JP2005164686A

JP2005164686A - 光分波装置

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Publication number: JP2005164686A
Application number: JP2003400198A
Authority: JP
Inventors: Akira Nakamura; 明中村
Original assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Current assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date: 2003-11-28
Filing date: 2003-11-28
Publication date: 2005-06-23

Abstract

【課題】入力導波路に入力された光を分波させて複数の出力導波路から出力させる光分波装置に関し、入力された光束を精度良く分波できる光分波装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、入力された光を分波させて複数の出力導波路から出力させる光分波装置（１００）であって、入力光の光束を集束させる集束路（１９１）と、集束路（１９１）で集束された光束を分波させる分波路（１９３）と、分波路（１９３）で分波された光を拡大して、複数の出力導波路（１９７ａ、１９７ｂ）に供給する拡大路（１９６ａ、１９６ｂ）とを有することを特徴とする。
【選択図】図３

Description

本発明は光分波装置に係り、特に、入力導波路に入力された光を分波させて複数の出力導波路から出力させる光分波装置に関する。

近年、光ファイバ通信網の拡大に伴い、高性能な光部品が要求されている。光部品は、微小光学部品、光ファイバ部品、光導波路部品に分けられる。

このうち、光導波路部品は、大量生産が可能であり、また、基板上に集積化が可能であるなどの利点があり、注目を集めている。

光導波路部品としては、光分波装置がある。この光分波装置は、光ファイバを流れる光束を複数の光束に分波するための部品であり、各家庭などへの分岐に用いられる。

図５は従来の分波装置の一例の構成図を示す。

従来の分波装置１は、入力光束を二分波するものであり、直線導波路１１、分波導波路１２、Ｓ字導波路１３、１４から構成されている。

直線導波路１１の一端には、光ファイバから光入射する。直線導波路１１の他端は、分波導波路１２の入力端に接続されている。分波導波路１２は、出力端に向かって幅が拡大するテーパ状の形状に形成されており、直線導波路１１から入力された光束を拡大させる。

分波導波路１２の出力端には、Ｓ字導波路１３、１４が接続されている。分波導波路１２は、出力端に向かって拡大された光束をＳ字導波路１３とＳ字導波路１４とに分波する。

Ｓ字導波路１３は、分波導波路１２から供給された光束を矢印Ｙ１方向に平行移動する。また、Ｓ字導波路１４は、分波導波路１２から供給された光束を矢印Ｙ２方向に平行移動する。Ｓ字導波路１３、１４により分波導波路１２により分波された光束の光軸を所定の間隔に拡大できる。

しかるに、従来の光分波装置は、導波路の径（幅）が光ファイバと同じかそれより大きく設定されていた。光ファイバや導波路は、径（幅）が大きくなると、光束の中心が一定しなくなる。一般に光ファイバの径は、シングルモードファイバの場合９〜１０μｍ程度とされており、比較的太く設定されている。

このため、光ファイバから光分波装置に導入された光束は、その中心が光ファイバの中心からずれている場合がある。このため、光束の中心と分波導波路１２の中心とが一致しない場合がでてくる。分波導波路１２は、光束の中心がその中心にあるときに、所望の割合で光束を分波できるようにされているので、光束の中心と分波導波路１２の中心とがずれている場合には、所望の分割比で光束を分波できない。

本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、入力された光束を精度良く分波できる光分波装置を提供することを目的とする。

本発明は、入力された光を分波させて複数の出力導波路から出力させる光分波装置（１００）であって、入力光の光束を集束させる集束路（１９１）と、集束路（１９１）で集束された光束を分波させる分波路（１９３）と、分波路（１９３）で分波された光を拡大して、複数の出力導波路（１９７ａ、１９７ｂ）に供給する拡大路（１９６ａ、１９６ｂ）とを有することを特徴とする。

