、94−2、94−3、および94−4によって、1機能ユニットだけ右へとシフトされる。副機能ユニット42、43および4Sにおける出力92−4、92−5、および92−6は、スイッチ94−5、94−6、94−7、および94−8によって、1機能ユニットだけ左へとシフトされる。
再構成の後、第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット12、22、32および42を有する。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット13、23、33および43を有する。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット1S、2S、3Sおよび4Sを有する。第4の機能ユニットは、副機能ユニット14、24、34、および44を有する。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、25、35および45を有する。第6の機能ユニット10−6は、副機能ユニット16、26、36および46を有する。この典型的な実施形態は、機能ユニットを基本とする置換を可能にする。
ここで図5を参照すると、スペア機能ユニット10−Sは、機能ユニット10−1、10−2、・・・、および10−6に加えて、半導体100に製造される。更に、スイッチング・デバイス104は、副機能ユニットの入力および出力に位置する。図5に示された典型的な実施形態において、スペア機能ユニット10−Sは、機能ユニット10の間に位置する。スイッチング・デバイス104およびスペア機能ユニット10−Sは、半導体100に、機能ユニット10−1、10−2、10−3、10−4、10−5、および/又は10−6における動作不能な副機能ユニットを置き換えさせる事が出来る。図5の実施例において、スペア機能ユニット10−Sのおかげで、各行における1つの副機能ユニットが機能しないことが許容される。動作不能の副機能ユニットの置換を許容することによって、半導体200の歩留りは、大幅に改善される。この典型的な実施形態では、1つの機能ユニットまたは1つの副機能ユニットをベースとする置換、および/または、異なる機能ユニットにおける多数の副機能ユニットの置換を許容する。(図にシェーディングで示されている)副機能ユニット11、31、および26が機能しない場合、スイッチ104は、動作不能の副機能ユニット11、31、および26を、スペア機能ユニット10−Sの副機能ユニット15、35、および25と置き換える。
動作不能の副機能ユニット11は、次のように置き換えられる。副機能ユニット11、12、および13への入力106−1、106−2および106−3は、スイッチ104−1、104−2、104−3、および104−4によって、1機能ユニットだけ右にシフトされる。副機能ユニット12、13、および1Sの出力106−4、106−5、および106−6は、スイッチ104−5、104−6、104−7、および104−8によって、1機能ユニットだけ左にシフトされる。動作不能な副機能ユニット13も、同様の方法で置き換えられる。
動作不能の副機能ユニット26は、次のように置き換えられる。副機能ユニット14、15、および16の出力106−7、106−8、および106−9は、スイッチ104−8、104−9、104−10、および104−11によって、1機能ユニットだけ左にシフトされる。副機能ユニット2S、24および25の出力106−10、106−11、および106−12は、スイッチ104−12、104−13、104−14、および104−15によって、1機能ユニットだけ右にシフトされる。
再構成の後、第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット12、21、32および41を含む。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット13、22、33および42を含む。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット1S、23、3Sおよび43を含む。第4の機能ユニット10−4は、副機能ユニット14、2S、34および44を含む。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、24、35および45を含む。第6の機能ユニット10−6は、副機能ユニット16、25、36、および46を含む。
ここで図6を参照すると、半導体150は、1端に配置されたスペアの副機能ユニット10−Sを備える。(シェーディングに示すように)副機能ユニット21が機能しない場合、副機能ユニット21、22、・・・、26への入力120−1、120−2、・・・、120−6は、スイッチ124−1、124−2、・・・、124−7によって、1機能ユニットだけ右にシフトされる。副機能ユニット22、23、・・・、2Sへの入力120−7、120−8、・・・、120−12は、スイッチ124−8、124−9、・・・、124−14によって、1機能ユニットだけ左にシフトされる。
再構成の後、第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット11、22、31および41を含む。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット12、23、32および42を含む。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット13、24、33および43を含む。第4の機能ユニット10−4は、副機能ユニット14、25、34および44を含む。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、26、35および45を含む。第6の機能ユニット10−6は、副機能ユニット16、2S、36、および46を含む。
ここで図7を参照すると、半導体160は、1端に配置された部分的なスペア副機能ユニット10−PSを備える。部分的スペア副機能ユニット10−PSは、1つ以上の副機能ユニットを有する。(この場合、複数の機能ユニットを有するが、全ての副機能ユニットを有するわけではない)。例えば、部分的副機能ユニット10−PSは、副機能ユニット2Sと3Sとを有するが、1Sと4Sは有さない。準備される部分的な副機能ユニットは、より低い歩留まりの可能性のある副機能ユニットと関連付けられてよい。その他の副機能ユニットやスイッチを製造しないことにより、半導体160のコストが削減されてよい。
(シェーディングに示すように)副機能ユニット21が機能しない場合、副機能ユニット21、22、・・・、26への入力120−1、120−2、・・・、120−6は、スイッチ124−1、124−2、・・・、124−6によって、1機能ユニットだけ右にシフトされる。副機能ユニット22、23、・・・、2Sへの入力120−7、120−8、・・・、120−12は、スイッチ124−8、124−9、・・・、124−13によって、1機能ユニットだけ左にシフトされる。
再構成の後、第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット11、22、31および41を含む。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット12、23、32および42を含む。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット13、24、33および43を含む。第4の機能ユニット10−4は、副機能ユニット14、25、34および44を含む。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、26、35および45を含む。第6の機能ユニット10−6は、副機能ユニット16、2S、36、および46を含む。
ここで図8を参照すると、更に、完全な、および/または部分的なスペア機能ユニットが備えられてよい。例えば、図8の半導体170は、2つの部分的なスペア副機能ユニット10−PSおよび10−PSを備える。完全な、および/または部分的なスペア副機能ユニット10−PSおよび10−PSは、(図示されるように)互いに隣接して配置される事が出来、或いは、隣接しない位置に配置されてもよい。完全または部分的な副機能ユニットが互いに隣接して配置された場合、スイッチ172は、2つの隣接するスイッチ間の入力および/又は出力を切り替える。例えばスイッチ174−1は、副機能ユニット11から副機能ユニット22又は23への、入力および/又は出力を切り替える事が出来る。
