JP2005175374A - 磁気メモリ装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 磁化固定層からの漏洩磁界のばらつきをなくし、書き込み電流を増やすことなしに書き込み特性を向上させることのできる磁気メモリ装置と、これを再現性良く作製できる製造方法を提供する。
【解決手段】 磁化自由層(記憶層)124の磁気モーメントの方向に存在する、一対の端辺124A、124Bと磁化固定層122の一対の端辺122A、122Bとに関し、磁化自由層124の一方の端辺と、これと同じ側にある磁化固定層122の一方の端辺との間の距離dが、磁化自由層124の他方の端辺と、これを同じ側にある磁化固定層122の他方の端辺との間の距離dと実質的に同じであるか、或いは磁化自由層124の両端辺と磁化固定層122の両端辺とがそれぞれ同一位置にあること。
【選択図】図9
【解決手段】 磁化自由層(記憶層)124の磁気モーメントの方向に存在する、一対の端辺124A、124Bと磁化固定層122の一対の端辺122A、122Bとに関し、磁化自由層124の一方の端辺と、これと同じ側にある磁化固定層122の一方の端辺との間の距離dが、磁化自由層124の他方の端辺と、これを同じ側にある磁化固定層122の他方の端辺との間の距離dと実質的に同じであるか、或いは磁化自由層124の両端辺と磁化固定層122の両端辺とがそれぞれ同一位置にあること。
【選択図】図9
Description
本発明は、磁化固定層としての第1の磁性体層と、磁化方向の変化が可能な磁化自由層としての第2の磁性体層との間にトンネルバリア層が挟着されてなるトンネル磁気抵抗素子を有し、前記第2の磁性体層のスピン方向が前記第1の磁性体層のスピン方向に対し平行又は反平行となることによって情報を記憶し、前記トンネル磁気抵抗素子とは電気的に絶縁されている第1の導電性配線と、この第1の導電性配線に交差して前記トンネル磁気抵抗素子に電気的に接続されている第2の導電性配線とを有する磁気メモリ装置、特にいわゆる不揮発性メモリであるMRAM(Magnetic Random Access Memory)として構成された磁気メモリ装置、及びその製造方法に関するものである。
情報通信機器、特に携帯端末などの個人用小型機器の飛躍的な普及に伴い、これを構成するメモリやロジックなどの素子には、高集積化、高速化、低電力化など、一層の高性能化が要求されている。
特に不揮発性メモリは、ユビキタス時代に必要不可欠であると考えられている。電源の消耗やトラブルが生じた場合や、サーバーとネットワークが何らかの障害により切断された場合でも、不揮発性メモリは、個人情報を含めた重要な情報を保護することができる。また、最近の携帯機器は、不要の回路ブロックをスタンバイ状態にしてできるだけ消費電力を抑えるように設計されているが、高速のワークメモリと大容量ストレージメモリを兼ねることができる不揮発性メモリが実現できれば、消費電力とメモリの無駄を無くすことができる。また、高速の大容量不揮発性メモリが実現できれば、電源を入れると瞬時に起動できる“インスタント・オン”機能も可能になってくる。
不揮発性メモリとしては、半導体を用いたフラッシュメモリや、強誘電体を用いたFRAM(Ferroelectric Random Access Memory )なども挙げられる。
しかしながら、フラッシュメモリは、書き込み速度がμ秒のオーダーと遅いという欠点がある。一方、FRAMにおいては、書き換え可能回数が1012〜1014であり、完全にSRAM(Static Random Access Memory)やDRAM(Dynamic Random Access Memory)に置き換えるには持久力(Endurance)が小さく、また強誘電体キャパシタの微細加工が難しいという問題が指摘されている。
これらの欠点を有さず、高速、大容量(高集積化)、低消費電力の不揮発性メモリとして注目されているのが、例えばWang et al., IEEE Trans. Magn. 33 (1997), 4498に記載されているような、MRAMと称される磁気メモリであり、近年のTMR(Tunnel Magnetoresistance)材料の特性向上により、注目を集めるようになってきている。
MRAMは、ナノ磁性体特有のスピン依存伝導現象に基づく磁気抵抗効果を利用した半導体磁気メモリであり、外部から電力を供給することなしに記憶を保持できる不揮発性メモリである。
初期のMRAMは、J. M. Daughton, Thin Solid Films,vol.216,pp.162-168,1992 で報告されているAMR(Anisotropic Magnetoresistive)効果や、D. D. Tang et al.,IEDM Technical Digest,pp995-997,1997で報告されているGMR(Giant Magnetoresistance)効果を使ったスピンバルブをベースにしたものである。しかし、負荷のメモリセル抵抗が10〜100オームと低いため、読み出し時のビット当りの消費電力が大きく、大容量化が難しいという欠点がある。
一方、TMR効果はR.Meservey et al., Physics Reports,vol.238,pp214-217,1994で報告されているように、抵抗変化率が常温で1〜2%しかなかったが、近年、T.Miyazaki et al.,J.Magnetism & Magnetic Material,vol139,(L231),1995で報告されているように、20%近くの抵抗変化率が得られるようになり、TMR効果を使ったMRAMに注目が集まるようになってきている。
MRAMは、構造が単純であるために、高集積化が容易であり、また磁気モーメントの回転により記録を行うために、原子自身の変位が無く、劣化が殆んど無いことから、書き換え可能回数は実使用上で無制限である。また、アクセス時間についても非常に高速であることが予想され、既に100MHzで動作可能であることが R. Scheuerlein et al., ISSCC Digest of Technical Papers,pp.128-129,Feb.2000で報告されている。
こうしたMRAMについて更に詳細に説明すると、図30に例示するように、MRAMのメモリセルの記憶素子となるTMR素子10は、支持基板9上に設けられた、磁化が比較的容易に回転する磁化自由層(記憶層)2と磁化固定層4、6とを含む。
磁化固定層は第1の磁化固定層4と第2の磁化固定層6の二つの磁化固定層を持ち、これらの間には、これらの磁性層が反強磁性的に結合するような導体層5が配置されている。記憶層2と磁化固定層4、6には、ニッケル、鉄又はコバルト、或いはこれらの合金からなる強磁性体が用いられ、また導体層5の材料としては、ルテニウム、銅、クロム、金、銀などが使用可能である。第2の磁化固定層6は反強磁性体層7と接しており、これらの層間に働く交換相互作用によって、第2の磁化固定層6は強い一方向の磁気異方性を持つことになる。磁化固定層は合成反強磁性結合(SAF:Synthetic Antiferromagnet)を持つ上記の多層膜(強磁性体/金属/強磁性体)からなっていてよい。SAFはS .S. Parkin et al., Physical Review Letters,7 May,pp2304-2307(1990)で報告されている。反強磁性体層7の材料としては、鉄、ニッケル、白金、イリジウム、ロジウムなどのマンガン合金、コバルトやニッケル酸化物などを使用できる。
また、磁性層である記憶層2と第1の磁化固定層4との間には、アルミニウム、マグネシウム、シリコン等の酸化物又は窒化物等からなる絶縁体によるトンネルバリア層3が挟持されており、記憶層2と磁化固定層4との磁気的結合を切るとともに、トンネル電流を流すための役割を担う。これらの磁性層及び導体層は主にスパッタリング法により形成されるが、トンネルバリア層3は、スパッタリングで形成された金属膜を酸化もしくは窒化させることにより得ることができる。トップコート層1は、TMR素子10とこのTMR素子に接続される配線との相互拡散防止、接触抵抗低減及び記憶層2の酸化防止という役割があり、通常は、Cu、Ta、TiN等の材料を使用できる。下地電極層8は、TMR素子と直列に接続されるスイッチング素子との接続に用いられる引き出し電極として機能する。この下地層8は反強磁性体層7を兼ねてもよい。
このように構成されたメモリセルにおいては、後述するように、磁気抵抗効果によるトンネル電流変化を検出して情報を読み出すが、その効果は記憶層と磁化固定層との相対磁化方向に依存する。
図31は、一般的なMRAMの一部を簡略化して示す拡大斜視図である。ここでは、簡略化のために読み出し回路部分は省略してあるが、相互に交差するビット線11及び書き込み用ワード線12を有する。これらの交点には、TMR素子10が配置されていて、TMR素子10への書き込みは、ビット線11及び書き込み用ワード線12に電流を流し、これらから発生する磁界の合成磁界によって、ビット線11と書き込み用ワード線12との交点にあるTMR素子10の記憶層2の磁化方向を磁化固定層に対して平行又は反平行にして書き込みを行う。
図32は、メモリセルの断面を模式的に示すものであり、例えば後記の特許文献1に記載された構造と同等のものである。これは、選択素子にMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタを用い、Si基板20には、ゲート絶縁膜26上のゲート電極27の両側にドレイン領域18a及びソース領域18bを設けてなる選択用MOSトランジスタ21が形成されており、一方の拡散層18aからWプラグ19、22、25及びランディングパッド30、34を介してTMR素子10の引き出し電極17に接続されている。ここでは、引き出し電極17上には、TMR素子10の磁化固定層4/5/6及び反強磁性体層7も延設された構造としてよい。TMR素子10の他方の面はビット線11に接続されている。また、TMR素子10の下方には絶縁膜22を介して、書き込み用ワード線12が配置されている。MOSトランジスタ21の他方の拡散層18bはWプラグ25を介してセンス線23に接続されている。なお、トランジスタ21は、n型又はp型電界効果トランジスタであってよいが、その他、ダイオード、バイポーラトランジスタ、MESFET(Metal Semiconductor Field Effect Transistor)等、各種のスイッチング素子が使える。