集束路（１９１）は、その断面形状が入力導波路の断面形状から徐々に縮小する形状の導波路から構成されたことを特徴とする。

拡大部（１９６ａ、１９６ｂ）は、その断面形状が出力導波路の断面形状まで徐々に拡大する形状の導波路から構成されたことを特徴とする。

集束路（１９１）と分波路（１９３）との間に設けられ、集束した光束を安定化させる第１の安定化路（１９２）を有することを特徴とする。

分波路（１９３）と拡大路（１９６ａ、１９６ｂ）との間に設けられ、集束した光束を安定化させる第２の安定化路（１９５ａ、１９５ｂ）を有することを特徴とする。

第１及び／又は第２の安定化路（１９２、１９５ａ、１９５ｂ）は、所定の距離、その断面形状が集束部（１９１）の出力部の断面形状と同じ断面形状とされた導波路から構成されたことを特徴とする。

分波路（１９３）と拡大路（１９６ａ、１９６ｂ）との間に設けられ、分波路（１９３）の出力光束を拡大路（１９６ａ、１９６ｂ）に導く導波路（１９４ａ、１９４ｂ）を有することを特徴とする。

なお、上記参照符号は、あくまでも参考であり、これによって、特許請求の範囲が限定されるものではない。

上述の如く、本発明によれば、入力された光を分波させて複数の出力導波路から出力させる光分波装置（１００）に、入力光束を集束させる集束路（１９１）と、集束路（１９１）で集束された光束を分波させる分波路（１９３）と、分波路（１９３）で分波された光を拡大して、複数の出力導波路（１９７ａ、１９７ｂ）に供給する拡大路（１９６ａ、１９６ｂ）とを設けることにより、集束路（１９１）により入力光束を調芯した後に、分波路（１９３）に供給できるので、入力された光束を精度良く分波できるなどの特長を有する。

〔概略構成〕
図１は本発明の一実施例の斜視図を示す。

本実施例の光学装置１００は、光ファイバ接続装置１１１、１１２及び光分波装置１１３から構成される。

光ファイバ接続装置１１１は、いわゆる、光ファイバアレイと同様な構成であり、光ファイバ１０１を固定し、光ファイバ１０１からの光波を光分波装置１１３に形成された導波路に入力するための装置である。また、光ファイバ接続装置１１２は、いわゆる、光ファイバアレイと同様な構成であり、光分波装置１１３により分波された光波を光ファイバ１０２及び光ファイバ１０３に出力するための装置である。

光分波装置１１３は、光ファイバ接続装置１１１により光ファイバ１０１から入力された光波を分波し、光ファイバ接続装置１１２に固定された光ファイバ１０２、１０３に出力する、いわゆる、導波路チップから構成されている。

〔光ファイバ接続装置１１１〕
光ファイバ接続装置１１１は、基台１２１と押圧部１２２とから構成される。光ファイバ接続装置１１１は、基台１１１に形成されたＶ字状の溝１３１により光ファイバ１０１を位置決めし、押圧部１１２を接着することにより、光ファイバ１０１を所定の位置に固定する。光ファイバ接続部１１１は、その端面が光分波装置１１３の入力側の端面に当接され、接着される。

〔光ファイバ接続装置１１２〕
光ファイバ接続部１１２は、光ファイバ接続部１１１と同様に基台１４１、押圧部１４２から構成されている。光ファイバ接続部１１２は、基台１４１に形成されたＶ字状の溝１５１に光ファイバ１０２を位置決めし、Ｖ字状の溝１５２に光ファイバ１０３を位置決めし、押圧部１４２を接着することにより、光ファイバ１０２、１０３を所定の位置に固定する。光ファイバ接続部１１２は、その端面が光分波装置１１３の出力側の端面に当接され、接着される。

〔光分波装置１１３〕
図２は光分波装置１１３の構成図を示す。図２（Ａ）は平面図、図２（Ｂ）は導波路に沿って切断した断面図、図２（Ｃ）は左側面図、図２（Ｄ）は右側面図を示す。