(シェーディングに示すように)副機能ユニット21および22が機能しない場合、副機能ユニット21、22、23、および24への入力172−1、172−2、172−3、および172−4は、スイッチ174−1、174−2、・・・、174−6によって、2機能ユニットだけ右にシフトされる。副機能ユニット23、24、2S、および2Sへの出力172−5、172−6、・・・、172−8は、スイッチ174−7、174−8、・・・、174−12によって、2機能ユニットだけ左にシフトされる。
副機能ユニット37が機能しない場合、副機能ユニット35、36および37への入力172−9、172−10、および172−11は、スイッチ174−12、174−13、174−14、および174−15によって、1機能ユニットだけ左にシフトされる。副機能ユニット3S、35、および36への出力172−12、172−13、および172−14は、スイッチ174−16、174−17、174−18、および174−19によって、1機能ユニットだけ右にシフトされる。
再構成の後、第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット11、23、31および41を含む。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット12、24、32および42を含む。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット13、2S、33および43を含む。第4の機能ユニット10−4は、副機能ユニット14、2S、34および44を含む。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、25、3Sおよび45を含む。第6の機能ユニット10−6は、副機能ユニット16、26、35、および46を含む。第7の機能ユニット10−7は、副機能ユニット17、27、36、および47を含む。
半導体は、また、一端やその他の位置に配置された、2つ以上の、完全な、および/又は部分的な機能ユニットを備える事が出来る。図9において、2つの部分的なスペア機能ユニット10−PSおよび10−PSは、半導体180の一端に配置される。(シェーディングに示すように)副機能ユニット21および24が機能しない場合、スイッチング・デバイス182は、それらを、スペア機能ユニット10−PSおよび10PSにおける副機能ユニット2Sおよび2Sと置き換える。
再構成の後、第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット11、22、31および41を含む。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット12、23、32および42を含む。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット13、25、33および43を含む。第4の機能ユニット10−4は、副機能ユニット14、26、34および44を含む。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、27、35および45を含む。第6の機能ユニット10−6は、副機能ユニット16、2S、36、および46を含む。第7の機能ユニット10−7は、副機能ユニット17、2S、37、および47を含む。
ここで図10を参照すると、スイッチング・デバイスの複雑さを低減する為に、半導体190は、マルチプレクサ(M)192を有する多重化されたスイッチング・デバイスを備えており、このマルチプレクサは、p個の入力信号を受信し、1〜q個の出力信号を出力する。この場合、qはpよりも小さい。例えば、p個の入力信号は、1の出力信号へと多重化されてよい。
あるいは、p個入力信号は、2以上の出力信号へと多重化されてもよい。例えば、8つの入力信号は、3つの出力信号へと多重化されてよい。この場合、1つの入力信号は、多重化されないが、これは例えば、ギガビットの物理レイヤ・デバイスのデータ信号のような高速な信号である。2つの中程度の速度の信号は、1つの出力信号へと多重化されてよい。残りの5つの入力信号(それらは、ギガビットPHYにおける制御信号のような、好ましくは、「遅い」信号である)は、1つの出力信号に多重化されてよい。
デマルチプレクサ(D)194は、1からq個の入力信号を受信し、p個の出力信号を生成する。多重化または逆多重化される入力信号および出力信号の数は、マルチプレクサ192およびデマルチプレクサ194と通信を行う特定の副機能ユニットに依存する。切り替えされるべき接続ワイヤの数を減少させることで、スイッチング・デバイスは単純化されてよい。図10および図11に示された典型的な実施形態では、単一の信号出力へと多重化される、多数の入力を示している。しかしながら、先の議論に基づき、マルチプレクサの出力が、多重化または逆多重化されてよい1以上の出力を有してもよいことは、当業者には明らかである。
例えば、副機能ユニット21が機能しない場合、スイッチング・デバイス196−1および196−2は、マルチプレクサ192−1をデマルチプレクサ192−3と接続する。これより、副機能ユニット11から副機能ユニット22へと送信される信号の為のフォワードパスを設定する。(これにより、動作不能の副機能ユニット21を置き換える)。デマルチプレクサ192−3は、副機能ユニット22と通信する。同様に、リバースパスが、必要に応じて設定されてよい。スイッチング・デバイス196−1および196−2は、マルチプレクサ192−4をデマルチプレクサ194−1と接続し、これにより副機能ユニット11と通信する。フォワードパスとリバースパスとが示されたが、必要に応じて副機能ユニット間でフォワードパスおよび/又はリバースパスを利用してもよいことは、明らかである。副機能ユニット間でフォワードパスとリバースパスの両方が使用されるのではない場合には、マルチプレクサおよびデマルチプレクサのうちの幾つかは省略する事が出来る。
再構成の後、第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット11、22、31および41を含む。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット12、23、32および42を含む。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット13、2S、33および43を含む。第4の機能ユニット10−4は、副機能ユニット14、24、3Sよび44を含む。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、25、34および45を含む。第6の機能ユニット10−6は、副機能ユニット16、26、35、および46を含む。
多重化されたスイッチング・デバイスを備える半導体は、完全あるいは部分的なスペア副機能ユニットを備えてよい。ここで図11を参照すると、半導体200は2つの部分的なスペア副機能ユニット10−PSおよび10−PSを備える。多重化された、完全あるいは部分的なスペア副機能ユニットは、互いに隣接して配置される必要はない。スイッチング・デバイス204は、少なくとも2つの隣接するスイッチと接続する。例えば、スイッチング・デバイス204−1は、スイッチング・デバイス204−2および204−3と通信する。同様に、スイッチング・デバイス204−2は、スイッチング・デバイス204−3および204−4と通信する。半導体200は、同じ行における2つの故障を置き換える事が出来る。
例えば、(シェーディングに示すように)副機能ユニット31および33が機能しない場合、複数のスイッチ204が再構成される。第1の機能ユニット10−1は、副機能ユニット11、21、32および41を含む。第2の機能ユニット10−2は、副機能ユニット12、22、34および42を含む。第3の機能ユニット10−3は、副機能ユニット13、23、35および43を含む。第4の機能ユニット10−4は、副機能ユニット14、24、3Sよび44を含む。第5の機能ユニット10−5は、副機能ユニット15、25、3Sおよび45を含む。
欠陥が、半導体において一様かつ独立に分布すると仮定すると(それは正しいかもしれないし、そうではないかもしれないが)、単一の機能ユニットの歩留りがPである場合に、第1の副機能ユニットPsub1=P((副機能ユニットの領域)/機能ユニットの領域))となる。機能ユニットの歩留りPは、各副機能ユニットの生産量に等しい。
機能ユニットの歩留りをp、動作する機能ユニットの最小の個数をmとし、nは、mとスペア機能ユニットの数を加えた数に等しい場合、歩留りは以下のように定められる。
Figure 2005183929
例えば、90%の均一な歩留りを有する8つの機能ユニット(およびスペアの機能ユニット)を備えた半導体は、43%の歩留りとなる。ここで機能ユニットが、4つの副機能ユニットA、B、C、Dを含むと仮定する。A、B、Cおよび/またはDが欠陥を有する場合、副機能ユニットの全てが1つのグループとして交換される。1つのスペア機能ユニットを有するならば、歩留りは77.5%に増加する。
