JP2005183254A - 熱板 - Google Patents
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Abstract
【課題】耐熱性、耐食性がよく経時変化による熱歪の発生が少なく、熱伝導性能が良好であり均熱性を向上できる熱板を提供すること。
【解決手段】発熱体11と、該発熱体11を埋設し保持した第1の部材13とを含む熱板において、前記第1の部材13を覆い保持している第2の部材15を有し、該第2の部材15は、複数の金属板15a,15bによって前記第1の部材13を覆い保持するよう前記金属板15a,15bの複数が互いに接合されている。
【選択図】図1
【解決手段】発熱体11と、該発熱体11を埋設し保持した第1の部材13とを含む熱板において、前記第1の部材13を覆い保持している第2の部材15を有し、該第2の部材15は、複数の金属板15a,15bによって前記第1の部材13を覆い保持するよう前記金属板15a,15bの複数が互いに接合されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、電気ヒータの発熱により被加熱物を加熱する熱板に関するものである。
従来の熱板としては、電気ヒータをアルミニウム・プレートの間に挟み込んで積み重ねして保持したものや、電気ヒータをセラミックス・プレートに保持したものがある(例えば、引用文献1を参照)。
アルミニウム・プレートを採用した熱板は、高温(例えば600℃以上)において耐熱性・耐久性に劣り、経時変化による熱歪が多く、形状を保ちつつも衝撃に弱く、さらに熱伝導性に劣るという欠点がある。
したがって、アルミニウム・プレートを採用した熱板は、アルミニウム材料の強度、耐熱、耐久性、経時変化による熱歪以下で使用する必要がある。
また、セラミックス・プレートを採用した熱板は、電気ヒータの発熱パターンなどを細かくする必要や、熱や機械的な衝撃に弱いなどの欠点がある。
本発明に係る熱板は、発熱体と、該発熱体を埋設した第1の部材とを含む熱板において、前記第1の部材を覆い保持している第2の部材を有し、該第2の部材は、複数の金属板によって前記第1の部材を覆い保持するよう前記金属板の複数が互いに接合されていることを最も主要な特徴とする。
本発明の熱板は、第1の部材が金属板からなる第2の部材によって覆われ保護されているため、高温(例えば600℃以上)において、耐熱性、耐食性がよく経時変化による熱歪の発生が少ないという特徴を有する。
また、本発明に係る熱板は、耐熱性、耐食性、対衝撃性を有する第2の部材によって覆われ保護されているため、第1の部材の耐熱性、耐食性、融点をほとんど無視して選定することができる。
さらに、本発明に係る熱板は、第1の部材に良伝導体を使用しているので熱伝導性能が良好であり、均熱性を向上できる。
本発明に係る熱板においては、複数の金属板によって互いに接合されている第2の部材によって第1の部材を覆い保持する。
図1及び図2は、本発明に係る熱板の実施例1を示している。図1及び図2を参照して、熱板は、二本の発熱体11と、これら二本の発熱体11を埋設し保持している第1の部材13と、第1の部材13を覆い保持している第2の部材15とを有している。
発熱体11は、金属製のシース管11aと、このシース管11a内に充填されている絶縁物(図示せず)と、絶縁物を介してシース管11aに対して絶縁距離を保つように設けた発熱線(図示せず)と、発熱線の両端にそれぞれ接続されている端子11bとを有している。端子11bは、シース管11aの両端から一端部が外へ延びている。
第1の部材13は、熱伝導が良好な金属材料によって作られている四角板状の二枚の固体13a,13bであり、発熱体11を二枚の板状の固体13a,13bを重ね合わせることによって挟み保持することによって埋設している。
第2の部材15は、複数の金属板15a,15bによって一体に作られており、複数の金属板15a,15bによって第1の部材13を覆い保持するよう金属板15a,15bの複数が互いに接合されている。
二枚の固体13a,13bには、図3に示すように、発熱体11を挟み込む際に二枚の固体13a,13bが当接するようにするために、二枚の固体13a,13bの対向面のそれぞれに発熱体11を嵌め込むための溝11gが形成されている。
第2の部材15の金属板15a,15bは、重ね合わされた二枚の固体13a,13bの上下面のそれぞれに対向する二枚の金属板15aと、重ね合わされた二枚の固体13a,13bの四つの側面のそれぞれに対向する四枚の金属板15bとを有している。これら六枚からなる金属板15a,15bは、互いに接続されることによって中空の容器形状を呈する。
二枚の固体13a,13bの上下面のそれぞれに対向する二枚の金属板15aの一方には、図2及び図3に示すように、発熱体11の両端部を貫通させるための一対の貫通孔17が形成されている。発熱体11のシース管11aの両端部は、二枚の金属板15aの一方に形成されている一対の貫通孔17へ曲げられて貫通して貫通孔17のそれぞれから外側へ導出されている。貫通孔17には、スリーブ19が設けられており、スリーブ19にシース管11aの両端部が挿通している。スリーブ19は、一方の金属板15aに接続されて固定されている。発熱体11のシース管11aは、スリーブ19に接続されて固定されている。