光分波装置１１３は、入力された光を分波させて複数の出力導波路から出力させる装置であり、基板１６１、導波路部１６２から構成されている。

基板１６１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）基板から構成されている。導波路部１６２は、基板１６１上に樹脂、ガラス材などで形成される。

導波路部１６２は、下部クラッド層１７１、上部クラッド層１７２、及び、コア１７３から構成される。
導波路が形成されており、導波路により、光ファイバ１０１から入射した光波を光ファイバ１０２と光ファイバ１０３とに分波する装置である。

ここで、導波路部１６２の製造方法について説明する。

まず、基板１６１上に下部クラッド層１７１を形成する。下部クラッド層１７１は、例えば、フッ素化ポリイミドなどの透明樹脂から構成されている。フッ素化ポリイミドの下部クラッド層１７１は、例えば、ポリアミド酸などの層を基板１１１上にスピンコート法などにより形成した後、加熱処理することでイミド化させることにより形成される。

次に、下部クラッド層１７１上に図２（Ａ）に破線で示すようなパターンでコア１７３を形成する。コア１７３は、導波路を構成しており、下部クラッド層１７１、上部クラッド層１７２と同じフッ素化ポリイミドなどから構成される。

なお、コア１７３は、下部クラッド層１７１、上部クラッド層１７２とは屈折率が異なるように樹脂の成分が調整されている。例えば、下部クラッド層１７１、上部クラッド層１７２の屈折率をｎ１、コア１７３の屈折率をｎ２としたとき、
ｎ１＜ｎ２
となるように構成樹脂の成分調整が行われている。なお、屈折率ｎ１、ｎ２は、例えば、ｎ１＝１．５２５、ｎ２＝１．５３１に設定される。

コア１７３形成は、まず、下部クラッド層１７１上にスピンコート法などによりポリアミド酸の層を形成した後、加熱処理することによりイミド化させ、透明樹脂層を形成する。次に、図２（Ａ）に破線で示すようなパターンでレジストをパターニングする。

次に、例えば、ＲＩＥ（reactive ion etching）装置などにより、ドライエッチング処理を行い、下部グラッド層１７１が露出する程度までエッチングする。このとき、フォトレジスト形成部分はエッチングされず、その下部の透明樹脂層が残ることになる。次に、残留したフォトレジストを除去する。以上により、図２（Ａ）に破線で示すようなパターンのコア１７３が形成される。なお、このとき、コア１７３は、例えば、光ファイバ１０１、１０２、１０３の径と略同じ、厚さ９〜１０μｍ程度に形成される。

次に、コア１７３の側面及び上面を覆うように上部クラッド層１７２を形成する。上部クラッド層１７２は、下部クラッド層１７１と同じフッ素化ポリイミドなどから構成されており、下部クラッド層１７１と同じ屈折率ｎ１となるように成分が調整されている。上部クラッド層１７２は、スピンコートなどによりポリアミド酸の層を形成した後、加熱処理され、ポリアミド酸がイミド化されて形成される。

以上により図２に示すように基板１６１上に破線で示すような導波路１８１を有する導波路部１６２を形成することができる。
〔導波路１８１〕
次に導波路１８１の形状について説明する。

図３は導波路部１８１の構成図を示す。

導波路１８１は、コア１７３のパターンに相当しており、集束路１９１、第１の安定化路１９２、分波路１９３、第１のＳ字路１９４ａ、１９４ｂ、第２の安定化路１９５ａ、１９５ｂ、拡大路１９６ａ、１９６ｂ、第２のＳ字路１９７ａ、１９７ｂが連続に形成された構成とされている。

集束路１９１は、その横断面積が入力導波路の横断面積から徐々に縮小する形状とされており、入力端に入力された光束を集束させる導光路である。第１の安定化路１９２は、集束路１９１と分波路１９３との間に設けられ、集束路１９１により集束された光束の光軸の中心を分波路１９３の入力端面の中心に安定化させるための導波路である。

