JP2005156243A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 被測定光を波長分離手段で複数の波長成分に分離して、複数の受光手段でそれぞれ受光し、各波長成分の分光強度を求めるようにした分光強度測定装置において、
   校正時に前記各受光手段を照明する補正用照明手段と、
   前記校正時には、前記補正用照明手段を点灯し、照明された各受光手段からの出力レベルを各受光手段に設定される補正係数と演算した結果が、予め記憶されている基準値と一致するように前記補正係数を校正し、測定時には、各受光手段からの出力レベルを校正された補正係数と演算し、前記各波長成分の分光強度を求める演算制御手段とを含むことを特徴とする分光強度測定装置。
2. 前記受光手段に隣接して、前記補正用照明手段からの照明光のモニター用に、前記受光手段よりもゲイン変動が小さいモニター用受光手段をさらに備え、
   前記演算制御手段は、前記複数の受光手段から得た補正用出力を前記モニター用受光手段の出力で相対化することを特徴とする請求項１記載の分光強度測定装置。
3. 前記モニター用受光手段の後段のアンプのゲインを高くするとともに、該モニター用受光手段における電流電圧変換回路の帰還抵抗の抵抗値を、１ＭΩ以下とすることを特徴とする請求項２記載の分光強度測定装置。
4. 前記補正用照明手段の点灯中は、前記被測定光を遮断する遮断手段を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の分光強度測定装置。
5. 前記補正用照明手段による照明光は、該補正用照明手段からの直達光であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の分光強度測定装置。
6. 被測定光を複数の波長成分に分離して、各波長成分の分光強度を求めるようにした分光強度測定装置を校正するための方法において、
   前記各波長成分に分離された被測定光をそれぞれ受光する複数の受光手段を、校正時に照明する補正用照明手段を設け、
   前記補正用照明手段を点灯し、照明された各受光手段からの出力レベルを各受光手段に設定される補正係数と演算した結果が、予め記憶されている基準値と一致するように前記補正係数を校正し、
   測定時には、各受光手段からの出力レベルを校正された補正係数と演算し、前記各波長成分の分光強度を求めることを特徴とする分光強度測定装置の校正方法。
7. 照明手段からの照明光によって照明された被測定試料の反射光および前記照明光そのものである参照光を、波長分離手段でそれぞれ複数の波長成分に分離して、前記反射光および参照光毎に設けられた複数の受光手段でそれぞれ受光し、演算制御手段で相互に対応する各波長成分の受光レベルの相対比を求めることで、前記被測定試料の分光反射特性を求めるようにした分光反射特性測定装置において、
   校正時に前記反射光用および参照光用の各受光手段を照明する補正用照明手段を備え、
   前記演算制御手段は、前記校正時には、補正用照明手段を点灯し、照明された各受光手段からの出力レベルの相対比を各受光手段に設定される補正係数と演算した結果が、予め記憶されている基準値と一致するように前記補正係数を校正し、測定時には、各受光手段からの出力レベルの相対比を校正された補正係数と演算し、前記各波長成分の相対比を求めることを特徴とする分光反射特性測定装置。
8. 前記補正用照明手段による照明光は、該補正用照明手段からの直達光であることを特徴とする請求項７記載の分光反射特性測定装置。
9. 照明手段からの照明光によって照明された被測定試料の反射光および前記照明光そのものである参照光を、それぞれ複数の波長成分に分離して受光し、相互に対応する各波長成分の受光レベルの相対比を求めることで、前記被測定試料の分光反射特性を求めるようにした分光反射特性測定装置を校正するための方法において、
   前記反射光および参照光の各波長成分に分離された被測定光をそれぞれ受光する複数の受光手段を、校正時に照明する補正用照明手段を設け、
   前記補正用照明手段を点灯し、照明された反射光および参照光用の各受光手段からの相互に対応する各波長成分の受光レベルの相対比を、前記各波長成分に設定される補正係数と演算した結果が、予め記憶されている基準値と一致するように前記補正係数を校正し、
   測定時には、前記各波長成分の出力の相対比を校正された補正係数と演算し、前記被測定試料の分光反射特性を求めることを特徴とする分光反射特性測定装置の校正方法。