JP2005156279A - 選択的な表面改質・洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 (1)中心波長172nmのエキシマUV光に対して透過性を有する基材の一方の面上に所定の形状の遮光パターンを有するマスクを準備するステップと、
(2)処理対象物を準備するステップと、
(3)前記処理対象物の被処理面上に前記マスクの遮光パターンを有する面を位置合わせして載置するステップと、
(4)前記マスクの上面からエキシマUV光を照射するステップとからなる選択的な表面改質・洗浄方法。
【選択図】 図2
Description
(1)(1)中心波長172nmのエキシマUV光に対して透過性を有する基材の一方の面上に所定の形状の遮光パターンを有するマスクを準備するステップと、
(2)処理対象物を準備するステップと、
(3)前記処理対象物の被処理面上に前記マスクの遮光パターンを有する面を位置合わせして載置するステップと、
(4)前記マスクの上面からエキシマUV光を照射するステップとからなる選択的な表面改質・洗浄方法。
(2)前記マスク用基材は石英ガラス、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウムからなる群から選択される材料から形成されている。
(3)前記遮光パターンはフォトレジスト又は金属膜から形成されており、その厚さが10μm〜200μmの範囲内である。
(4)前記処理対象物はポリジメチルシロキサン(PDMS)から形成されている。
(5)(1)中心波長172nmのエキシマUV光に対して透過性を有する基材からなるマスクを準備するステップと、
(2)一方の表面に所定の形状と、深さ及び幅を有するチャネル状の凹部が形成された処理対象物を準備するステップと、
(3)前記処理対象物の凹部形成面上に前記マスクを載置するステップと、
(4)前記マスクの上面からエキシマUV光を照射することにより前記処理対象物の凹部内表面を親水化するステップとからなる選択的な表面改質・洗浄方法。
(6)前記マスク用基材は石英ガラス、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウムからなる群から選択される材料から形成されている。
(7)前記処理対象物はポリジメチルシロキサン(PDMS)から形成されたマイクロチップである。
3,3A 基材
5 レジストパターン
7,7A 処理対象物
9 処理面
11 空気層
13 非処理面
15 チャネル(凹部)
Claims (7)
- 選択的な表面改質・洗浄方法であって、
(1)中心波長172nmのエキシマUV光に対して透過性を有する基材の一方の面上に所定の形状の遮光パターンを有するマスクを準備するステップと、
(2)処理対象物を準備するステップと、
(3)前記処理対象物の被処理面上に前記マスクの遮光パターンを有する面を位置合わせして載置するステップと、
(4)前記マスクの上面からエキシマUV光を照射するステップとからなることを特徴とする選択的な表面改質・洗浄方法 - 前記マスク用基材は石英ガラス、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウムからなる群から選択される材料から形成されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記遮光パターンはフォトレジスト又は金属膜から形成されており、その厚さが10μm〜200μmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記処理対象物はポリジメチルシロキサン(PDMS)から形成されていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 選択的な表面改質・洗浄方法であって、
(1)中心波長172nmのエキシマUV光に対して透過性を有する基材からなるマスクを準備するステップと、
(2)一方の表面に所定の形状と、深さ及び幅を有するチャネル状の凹部が形成された処理対象物を準備するステップと、
(3)前記処理対象物の凹部形成面上に前記マスクを載置するステップと、
(4)前記マスクの上面からエキシマUV光を照射することにより前記処理対象物の凹部内表面を親水化するステップとからなることを特徴とする選択的な表面改質・洗浄方法 - 前記マスク用基材は石英ガラス、サファイア、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウムからなる群から選択される材料から形成されていることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 前記処理対象物はポリジメチルシロキサン(PDMS)から形成されたマイクロチップであることを特徴とする請求項5に記載の方法。
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