分波路１９３は、第１の安定化路１９２と第１のＳ字路１９４ａ、１９４ｂとの間に設けられ、第１の安定化路１９２のから供給された光束を分波して、第１のＳ字路１９４ａ及び１９４ｂに供給する導波路である。第１のＳ字路１９４ａは、分波路１９３と第２の安定化路１９５ａとの間に設けられ、分波路１９３で分波された第１の光束を矢印Ｙ１方向に変位させ、第２の安定化路１９５ａに導入するための導波路である。また、第１のＳ字路１９４ｂは、分波路１９３と第２の安定化路１９５ｂとの間に設けられ、分波路１９３で分波された第２の光束を矢印Ｙ２方向に変位させ、第２の安定化路１９５ｂに導入するための導波路である。

第２の安定化路１９５ａは、第１のＳ字路１９４ａと拡大路１９６ａとの間に設けられ、その断面形状が全長に亘って、第１のＳ字路１９４ａの断面形状と同じ形状とされており、第１のＳ字路１９４ａで変位された第１の光束の光軸の中心を拡大路１９６ａの中央に安定化させるための導波路である。また、第２の安定化路１９５ｂは、第１のＳ字路１９４ｂと拡大路１９６ｂとの間に設けられ、第１のＳ字路１９４ｂで変位された第２の光束の光軸の中心を拡大路１９６ｂの中央に安定化させるための導波路である。

拡大路１９６ａは、第２の安定化路１９５ａと第２のＳ字路１９７ａとの間に設けられ、その断面形状が第２のＳ字路１９７ａの断面形状まで徐々に拡大する形状とされており、第２の安定化路１９５ａで安定化された第１の光束のスポット径を元のスポット径まで拡大して、第２のＳ字路１９７ａに導入する導波路である。また、拡大路１９６ｂは、第２の安定化路１９５ｂと第２のＳ字路１９７ｂとの間に設けられ、その断面形状が第２のＳ字路１９７ｂの断面形状まで徐々に拡張する形状とされており、第２の安定化路１９５ｂで安定化された第２の光束のスポット径を元のスポット径を拡大して、第２のＳ字路１９７ｂに供給するための導波路である。

第２のＳ字路１９７ａは、拡大路１９６ａと光ファイバ１０２との間に設けられ、拡大路１９６ａから供給された第１の光束を矢印Ｙ１方向に変位させ、光ファイバ１０２に導入するための導波路である。また、第２のＳ字路１９７ｂは、拡大路１９６ｂと光ファイバ１０３との間に設けられ、拡大路１９６ｂから供給された第１の光束を矢印Ｙ２方向に変位させ、光ファイバ１０３に導入するための導波路である。

〔集束路１９１〕
集束路１９１は、矢印Ｘ２方向に長さＬt1に渡って形成されている。なお、長さＬt1は、例えば、約０．５ｍｍ程度に設定されている。また、集束路１９１は、入力端、すなわち、矢印Ｘ１方向の端面の幅が、例えば、９〜１０μｍ程度とされている。また、出力端、すなわち、矢印Ｘ２方向の端面の幅が、例えば、３μｍ程度とされている。

集束路１９１の幅は、長さＬt1の間に９〜１０μｍから３μｍまで、一定の割合で縮小する形状とされている。集束路１９１の幅が一定の割合で徐々に縮小することにより、入力光束が縮小する。これによって、光束の光軸が導波路１８１の中央に調芯される。集束路１９１で縮小された光束は、第１の安定化路１９２に供給される。

〔第１の安定化路１９２〕
第１の安定化路１９２は、矢印Ｘ２方向に長さＬsm1にわたって形成されている。なお、長さＬsm1は、例えば、４ｍｍ程度とされる。第１の安定化路１９２の断面の幅は、全長にわたって集束路１９１の終端面の幅と同じ、３μｍ程度とされている。

集束路１９１で縮小された光束が、第１の安定化路１９２を通過することによりその光軸の中心が第１の安定化路１９２の中央に確実に調芯される。第１の安定化路１９２で光軸の中心が調芯された光束は、分波路１９３に供給される。