2つのグループ(AとB)および/又は(CとD)において、機能ブロックが交換される場合、歩留りは、以下に等しい。
Figure 2005183929
この実施例において、A+Bの欠陥密度がC+Dの欠陥密度に等しい場合、歩留りは85.6%に増加する。
3つのグループ(AとB)、C、および/又はDにおいて、機能ブロックが交換される場合、歩留りは、以下に等しい。
Figure 2005183929
この実施例において、欠陥密度がA=B=C=Dである場合、歩留りは88.6%に増加する。
4つのグループA、B、C、および/又はDにおいて、機能ブロックが交換される場合、歩留りは、以下に等しい。
Figure 2005183929
この実施例において、欠陥密度がA=B=C=Dである場合、歩留りは91.7%に増加する。
1つのスペア機能ユニットを備えると、明らかに、歩留りは劇的に増加する。機能ユニットを、個別に交換可能な2つ以上の副機能ユニットへ分割することにより、更に歩留りは増加する。設計の複雑さが増加することにより、歩留りが改良することによる見返りは、若干の点で相殺される。
ここで図12を参照すると、完全あるいは部分的な単一の機能ユニットを用いて、動作不能な副機能ユニットを置き換える為のステップが示される。ステップ240で制御が開始される。ステップ242において、本制御は、動作不能な副機能ユニットにおける列と行を識別する。ステップ244において、本制御は、Nを機能ユニットの行の数と等しく設定し、そして、Rを1に設定する。ステップ246において、本制御は、RがN+1に等しいかを判断する。これが真であれば、本制御は、ステップ248で終了する。等しくない場合、制御はステップ250へと続き、ここで本制御は、R行が、1以上の動作不能な(N.O)副機能ユニット(SFU)を有するかを判断する。これが偽である場合、本制御は、ステップ252においてRに1を加え、ステップ246へ戻る。判定が真である場合、本制御は、ステップ254へと続き、ここで、行Rが、2つ以上の動作不能な(N.O)副機能ユニット(SFU)を有するかを判断する。完全または部分的なスペアの副機能ユニットは1つだけ備えられているので、同じ行に2以上の動作不能な副機能ユニットが存在する場合には、ステップ256でエラー信号が送信される。
ステップ258において、本制御は、mを、完全または部分的なスペアの機能ユニットの行の数と等しく設定し、zを、動作不能な副機能ユニットの列の数に設定する。ステップ262において、制御はi=zに設定する。ステップ270において、本制御は、z>mであるかを判断する。これが偽である場合には、本制御は、ステップ274へと続き、スイッチング・デバイスを用いてi番目の副機能ユニットを、(i+1)列へとシフトする。ステップ276において、本制御は、(i+1)=mであるかを判断する。等しくない場合、本制御は、ステップ278において、iに1を加え、ステップ274を続行する。等しい場合には、ステップ280において、本制御はRに1を加え、ステップ254を続行する。
ステップ270において、zがmよりも大きい場合、本制御は、ステップ284へと続き、スイッチング・デバイスを用いることで、i番目の副機能ユニットを(i−1)列へとシフトする。ステップ286において、本制御は、(i−1)がmに等しいかどうかを判断する。等しくない場合、本制御は、ステップ288において、iから1を減じて、ステップ284を続行する。等しい場合には、本制御はステップ280へと続く。
2つ以上の完全または部分的なスペア機能ユニット、および/又は副機能ユニットを備えた半導体に対して、動作不能な機能ユニット、および/又は副機能ユニットを置き換える為に、同様のアルゴリズムが実行されてよいことは、当業者には明らかである。更には、具体的なスイッチングの配列が示されているが、実際に使用される具体的なスイッチング・デバイスは、特定の実施例や、特定の機能ユニットおよび/又は副機能ユニットの詳細や、その他の通常の設計基準に依存する。また、同じ半導体内で、様々な異なる種類のスイッチング・デバイスが使用されてよい。
ここで図14を参照すると、半導体300は、M個の機能ユニット302−1、302−2、・・・、および302−Mを備える(まとめて302とする)。M個の機能ユニット302のそれぞれは、第1、第2、および第3の副機能ユニット1X、2X、および3Xをそれぞれ有し、ここでのXは、1からMの間の数である。第1の副機能ユニット11、12、13、・・・、および1Mは、第2の副機能ユニット21、22、23、・・・、および2Mとそれぞれ通信する。第1の副機能ユニット1Xは、また、第3の副機能ユニット31、32、33、・・・、および3Mとそれぞれ通信する。例えば、第1の副機能ユニット1Xは、外部のアナログおよび/又はデジタルの入力および/又は出力(I/O)を有してよく、そして第3の副機能ユニット3Xは、外部のアナログおよび/又はデジタルのI/Oを有してよい。本実施例において、第2の副機能ユニット2Xは、第3の副機能ユニット3Xとは通信を行わない。しかしながら、当業者であれば、第2の副機能ユニット2Xが、第3の副機能ユニット3Xと通信を行ってもよいことは明らかである。更に、副機能ユニットが、必要に応じて追加され、接続されてよい。
第1の副機能ユニット1Xは、半導体300のパッド304と通信し、第3の副機能ユニット3Xは、半導体300のパッド306と通信する。図14に示される典型的な実施形態は、M個の機能ユニット302のそれぞれにおいて、第1、第2、および第3の副機能ユニット1X、2X,および3Xをそれぞれ有しているが、半導体300における機能ユニット302が、異なる組み合わせで通信を行う副機能ユニットをいくつ有してもよいことは、当業者には明らかである。
副機能ユニットのうちの1つが動作不能なときに、問題が発生する。例えば、所定の機能ユニット302において、第3の副機能ユニット3Xが動作不能である場合、第1の副機能ユニット1Xと、第2の副機能ユニット2Xの間の信号パスは損なわれない。しかしながら、第1と第3の副機能ユニット1Xおよび3Xの間の信号パスは、それぞれ使用不能になる。これにより、機能ユニット302全体が動作不能となる。例えば、多重ポートスイッチにおける1つのポートが欠陥となる。半導体300の歩留りを増加させるために、1つ以上の副機能ユニットが動作不能となった場合には、副機能ユニットおよび/又は機能ユニット302全体の切り替えを行い、そして、スペアの副機能ユニットおよび/又は機能ユニット302と置き換えることが望ましい。
ここで図15を参照すると、8ポート半導体314は、9つの機能ユニット316および318を備える。9つの機能ユニット316および318は、半導体314におけるそれぞれの入力およびパッド318および322とそれぞれ通信を行う8つの機能ユニット316と、スペア機能ユニット318とを有する。典型的な本実施例では、スペア機能ユニット318が半導体134の右端に示されているが、スペア機能ユニット318は半導体314の左端に位置してもよいし、いずれの2つの機能ユニット316の間に位置してもよい。
物理ポートスライス316は、1つのポートとして物理的に位置した特定の機能ユニット316における副機能ユニット1X、2X、および3Xがグループ化されたものを指す。(必須ではないが)通常は、物理的スライスの副機能ユニットは、垂直にスタックされる。例えば、図15の第1の物理ポートスライス316−1は、副機能ユニット11、21および31を含む。
半導体314は、スペアの副機能ユニット1S、2S、および3Sを有したスペア機能ユニット318を備える。1つ以上の副機能ユニット1X、2Xおよび/または3Xが動作不能である場合に(図15にはクロスハッチングで図示)、半導体314のスイッチング・デバイス(説明を簡単にするため、図15には不図示)は、物理ポートスライス316のパッド320から、異なる物理ポートスライス316の副機能ユニットを通って、信号のルートを定めてよい。図15で図示される半導体314において、半導体314の各行は、8つの機能する論理ポートスライスを持ちつつ、1つの動作不能な副機能ユニットを含んでよい。
論理ポートスライスとは、物理ポートスライス316の入力パッド320から、同じ物理ポートスライス316におけるそれぞれの出力パッド322まで、信号のルートを定めるために使用される、副機能ユニットの1グループを指す。例えば図15では、副機能ユニット13、26、および38が動作不能である。従って、図15の第2の論理ポートスライスは、副機能ユニット12、22および32を有する。しかしながら、副機能ユニット13が動作不能であるので、スイッチング・デバイスは、第3の物理ポートスライス316−3の入力パッド320−3から、第4の物理ポートスライス316−4における第1の副機能ユニット14まで、信号のルートを定める。これにより第3の論理ポートスライスは、副機能ユニット14、23および33を含む。