図33は、MRAMの等価回路図を示すが、相互に交差するビット線11及び書き込み用ワード線12を有し、これらの書き込み線の交点には、記憶素子10と共に、記憶素子10に接続されて読み出しの際に素子選択を行う電界効果トランジスタ21及びセンスライン23を有する。センスライン23は、センスアンプ23bに接続され、記憶された情報を検出する。なお、図中の24は双方向の書き込み用ワード線電流駆動回路、26はビット線電流駆動回路である。
図34は、MRAMの書き込み条件を示すアステロイド曲線であって、印加された磁化容易軸方向磁界HEA及び磁化困難軸方向磁界HHAによる記憶層磁化方向の反転しきい値を示している。このアステロイド曲線の外部に、相当する合成磁界ベクトルが発生すると、磁界反転を生じるが、アステロイド曲線の内部の合成磁界ベクトルは、その電流双安定状態の一方からセルを反転させることはない。また、電流を流しているワード線及びビット線の交点以外のセルにおいても、ワード線又はビット線単独で発生する磁界が印加されるため、それらの大きさが一方向反転磁界HK以上の場合は、交点以外のセルの磁化方向も反転してしまうため、合成磁界が図中の灰色の領域にある場合のみに、選択されたセルを選択書き込みが可能となるようにしておく。
このように、MRAMでは、ビット線とワード線の2本の書き込み線を使用することにより、アステロイド磁化反転特性を利用して、指定されたメモリセルだけが磁性スピンの反転により書き込むことが一般的である。単一記憶領域における合成磁化は、それに印加された磁化容易軸方向磁界HEAと磁化困難軸方向磁界HHAとのベクトル合成によって決まる。ビット線を流れる書き込み電流は、セルに磁化容易軸方向の磁界HEAを印加し、またワード線を流れる電流は、セルに磁化困難軸方向の磁界HHAを印加する。
図35は、MRAMの読み出し動作を説明するものである。ここでは、TMR素子10の層構成を概略図示しており、上記した磁化固定層を単一層26として示し、記憶層2及びトンネルバリア層3以外は図示省略している。
即ち、上記したように、情報の書き込みは、マトリックス状に配線したビット線11とワード線12との交点の合成磁場によって記憶層2の磁性スピン(磁化の方向)を反転させて、その向きを“1”、“0”の情報として記録する。また、読み出しは、磁気抵抗効果を応用したTMR効果を利用して行うが、TMR効果とは、磁性スピンの向きによって抵抗値が変化する現象であり、磁性スピンが反平行の抵抗の高い状態と、磁性スピンが平行の抵抗の低い状態により、情報の“1”、“0”を検出する。この読み出しは、ワード線12とビット線11との間に読み出し電流(トンネル電流)を流し、上記の抵抗の高低に応じた出力を上記した読み出し用電界効果トランジスタ21を介してセンスライン23に読み出すことによって行う。
上述したように、高速、高集積化が容易という長所を有するMRAMではあるが、書き込みのための消費電流が他のメモリデバイスに比較して大きいという欠点がある。これを改善するためには、磁化反転するために必要な外部磁界のばらつきを低減して、書き込み動作点(書き込み電流)を低く抑えることが必要になる。こうした外部磁界のばらつきの要因の一つに、TMR素子10自体の磁化固定層4/5/6(26)からの漏洩磁界の影響がある。以下にこの現象を説明する。
図36には、TMR素子10の記憶層2と引き出し電極17(この上には磁化固定層4/5/6又は26も延設されているものとする。)の位置関係を示す(ここでは、記憶層2はワード線12に沿って長く、ビット線11方向には短いアスペクト比、例えば2:1の楕円形状とし、長径又は長軸方向を磁化容易軸としている)。これらの位置関係は、2回のマスクパターンによって決まるので、露光装置のアライメントエラーが入る。即ち、TMR素子10の各構成材料層を積層した後に、記憶層2をパターニングするのに用いるフォトレジストマスク(図示せず)のマスクパターンに対し、磁化固定層4/5/6、反強磁性体層7及び引き出し電極17をパターニングするのに用いるフォトレジストマスク(図示せず)のマスクパターンの位置合わせずれが生じ易い。
この結果、図36(A)に示す合わせずれがない場合に比べて、図36(B)に示すように破線位置から実線位置へと合わせずれが生じると、引き出し電極17上の磁化固定層26のエッジから記憶層2のエッジまでの距離が記憶層2の長軸方向においてaとb(a<b)のように変わってしまう。このため、図37に明示するように、磁化固定層4/5/6(26)からの漏洩磁界40が合わせずれによって変動し、書き込み特性が変動してしまう。この漏洩磁界の影響は、記憶層2の長軸方向の双方の端辺2A、2Bが磁化固定層26の端辺26A、26Bに近いa側の方が、遠いb側よりも大きくなる。これは、図30に示した記憶層2の磁性スピンを磁化固定層26に対して平行に書き込む場合も反平行に書き込む場合も、同様に問題となる。
このため、図38に示すように、アステロイド特性が実線から破線へシフトするため、最適動作点が変化する。従って、この変化分も考慮して、動作点を設定することが必要となり、結果として、高い書き込み電流に設定しなければならないという問題がある。
本発明は、上記の如き問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、磁化固定層からの漏洩磁界のばらつきをなくし、書き込み電流を増やすことなしに書き込み特性を向上させることのできる磁気メモリ装置と、これを再現性良く作製できる製造方法を提供することにある。
即ち、本発明は、磁化固定層としての第1の磁性体層と、磁化方向の変化が可能な磁化自由層としての第2の磁性体層との間にトンネルバリア層が挟着されてなるトンネル磁気抵抗素子を有し、前記第2の磁性体層のスピン方向が前記第1の磁性体層のスピン方向に対し平行又は反平行となることによって情報を記憶し、前記トンネル磁気抵抗素子とは電気的に絶縁されている第1の導電性配線と、この第1の導電性配線に交差して前記トンネル磁気抵抗素子に電気的に接続されている第2の導電性配線とを有する、磁気メモリ装置において、
前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対 の端辺と前記第1の磁性体層の一対の端辺とに関し、前記第2の磁性体層の一方の端辺 と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の一方の端辺との間の距離が、前記第2の 磁性体層の他方の端辺と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の他方の端辺との間 の距離と実質的に同じである
ことを特徴とする、磁気メモリ装置(以下、本発明の第1の磁気メモリ装置と称する。)に係るものである。
前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対 の端辺と前記第1の磁性体層の一対の端辺とに関し、前記第2の磁性体層の一方の端辺 と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の一方の端辺との間の距離が、前記第2の 磁性体層の他方の端辺と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の他方の端辺との間 の距離と実質的に同じである
ことを特徴とする、磁気メモリ装置(以下、本発明の第1の磁気メモリ装置と称する。)に係るものである。
本発明は、この発明の第1の磁気メモリ装置の製造方法として、
前記第2の磁性体層を所定パターンに形成する工程と、
前記第2の磁性体層の側面にサイドウォールを形成する工程と、
このサイドウォール及び前記第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁 性体層を形成する工程と
を有する、磁気メモリ装置の製造方法を提供するものである。
前記第2の磁性体層を所定パターンに形成する工程と、
前記第2の磁性体層の側面にサイドウォールを形成する工程と、
このサイドウォール及び前記第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁 性体層を形成する工程と
を有する、磁気メモリ装置の製造方法を提供するものである。
また、本発明は、磁化固定層としての第1の磁性体層と、磁化方向の変化が可能な磁化自由層としての第2の磁性体層との間にトンネルバリア層が挟着されてなるトンネル磁気抵抗素子を有し、前記第2の磁性体層のスピン方向が前記第1の磁性体層のスピン方向に対し平行又は反平行となることによって情報を記憶し、前記トンネル磁気抵抗素子とは電気的に絶縁されている第1の導電性配線と、この第1の導電性配線に交差して前記トンネル磁気抵抗素子に電気的に接続されている第2の導電性配線とを有する、磁気メモリ装置において、
前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対 の端辺のそれぞれと、前記第1の磁性体層の一対の端辺のそれぞれとが互いに同一位置 にある
ことを特徴とする、磁気メモリ装置(以下、本発明の第2の磁気メモリ装置と称する。)にも係るものである。
前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対 の端辺のそれぞれと、前記第1の磁性体層の一対の端辺のそれぞれとが互いに同一位置 にある
ことを特徴とする、磁気メモリ装置(以下、本発明の第2の磁気メモリ装置と称する。)にも係るものである。
本発明は、この本発明の第2の磁気メモリ装置の製造方法として、
前記第2の磁性体層を所定パターンに形成する工程と、
前記第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁性体層を形成する工程と
を有する磁気メモリ装置の製造方法、及び、
前記第2の磁性体層と前記第1の磁性体層とを同一のマスクによってそれぞれ形成す る工程