〔分波路１９３〕
分波路１９３は、矢印Ｘ２方向に長さＬt2に亘って形成されている。長さＬt2は、例えば、０．５ｍｍ程度とされている。分波路１９３は、その断面の幅が第１の安定化路１９２の幅と同じ３μｍから７〜８μｍ程度まで徐々に拡大するように形成されている。

分波路１９３の矢印Ｘ１方向の端面には、第１の安定化路１９２の出力端面が接続される。また、分波路１９３の矢印Ｘ２方向の端面の矢印Ｙ１方向の端部には、第１のＳ字路１９４ａが接続され、分波路１９３の矢印Ｘ２方向の端面の矢印Ｙ２方向の端部には、第１のＳ字路１９４ｂが接続される。第１のＳ字路１９４ａ、１９４ｂの幅は、３μｍ程度されており、よって、分波路１９３の第１のＳ字路１９４ａと第１のＳ字路１９４ｂとの間には、１〜２μｍ程度の間隙が発生する。この間隙に第１の安定化路１９２からの光束の光軸の中心がくることにより、光量の変動が急激な光軸付近の光束を避けて第１のＳ字路１９４ａと第１のＳ字路１９４ｂとに分割できるため、第１の安定化路１９２からの光束を略均等に分割できる。

〔第１のＳ字路１９４ａ、１９４ｂ〕
第１のＳ字路１９４ａは、矢印Ｘ２方向に長さＬs1に亘って形成されている。長さＬs1は、２ｍｍ程度とされている。また、第１のＳ字路１９４ａは、その幅が全長に亘って３μｍ程度に形成されている。さらに、第１のＳ字路１９４ａは、分波路１９３の出力端面から矢印Ｙ１方向に一定の曲率で湾曲された後、矢印Ｙ２方向に同じ曲率で湾曲され、拡大路１９６ａに接続された構成とされている。第１のＳ字路１９４ａにより分波路１９３で分波された光束の一方が矢印Ｙ１方向に変位する。

第１のＳ字路１９４ｂは、第１のＳ字路１９４ａと同様に矢印Ｘ２方向に長さＬs1に亘って形成されている。長さＬs1は、２ｍｍ程度とされている。また、第１のＳ字路１９４ｂは、その幅が全長に亘って３μｍ程度に形成されている。さらに、第１のＳ字路１９４ｂは、分波路１９３の出力端面から矢印Ｙ２方向に一定の曲率で湾曲された後、矢印Ｙ１方向に同じ曲率で湾曲され、拡大路１９６ａに接続された構成とされている。第１のＳ字路１９４ｂにより分波路１９３で分波された光束の他方が矢印Ｙ２方向に変位する。

〔第２の安定化路１９５ａ、１９５ｂ〕
第２の安定化路１９５ａは、矢印Ｘ２方向に長さＬsm2にわたって形成されている。なお、長さＬsm2は、例えば、０．５ｍｍ程度とされる。第２の安定化路１９５ａの断面の幅は、全長にわたって第１のＳ字路１９４ａの終端断面の幅と同じ、３μｍ程度とされている。

第１のＳ字路１９４ａを通過した光束が、第２の安定化路１９５ａを通過することにより第２の安定化路１９５ａの中央に確実に調芯される。第２の安定化路１９５ａで光軸の中心が調芯された光束は、拡大路１９６ａに供給される。

第２の安定化路１９５ｂは、第２の安定化路１９５ａと同様に矢印Ｘ２方向に長さＬsm2にわたって形成されている。なお、長さＬsm2は、例えば、０．５ｍｍ程度とされる。第２の安定化路１９５ｂの断面の幅は、全長にわたって第１のＳ字路１９４ｂの終端断面の幅と同じ、３μｍ程度とされている。

第１のＳ字路１９４ｂを通過した光束が、第２の安定化路１９５ｂを通過することにより第２の安定化路１９５ｂの中央に確実に調芯される。第２の安定化路１９５ｂで光軸の中心が調芯された光束は、拡大路１９６ｂに供給される。