以下に、実施例1における熱板を具体的に説明する。発熱体11としては、シース管11aとして耐熱合金(例えば、インコロイ800)の管を採用する。第1の部材13としては、熱膨張率の近似しているSUS310、無酸素銅(C1020)の二枚の固体13a,13bを採用する。第2の部材15としては、耐熱性及び耐食性に優れているステンレス鋼(SUS310)の六枚の板を採用する。
発熱体11、第1の部材13及び第2の部材15は、これらを組み合わせた後、高温静水圧、熱間プレス、熱間鍛造加工などで高温・高圧状態とする。この状態を経ることにより、第2の部材15の接合面が拡散接合状態となり、高温・高圧下で拡散接合により一体化する。熱拡散接合時の温度は1050〜1100℃を必要とする。また、第1の部材13及び第2の部材15も同時に拡散接合状態となり、発熱体11からの熱を外部に良好に伝える。
なお、第1の部材13としての固体13a,13bは、銅合金、マグネシウム合金、アルミニウム合金の内から選択した一種を採用してもよい。第2の部材15としての金属板15a,15bは、鉄基合金、タングステン基合金、モリブデン基合金、ニッケル基合金、チタン基合金の内から選択した一種を採用してもよい。第1の部材13、第2の部材15及びスリーブ19は、互いに溶接接合、ろう付け接合、ネジ止め接合の内から選ばれた一種によって一体に接合してもよい。
また、実施例1における発熱体11は二本を採用したが、一本もしくは二本以上でもよい。さらに、熱板の形状は、平面から見ると全体形状が四角形状を呈する形状のものとしたが、平面から見ると全体形状が四角形状以外の多角形状、円形状や楕円形状を呈する形状のものであっても製作することが可能である。
図4及び図5は、熱板の実施例2を示している。実施例2における熱板は、実施例1において説明した熱板と同じ部分に同じ符号を付して同じ部分の説明をする。また、図1をも参照して実施例2における説明する。
図1、図4及図5を参照して、熱板は、二本の発熱体11と、これら二本の発熱体11が埋設されている第1の部材23と、第1の部材23を覆い保持している第2の部材15とを有している。
発熱体11は、金属製のシース管11aと、このシース管11a内に充填されている絶縁物(図示せず)と、絶縁物を介してシース管11aに対して絶縁距離を保つように設けた発熱線(図示せず)と、発熱線の両端にそれぞれ接続されている端子11bとを有している。端子11bは、シース管11aの両端から一端部が外へ延びている。
第1の部材23は熱伝導が良好な金属材料によって作られている粉末23aであり、発熱体11が粉末23aによって埋設されている。
第2の部材15は、四角板形状の複数の金属板15a,15bによって一体に作られており、複数の金属板15a,15bによって第1の部材13を収容するよう金属板15a,15bの複数が互いに接合されている。第2の部材15の金属板15a,15bは、発熱体11を埋設し保持するために粉末23aを収容するように、対向する二枚の金属板15aと、対向する二枚の金属板15aの周側端を互いに接続している四枚の金属板15bとを有している。これら六枚からなる金属板15a,15bは、互いに接続されることによって中空の容器形状を呈する。
上下面で対向する二枚の金属板15aの一方には、一対の貫通孔17が形成されている。発熱体11のシース管11aの両端部は、一対の貫通孔17へ曲げられて貫通して貫通孔17のそれぞれから外側へ導出されている。
貫通孔17にはスリーブ29が設けられており、スリーブ29にシース管11aの両端部が挿通している。スリーブ29は、一方の金属板15aに接続されて固定されている。発熱体11のシース管11aは、スリーブ29に接続されて固定されている。
以下に、実施例1における熱板を具体的に説明する。発熱体11としては、シース管11aとして耐熱合金(例えば、インコロイ800)の管を採用する。第1の部材23としては、熱膨張率の近似しているSUS310、無酸素銅(C1020)の粉体23aを採用する。第2の部材15としては、耐熱性及び耐食性に優れているステンレス鋼(SUS310)の六枚の板を採用する。
熱板は、下側面を仮溶接し、粉体、発熱体11を挿入し、蓋をしてプレスするとプレスによって全体が接合される。
発熱体11、第1の部材23及び第2の部材15は、これらを組み合わせた後、高温静水圧、熱間プレス、熱間鍛造加工などで高温・高圧状態とする。この状態を経ることにより、第2の部材15の接合面が拡散接合状態となり、高温・高圧下で拡散接合により一体化する。熱拡散接合時の温度は1050〜1100℃を必要とする。