を有する、磁気メモリ装置の製造方法も提供するものである。
前記第2の磁性体層を所定パターンに形成する工程と、
前記第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁性体層を形成する工程と
を有する磁気メモリ装置の製造方法、及び、
前記第2の磁性体層と前記第1の磁性体層とを同一のマスクによってそれぞれ形成す る工程
を有する、磁気メモリ装置の製造方法も提供するものである。
本発明の第1の磁気メモリ装置とその製造方法によれば、前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対の端辺と前記第1の磁性体層の一対の端辺とに関し、前記第2の磁性体層の一方の端辺と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の一方の端辺との間の距離が、前記第2の磁性体層の他方の端辺と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の他方の端辺との間の距離と実質的に同じとなる構造とし、この構造を作製するために、前記第2の磁性体層を所定パターンに形成し、この第2の磁性体層の側面に形成したサイドウォール及び前記第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁性体層を形成しているので、前記トンネル磁気抵抗素子の磁化自由層(記憶層)の端辺(特に長軸方向)と磁化固定層の端辺とがほぼ同一位置に自己整合的に一致するため、露光装置のアライメント(マスク合わせずれ)に起因する磁化固定層からの漏洩磁界のばらつきがなくなる。この結果、書き込み動作点の必要マージンを小さくでき、書き込み電流(消費電力)を低減することができる。
また、本発明の第2の磁気メモリ装置とその製造方法によれば、前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対の端辺のそれぞれと、前記第1の磁性体層の一対の端辺のそれぞれとが互いに同一位置にある構造とし、この構造を作製するために、前記第2の磁性体層を所定パターンに形成し、この第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁性体層を形成しているので、前記トンネル磁気抵抗素子の磁化自由層(記憶層)と磁化固定層とを同一のマスクで形成することができ、磁化固定層からの漏れ磁界のばらつきがなくなり、書き込み電流(消費電力)を低減することができる。
本発明の第1の磁気メモリ装置においては、前記第2の磁性体層の少なくとも前記一対の端辺のそれぞれに、絶縁性のサイドウォールが設けられ、これらのサイドウォールの側端面の位置と前記第1の磁性体層の側端面の位置とが一致しているのがよい。
また、本発明の第1及び第2の磁気メモリ装置、及びこれらの製造方法においては、前記第1の磁性体層を前記第2の磁性体層とほぼ同一パターンに重ねて形成する際、前記第2の磁性体層を形成するのに用いるマスクパターンの長さよりも小さい幅部分を有するマスクパターンによって、前記第2の磁性体層下に前記第1の磁性体層を形成すると同時に、この第1の磁性体層を前記トンネル磁気抵抗素子の読み出し用配線と同一パターンに重なり合ったパターン部に連設して形成するのがよい。
この場合、前記第2の磁性体層を形成するのに用いるマスクパターンを、前記第1の磁性体層を形成するのに用いるマスクパターンに対し合わせずれ量又はそれ以上の大きさに形成するのがよい。
或いは、前記第1の磁性体層をその全域において前記第2の磁性体層とほぼ同一パターンに重ねて形成するのもよい。
また、前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔を形成し、この接続孔から前記絶縁層上にかけて、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち前記第2の磁性体層下にある導電性の素子構成層の少なくとも1層を読み出し用配線として形成してよい。
或いは、前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔を形成し、この接続孔から前記絶縁層上にかけて読み出し用配線としての導電層を形成し、この導電層上に、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち前記第2の磁性体層下にある導電性の素子構成層の少なくとも1層を形成するのもよい。
また、前記トンネル磁気抵抗効果素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層上に前記トンネル磁気抵抗素子の構成材料を積層し、この積層体と前記絶縁層の所定位置を貫通して読み出し用の接続孔を形成し、前記素子構成材料層のうち導電性の素子構成材料層の少なくとも1層に接続された導電層を前記接続孔に被着し、更に前記導電層と前記素子構成材料層とを加工して、前記トンネル磁気抵抗素子を形成すると共に、このトンネル磁気抵抗素子の導電性の素子構成層を前記接続孔の周囲において前記導電層に接続して残すのもよい。
これによって、前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔が形成され、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち導電性の素子構成層の少なくとも1層が、前記絶縁層上に前記接続孔に臨む位置まで設けられ、この位置において前記導電性の素子構成層の少なくとも1層に接続された導電層が前記接続孔に被着される。
本発明の第1及び第2の磁気メモリ装置は、具体的には、前記第1の磁性体層と前記第2の磁性体層との間に絶縁体層が前記トンネルバリア層として挟持され、前記第1の導電性配線及び前記第2の導電性配線にそれぞれ電流を流すことによって誘起される磁界で前記第2の磁性体層を所定方向に磁化して情報を書き込み、この書き込み情報を前記第2の導電性配線と読み出し用配線との間のトンネル電流で読み出すように構成される。
以下、本発明を不揮発性メモリであるMRAMに適用した好ましい実施の形態を図面参照下に詳細に説明する。
第1の実施の形態
図1〜図11は、本発明の第1の実施の形態を示すものである。
図1〜図11は、本発明の第1の実施の形態を示すものである。
本実施の形態によるMRAM40をその製造工程に従って説明する(但し、書き込み用ワード線より下部の配線の一部、及びMOSトランジスタは図27に示した従来例と同様であるため、その説明を省略する(以下、同様))。
まず、図1(1)に示すように、例えば600nm厚の下層のAlメタル配線101上にHDP(High Density Plasma)によるCVD(化学的気相成長)でSiOx絶縁膜102を例えば800nm厚に、P−TEOS(Plasma tetra-ethoxysilane)によるCVDでSiOx絶縁膜103を例えば1200nm厚に順次堆積後、メタル配線101上に例えば700nm厚の絶縁膜103を残すようにCMP(Chemical Mechanical Polishing:化学機械研磨)を行う。次に、リソグラフィ及びエッチング技術により下層メタル配線101と電気的に接続するためのヴィア100を開孔し、タングステンWをCVD後にCMPして、Wからなるプラグ104を形成する。次に、プラズマCVDによるSiNx膜105を例えば50nm厚、P−TEOSによるCVDで絶縁膜106を例えば400nm厚に順次堆積する。
次に、図1(2)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクに絶縁膜106をエッチングして部分的に抜いた後、更にSiNx膜105をエッチングして配線溝107を形成する。
次に、図1(3)に示すように、Ta/TaN/Cuシード層(図示せず)を順次スパッタで堆積した後、Cuを電気めっきし、更にCMPにより配線溝107に下層配線及びワード線となるCu配線108、109を埋め込む。このような埋め込み配線構造はダマシンと称され、配線が絶縁膜と同一面をなすように平坦化され、また低抵抗Cuを用いるために配線の電気特性や安定性の面で優れたものとなる。このダマシンの構造は、埋め込み配線として後述の例においても同様に適用されてよい。
次に、図1(4)に示すように、プラズマCVDによってSiNx膜111を例えば100nm厚に堆積した後、図2(5)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクにエッチングして、TMR素子と下地配線とを接続するためのヴィア113を開孔する。
続いて、図2(6)に示すように、バリア層(図示省略)、例えば30nm厚の反強磁性体層121、例えば5nm厚の強磁性体層(磁化固定層)122、例えば1.5nm厚のトンネル絶縁膜(トンネルバリア層)123、例えば4nm厚の強磁性体層(磁化自由層又は記憶層)124、例えば5nm厚のキャップ層125を順次スパッタリング等のPVD(Physical Vapor Deposition)法で堆積する。ここで、バリア層には、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等を用いる。反強磁性体層121には例えば鉄−マンガン、ニッケル−マンガン、プラチナ−マンガン、イリジウム−マンガン等を用いる。強磁性体層122にはニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層122は、下地の反強磁性体層121との交換結合によって磁化の方向がピニング(pinning)される。トンネル絶縁膜123には通常、アルミナ(Al2O3)を用いる。これは0.5〜5nmと非常に薄いため、ALD(Atomic Layer Deposition)法、又はAlをスパッタで堆積後にプラズマ酸化を行うといった方法で形成する。上部の強磁性体層124にも、ニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層124は、外部印加磁場によって磁化の方向を下層の強磁性体層122に対して平行又は反平行に変えることができる。キャップ層125はバリア層と同一材料であってよい。このキャップ層上には、プラズマCVDによりSiNx膜131を例えば70nm厚に堆積する。