物理ポートスライス316−1および316−2におけるパッド320−1および320−2からの信号は、同じ物理ポートスライス316−1および316−2における、第1の副機能ユニット11および12へ、それぞれルートが定められる。物理ポートスライス316−3から始まる場合には(それは、動作不能な副機能ユニット13を含んでいる)、パッド320−3から320−8のそれぞれの信号は、1機能ユニット右側に隣接する物理ポートスライス316−4から316−8と318へと、ルートが定められる。副機能ユニット13は動作不能であるが、副機能ユニット23は動作可能なままである。従ってスイッチング・デバイスは、副機能ユニット14から副機能ユニット23まで出力信号のルートを定める。ある具体例においては、第1の副機能ユニット1Xと、それぞれの第3の副機能ユニット3Xとの間の信号は、動作可能な第1の副機能ユニット1Xの下に位置する第2の副機能ユニット2Xを通るルートが定められる。例えば、副機能ユニット14から副機能ユニット33への信号は、副機能ユニット24を通るルートが定められる。
副機能ユニット26を通るルーティングは、副機能ユニット16と副機能ユニット35とを接続する、副機能ユニット26における、能動回路を有していないワイヤリングであってよい。副機能ユニット26が動作不能であっても、副機能ユニット16から副機能ユニット35への信号は、副機能ユニット26を通って、ルートが定められる。これは、製作中に、第1の副機能ユニット1Xからの信号を、第3の副機能ユニット3Xの為に、同じ物理ポートスライスの第2の副機能ユニット2Xを通るように、自動的に通過させることにより達成される。同一線上にあり、或いは第3の物理ポートスライス316−3の右に位置するパッド320−3〜320−8からの信号は、1機能ユニットだけ右にシフトされる。第4、第5、および第6の物理ポートスライス316−4、316−5、316−6における、第1および第2の副機能ユニット14および23、15および24、16および25の間の信号は、それぞれ、動作不能な副機能ユニット26を避けるために、1機能ユニットだけ左へシフトされる。第4から第8の物理ポートスライス316−4から316−8における、第1および第3の副機能ユニット14および33、15および34、16および35の間の信号は、それぞれ、1機能ユニットだけ左へシフトされる。スペアの副機能ユニット3Sから第8の出力パッド322−8への信号は、1機能ユニットだけ左へシフトされる。
図15の結果として生じる論理ポートスライスは、副機能ユニット11、21、および31を含み、また12、22、および32を含み、また14、23および33を含み、また15、24および34を含み、また16、25および35を含み、また17、27および36を含み、また18、28および37を含み、そして、1S、2Sおよび3Sを含む。
ここで図16を参照すると、副機能ユニット15、28および32が動作不能である。第5から第8の物理ポートスライス316−5から316−8において、それぞれのパッドおよび第1の副機能ユニット、320−5および16、320−6および17、320−7および18、そして、316−8および1Sの間の信号は、それぞれ、1機能ユニットだけ右へシフトされる。第6から第8の物理ポートスライス316−6から316−8における、第1および第2の副機能ユニット、16および25、17および26、18および27の間の信号は、それぞれ、1機能ユニットだけ左へシフトされる。第2から第4の物理ポートスライス316−2から316−4における、第1および第3の副機能ユニット、12および33、13および34、14および35の間の信号は、それぞれ、1機能ユニットだけ右へシフトされる。第3から第8の物理ポートスライス316−3から316−8における、第3の副機能ユニット33から3S、およびパッド322−2から322−8への信号は、スペア機能ユニット318と同様に、1機能ユニットだけ左へシフトされる。
図16の結果として生じる論理ポートスライスは、副機能ユニット11、21、および31を含み、また12、22、および33を含み、また13、23および34を含み、また14、24および35を含み、また16、25および36を含み、また17、26および37を含み、また18、27および38を含み、そして、1S、2Sおよび3Sを含む。
ここで図17を参照すると、9つの機能ポート332−1〜332−9を備えた典型的な8ポート半導体330が製造される。第9ポート332−9におけるパッド334−9および336−9は、それぞれ使用されなくてよい。更には、切り替えるべき隣接するポートがないので、第1の物理ポートスライス332−1、又は第9の物理ポートスライス332−9における、1以上のスイッチング・デバイスX−1およびX−9は、それぞれ、使用されなくてもよい。ポート322のそれぞれは、第1、第2、および第3の副機能ユニット1X、2X、および3Xを、それぞれ含む。半導体330における、パッド334と第1の副機能ユニット1Xとの間の第1のスイッチング・デバイス338は、パッド334から、隣接する物理ポートスライス332における第1の副機能ユニット1Xへの信号、或いは、第1の副機能ユニット1Xからパッド334への信号のルートを、それぞれ定める。
第1および第2の副機能ユニット1Xおよび2Xとの間に配置された第2のスイッチング・デバイス340は、第2の副機能ユニット2Xから、第1の副機能ユニット1Xへの信号、或いは、第1の副機能ユニット1Xから、第2の副機能ユニット2Xへの信号のルートを、それぞれ定める。第2および第3の副機能ユニット2Xおよび3Xとの間に配置された第3のスイッチング・デバイス342は、第1の副機能ユニット1Xから、第3の副機能ユニット3Xへの信号、或いは、第3の副機能ユニット3Xから、第1の副機能ユニット1Xへの信号のルートを、それぞれ定める。上記したように、第1の副機能ユニット1Xから第3の副機能ユニット3Xへの信号344は、動作可能な第1の副機能ユニット1Xを備えた物理ポートスライスにおける第2の副機能ユニット2Xを通って、ルートが定められる。
第3の副機能ユニット3Xおよびパッド336の間に配置された第4のスイッチング・デバイス346は、第3の副機能ユニット3Xからパッド336への信号、或いは、パッド336から第3の副機能ユニット3Xへの信号のルートをそれぞれ定める。典型的な実施形態においては、それぞれの物理ポートスライス332には、副機能ユニット1Xと2Xとの間、副機能ユニット2Xと3Xとの間、入力ポートおよび/又は出力ポートと334と1Xとの間、そして、副機能ユニット3Xと336との間に、それぞれ2つのスイッチング・デバイスが置かれる。これは、双方向信号伝送を提供する。典型的な実施形態において、スイッチング・デバイス338、340、342、および346のそれぞれは、2つ以上の異なる入力信号から出力を選択するマルチプレクサ・スイッチである。例えば、第3の物理ポートスライス332−3において、それぞれ、第2の副機能22および第3の副機能33の間に、下方への信号フローを備えたスイッチング・デバイス342−3は、副機能ユニット12、13、および14のうちの1つから、副機能ユニット33への出力信号のルートを選択的に定める。
ここで図18を参照すると、典型的な3ポート半導体354が、更に詳細に示されている。半導体354は、3つの機能ユニット356−1から356−3と、スペア機能ユニット258とを備える。第1の副機能ユニット1Xとパッド362との間に配置された、下方への信号パスを有する、スイッチング・デバイス360−2および360−3は、パッド362から同じ物理ポートスライス356における第1の副機能ユニット1Xへの信号のルートを定める。例えば、第2の物理ポートスライス356−2における下方への信号パスを有するスイッチング・デバイス360−2は、第1の物理ポートスライス356−1の入力パッド362−1か、または第2の物理ポートスライス356−2の入力パッド362−2から、第2の物理ポートスライス356−2の第1の副機能ユニット12への信号を出力してよい。同様に、反対方向においても、信号のルートが定められる。
第1の副機能ユニット1Xと第2の副機能ユニット2Xとの間に配置された、下方への信号パスを有する、スイッチング・デバイス364−1〜364−3と、364−Sとは、第1の副機能ユニット1Xの中の1つから、同じ物理ポートスライス356における第2の副機能ユニット2Xへの信号のルートを定める。例えば、第2の物理ポートスライス356−2における下方への信号パスを有するスイッチング・デバイス364−2は、副機能ユニット11、12、および13のいずれかから副機能ユニット22への信号を出力してよい。同様に、反対方向においても、信号のルートが定められる。