なお、第1の部材13としての粉体23aは、銅合金、マグネシウム合金、アルミニウム合金の内から選択した一種を採用してもよい。第2の部材15としての金属板15a,15bは、鉄基合金、タングステン基合金、モリブデン基合金、ニッケル基合金、チタン基合金の内から選択した一種を採用してもよい。第1の部材13、第2の部材15及びスリーブ19は、互いに溶接接合、ろう付け接合、ネジ止め接合の内から選ばれた一種によって一体に接合してもよい。
また、実施例2における発熱体11は二本を採用したが、一本もしくは二本以上でもよい。さらに、熱板の形状は、平面から見ると全体形状が四角形状を呈する形状のものとしたが、平面から見ると全体形状が四角形状以外の多角形状、円形状や楕円形状を呈する形状のものであっても製作することが可能である。
さらに、第1の部材13は、発熱体11を備えた粉体23a部分を固体13a,13b間に挟み込んだ形態であってもよい。
本発明は、TFT液晶パネルの製造装置や、シリコンウェハなどの半導体製造装置などに用いる熱板として不可欠な用途にも適用できる。
11 発熱体
13,23 第1の部材
15 第2の部材
11b 端子
13a,13b 固体
15a,15b 金属板
23a 粉末
13,23 第1の部材
15 第2の部材
11b 端子
13a,13b 固体
15a,15b 金属板
23a 粉末
Claims (4)
- 発熱体と、該発熱体を埋設し保持した第1の部材とを含む熱板において、前記第1の部材を覆い保持している第2の部材を有し、該第2の部材は、複数の金属板によって前記第1の部材を覆い保持するよう前記金属板の複数が互いに接合されていることを特徴とする熱板。
- 請求項1記載の熱板において、前記第1の部材が金属材料によって作られている固体及び金属材料の粉末の内のいずれか一種、又は固体及び金属材料の粉末の両方を組み合わせたものであることを特徴とする熱板。
- 請求項1記載の熱板において、前記金属板の複数が互いに溶接接合、ろう付け接合、熱拡散接合、ネジ止め接合の内から選ばれた一種によって一体に接合されていることを特徴とする熱板。
- 請求項2記載の熱板において、前記金属材料が銅合金、アルミニウム合金の内から選択した一種であり、前記金属板が鉄基合金、タングステン基合金、モリブデン基合金、ニッケル基合金、チタン基合金の内から選択した一種であることを特徴とする熱板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003424427A JP2005183254A (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 熱板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003424427A JP2005183254A (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 熱板 |
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Family Applications (1)
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JP2003424427A Pending JP2005183254A (ja) | 2003-12-22 | 2003-12-22 | 熱板 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013538688A (ja) * | 2010-08-16 | 2013-10-17 | アリノツクス・アー・ゲー | 埋め込み加熱要素を備えた金属プレートの製造方法及びそれによって製造された金属プレート |
JP2016500899A (ja) * | 2012-10-08 | 2016-01-14 | ミンコ プロダクツ インコーポレイテッドMinco Products, Inc. | ヒータアセンブリ |
Citations (3)
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JP2002280152A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-27 | Kinzoku Giken Kk | 加熱及び/又は冷却用金属構造体の製造方法 |
-
2003
- 2003-12-22 JP JP2003424427A patent/JP2005183254A/ja active Pending
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JP2016500899A (ja) * | 2012-10-08 | 2016-01-14 | ミンコ プロダクツ インコーポレイテッドMinco Products, Inc. | ヒータアセンブリ |
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