次に、図2(7)に示すように、露光、現像により所定パターンに形成したフォトレジスト130(マスクパターンA)をマスクに反応性イオンエッチング技術により、SiNx膜131をパターニングする。
次に、図3(8)に示すように、フォトレジスト130を除去した後、SiNx膜131をマスクに反応性イオンエッチングにより、キャップ層125及び上部の強磁性体層124をエッチングする。このエッチングは、上部の強磁性体層124の所定部分を完全に除去後、トンネル絶縁膜123上まで進行するように条件を設定する。この際、キャップ層125/記憶層124上にSiNx層131が例えば30nm以上の厚さで残るようにする。このエッチングに用いるエッチングガスは、Clを含んだハロゲンガス、又はCOにNH3を添加したガス系等を用いる。
次に、図3(9)に示すように、Al2O3膜132を例えば10nm厚にスパッタ法により堆積し、更にプラズマCVDによりSiNx膜133を例えば50nmの厚さに堆積する。
次に、図3(10)に示すように、露光、現像により所定パターンに形成したフォトレジスト134(マスクパターンB)をマスクに、SiNx膜133をエッチングする。
次に、図4(11)に示すように、SiNx膜131とSiNx膜133とをマスクに、Al2O3膜とトンネル絶縁膜123の残り、更には下層の強磁性体層122、下地の反強磁性体層121、バリア層(図示省略)をそれぞれエッチングして、磁化固定層122(121)及び下地に接続する読み出し用の配線パターン135(引き出し電極)を形成すると共に、TMR素子136を作製する。ここで、SiNx膜133はサイドウォールとしてマスク作用があり、Al2O3膜132は磁化固定層122及び配線135を形成する際の保護膜である。
次に、図4(12)に示すように、SiO2又はAl2O3等の絶縁膜141を全面にCVD又はPVD法で堆積した後、図4(13)に示すように、CMPによって絶縁膜141及びSiNx膜133とSiNx膜131のマスク材料を研磨して平坦化して、TMR素子136の最上層のキャップ層125を露出させる。
次に、図5(14)に示すように、標準的な配線形成技術によって、ビット線142及び周辺回路の配線(図示省略)、ボンディングパッド領域(図示省略)を形成する。更に、全面にプラズマCVDによりシリコン窒素膜(図示省略)を堆積し、ボンディングパッド部を開口して周辺のLSI(大規模集積回路)のウェーハプロセス工程を終了し、MRAM137を完成する。
上記したMRAM137の構造とその製造プロセスにおいて、注目すべきことは、図2(7)及び図3(8)に示したように強磁性体層(記憶層)124をエッチングでパターニングする際に用いる図5(A)に拡大図示されたマスクパターンAと、図3(10)及び図4(11)に示したように強磁性体層(磁化固定層)122をエッチングでパターニングする際に用いる図6(B)に拡大図示されたマスクパターンBとについて、図6(C)に拡大して明示するように、これらの両マスクパターンが重なる部分138において、マスクパターンBと比べてマスクパターンAの方が、少なくともエッチングの寸法変換量及び露光装置で決まる合わせずれ量x1と同等若しくはそれより大きく設定されていることである。ここで、マスクパターンBは、マスクパターンAの長軸よりも短い幅の長方形状となっており、またマスクパターンAは楕円形としたが、この形状はそれ以外であっても差し支えない(以下、同様)。なお、このマスクパターンBについては、図6(C)に示したものに限られず、例えば図10に示すようにヴィア133の側で幅広となった形状としてもよい(以下、同様)。
この結果、例えば楕円形(アスペクト比は例えば2:1)のマスクパターンAのうち、その長軸方向に両パターンが重なる部分138(即ち、マスクパターンB)から両側に拡大された部分139下では、図7(A)に示すように、パターンAにより記憶層124がパターニングされると共に、図7(B)に示すように、パターンAの拡大部分139をマスクとして下層の磁化固定層122も同一形状にパターニングされることになる。
こうした形状については、上記の例でのパターンAによって、記憶層124をパターニングした後に図4(11)に示したように、記憶層124の側面にはこれを保護するようにSiNx膜133をサイドウォールとして形成するので、図8(A)に示すように記憶層パターンA1とサイドウォールパターンA2とが合わさった形状となる(但し、このようなサイドウォールを形成しないときは、図6(A)のパターンAとなる)。従って、図8(C)に示すように、パターンAは実際には、パターンBに対し図6(A)に示したパターンAよりもサイドウォールの厚さ分dだけ僅かに拡がった実質的に同一パターンの相似形となり、図9(A)〜(C)に示すように、記憶層124の直下ではこれよりもdだけ僅かに拡がった相似形のパターンに磁化固定層122(更には引き出し電極135)が形成されることになる。この拡大分dは、記憶層124の長軸方向において一対存在するが、これらは実質的に同一である。
いずれの場合でも、磁化固定層122(更には配線層又は引き出し電極135)は、パターンA下では記憶層124と一致した形状(図7(C))、或いは実質的に同一距離dだけ拡がった形状(図9(C))になる。
このように、記憶層124の長軸方向の両側の端辺124A、124Bは、磁化固定層122の両端辺122A、122Bとほぼ同じ位置か或いは同じ距離に位置するように、自己整合的に形成することができる。
このように、本実施の形態によれば、記憶層124は、その長軸方向における端辺が磁化固定層122の端辺と一致した形状若しくは相似形となるので、図11(A)、(B)に示すように、磁化固定層122からの漏洩磁界140は、記憶層124の長軸方向の両側においてばらつきがなく、その変動はなくなり、書き込み特性が向上し、消費電力が低減する。なお、記憶層124の短軸方向では、磁化固定層122の他方の端辺122Cが記憶層124の端辺124Cに対し大きく離れているために、そこからの漏洩磁界は問題にならない。なお、TMR素子136とワード線109との間の絶縁膜(SiNx膜)111は厚さが薄いため、狭ギャップ化により書き込み特性が向上する(これは、以下の他の例でも同様)。
第2の実施の形態
図12〜図18は、本発明の第2の実施の形態を示すものである(但し、上述の第1の実施の形態と同様の工程については、その説明を簡略化することがある:以下、同様)。
図12〜図18は、本発明の第2の実施の形態を示すものである(但し、上述の第1の実施の形態と同様の工程については、その説明を簡略化することがある:以下、同様)。
まず、図12(1)に示すように、例えば600nmの厚さの下層のAlメタル配線201上にHDPによるCVDでSiOx絶縁膜202を例えば800nmの厚さに、P−TEOSによるCVDでSiOx絶縁膜203を例えば1200nmの厚さに順次堆積後、メタル201上に例えば700nm厚の絶縁膜203を残すようにCMPする。次に、リソグラフィ及びエッチング技術により、下地メタル201と電気的に接続するためのヴィア200を開孔し、WをCVD後にCMPしてWからなるプラグ204を形成する。次に、プラズマCVDによるSiNx膜205を例えば50nmの厚さに、P−TEOSによるCVDで絶縁膜206を例えば400nmの厚さに順次堆積する。
次に、図12(2)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクに絶縁膜206の所定箇所をエッチングして抜いた後、更にSiNx膜205をエッチングして配線溝207を形成し、次に、Ta/TaN/Cuシード層を順次スパッタで堆積した後(図示省略)、Cuを電気めっきし、更にCMPで配線溝207に下層配線及びワード線となるCu配線208、209を埋め込む。
次に、図12(3)に示すように、プラズマCVDによりSiNx膜211を例えば100nmの厚さに堆積した後、フォトレジスト(図示せず)をマスクにエッチングして、TMR素子と下地配線とを接続するためのヴィア213を開孔し、次に、下地とTMR素子とを接続する配線層220を例えば60nmの厚さに堆積する。
次に、図13(4)に示すように、バリア層(図示省略)、反強磁性体層221、強磁性体層(磁化固定層)222、トンネル絶縁膜(トンネルバリア層)223、強磁性体層(磁化自由層又は記憶層)224、キャップ層225を順次PVD法で堆積する。ここで、配線層220にはチタンナイトライド、タンタルナイトライド等を用い、バリア層には窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等を用いる。反強磁性体層221には例えば鉄−マンガン、ニッケル−マンガン、プラチナ−マンガン、イリジウム−マンガン等を用いる。強磁性体層222にはニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層222は、下地の反強磁性体層221との交換結合によって磁化の方向がピニングされる。トンネル絶縁膜223には通常、アルミナ(Al2O3)を用い、これは0.5〜5nmと非常に薄いため、ALD法、又はAlをスパッタで堆積後にプラズマ酸化を行うといった方法で形成する。上部の強磁性体層224にもニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層224は、外部印加磁場によって磁化の方向を下層の強磁性体層222に対して平行又は反平行に変えることができる。キャップ層225はバリア層と同一材料であってよい。このキャップ層上には、プラズマCVDによるSiNx膜231を例えば100nmの厚さに堆積する。
次に、図13(5)に示すように、フォトレジスト230(マスクパターンA)をマスクに反応性イオンエッチング技術でSiNx膜231をパターニングする。