〔拡大路１９６ａ、１９６ｂ〕
拡大路１９６ａは、矢印Ｘ２方向に長さＬt3に渡って形成されている。なお、長さＬt3は、例えば、約０．５ｍｍ程度に設定されている。また、拡大路１９６ａは、入力端、すなわち、矢印Ｘ１方向の端面の幅が第２の安定化路１９５ａの幅と同じ３μｍ程度とされている。また、出力端、すなわち、矢印Ｘ２方向の端面の幅が、例えば、３μｍ程度とされている。

拡大路１９６ａは、その幅が長さＬt1の間に３μｍから９〜１０μｍまで、一定の割合で拡大する形状とされている。断面の幅が一定の割合で徐々に拡大することにより、入力光束のスポット径が拡大する。これによって、光束の径が光ファイバ１０２の径と同じになる。拡大路１９６ａで拡大された光束は、第２のＳ字路１９７ａに供給される。

拡大路１９６ｂは、拡大路１９６ａと同様に矢印Ｘ２方向に長さＬt3に渡って形成されている。なお、長さＬt3は、例えば、約０．５ｍｍ程度に設定されている。また、拡大路１９６ｂは、入力端、すなわち、矢印Ｘ１方向の端面の幅が第２の安定化路１９５ｂの幅と同じ３μｍ程度とされている。また、出力端、すなわち、矢印Ｘ２方向の端面の幅は、例えば、３μｍ程度とされている。

拡大路１９６ｂは、その幅が長さＬt1の間に３μｍから９〜１０μｍまで、一定の割合で拡大する形状とされている。断面の幅が一定の割合で徐々に拡大することにより、入力光束が拡大する。これによって、光束の径が光ファイバ１０３の径と同じになる。拡大路１９６ａで拡大された光束は、第２のＳ字路１９７ａに供給される。

〔第２のＳ字路１９７ａ、１９７ｂ〕
第２のＳ字路１９７ａは、矢印Ｘ２方向に長さＬs2に亘って形成されている。長さＬs2は、５ｍｍ程度とされている。また、第２のＳ字路１９７ａは、その幅が全長に亘って９〜１０μｍ程度に形成されている。さらに、第２のＳ字路１９７ａは、拡大路１９６ａの出力端面から矢印Ｙ１方向に一定の曲率で湾曲された後、矢印Ｙ２方向に同じ曲率で湾曲され、光ファイバ接続部１１２に固定された光ファイバ１０２の端面に当接する構成とされている。第２のＳ字路１９４ａにより、拡大路１９６ａで拡大された光束が矢印Ｙ１方向に変位し、光ファイバ１０２の端面に導かれ光ファイバ１０２に入力させることができる。

第２のＳ字路１９７ｂは、第２のＳ字路１９７ａと同様に、矢印Ｘ２方向に長さＬs2に亘って形成されている。長さＬs2は、５ｍｍ程度とされている。また、第２のＳ字路１９７ｂは、その幅が全長に亘って９〜１０μｍ程度に形成されている。さらに、第２のＳ字路１９７ｂは、拡大路１９６ａの出力端面から矢印Ｙ２方向に一定の曲率で湾曲された後、矢印Ｙ１方向に同じ曲率で湾曲され、光ファイバ接続部１１２に固定された光ファイバ１０３の端面に当接する構成とされている。第２のＳ字路１９７ｂにより、拡大路１９６ｂで拡大された光束が矢印Ｙ２方向に変位し、光ファイバ１０３の端面に導かれ光ファイバ１０３に入力させることができる。

〔効果〕
本実施例によれば、集束路１９２で光束を集束させ、第１の安定化路１９２を通して分波路１９３に供給することにより、入力光束の光軸の中心を集束路１９２の中央に調芯し、中央に安定化させた後に、分波路１９３に供給できるため、光束を分波路１９３の略中央に入射でき、これによって、光束を第１のＳ字路１９４ａと第１のＳ字路１９４ｂに均等に分配できる。

