JP2005175473A - 発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発光層6を、該発光層よりエネルギーギャップの広い第1導電型の第1クラッド層4及び第2導電型の第2クラッド層7とで挟持してなるダブルヘテロ構造の発光ダイオードにおいて、前記発光層と前記第1または第2クラッド層の間に、前記発光層と同導電型で、隣接する第1または第2クラッド層と異なる導電型からなり、前記発光層のエネルギーギャップより広く、前記第1または第2クラッド層のエネルギーギャップより狭いエネルギーギャップを有する中間障壁層5を設けたことを特徴とする発光ダイオードにより上記課題が達成される。
【選択図】 図1
Description
基板1:n型GaAs、
第1バッファー層2:n型GaAs、
光反射(DBR)層3:n型(Al0.4Ga0.6)0.5In0.5P層と
n型Al0.5In0.5P層とを交互に積層した層、
第1クラッド層4:n型Al0.5In0.5P、不純物はSi、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ1μm、
発光層6:p型(Ga0.7Al0.3)0.5In0.5P、厚さ0.5μm、
第2クラッド層7:p型Al0.5In0.5P、不純物はZn、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ1μm、
第1電流拡散層91:p型Al0.7Ga0.3As、不純物はZn、
不純物濃度:1×1018cm-3、厚さ1μm、
電流拡散層92:p型Al0.7Ga0.3As、不純物はZn、
不純物濃度:3×1018cm-3、厚さ6μm、
をこの順序で積層したものである。
バッファー層102:n型GaAs
n型第1クラッド層103:n型(Ga0.3Al0.7)0.5In0.5P、不純物はSi、
不純物濃度:1×1018cm-3、厚さ1μm、
発光層104:p型(Ga0.7Al0.3)0.5In0.5P、厚さ0.5μm、
p型第2クラッド層105:p型Al0.5In0.5P、不純物はZn、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ1μm、
第1電流拡散層61:p型Ga0.3Al0.7As、
不純物はZn、不純物濃度:1×1018cm-3、厚さ1μm、
第2電流拡散層62:p型Ga0.3Al0.7As、
不純物はZn、不純物濃度:3×1018cm-3、厚さ6μm、
コンタクト層108:p型GaAs。
基板:GaAs、
n型第1クラッド層:(Ga1-x2Alx2)0.5In0.5P
(但し、X1<X2≦1)、
発光層:(Ga1-x1Alx1)0.5In0.5P(但し、0≦x1<x2,x3)
p型第2中間障壁層:(Ga1-x4Alx4)0.5In0.5P
(但し、x1<x4<x3、不純物濃度は5×1017cm-3未満)、
p型第2クラッド層:(Ga1-x3Alx3)0.5In0.5P
(但し、x1<x3≦1、不純物濃度は5×1017cm-3以上)、
なる層からなることを特徴としてもよい。
図1は本発明にかかる実施形態1のLED100の横断面構造を示す図である。簡単のため、従来のLED800と同じ機能を有する部分には同じ番号を付した。即ち、以下のような構成を有する。
第1クラッド層4:(Ga1-x2Alx2)0.5In0.5P、
(但し、x1<x2≦1)、
発光層6:(Ga1-x1Alx1)0.5In0.5P、(但し、0≦x1<1)、
中間障壁層5:(Ga1-x4Alx4)0.5In0.5P、
(但し、x1<x4<x2、x3)、
第2クラッド層7:(Ga1-X3AlX3)0.5In0.5P、
(但し、x1<x3≦1)、
なる構成を有する。
基板1:n型GaAs、
第1バッファー層2:n型GaAs、
光反射(DBR)層3:n型(Al0.4Ga0.6)0.5In0.5P層と
n型Al0.5In0.5P層とを交互に積層した層、
第1クラッド層4:n型Al0.5In0.5P、不純物はSi、
不純物濃度5×1017cm-3、厚さ1μm、
中間障壁層5:p型(Ga0.5Al0.5)0.5In0.5P、不純物Zn、
不純物濃度:1×1017cm-3、厚さ0.2μm、
発光層6:p型(Ga0.7Al0.3)0.5In0.5P、不純物Zn、
不純物濃度:1×1017cm-3、厚さ0.5μm、
第2クラッド層7:p型Al0.5In0.5P、不純物はZn、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ1μm、
第2バッファー層8:p型(Al0.05Ga0.95)0.95In0.05P、
不純物はZn、不純物濃度:1×1018cm-3、厚さ0.15μm、
電流拡散層9:p型(Al0.01Ga0.99)0.99In0.01P、不純物はZn、
不純物濃度:5×1018cm-3、厚さ7μm。
図3に本発明にかかる実施形態2のLED200の横断面を示す。簡単のため、実施形態1のLED100と同じ機能を有する部分には同じ番号を付した。
n型(Ga0.5Al0.5)0.5In0.5P、不純物Si、
不純物濃度:1×1016cm-3、厚さ0.2μm、
を設けたことである。
図5に本発明にかかる実施形態3のLED300の横断面を示す。簡単のため、実施形態1のLED100と同じ機能を有する部分には同じ番号を付した。
p型(Ga0.5Al0.5)0.51In0.49P、不純物Zn、
不純物濃度:1×1017cm-3、厚さ0.2μm、
を設けたことである。
本発明にかかる実施形態4のLED400の横断面構造を図7に示す。簡単のため、実施形態1のLED100と同じ機能を有する部分には同じ番号を付した。
本発明にかかる実施形態5のLED500の横断面構造を図8に示す。簡単のため、実施形態1のLEDと同じ機能を有する部分には同じ番号を付した。
第1バッファー層2:p型GaAs、
光反射(DBR)層3:p型(Al0.4Ga0.6)0.5In0.5P層と
p型Al0.5In0.5P層とを交互に積層した層、