次に、図13(6)に示すように、フォトレジスト230を除去した後、SiNx膜231をマスクにして、反応性イオンエッチングにより、少なくとも下層の強磁性体層222までエッチングする。このエッチングの終点はバリア層(図示省略)、反強磁性体層221又は配線層220上まで進行するように設定する。好ましくは、反強磁性体層221はエッチングされるのがよい。エッチングが配線層220まで入ると、配線抵抗が上昇し、また反強磁性体層221を残すと、一般的に反強磁性体材料と下地材料のエッチング特性が大きく異なるために、エッチングが2回必要となり、プロセスが複雑になる。なお、キャップ層225上にSiNx層231が例えば30nm以上の厚さで残るようにする。このエッチングに用いる反応ガスは、Clを含んだハロゲンガス又はCOにNH3を添加したガス系等を用いる。
次に、図14(7)に示すように、Al2O3膜232を例えば10nmの厚さにスパッタ法により堆積し、更にプラズマCVDによりSiNx膜233を例えば50nmの厚さに堆積した後、フォトレジスト(マスクパターンB)をマスクにSiNx膜233をエッチングする。このとき、マスクパターンAの幅とマスクパターンBの幅方向サイズはそれ程制約されない。
次に、図14(8)に示すように、SiNx膜233をマスクに配線層220までエッチングして、TMR素子236と下地とを接続する読み出し用の配線パターン(引き出し電極)235を形成する。
次に、図15(9)に示すように、SiO2又はAl2O3等の絶縁膜241を全面にCVD又はPVD法で堆積した後、CMPによって絶縁膜241及びSiNx膜233、231、Al2O3膜232を研磨して平坦化し、TMR素子236の最上層のキャップ層225を露出させる。ここで、SiNx膜233は、サイドウォールとしてマスク作用があり、Al2O3膜232は磁化固定層222及び配線235を形成する際の保護膜である。次に、標準的な配線形成技術によって、ビット線242及び周辺回路の配線(図示省略)、ボンディングパッド領域(図示省略)を形成する。更に、全面にプラズマCVDによるシリコン窒化膜(図示省略)を堆積し、ボンディングパッド部を開口してLSIのウェーハプロセス工程を終了し、MRAM237を完成する。
上記したMRAM237の構造とその製造プロセスにおいて、注目すべきことは、図13(5)、(6)に示したように強磁性体層(記憶層)224をエッチングでパターニングする際に用いる図16(A)に拡大図示されたマスクパターンAで、強磁性体層224と同一形状にその下層の磁化固定層222も加工することである。また、図14(7)、(8)に示したマスクパターンBは、図16(A)に拡大図示するように、磁化固定層222下の反強磁性体層221又は配線層220を加工するものである。
この結果、記憶層224と磁化固定層222とは、上述した第1の実施の形態のように(図6(C)に示したように)合わせずれ量x1を考慮する必要がなく、常にほぼ同じ形状に加工されることになる。従って、図17(A)にはその平面形状を示すが、磁化固定層222からの漏洩磁界240の変動はなくなる。
こうした形状については、実際にはパターンAによって記憶層224をパターニングした後に図14(8)に示したように、記憶層224及び磁化固定層222の側面にはこれらを保護するようにSiNx膜233をサイドウォールとして形成するので、図16(B)に示すように記憶層パターンA1とサイドウォールパターンA2とが合わさった形状となる(但し、このようなサイドウォールを形成しないときは図16(A)のパターンAとなる)。従って、図16(B)に示すように、パターンAは、図16(A)に示したパターンAよりもサイドウォールの厚さ分dだけ僅かに拡がった実質的に同一パターンの相似形となり、図17(B)に示すように、記憶層224の直下ではこれよりもdだけ僅かに拡がった相似形のパターンに引き出し電極235が形成されることになる。
いずれの場合でも、磁化固定層222は、パターンA下では記憶層224と一致した形状(図17(A)、(B))になる。
このように、記憶層224との長軸方向の両側の端辺224A、224Bは、は磁化固定層222の両端辺222A、222Bとほぼ同じ位置に自己整合的に形成することができる。
このように、本実施の形態によれば、記憶層224は、その長軸方向における端辺が磁化固定層222の端辺と一致した形状となるので、図18(A)、(B)に示すように、磁化固定層222からの漏洩磁界240は、記憶層224の長軸方向の両側においてばらつきがなく、その変動はなくなり、書き込み特性が向上し、消費電力が低減する。また、記憶層224は、その短軸方向でも磁化固定層222と端辺が一致しているので、そこからの漏洩磁界のばらつきもない。
第3の実施の形態
図19〜図21は、本発明の第3の実施の形態を示すものである。
図19〜図21は、本発明の第3の実施の形態を示すものである。
まず、図19(1)に示すように、例えば600nmの厚さのAlメタル配線301上にHDPによるCVDでSiOx絶縁膜302を例えば800nmの厚さに、P−TEOS膜によるSiOx絶縁膜303を例えば1200nmの厚さに順次堆積後、メタル301上に例えば700nm厚の絶縁膜303を残すようにCMPする。次に、リソグラフィ及びエッチング技術により、下地メタル301と電気的に接続するためのヴィア300を開孔し、WをCVD後にCMPしてWからなるプラグ304を形成する。次に、プラズマCVDによるSiNx膜305を例えば50nmの厚さに、P−TEOSによるCVDで絶縁膜306を例えば400nmの厚さに順次堆積する。
次に、図19(2)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクに絶縁膜306の所定部分をエッチングして抜いた後、更にSiNx膜305をエッチングして配線溝307を形成し、次にTa/TaN/Cuシード層を順次スパッタで堆積した後(図示省略)、Cuを電気めっきし、更にCMPで配線溝307に下層配線及びワード線となるCu配線308、309を埋め込む。
次に、図19(3)に示すように、プラズマCVDによりSiNx膜311を例えば50nm厚に、P−TEOSによるCVDで絶縁膜312を例えば50nm厚に堆積する。
次に図19(4)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクに絶縁膜312及びSiNx膜311をエッチングして、TMR素子と下地配線308を接続するためのヴィア313を開孔する。
次に、図20(5)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクに絶縁膜312をエッチングして配線溝314を形成する。
次に、図20(6)に示すように、バリアメタル(図示せず)と埋め込み配線用メタル315Aをスパッタにより堆積した後、図20(7)に示すように、CMPによりヴィア313及び配線溝314にメタル配線315を埋め込む。バリアメタルはTi又はTa等、配線用メタルは窒化チタン、窒化タンタル等を用いる。
次に、図21(8)に示すように、バリア層(図示省略)、反強磁性体層321、強磁性体層(磁化固定層)322、トンネル絶縁膜(トンネルバリア層)323、強磁性体層(磁化自由層又は記憶層)324、キャップ層325を順次PVD法で堆積する。ここで、バリア層には窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等を用いる。反強磁性体層321には例えば鉄−マンガン、ニッケル−マンガン、プラチナ−マンガン、イリジウム−マンガン等を用いる。強磁性体層322にはニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層322は、下地の反強磁性体層321との交換結合によって磁化の方向がピニングされる。トンネル絶縁膜323には通常、アルミナ(Al2O3)を用い、これは0.5〜5nmと非常に薄いため、ALD法、又はAlをスパッタで堆積後にプラズマ酸化を行うといった方法で形成する。上部の強磁性体層324にもニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層324は、外部印加磁場によって磁化の方向を下層の強磁性体層322に対して平行又は反平行に変えることができる。キャップ層325はバリア層と同一材料であってよい。このキャップ層上には、プラズマCVDによるSiNx膜331を例えば100nmの厚さに堆積する。
次に、図21(9)に示すように、フォトレジスト330(マスクパターンA)をマスクに反応性イオンエッチング技術でSiNx膜331をパターニングする。
次に、図22(10)に示すように、フォトレジスト330を除去した後、SiNx膜331をマスクにして、反応性イオンエッチングにより、少なくとも下層の強磁性体層322までエッチングする。このエッチングの終点はバリア層(図示省略)又は反強磁性体層321上まで進行するように設定する。好ましくは、反強磁性体層321はエッチングされるのがよい。反強磁性体層321を残すと、一般的に反強磁性体材料と下地材料のエッチング特性が大きく異なるために、エッチングが2回必要となり、プロセスが複雑になる。なお、キャップ層325上にSiNx層331が例えば30nm以上の厚さで残るようにする。このエッチングに用いる反応ガスは、Clを含んだハロゲンガス又はCOにNH3を添加したガス系等を用いる。
次に、図22(11)に示すように、SiO2又はAl2O3等の絶縁膜341を全面にCVD又はPVD法で堆積した後、CMPによって絶縁膜341及びSiNx膜331を研磨して平坦化し、TMR素子336の最上層のキャップ層325を露出させる。次に、標準的な配線形成技術によって、ビット線342及び周辺回路の配線(図示省略)、ボンディングパッド領域(図示省略)を形成する。更に、全面にプラズマCVDによるシリコン窒化膜(図示省略)を堆積し、ボンディングパッド部を開口してLSIのウェーハプロセス工程を終了し、MRAM337を完成する。
上記したMRAM337の構造とその製造プロセスにおいて、注目すべきことは、図22(10)に示したように強磁性体層(記憶層)324をエッチングでパターニングする際に用いるマスクパターンAで、強磁性体層324と同一形状にその下層の磁化固定層322も加工することである。