第2の副機能ユニット2Xと第3の副機能ユニット3Xとの間に配置された、下方への信号パスを有する、スイッチング・デバイス366−1から366−3と366−Sとは、第1の副機能ユニット1Xの中の1つから、同じ物理ポートスライス356における第3の副機能ユニット3Xへの信号のルートを定める。例えば、第2の物理ポートスライス356−2における下方への信号パスを有するスイッチング・デバイス366−2は、副機能ユニット11、12、および13のいずれかから副機能ユニット32への信号を出力してよい。同様に、反対方向においても、信号のルートが定められる。
第3の副機能ユニット3Xとパッド370との間に配置された、下方への信号パスを有する、スイッチング・デバイス368−1から368−3は、第3の副機能ユニット3Xの中の1つから、同じ物理ポートスライス356におけるパッド370への信号のルートを定める。例えば第2の物理ポートスライス356−2における下方への信号パスを有するスイッチング・デバイス368−2は、副機能ユニット32または33から、同じ物理ポートスライスの出力パッド370−2への信号を出力してよい。同様に、反対方向においても、信号のルートが定められる。
ここで図19を参照すると、第1および第2の副機能ユニット1Xおよび2Xの間、そして、第2および第3の副機能ユニット2Xおよび3Xの間に配置された、典型的なスイッチング・デバイス378および380が、それぞれ、より詳細に示されている。図19に示されたマルチプレクサ378および380は、4対1マルチプレクサであって、第1および第2の信号、NE_SWおよびNW_SE、そして、SW_NEおよびSE_NWによって制御されるが、これらについては後に詳細を述べる。4対1マルチプレクサが示されているが、入力信号の数に応じて、3対1マルチプレクサ、2対1マルチプレクサ、および/又は、M対1マルチプレクサ(Mは整数である)が使用されてよい。
下方の信号フローを有するマルチプレクサ・スイッチ378のそれぞれにおいて、「1」入力は、左側に隣接する物理ポートスライス382における副機能ユニット1Xから、出力信号を受信する。「0」入力は、現在の物理ポートスライス382における副機能ユニット1Xから、出力信号を受信する。「2」入力は、右側に隣接する物理ポートスライス382における副機能ユニット1Xから、出力信号を受信する。各マルチプレクサ・スイッチ378および380は、副機能ユニット1Xまたは2Xから3つの信号を選択するので、「3」入力は、グランドへ固定され、使用されない。同様に、反対方向においても、信号のルートが定められる。更には、第1および第2の副機能ユニット1Xおよび2Xの間に配置されたマルチプレクサ・スイッチ378および380がそれぞれ示されているが、第2および第3の副機能ユニット2Xおよび3Xの間にマルチプレクサ・スイッチが、同じように接続されてもよい。
ここで図20を参照すると、半導体396において第1の副機能ユニット1Xとパッド394の間に配置されたスイッチング・デバイス390と392とが、より詳細に示されている。下方の信号フローと共に図示されたスイッチング・デバイス390は、マルチプレクサ・スイッチであり、上方の信号フローと共に図示されたスイッチング・デバイス392は、デュアルスイッチである。スイッチング・デバイス390または392のいずれかの型のスイッチは、排他的に使用されてもよいし、或いは、他方の型のスイッチング・デバイス392または390の代替として使用されてもよい。マルチプレクサ・スイッチ390は、制御信号MUX_CRに基づき、2つの入力信号のうちの1つを出力する2対1マルチプレクサである。「0」入力は、同じ物理ポートスライス397の入力パッド394から、出力信号を受信する。「1」入力は、左側に隣接する物理ポートスライス397の入力パッド394から、出力信号を受信する。
各デュアルスイッチ392は、第1および第2のスイッチ398および400をそれぞれ含んでおり、これらのスイッチは、第1および第2の制御信号MUX_STおよびMUX_CRに基づき、1つの第1の副機能ユニット1Xから、複数のパッド394の1つへの信号を出力するために、互いに協力する。例えば、第2物理ポートスライス397−2におけるデュアルスイッチ392−2は、副機能ユニット12からの信号を、第1のスイッチ398−2を開くことにより、同じ物理ポートスライス397−2における入力パッド394−2へと導くか、或いは、第2のスイッチ400−2を開くことにより、左側に隣接している物理ポートスライス397−1における出力パッド294−2へと導く。第1および第2のスイッチ398および400のどちらか1つだけが、常に開いた状態にあり、スイッチ398および400は、通常は、同時には閉じられない。
ここで図21を参照すると、表は、図20におけるスイッチング・デバイス390および392に対する制御信号の組み合わせを含む。スイッチ398および400は、それぞれの制御信号がハイに設定された時に開き、それぞれの制御信号がローに設定された時に閉じられる。上方への信号フローを有した図20のデュアルスイッチ392に対して、MUX_STがハイに設定された場合に、第1のスイッチ398が開く。表によると、第1の副機能ユニット1Xからの信号は、MUX_STがハイに設定された場合には、同じ物理ポートスライス397におけるそれぞれのパッド394へルートが定められる。MUX_CRがハイに設定された場合に、第2のスイッチ400が開く。表によると、第1の副機能ユニット1Xからの信号は、MUX_CRがハイに設定された場合には、左側に隣接する物理ポートスライス397におけるパッド394へ、第1の副機能ユニットからの信号のルートが定められる。MUX_STおよびMUX_CRの両方がゼロの場合、データは、パッド394へ送信されない。MUX_STおよびMUX_CRの両方がハイの場合は、非使用の組み合わせが起きたことになる。
ここで図22を参照すると、半導体396において、第3の副機能ユニット3Xと、パッド410との間に配置されたスイッチング・デバイス408が、より詳細に示される。図20では、上方の信号フローと共に示されていたが、下方の信号フローを有する図22のスイッチング・デバイス408は、デュアルスイッチである。第1および第2の制御信号MUX_STおよびMUX_CRに基づいて、第3の副機能ユニット3Xにより、パッド410へと出力される信号のルートを定める為に、第1および第2のスイッチ412および414は、それぞれ互いに協力する。また、図22のデュアルスイッチに対して、図21の制御信号の組み合わせが、制御信号MUX_STおよびMUX_CRに適用される。図20のSWは信号の方向が片方向であるようなデジタル信号のルートを定めるために使用される、3状態バッファである。図22のSWは、双方向のアナログ信号を通すCMOSスイッチである。
MUX_STがハイに設定される場合、第1のスイッチ412が開き、第3の副機能ユニット3Xからの信号は、同じ物理ポートスライス397におけるそれぞれのパッド410へと、ルートが定められる。MUX_CRがハイに設定される場合、第2のスイッチ414が開き、第3の副機能ユニット3Xからの信号は、左に隣接する物理ポートスライス397のパッド410へと、ルートが定められる。図22には、下方の信号フローを有する1つのスイッチング・デバイス408が示されているだけであるが、上方の信号フローを有するスイッチング・デバイスを、同じような配置で備えてよい。また、デュアルスイッチ408は、マルチプレクサ・スイッチと置き換えられてもよい。
ここで図23(a)を参照すると、システムは、自動試験装置(ATE)420、レーザ422、および、トリミング回路424とヒューズ回路426と副機能ユニットとスイッチング・デバイス(これらをまとめて428と呼ぶ)とを有した自己修正可能な半導体423を備える。ATE420は、テストモードの最中に副機能ユニットを試験し、(もしあるならば)動作不能な副機能ユニットを識別する。ATE420は、欠陥がある副機能ユニットの位置をレーザ422へ出力し、当該レーザは、ヒューズ回路426における対応するヒューズを、作成または破壊する。通常モードでは、後述するように、スイッチング・デバイスを構成するために、トリミング回路424は、ヒューズ回路426を利用する。
ここで図23(b)を参照すると、トリミング回路424が図示される。試験処理の後に、レーザ422は、半導体423のヒューズ回路426における1以上のヒューズをゼロに不活性化してよく、これによりヒューズ回路はTRIM_*信号の値を設定する。「*」は、副機能ユニットに対する記入子である。TRIM_P1、TRIM_P2、TRIM_P3の信号がある。デコードモジュール436の入力は、TRIM_*信号を受信する。TRIM_*信号は、ヒューズ回路426からの、nビット幅の信号である。デコードモジュール436は、TRIM_*信号を、ゼロから8の間の値のバイナリ値に変換する。バイナリ値のそれぞれは、(8ポート半導体であると仮定した場合)、半導体86の物理ポートスライスに対応する。第1のマルチプレクサ・スイッチ438の、第1および第2の入力は、このバイナリ値を受信する。