第1クラッド層4:p型Al0.5In0.5P、不純物Zn、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ1μm、
中間障壁層5:n型(Al0.5Ga0.5)0.5In0.5P層、不純物はSi、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ0.1μm、
発光層6:n型(Ga0.7Al0.3)0.5In0.5P、
厚さ0.5μm、
第2クラッド層7:n型Al0.5In0.5P、不純物はSi、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ1μm、
第2バッファー層8:n型(Al0.05Ga0.95)0.95In0.05P、
不純物はSi、不純物濃度:1×1018cm-3、厚さ0.15μm、
電流拡散層9:n型(Al0.01Ga0.99)0.99In0.01P、不純物はSi、
不純物濃度:1×1018cm-3、厚さ7μm。
図9は本発明にかかる実施形態のLED600の略横断面構造を示す図である。簡単のため、従来のLED900と同じ機能を有する部分には同じ番号を付した。
p型(Ga0.5Al0.5)0.5In0.5P、不純物Zn、
不純物濃度:2×1017cm-3、厚さ0.3μm、
また、p型第2クラッド層54は、Al混晶比1.0のもので、
p型Al0.5In0.5P、不純物Zn、
不純物濃度:5×1017cm-3、厚さ1.0μm、
としている。なお、電流拡散層106は単一の層とした。
図11に実施形態7の断面図を示す。まず、n型GaAs基板201上に、n型(AlxGa1-x)yIn1-yP第1クラッド層21(x=1.0、y=0.5、Siキャリア濃度5×1017cm-3)を1μm、n型(AlxGa1-x)yIn1-yP第1中間障壁層22(x=0.5、y=0.5、Siキャリア濃度2×1017cm-3)を0.5μm、(AlxGa1-x)yIn1-yP発光層203(x=0.3、y=0.5)を0.5μm、p型(AlxGa1-x)yIn1-yP第2中間障壁層41(x=0.5、y=0.5、Znキャリア濃度2×1017cm-3)を0.5μm、p型(AlxGa1-x)yIn1-yP第2クラッド層42(x=1.0、y=0.5,Znキャリア濃度5×1017cm-3)を1μm、(AlxGa1-x)yIn1-yP電流拡散層205(x=0.05、y=0.90,Znキャリア濃度1×1018cm-3)を7μm順次積層し、さらにn側電極209、p側電極207を形成し発光ダイオードが完成する。
2 第1バッファー層
3 反射(DBR)層
4 第1クラッド層
5 中間障壁層
6 発光層
7 第2クラッド層
8 第2バッファー層
9 電流拡散層
10 p側電極
11 n側電極
41 第2中間障壁層
42 第2クラッド層
50 中間障壁層
51 第1中間障壁層
52 第2中間障壁層
53 p型第2中間障壁層
54 p型第2クラッド層
60 MQW型発光層
61 第1電流拡散層
62 第2電流拡散層
91 第1電流拡散層
92 電流拡散層
101 基板
102 バッファ層
103 n型第1クラッド層
104 発光層
105 p型クラッド層
106 電流拡散層
107 p側電極
108 コンタクト層
109 n側電極
201 基板
203 発光層
205 電流拡散層
207 p側電極
209 n側電極
Claims (4)
- 少なくともIII−V族化合物半導体材料からなり、エネルギーギャップの大きいクラッド層でエネルギーギャップの狭い発光層を挟持してなるダブルヘテロ接合型発光ダイオードにおいて、
該クラッド層のうちp型クラッド層は、該発光層に近い側にあるAl混晶比が小さく不純物濃度の低いp型第2中間障壁層とAl混晶比が大きく不純物濃度の高いp型第2クラッド層とからなることを特徴とする発光ダイオード。 - 前記p型第2中間障壁層のAl比は0.5以下、前記p型第2クラッド層のAl比は0.7以上であることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
- 前記p型第2中間障壁層の不純物濃度は3×1017cm-3以下であり、
前記p型第2中間障壁層の厚さは0.1μm以上、0.5μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。 - 基板:GaAs、
n型第1クラッド層:(Ga1-x2Alx2)0.5In0.5P
(但し、X1<X2≦1)、
発光層:(Ga1-x1Alx1)0.5In0.5P(但し、0≦x1<x2,x3)
p型第2中間障壁層:(Ga1-x4Alx4)0.5In0.5P
(但し、x1<x4<x3、不純物濃度は5×1017cm-3未満)、
p型第2クラッド層:(Ga1-x3Alx3)0.5In0.5P
(但し、x1<x3≦1、不純物濃度は5×1017cm-3以上)、
なる層からなることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオード。
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JP2004351771A JP3852852B2 (ja) | 1998-11-30 | 2004-12-03 | 発光ダイオード |
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JP2009016560A (ja) * | 2007-07-04 | 2009-01-22 | Sharp Corp | 半導体発光素子 |
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2004
- 2004-12-03 JP JP2004351771A patent/JP3852852B2/ja not_active Expired - Lifetime
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