この結果、記憶層324と磁化固定層322とは、上述した第1の実施の形態のように(図6(C)に示したように)合わせずれ量x1を考慮する必要がなく、常にほぼ同じ形状に加工されることになる。その形状は、図17(A)に示したものと同様である。従って、上述した第2の実施の形態と同様、磁化固定層322からの漏洩磁界の変動はなくなる。
また、読み出し配線315は、図20(5)〜(7)に示した工程で所定パターンに形成した配線溝314に埋め込まれるため、上述した第1及び第2の実施の形態における配線135、235のようにTMR素子の加工時にマスクパターンBを用いて加工する必要がない。このため、TMR素子の加工に影響を与えることなしに配線315を予め容易に形成することができ、その信頼性も良好である。
第4の実施の形態
図23〜図24は、本発明の第4の実施の形態を示すものである。
図23〜図24は、本発明の第4の実施の形態を示すものである。
まず、図23(1)に示すように、例えば600nm厚の下層のAlメタル配線401上にHDPによるCVDでSiOx絶縁膜402を例えば800nmの厚さに、P−TEOSによるCVDでSiOx絶縁膜403を例えば1200nmの厚さに順次堆積後、メタル401上に例えば700nm厚の絶縁膜403を残すようにCMPする。次に、リソグラフィ及びエッチング技術により、下地メタル401と電気的に接続するためのヴィア400を開孔し、WをCVD後にCMPしてWからなるプラグ404を形成する。次に、プラズマCVDによるSiNx膜405を例えば50nmの厚さに、P−TEOSによるCVDで絶縁膜406を例えば400nmの厚さに順次堆積する。
次に、図23(2)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクに絶縁膜406の所定箇所をエッチングして抜いた後、更にSiNx膜405をエッチングして配線溝407を形成し、次に、Ta/TaN/Cuシード層を順次スパッタで堆積した後(図示省略)、Cuを電気めっきし、更にCMPで配線溝407に下層配線及びワード線となるCu配線408、409を埋め込む。
次に、図23(3)に示すように、上述した第3の実施の形態における図19(3)〜図20(7)の工程と同様にして、プラズマCVDによりSiNx膜411を例えば50nmの厚さに、P−TEOSによるCVDで絶縁膜412を例えば50nmの厚さに堆積した後、フォトレジストをマスクに絶縁膜412及びSiNx膜411をエッチングして、TMR素子と下地配線408を接続するためのヴィア413を開孔し、次に、フォトレジストをマスクに絶縁膜412をエッチングして配線溝414を形成し、更に、バリアメタル(図示せず)と埋め込み配線用メタルをスパッタにより堆積した後、CMPによりヴィア413及び配線溝414にメタル415を埋め込む。バリアメタルはTi又はTa等、配線用メタルは窒化チタン、窒化タンタル等を用いる。
次に、図24(4)に示すように、バリア層(図示省略)、反強磁性体層421、強磁性体層(磁化固定層)422、トンネル絶縁膜(トンネルバリア層)423、強磁性体層(磁化自由層又は記憶層)424、キャップ層425を順次PVD法で堆積する。ここで、バリア層には窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等を用いる。反強磁性体層421には例えば鉄−マンガン、ニッケル−マンガン、プラチナ−マンガン、イリジウム−マンガン等を用いる。強磁性体層422にはニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層422は、下地の反強磁性体層421との交換結合によって磁化の方向がピニングされる。トンネル絶縁膜423には通常、アルミナ(Al2O3)を用い、これは0.5〜5nmと非常に薄いため、ALD法、又はAlをスパッタで堆積後にプラズマ酸化を行うといった方法で形成する。上部の強磁性体層424にもニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層424は、外部印加磁場によって磁化の方向を下層の強磁性体層422に対して平行又は反平行に変えることができる。キャップ層425はバリア層と同一材料であってよい。このキャップ層上には、プラズマCVDによるSiNx膜431を例えば100nmの厚さに堆積する。
次に、図24(5)に示すように、上述した第3の実施の形態における図21(9)及び図22(10)と同様にして、フォトレジスト(マスクパターンA)をマスクに反応性イオンエッチング技術でSiNx膜431をパターニングした後、フォトレジストを除去し、SiNx膜431をマスクにして、反応性イオンエッチングにより、少なくとも下層のトンネル絶縁膜423までエッチングし、キャップ層425及び強磁性体層424をパターンAに加工する。
次に、図24(6)に示すように、全面にパシベーション用の絶縁膜432をCVDにより堆積する。このパシベーション膜432はプラズマCVDによるSiO2膜、SiNx膜、Al2O3膜である。
次に、図25(7)に示すように、SiNx膜431をマスクに反強磁性体層421下のバリアメタルまで異方性エッチングする。このとき、形成されたTMR素子436のトンネル絶縁膜423及びその上部の強磁性体層424の少なくとも一部はパシベーション膜432で保護されると共に、このパシベーション膜432が、サイドウォールとして作用し、このサイドウォールの厚み分だけ磁化固定層422が記憶層424よりも僅かに大きいサイズとなる。この拡大分は、記憶層424の長軸方向において両側で同等である。
次に、図25(8)に示すように、SiO2又はAl2O3等の絶縁膜441を全面にCVD又はPVD法で堆積した後、CMPによって絶縁膜441及びSiNx膜431を研磨して平坦化し、TMR素子436の最上層のキャップ層425を露出させる。次に、標準的な配線形成技術によって、ビット線442及び周辺回路の配線(図示省略)、ボンディングパッド領域(図示省略)を形成する。更に、全面にプラズマCVDによるシリコン窒化膜(図示省略)を堆積し、ボンディングパッド部を開口してLSIのウェーハプロセス工程を終了し、MRAM437を完成する。
上記したMRAM437の構造とその製造プロセスにおいて、注目すべきことは、図24(5)に示したように強磁性体層(記憶層)424をエッチングでパターニングする際に用いるパターンAとほぼ同じパターンで、強磁性体層424と同一形状にその下層の磁化固定層422も加工することである。
この結果、記憶層424と磁化固定層422とは、上述した第1の実施の形態のように(図6(C)に示したように)合わせずれ量x1を考慮する必要がなく、常に実質的に同じ形状に加工されることになる。その形状は、図17(A)に示したものと同様であるので、上述した第2の実施の形態と同様、磁化固定層422からの漏洩磁界の変動はなくなる。なお、上記したように、TMR素子436の構成層のうち少なくとも強磁性体層424、トンネル絶縁膜423(更には、磁化固定層422)の側面がパシベーション膜432で保護されるので、信頼性が高い。
また、読み出し用配線415は、図23(3)に示した工程で所定パターンに形成した配線溝414に埋め込まれるため、上述した第1及び第2の実施の形態における配線135、235のようにTMR素子の加工時にパターンBを用いて加工する必要がない。このため、TMR素子の加工に影響を与えることなしに配線415を予め容易に形成することができ、その信頼性も良好である。
第5の実施の形態
図26〜図29は、本発明の第5の実施の形態を示すものである。
図26〜図29は、本発明の第5の実施の形態を示すものである。
まず、図26(1)に示すように、例えば600nm厚の下層のAlメタル配線501上にHDPによるCVDでSiOx絶縁膜502を例えば800nm厚に、P−TEOSによるCVDでSiOx絶縁膜503を例えば1200nm厚に順次堆積後、メタル配線501上に例えば700nm厚の絶縁膜503を残すようにCMPを行う。次に、リソグラフィ及びエッチング技術により、下層メタル配線501と電気的に接続するためのヴィア500を開孔し、タングステンWをCVD後にCMPして、Wからなるプラグ504を形成する。次に、プラズマCVDによりSiNx膜505を例えば50nm厚、P−TEOSによるCVDで絶縁膜506を例えば400nm厚に順次堆積する。
次に、図26(2)に示すように、上述した第1の実施の形態における図1(2)、(3)の工程と同様に、絶縁膜506をエッチングして部分的に抜いた後、更にSiNx膜505をエッチングして配線溝507を形成し、Ta/TaN/Cuシード層を順次スパッタで堆積した後、Cuを電気めっきし、更にCMPにより配線溝507に下層配線及びワード線となるCu配線508、509を埋め込む。
次に、図26(3)に示すように、Al2O3膜511を例えば200nmの厚さに堆積し、続いて下部電極層520、バリア層(図示省略)、例えば30nm厚の反強磁性体層521、例えば5nm厚の強磁性体層(磁化固定層)522、例えば1.5nm厚のトンネル絶縁膜523、例えば4nm厚の強磁性体層(磁化自由層又は記憶層)524、例えば5nm厚のキャップ層525を順次PVD法で堆積する。Al2O3膜511からキャップ層525までは同一の装置内で形成してもよい。ここで、下部電極層520には窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等、バリア層には窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等を用いる。下部電極層520とバリア層とは同1層でもよい。反強磁性体層521には例えば鉄−マンガン、ニッケル−マンガン、プラチナ−マンガン、イリジウム−マンガン等を用いる。強磁性体層522にはニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。強磁性体層522は、下地の反強磁性体層521との交換結合によって磁化の方向がピニングされる。トンネル絶縁膜523には通常、アルミナ(Al2O3)を用い、これは0.5〜5nmと非常に薄いため、ALD法、又はAlをスパッタで堆積後にプラズマ酸化を行うといった方法で形成する。上部の強磁性体層524にもニッケル、鉄、コバルト又はこれらの合金材料等を用いる。この強磁性体層524は、外部印加磁場によって磁化の方向を下層の強磁性体層522に対して平行又は反平行に変えることができる。キャップ層525はバリア層と同一材料であってよい。