DIS_FUSE信号が確実にデフォルトでローに設定されるために、入力パッドは、好ましくはプルダウン抵抗を有する。通常動作の最中に、トリムされたヒューズ容量が半導体86におけるアクティブなグループを決定するように、DIS_FUSE信号はローに設定される。しかしながら、試験処理の最中、動作不能な副機能ユニットおよび/又は機能ユニット92を検出するために、トリミング回路424は、半導体86において、異なるパターンでデータを転送する為の1以上のシフトレジスタを利用する事が出来る。
第1のマルチプレクサ・スイッチ438の第2の制御信号は、デフォルトでハイに設定される。従って、DIS_FUSE信号がローに設定される場合、第1のマルチプレクサ・スイッチ438は、デコードモジュール436からバイナリ値を出力する。TRIM_*信号をデコードすることにより、TRIM_*信号の値のマッピングが単純化される。半導体86が望ましく動作するために、レーザが不活性にする必要があるヒューズの数を統計的に最小化するというやり方で、マップモジュール440は、TRIM_*信号の値をマップする。第1のマルチプレクサ・スイッチ438の出力は、管理インターフェイスによって読み出し可能なレジスタへと送信される。
自動試験装置(ATE)は、欠陥を有しない半導体86における、副機能ユニットおよび/又は機能ユニット92を識別する。半導体86のアナログ部分を満足のいくように試験する為に、半導体86上の副機能ユニット92は、異なる論理ポートスライスを形成するように配置される。レーザで不活性化されるヒューズは永久的であるので、半導体86の完全性を試験する為には、ヒューズ回路428内に不活性なヒューズを持たない様々な論理ポートスライスを形成することが望ましい。
シフトレジスタ444は、シフターロジックの製造欠陥に出会う確率を最小化するために使用される。TCK信号は、シフトレジスタ444にクロックを与える。シフトレジスタ444は、TCK信号の立ち上がりのエッジに合わせて、時間を測定する。データは、TDI信号から、シフトレジスタ444へとシフトされる。シフトレジスタ444は、pビットおよびnビットのデータの大きい方の値に1を加えたデータを有する。TDI信号は、第3のマルチプレクサ・スイッチ446へと入力されるので、第3のマルチプレクサ・スイッチ446の為の制御信号として機能するTMS信号は、通常は、ローに設定される。
シフトレジスタ444は、2つの動作モードを有する。ダイレクトモードにおいて、シフトレジスタ444は、第1のマルチプレクサ・スイッチ438の入力へ、nビットの出力をする。ダイレクトモードは、ATEプログラミングの最中に利用される。シフトレジスタ444からのnビット信号が、第1のマルチプレクサ・スイッチ438によって出力される場合に、nビット信号は、マップモジュール440によってマップされる。半導体86の全ての機能ユニット92におけるシフトレジスタ444は、TDI信号からのデータによって一斉にロードされる。
バイパスモードにおいて、第1のマルチプレクサ・スイッチ438はバイパスされ、シフトレジスタ444によって出力されるpビットは、第2のマルチプレクサ・スイッチ442へ入力される。従って、マップモジュール440もまた、バイパスされる。ANDゲート448の出力は、DIS_FUSE信号およびハイ信号で定められる。ANDゲート448の出力は、第2のマルチプレクサ・スイッチ442に対する制御信号である。バイパスモードでは、TMS信号はハイに設定される。従って、データは、S_IN信号からシフトレジスタ444へと入る。バイパスモードは、マップモジュール440に欠陥がある場合に利用される。隣接する物理ポートスライスのシフトレジスタ444は、N番目のシフトレジスタ444の出力が、(N+1)番目のシフトレジスタ444の入力によって受信されるように、デイジーチェイン接続される。
試験の最中には、論理ポートスライスを構成する為に、管理インターフェイスを利用することが役立ってもよい。この場合、管理インターフェイスは、書込可能レジスタ450を利用する。書込可能レジスタ450は、リセット信号としてTRST信号を受信する。第1のマルチプレクサ・スイッチ438の入力は、書込可能レジスタ450から、nビットの幅の出力を受け取る。この場合、書込可能レジスタ450から出力を受け取る第1のマルチプレクサ・スイッチ438の入力が選択されるように、DIS_FUSE信号は、ハイに設定される。DIS_FUSE信号がハイに設定された後、書込可能レジスタ450は、コンフィギュレーションデータが書込可能レジスタ450によって生成されるのか、ヒューズ回路428のヒューズによって生成されるのかどうかを制御する。
ここで図24を参照すると、表は、デコードモジュール436によって実装されるマッピングスキームを要約している。デコードモジュール436は、TRIM_*信号の値を、物理ポートスライスを示す、対応するSKIP_*値にマップする。望ましい動作の為に不活性化されるヒューズの数が最小化されるように、ヒューズマッピングは実装される。TRIM[3:0]の値は、ヒューズが不活性化されない場合0と仮定され、1つのヒューズが不活性となる場合には1と仮定される。機能不全がある場合における多義性を避けるために、非使用のTRIM[3:0]の組み合わせが、バイナリ値へとマップされる。図24において、非使用の組み合わせのマッピングは、必要とされるマッピングのロジックを最小化する。
ATEが使用される場合、SKIP[3:0]の値は、シフトレジスタ444からのデータをシフトすることによって生成される。しかしながら、デコードされたSKIP[3:0]の値は、好ましくは、レーザがヒューズを不活性とする場合に使用される。動作不能な副機能ユニット92が検出されない場合には、ペア機能ユニットを使用禁止にすることが最も効率的である。従って、TRIM[3:0]の値が0000である場合、使用禁止ポートとして。ポート8が選択される。しかしながら、この場合、実際にヒューズを不活性化する必要はない。
ここで図25を参照すると、表は、半導体86における第1、第2および第3の副機能ユニットの為のトリミング信号を要約する。第1の副機能ユニットはブロックP1に対応し、第2の副機能ユニットはブロックP2に対応し、第3の副機能ユニットはブロックP3と対応する。図24の表によると、与えられたTRIM[3:0]の値は、対応するSKIP[3:0]の値を有する。
ここで図26を参照すると、半導体86上の全てのポートは、ハードワイヤードな入力信号PORT_SLICE[3:0]を有する。PORT_SLICE[3:0]の値は、0から8の間であって、特定の物理ポートスライス番号を識別する。SKIP_*信号の値は、動作不能な副機能ユニット92の物理ポートスライス番号を識別するので、PORT_SLICE[3:0]とSKIP_*とは、論理ポートスライスのレイアウトを決めるために比較される。
図26における式は、スイッチング・デバイスの為に制御信号を有している半導体86上での制御信号の値を決定する。NE_SW、NW_SE、SW_NE、およびSE_NWの制御信号は、第1および第2の副機能ユニット1Xおよび2Xの間、そして、第1および第3の副機能ユニット1Xおよび3Xの間のマルチプレクサ・スイッチ378および388が、それぞれ、図19においてどのように動作するのかを定める。MUX_X制御信号は、第1の副機能ユニット1Xおよびパッド394の間、そして、第3の副機能ユニット3Xおよびパッド410の間の、マルチプレクサ・スイッチ390およびデュアルスイッチ392が、それぞれ、図20および図22においてどのように動作するのかを定める。
ここで図27を参照すると、MUX_STとMUX_CRの制御信号は、SKIP_*およびPORT_SLICEの値を比較することにより決定される。例えば、SKIP_*か、PORT_SLICEよりも小さい場合、第1の副機能ユニット1Xおよびパッド394の間のスイッチング・デバイス390および392は、それぞれ、第1の副機能ユニット1Xから左側に隣接する物理ポートスライス397へ、信号のルートを定める。同様に、第3の副機能ユニット3Xおよびパッド410の間のスイッチング・デバイス408は、それぞれ、第3の副機能ユニット3Xから左側に隣接する物理ポートスライス397へ、信号のルートを定める。反対方向へ伝達する信号に対しては、シフトの方向は逆となる。また、SKIP_*が、PORT_SLICEよりも大きい場合、信号の進路は変更されない。
