JP2005164448A - 静電結合を用いる圧力検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力検出装置に用いられるセンサ部は、第1電極と、第1電極と重なるように設けられる第2電極と、第2電極と重なるように設けられる第3電極と、第1電極と第2電極との間に設けられる第1誘電体層と、第2電極と第3電極との間に設けられる、第1誘電体層とは弾性率の異なる第2誘電体層とからなる。駆動部により第1電極及び第3電極が駆動される。そして、検出部が、第2電極からの静電結合による信号から、第1電極と第3電極との間にかかる圧力を差動的に検出する。
【選択図】図2
Description
2 第2電極
3 第3電極
4 第1誘電体層
5 第2誘電体層
10 発振器
11 反転アンプ
12,13 スイッチ手段
14 電流アンプ
15 同期検波部
16 スイッチ手段
20 差動アンプ
Claims (8)
- 静電結合を用いる圧力検出装置であって、該圧力検出装置は、
第1電極と、
前記第1電極と重なるように設けられる第2電極と、
前記第2電極と重なるように設けられる第3電極と、
前記第1電極と第2電極との間に設けられる第1誘電体層と、
前記第2電極と第3電極との間に設けられる、前記第1誘電体層とは弾性率の異なる第2誘電体層と、
を有するセンサ部と、
前記第1電極及び第3電極に、又は第2電極に電圧を印加する駆動部と、
前記駆動部により駆動された電極以外の電極からの静電結合による信号から、前記第1電極と第3電極との間にかかる圧力を検出する検出部と、
を具備することを特徴とする圧力検出装置。 - 請求項1に記載の圧力検出装置において、前記駆動部は、前記第1電極及び第3電極に電圧を印加し、前記第1電極に印加する電圧の波形と前記第3電極に印加する電圧の波形とは互いに反転した波形であり、前記検出部は前記第2電極からの静電結合による信号を検出することを特徴とする圧力検出装置。
- 請求項2に記載の圧力検出装置において、前記検出部は、入力インピーダンスを0に近づけた電流アンプを有することを特徴とする圧力検出装置。
- 請求項1に記載の圧力検出装置において、前記駆動部は前記第2電極に電圧を印加し、前記検出部は前記第1電極及び第3電極からの静電結合による信号の差分を検出することを特徴とする圧力検出装置。
- 請求項4に記載の圧力検出装置において、前記検出部は差動アンプを有し、前記信号の差分は、前記差動アンプの入力端に前記第1電極及び第3電極からの信号をそれぞれ入力することで検出されることを特徴とする圧力検出装置。
- 請求項1乃至請求項5の何れかに記載の圧力検出装置において、前記第1電極は、可撓性を有することを特徴とする圧力検出装置。
- 請求項1乃至請求項6の何れかに記載の圧力検出装置において、前記第1電極は、ジグザグ状のパターンを有することを特徴とする圧力検出装置。
- 請求項1乃至請求項7の何れかに記載の圧力検出装置において、複数の前記センサ部をマトリックス状に配置し、各第1電極はそれぞれX軸方向に直列に接続され、各第2電極はそれぞれX軸と直交するY軸方向に直列に接続され、各第3電極はそれぞれX軸方向に直列に接続されることで、圧力分布を測定可能に構成されることを特徴とする圧力検出装置。
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