次に、図27(4)に示すように、フォトレジスト(図示せず)をマスクに反応性イオンエッチング技術により、下地と接続するためのヴィア526を形成する。このとき、まずフォトレジストをマスクにキャップ層525又は強磁性体層524をエッチング後に、フォトレジストを除去し、下層の各層を同一パターンにエッチングしてよい。
次に、図27(5)に示すように、全面にコンタクト配線527を例えば50nmの厚さに、プラズマCVDによるSiNx膜531を例えば70nmの厚さに堆積する。コンタクト配線527には窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等を用いる。
次に、図27(6)に示すように、フォトレジスト530(マスクパターンA)をマスクに反応性イオンエッチング技術でSiNx膜531をパターニングする。このパターンは、TMR素子の記憶層パターン530aと、ヴィアコンタクトパターン530bとからなっている。
次に、図28(7)に示すように、フォトレジスト530を除去後、SiNx膜531をマスクに反応性イオンエッチングにより、コンタクト配線527、キャップ層525及び上部の強磁性体層524をエッチングする。エッチングは、上部の強磁性体層524からトンネル絶縁膜523上まで(又はトンネル絶縁膜523まで)行うように条件を設定する。この際、TMR素子上にSiNx膜531が例えば30nm以上の厚さに残るようにする。また、ヴィア526のあるコンタクト部もマスク531でカバーされるようにする。エッチングガスは、Clを含んだハロゲンガス、又はCOにNH3を添加したガス系等を用いる。
次に、図28(8)に示すように、Al2O3膜532を例えば10nmの厚さにスパッタ法により堆積し、更にプラズマCVDによりSiNx膜533を例えば50nmの厚さに堆積する。
次に、図28(9)に示すように、フォトレジスト534(マスクパターンB)をマスクにSiNx膜533及びAl2O3膜532をエッチングする。
次に、図29(10)に示すように、SiNx膜531とSiNx膜533をマスクに、トンネル絶縁膜523がある場合にはその不要部分、下層の強磁性体層522、下地の反強磁性体層521、バリア層(図示省略)をエッチングして、磁化固定層522をパターン化すると共に、下地に接続する配線パターン(読み出し配線)535を形成する。
次に、図29(11)に示すように、SiO2又はAl2O3等の絶縁膜541を全面にCVD又はPVD法で堆積した後、CMPによって絶縁膜541を平坦化する。
次に、図29(12)に示すように、リソグラフィ及びエッチング技術により、TMR素子536と電気的に接続するためのヴィア543を開孔し、標準的な配線形成技術によって、ビット線542及び周辺回路の配線(図示省略)、ボンディングパッド領域(図示省略)を形成する。更に、全面にプラズマシリコン窒素膜(図示省略)を堆積し、ボンディングパッド部を開口してLSIのウェーハプロセス工程を終了し、MRAM537を完成する。
上記したMRAM537の構造とその製造プロセスにおいて、注目すべきことは、図27(6)及び図28(7)に示したように、強磁性体層(記憶層)524をエッチングでパターニングする際に用いる図6(A)に拡大図示されたと同様のパターンAと、図28(9)及び図29(10)に示したように強磁性体層(磁化固定層)522をエッチングでパターニングする際に用いる図6(B)に拡大図示されたと同様のパターンBとについて、図6(C)に拡大して明示したように、これらの両パターンが重なる部分において、パターンBと比べてパターンAの方が、少なくともエッチングの寸法変換量及び露光装置で決まる合わせずれ量x1と同等若しくはそれより大きく設定されていることである。
この結果、上述した第1の実施の形態と同様に、パターンAにより記憶層524がパターニングされると共に、パターンAの拡大部分をマスクとして下層の磁化固定層522も同一形状にパターニングされることになる。
こうした形状については、上記の例でのパターンAは、記憶層524のパターニング後に図29(10)に示したように、記憶層524の側面にはこれを保護するようにSiNx膜533をサイドウォールとして形成するので、上述した第1の実施の形態における図8(A)に示したように、パターンAよりもサイドウォールの厚さの分だけ僅かに拡がった実質的に同一パターンの相似形となり、記憶層524の直下ではこれよりも僅かに拡がった相似形のパターンに磁化固定層522(更には引き出し電極535)が形成されることになる。この拡大分は、記憶層534の長軸方向において一対存在するが、これらは実質的に同一である。
いずれの場合でも、磁化固定層522(更には配線層又は引き出し電極535)は、パターンA下では記憶層524と一致した形状、或いは実質的に同一距離だけ拡がった形状になる。
このように、記憶層524の長軸方向の両側の端辺は磁化固定層522の両端辺とほぼ同じ位置か或いは同じ距離に位置するように、自己整合的に形成することができる。
このように、本実施の形態によれば、記憶層524の長軸方向において磁化固定層522と一致した形状若しくは相似形となるので、図11(A)、(B)に示したと同様、磁化固定層522からの漏洩磁界は、記憶層524の長軸方向の両側においてばらつきがなく、その変動はなくなり、書き込み特性が向上し、消費電力が低減する。
また、図27(4)〜図29(10)に示したように、下部電極層520の上にTMR素子の各構成材料層521〜525を積層し、この積層体と絶縁層511の所定位置を貫通して読み出し用のヴィア526を形成し、素子構成材料層のうち導電性の構成材料層の少なくとも1層に接続された導電層をコンタクト配線527としてヴィア526に被着し、更にコンタクト配線527と素子構成材料層とを加工してTMR素子536を形成すると共に、このTMR素子536の導電性の素子構成層をヴィア526の周囲において下部電極層520と共に配線527に接続して残している。また、キャップ層525は、その上の配線材527を介してビット線542に接続されている。
このため、TMR素子536の導電性の素子構成層が下部電極層520と共に、ヴィア526に臨む位置まで設けられ、この位置において、ヴィア526に被着された配線527に接続されることになるので、読み出し配線(引き出し電極)のコンタクト抵抗が十分に低下し、また配線の設計が容易となる。また、図27(4)に示した工程でマスクのフォトレジストをアッシングで除去する際、ヴィア526の底面上に強磁性体層524等が存在しているために、ヴィア526の表面が保護され、汚染されることはない。また、ビット線542のコンタクト抵抗は、配線材527の存在によって小さくすることができる。
また、図26(3)において、配線508、509をダマシンで形成した後に絶縁膜511からTMR素子のキャップ層525までを同一スパッタ装置で堆積させることにより、TAT(Turn Around Time)の短縮、汚染防止が可能になる。しかも、図27(6)〜図29(10)に示したように、TMR素子536とバイパス配線535とを自己整合的に形成することができるので、マスク上、バイバスパターンの幅をTMR素子パターンの幅に対し、プロセス及び露光装置で決まる合わせずれの長さより小さくすることができる。
上述した各実施の形態は、本発明の技術的思想に基づいて種々に変形することができる。
例えば、TMR素子を含めてMRAMを構成する各層の材料及び膜厚等は適宜変更してもよく、またMRAMの形成プロセスも上述した実施の形態に限定するものではない。
また、本発明はMRAMに好適であるが、磁化可能な磁性層を有するメモリ素子からなる他の磁気メモリ装置にも適用可能であり、またMRAMは磁化方向を固定してROM(Read Only Memory)的に使用することもできる。
101、201、301…下層メタル配線、
102、103、106、141、202、203、206、241、302、303、306、312、341、402、403、406、412、432、441、502、503、506、541…絶縁膜(SiOx等)、
105、111、131、133、205、211、233、305、311、331、405、411、431、505、531、533…SiNx膜、
108、208、308、408、508…Cu配線(下層配線)、
109、209、309、409、509…Cu配線(ワード線)、
113、213、313、413、526、543…ヴィア(接続孔)、
121、221、321、421、521…反強磁性体層、
122、222、322、422、522…強磁性体層(磁化固定層)、
123、223、323、423、523…トンネル絶縁膜(トンネルバリア層)、
124、224、324、524…強磁性体層(磁化自由層又は記憶層)、
125、225、325、425、525…キャップ層、
130、230、330、530a、530b…フォトレジスト(マスクパターンA)、
132、232、511…Al2O3膜、
134、234、534…フォトレジスト(マスクパターンB)、
135、235、535…引き出し電極、
136、236、336、436、536…TMR素子、
137、237、337、437、537…MRAM、
140、240…漏洩磁界、142、242、342、442、542…ビット線、
314、414…配線溝、315、415、527…配線、520…下部電極層、
x1…合わせずれ量、d…端辺間の距離
102、103、106、141、202、203、206、241、302、303、306、312、341、402、403、406、412、432、441、502、503、506、541…絶縁膜(SiOx等)、
105、111、131、133、205、211、233、305、311、331、405、411、431、505、531、533…SiNx膜、
108、208、308、408、508…Cu配線(下層配線)、
109、209、309、409、509…Cu配線(ワード線)、
113、213、313、413、526、543…ヴィア(接続孔)、