ここで図28を参照すると、NE_SWおよびNW_SEの制御信号の値は、SKIP_TOPの値とSKIP_BOTの値とを、PORT_SLICEの値と比較することにより決定される。図28の表は、第1および第2の副機能ユニット1Xおよび2Xの間、そして、第2および第3の副機能ユニット2Xおよび3Xの間にそれぞれ配置された下方の信号フローを有するマルチプレクサ・スイッチ378の為の制御信号を決定する。マルチプレクサ・スイッチ378は、図19に示すように、第1および第2の副機能ユニット1Xおよび2Xの間、そして、第1および第3の副機能ユニット1Xおよび3Xの間の信号のルートを、それぞれ定める。例えばNE_SEがゼロに等しく、NW_SEが1に等しい場合、左側に隣接した物理ポートスライス382における副機能ユニット1Xからの信号は、現在の物理ポートスライス382における副機能ユニット2Xへと、ルートが定められる。
ここで図29を参照すると、SE_NWおよびSW_NEの制御信号の値は、SKIP_TOPの値とSKIP_BOTの値とを、PORT_SLICEの値と比較することによって決定される。図29の表は、第1および第2の副機能ユニット1Xおよび2Xの間、そして、第2および第3の副機能ユニット2Xおよび3Xの間にそれぞれ配置された上方の信号フローを有するマルチプレクサ・スイッチ380の為の制御信号を決定する。マルチプレクサ・スイッチ380は、図19に示すように、第2および第1の副機能ユニット2Xおよび1Xの間、そして、第3および第1の副機能ユニット3Xおよび1Xの間の信号のルートを、それぞれ定める。例えば、SE_NWが1に等しく、SW_NEがゼロに等しい場合、右側に隣接した物理ポートスライス382における副機能ユニット2Xからの信号は、現在の物理ポートスライス382における副機能ユニット1Xへと、ルートが定められる。
ここで図30を参照すると、典型的なシフトレジスタの実施例が示される。各物理ポートスライスは、シフトレジスタ458およびマルチプレクサ・スイッチ460を含む。全てのマルチプレクサ・スイッチ460における第1の入力は、TDI信号を受信する。全てのマルチプレクサ・スイッチ460における第2の入力は、その前のシフトレジスタ458からの出力を受け取る。ダイレクトモードにおいて、全てのシフトレジスタ458は、TDI信号によって一斉にロードされる。12のトリミングビットと、1の制御ビットとを有するシフトレジスタ458を構成するためには、13ビットが必要とされる。しかしながら、典型的な実施形態では、シフトレジスタ458は、15ビットのレジスタである。従って、各シフトレジスタ458における上位の2ビットは、ダイレクトモードの最中には使用されない。
ここで、本発明が教示する基板は、様々な形態で実装される事が出来ることは、当業者であれば、先の記載から明らかである。従って、本発明は特定の実施例に関連して述べられたが、図面、明細書、および特許請求の範囲を研究することにより、その他の改良が行われることは、当業者にとっては明らかであるので、本発明の本当の範囲は、そのような実施例に限定されるべきではない。
従来技術における、副機能ユニットを有する多数の機能ユニットを備えた半導体の機能ブロック図である。 従来技術における、ギガビットの物理レイヤ・デバイスの為の典型的な機能ユニットの機能ブロック図である。 スイッチング・デバイスへ命令を行い、試験・欠陥確認回路を追加的に有する、オンチップのコントローラの機能ブロック図を示す。 スイッチング・デバイスへ命令を行い、試験・欠陥確認回路を追加的に有する、オンチップのコントローラの機能ブロック図を示す。 1つの動作不能の機能ユニットを置換するスペア機能ユニットを備えた、本発明に係る第1の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 1以上の動作不能の副機能ユニットを置換するスペア機能ユニットを備えた、本発明に係る第2の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 1端にスペア機能ユニットを備えた、本発明に係る第3の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 部分的なスペア機能ユニットを備えた、本発明に係る第4の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 2つの部分的なスペア機能ユニットが中央に配置された、本発明に係る第5の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 2つの部分的なスペア機能ユニットが1端に配置された、本発明に係る第6の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 部分的なスペア機能ユニットと多重化されたスイッチング・デバイスとを備えた、本発明に係る第7の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 複数の副機能ユニットと、2つの部分的なスペア機能ユニットと、多重化されたスイッチング・デバイスとを備えた、本発明に係る第8の典型的な自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 動作不能な副機能ユニットを、単一のスペア機能ユニットにおける副機能ユニットと置き換える為のステップを示すフローチャートである。 加算ノードスイッチの一例を示す図である。 従来技術において、通信を行う第1および第2の副機能ユニットと、通信を行う第1および第3の副機能ユニットとを備えた半導体の機能ブロック図である。 1つ以上の動作不能な副機能ユニットを置換するためのスペア機能ユニットを備えた、本発明に係る第1の典型的な8ポートの自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 1つ以上の動作不能な副機能ユニットを置換するためのスペア機能ユニットを備えた、本発明に係る第2の典型的な8ポートの自己修正可能な半導体の機能ブロック図である。 第1、第2、および第3の副機能ユニットを有する機能ユニットと、スイッチング・デバイスと、入力パッドおよび出力パッドと、副機能ユニット間に設定された信号パスとを備えた、本発明に係る半導体を示す。 スペア機能ユニットと、副機能ユニット間のスイッチング・デバイスと、入力パッドと、出力パッドとを備えた、本発明に係る典型的な、自己修正可能な3ポート半導体の機能ブロック図である。 第1および第2の副機能ユニット間に多重化されたスイッチング・デバイスを備えた自己修正可能な半導体における3つの機能ユニットの機能ブロック図である。 マルチプレクサと、第1の副機能ユニットおよび入力パッドの間にデュアルスイッチを有する自己修正可能な半導体における、3つの機能ユニットの機能ブロック図である。 それぞれの第1の副機能ユニットと入力パッドとの間のスイッチング・デバイス、および、それぞれの第3の副機能ユニットと出力パッドとの間のスイッチング・デバイスに対する制御信号の組み合わせを示す表である。 それぞれの第3の副機能ユニットと出力パッドの間の素子を切り替えるデュアルスイッチを備えた、自己修正可能な半導体における3つの機能ユニットの機能ブロック図である。 動作不能な副機能ユニットと、トリミング回路とをそれぞれ配置した、システムの機能ブロック図である。 動作不能な副機能ユニットと、トリミング回路とをそれぞれ配置した、システムの機能ブロック図である。 本発明に係る自己修正可能な半導体の為の、半導体の検査プロセスにおけるヒューズマッピングを示す表である。 機能ユニットにおける動作不能な副機能ユニットを識別する為のトリミング信号を示す表である。 自己修正可能な半導体におけるスイッチング・デバイスの為の制御信号を定める為の関数を示す表である。 副機能ユニットと、入力パッドおよび/又は出力パッドとの間の信号フローと、SKIP_*信号とPORT_SLICE信号とに基づくスイッチング・デバイス制御信号の値とを示す表である。 第1および第2の副機能ユニット、および第1および第3の副機能ユニットの間の下方への信号フローと、SKIP_TOP信号、SKIP_BOT信号、およびPORT_SLICE信号に基づくスイッチング・デバイス制御信号の値を示す表である。 第3および第1の副機能ユニット、および第2および第1の副機能ユニットの間の上方への信号フローと、SKIP_TOP信号、SKIP_BOT信号、およびPORT_SLICE信号に基づくスイッチング・デバイス制御信号の値を示す表である。 副機能ユニット間、および、副機能ユニットと入力パッドおよび/または出力パッド間の信号パスを確認する為に使用される機能ユニットの為のシフトレジスタの機能ブロック図である。

Claims (20)

  1. 自己修正可能な半導体であって、