〔第１変形例〕
図４は導波路１８１の第１変形例の構成図を示す。同図中、図３と同一構成部分には同一符号を付し、その説明は省略する。

本変形例は、導波路１８１を同一導波路チップ上に複数段にわたって形成し、光束を多分波するようにした構成とされている。なお、第１のＳ字路１９４ａ、１９４ｂ、及び第２のＳ字路１９７ａ、１９７ｂの曲率、及び、長さは出力数に応じて設定されている。例えば、出力のピッチを上記実施例と同じにする場合には、初段程、光束の変位が大きくなるように第１のＳ字路１９４ａ、１９４ｂ、及び第２のＳ字路１９７ａ、１９７ｂの曲率、及び、長さを設定する必要がある。

本変形例によれば、入力光束を均等な光量で多分岐に出力することが可能となる。

なお、本変形例では、複数段の導波路１８１を同一導波路チップ上に配置するようにしたが、導波路１８１が形成された導波路チップを複数段に亘って接続するようにしてもよい。

〔その他〕
なお、第１の安定化路１９２、第２の安定化路１９５a、１９５ｂは長い方が安定化には有利となるが、長くなると損失が大きくなるとともに、調芯の効果も低下する。このため、損失が許容できる範囲内で、調芯の効果が充分に得られる長さに設定されている。

また、本実施例では、分波路１９３は、光束を均等に二分岐する構成としたが、光束を所望の比率で分波するようにしてもよい。このとき、入力光束が集束路１９１及び第１の安定化路１９２により分波路１９３の中央に正確に調芯されるので、正確な比率で分波するようにできる。

さらに、本実施例では、第１のＳ字路１９４ａ、１９４ｂと拡大路１９６ａ、１９６ｂとの間に第２の安定化路１９５ａ、１９５ｂを設けたが、第２の安定化路１９５ａ、１９５ｂは省略してもよい。

本発明の一実施例の斜視図である。光分波装置１１３の構成図である。導波路部１８１の構成図である。導波路部１８１の第１変形例の構成図である。従来の分波装置の一例の構成図である。

符号の説明

１００光学装置
１０１、１０２、１０３光ファイバ
１１１、１１２光ファイバ接続装置、１１３光分波装置
１６１基板、１６２導波路部
１７１、１７２クラッド層、１７３コア
１８１導波路
１９１集光路、１９２第２の安定化路、１９３分波路
１９４ａ、１９４ｂ第１のＳ字路、１９５ａ、１９５ｂ第２の安定化路
１９６ａ、１９６ｂ拡大路、１９７ａ、１９７ｂ第２のＳ字路

Claims

入力された光を分波させて複数の出力導波路から出力させる光分波装置であって、
前記入力光の光束を集束させる集束路と、
前記集束路で集束された光束を分波させる分波路と、
前記分波路で分波された光を拡大して、前記複数の出力導波路に供給する拡大路とを有することを特徴とする光分波装置。
前記集束路は、その断面形状が前記入力導波路の断面形状から徐々に縮小する形状の導波路から構成されたことを特徴とする請求項１記載の光分波装置。
前記拡大部は、その断面形状が前記出力導波路の断面形状まで徐々に拡張する形状の導波路から構成されたことを特徴とする請求項１又は２記載の光分波装置。
前記集束路と前記分波路との間に設けられ、集束した光束を安定化させる第１の安定化路を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項記載の光分波装置。
前記分波路と前記拡大路との間に設けられ、集束した光束を安定化させる第２の安定化路を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載の光分波装置。
前記第１及び／又は第２の安定化路は、所定の距離、その断面形状が前記集束部の出力部の形状と同じ断面形状とされた導波路から構成されたことを特徴とする請求項５記載の光分波装置。
前記分波路と前記拡大路との間に設けられ、前記分波路の出力光束を前記拡大路に導く導波路を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項記載の光分波装置。