121、221、321、421、521…反強磁性体層、
122、222、322、422、522…強磁性体層(磁化固定層)、
123、223、323、423、523…トンネル絶縁膜(トンネルバリア層)、
124、224、324、524…強磁性体層(磁化自由層又は記憶層)、
125、225、325、425、525…キャップ層、
130、230、330、530a、530b…フォトレジスト(マスクパターンA)、
132、232、511…Al2O3膜、
134、234、534…フォトレジスト(マスクパターンB)、
135、235、535…引き出し電極、
136、236、336、436、536…TMR素子、
137、237、337、437、537…MRAM、
140、240…漏洩磁界、142、242、342、442、542…ビット線、
314、414…配線溝、315、415、527…配線、520…下部電極層、
x1…合わせずれ量、d…端辺間の距離
Claims (18)
- 磁化固定層としての第1の磁性体層と、磁化方向の変化が可能な磁化自由層としての第2の磁性体層との間にトンネルバリア層が挟着されてなるトンネル磁気抵抗素子を有し、前記第2の磁性体層のスピン方向が前記第1の磁性体層のスピン方向に対し平行又は反平行となることによって情報を記憶し、前記トンネル磁気抵抗素子とは電気的に絶縁されている第1の導電性配線と、この第1の導電性配線に交差して前記トンネル磁気抵抗素子に電気的に接続されている第2の導電性配線とを有する、磁気メモリ装置において、
前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対 の端辺と前記第1の磁性体層の一対の端辺とに関し、前記第2の磁性体層の一方の端辺 と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の一方の端辺との間の距離が、前記第2の 磁性体層の他方の端辺と、これと同じ側にある前記第1の磁性体層の他方の端辺との間 の距離と実質的に同じである
ことを特徴とする、磁気メモリ装置。 - 前記第2の磁性体層の少なくとも前記一対の端辺のそれぞれに、絶縁性のサイドウォールが設けられ、これらのサイドウォールの側端面の位置と前記第1の磁性体層の側端面の位置とが一致している、請求項1に記載した磁気メモリ装置。
- 磁化固定層としての第1の磁性体層と、磁化方向の変化が可能な磁化自由層としての第2の磁性体層との間にトンネルバリア層が挟着されてなるトンネル磁気抵抗素子を有し、前記第2の磁性体層のスピン方向が前記第1の磁性体層のスピン方向に対し平行又は反平行となることによって情報を記憶し、前記トンネル磁気抵抗素子とは電気的に絶縁されている第1の導電性配線と、この第1の導電性配線に交差して前記トンネル磁気抵抗素子に電気的に接続されている第2の導電性配線とを有する、磁気メモリ装置において、
前記第2の磁性体層の磁気モーメントの方向に存在する、前記第2の磁性体層の一対 の端辺のそれぞれと、前記第1の磁性体層の一対の端辺のそれぞれとが互いに同一位置 にある
ことを特徴とする、磁気メモリ装置。 - 前記第1の磁性体層が前記第2の磁性体層とほぼ同一パターンに重なり合っていると共に、この同一パターン部における一対の前記端辺間の長さよりも小さい幅で前記トンネル磁気抵抗素子の読み出し用配線と同一パターンに重なり合ったパターン部を連設して有している、請求項1〜3のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置。
- 前記第1の磁性体層がその全域において前記第2の磁性体層とほぼ同一パターンに重なり合っている、請求項1〜3のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置。
- 前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔が形成され、この接続孔から前記絶縁層上にかけて、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち前記第2の磁性体層下にある導電性の素子構成層の少なくとも1層が読み出し用配線として設けられている、請求項1〜3のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置。
- 前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔が形成され、この接続孔から前記絶縁層上にかけて読み出し用配線としての導電層が形成され、この導電層上に、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち前記第2の磁性体層下にある導電性の素子構成層の少なくとも1層が設けられている、請求項1〜3のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置。
- 前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔が形成され、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち導電性の素子構成層の少なくとも1層が、前記絶縁層上に前記接続孔に臨む位置まで設けられ、この位置において前記導電性の素子構成層の少なくとも1層に接続された導電層が前記接続孔に被着されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置。
- 前記第1の磁性体層と前記第2の磁性体層との間に絶縁体層が前記トンネルバリア層として挟持され、前記第1の導電性配線及び前記第2の導電性配線にそれぞれ電流を流すことによって誘起される磁界で前記第2の磁性体層を所定方向に磁化して情報を書き込み、この書き込み情報を前記第2の導電性配線と読み出し用配線との間のトンネル電流で読み出すように構成された、請求項1〜3のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置。
- 請求項1又は2に記載した磁気メモリ装置の製造方法であって、
前記第2の磁性体層を所定パターンに形成する工程と、
前記第2の磁性体層の側面にサイドウォールを形成する工程と、
このサイドウォール及び前記第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁 性体層を形成する工程と
を有する、磁気メモリ装置の製造方法。 - 請求項3に記載した磁気メモリ装置の製造方法であって、
前記第2の磁性体層を所定パターンに形成する工程と、
前記第2の磁性体層下にこれと同一パターンに前記第1の磁性体層を形成する工程と
を有する、磁気メモリ装置の製造方法。 - 請求項3に記載した磁気メモリ装置の製造方法であって、
前記第2の磁性体層と前記第1の磁性体層とを同一のマスクによってそれぞれ形成す る工程
を有する、磁気メモリ装置の製造方法。 - 前記第1の磁性体層を前記第2の磁性体層とほぼ同一パターンに重ねて形成する際、前記第2の磁性体層を形成するのに用いるマスクパターンの長さよりも小さい幅部分を有するマスクパターンによって、前記第2の磁性体層下に前記第1の磁性体層を形成すると同時に、この第1の磁性体層を前記トンネル磁気抵抗素子の読み出し用配線と同一パターンに重なり合ったパターン部に連設して形成する、請求項10〜12のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置の製造方法。
- 前記第2の磁性体層を形成するのに用いるマスクパターンを、前記第1の磁性体層を形成するのに用いるマスクパターンに対し合わせずれ量又はそれ以上の大きさに形成する、請求項13に記載した磁気メモリ装置の製造方法。
- 前記第1の磁性体層をその全域において前記第2の磁性体層とほぼ同一パターンに重ねて形成する、請求項10〜12のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置の製造方法。
- 前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔を形成し、この接続孔から前記絶縁層上にかけて、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち前記第2の磁性体層下にある導電性の素子構成層の少なくとも1層を読み出し用配線として形成する、請求項10〜12のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置の製造方法。
- 前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層に読み出し用の接続孔を形成し、この接続孔から前記絶縁層上にかけて読み出し用配線としての導電層を形成し、この導電層上に、前記トンネル磁気抵抗素子の構成層のうち前記第2の磁性体層下にある導電性の素子構成層の少なくとも1層を形成する、請求項10〜12のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置の製造方法。
- 前記トンネル磁気抵抗素子と前記第1の導電性配線との間の絶縁層上に前記トンネル磁気抵抗素子の構成材料を積層し、この積層体と前記絶縁層の所定位置を貫通して読み出し用の接続孔を形成し、前記素子構成材料層のうち導電性の素子構成材料層の少なくとも1層に接続された導電層を前記接続孔に被着し、更に前記導電層と前記素子構成材料層とを加工して、前記トンネル磁気抵抗素子を形成すると共に、このトンネル磁気抵抗素子の導電性の素子構成層を前記接続孔の周囲において前記導電層に接続して残す、請求項10〜12のいずれか1項に記載した磁気メモリ装置の製造方法。
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2003
- 2003-12-15 JP JP2003416600A patent/JP2005175374A/ja active Pending
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