    第1の機能を実行する為に、互いに協力する第1、第2、および第3の副機能ユニットを有する第1の機能ユニットであって、前記第1の副機能ユニットは、前記第2の副機能ユニット、および/又は前記第3の副機能ユニットの少なくとも1つと通信し、前記第2の副機能ユニットは、前記第1の副機能ユニット、および/又は前記第3の副機能ユニットの少なくとも1つと通信する、第1の機能ユニットと、
    第1、第2、および第3の副機能ユニットを有する第1のスペア機能ユニットであって、前記第1の機能ユニット、および前記第1のスペア機能ユニットのそれぞれにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットは、それぞれ機能的に交換可能である、第1のスペア機能ユニットと、
    前記第1の機能ユニット、および前記第1のスペア機能ユニットのそれぞれにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットとそれぞれ通信し、そして、前記第1の機能ユニットにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットの少なくとも1つが動作不能である場合に、前記第1の機能ユニットにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットの少なくとも1つを、前記第1のスペア機能ユニットにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットの少なくとも1つに置き換える複数のスイッチング・デバイスと
    を備える自己修正可能な半導体。
  2. 前記自己修正可能な半導体における少なくとも1つの動作不能な副機能ユニットを識別し、そして、前記少なくとも1つの動作不能な副機能ユニットを置き換える為に前記スイッチング・デバイスの構成の為のコンフィグレーションデータを生成するコントローラを更に備えた請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  3. 前記コントローラは、前記自己修正可能な半導体の上に配置される請求項2に記載の自己修正可能な半導体。
  4. 前記コントローラは、前記自己修正可能な半導体から離れて配置されており、
    前記スイッチング・デバイスの為の前記コンフィグレーションデータを記憶する為に、前記自己修正可能な半導体の上に配置されたメモリを更に備える請求項2に記載の自己修正可能な半導体。
  5. 前記第1の機能ユニットおよび前記第1のスペア機能ユニットは、前記自己修正可能な半導体の上の列および行のいずれかに置かれ、
    前記第1の機能ユニット、および前記第1のスペア機能ユニットのそれぞれにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットは、列および行のその他の場所に置かれる請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  6. 第1、第2、および第3の副機能ユニットを有する第2の機能ユニットを更に備え、
    前記第1の機能ユニットにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットと、前記第2の機能ユニットにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットとは、それぞれ、機能的に交換可能であり、前記第1のスペア機能ユニットは、前記第1および第2の機能ユニットの間に配置されるか、或いは、前記第1および第2の機能ユニットのいずれかに隣接して配置される請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  7. 前記第1の機能ユニット、前記第2の機能ユニット、および前記第1のスペア機能ユニットは、前記自己修正可能な半導体の上の列および行のいずれかに置かれ、
    前記第1の機能ユニット、前記第2の機能ユニット、および前記第1のスペア機能ユニットのそれぞれにおける、前記第1、第2、および第3の副機能ユニットは、列および行のその他の場所に置かれる請求項6に記載の自己修正可能な半導体。
  8. 前記スイッチング・デバイスの少なくとも1つは、y個の入力を受信して、そして、前記y個の入力のうちの1つを選択的に出力するマルチプレクサを有する請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  9. 前記マルチプレクサは、機能的に交換可能な前記第1、第2、および第3の副機能ユニットからの出力信号を受信する請求項8に記載の自己修正可能な半導体。
  10. 前記スイッチング・デバイスの少なくとも1つは、入力を受信し、そして、第1および第2の制御信号に基づいて選択的に前記入力を出力する第1および第2のスイッチを有する請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  11. 前記入力は、前記自己修正可能な半導体における副機能ユニットおよびパッドのいずれかの出力信号である、請求項10に記載の自己修正可能な半導体。
  12. 前記スイッチング・デバイスは、アナログスイッチング・デバイスおよびデジタルスイッチング・デバイスの少なくとも1つを有する請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  13. 前記アナログスイッチング・デバイスは、電流ベースである請求項12に記載の自己修正可能な半導体。
  14. 前記第1の機能ユニット、および前記第1のスペア機能ユニットの少なくとも1つにおける、前記第1および第3の副機能ユニット間で通信される信号は、前記第1の機能ユニット、および/又は前記第1のスペア機能ユニットの少なくとも1つにおける、前記第2の副機能ユニットを通って、ルートが決定される、請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  15. 1以上の追加のスペア機能ユニットを更に備える請求項1に記載の自己修正可能な半導体。
  16. 機能を実行する1以上のM個の機能ユニットと、前記機能を実行して、そして前記M個の機能ユニットと交換可能な1以上のN個のスペア機能ユニットと、前記M個の機能ユニット、および前記N個のスペア機能ユニットと通信し、そして前記M個の機能ユニットの1つが動作不能である場合に、前記M個の機能ユニットの前記1つを、前記N個のスペア機能ユニットの1つに選択的に置き換えるスイッチング・デバイスとを有する自己修正可能な半導体と、
    自動試験装置(ATE)と、
    少なくとも1つの動作不能な機能ユニットの配置を選択的に記憶する複数のヒューズを有した、前記自己修正可能な半導体に関連するヒューズ回路と、
    前記ATEと前記ヒューズ回路との間でインターフェイスとして働く、前記自己修正可能な半導体に関連するトリミング回路と
    を備えたシステム。
  17. 前記トリミング回路は、通常モードと試験モードとを有する請求項16に記載のシステム。
  18. 前記試験モードの最中に、前記機能ユニットを選択し、そして試験を行う為に、前記トリミング回路は、前記ATEを前記ヒューズ回路よりも優先させる請求項17に記載のシステム。
  19. 前記スイッチング・デバイスは、前記通常モードの最中に、前記少なくとも1つの動作不能な機能ユニットの前記配置に基づいて、選択的に構成される請求項18に記載のシステム。
  20. 自己修正可能な半導体であって、
    第1、第2、および第3の副機能ユニットを有し、それぞれが同じ機能を実行する1以上のM個の機能ユニットであって、それぞれに対応した前記第1、第2、および第3の副機能ユニットにおいて対応するそれぞれは、同じ機能を実行し、前記第1の副機能ユニットにおいて対応するいずれかは、前記第2および/又は前記第3の副機能ユニットにおける対応するいずれかの少なくとも1つと通信し、前記第2の副機能ユニットにおいて対応するいずれかは、前記第1および/又は前記第3の副機能ユニットにおける対応するいずれかの少なくとも1つと通信するM個以上の機能ユニットと、
    前記M個の機能ユニットにおいて対応する副機能ユニットと、機能的に交換可能な、
    1以上のX個の副機能ユニットを有する第1のスペア機能ユニットと、
    前記M個の機能ユニットにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットの少なくとも1つが動作不能である場合に、前記M個の機能ユニットにおける前記第1、第2、および第3の副機能ユニットの少なくとも1つを、前記X個の副機能ユニットの少なくとも1つと置き換える、複数のスイッチング・デバイスと
    を備える自己修正可能な半導体。
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