JP2005150298A - 微小タイル状素子、接続構造、接続方法、薄膜デバイス及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 微小タイル状素子と最終基板とを、微小タイル状素子へダメージを与えることなく、小さな圧着力にて容易に電気的に接続し、信頼性を大幅に向上させる。
【解決手段】 面発光型半導体レーザ113が設けられた微小タイル状素子161が最終基板171に接続された接続構造であって、前記微小タイル状素子161は、前記最終基板171の端子電極172と電気的に接続する表面電極162を有し、前記最終基板171の端子電極172は、前記表面電極162側へ突出するスパイク状に形成された複数の突起172aを有し、これら突起172aが前記表面電極162に加圧されて圧着されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】 面発光型半導体レーザ113が設けられた微小タイル状素子161が最終基板171に接続された接続構造であって、前記微小タイル状素子161は、前記最終基板171の端子電極172と電気的に接続する表面電極162を有し、前記最終基板171の端子電極172は、前記表面電極162側へ突出するスパイク状に形成された複数の突起172aを有し、これら突起172aが前記表面電極162に加圧されて圧着されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、微小タイル状素子、微小タイル状素子と最終基板との接続構造、接続方法、微小タイル状素子を備えた薄膜デバイス及び電子機器に関するものである。
面発光型半導体レーザは、2次元集積化が可能な発光素子であり、次世代の高速かつ大容量の信号伝達手段に用いられる光源として、光並列通信及び光並列演算などへの応用が期待されている。この面発光型半導体レーザは、半導体基板上に設けられた共振器から、その半導体基板の共振器設置面に対して垂直方向にレーザ光を出射する。すなわち、この共振器は、レーザ共振器としての機能を有し、下側反射層、活性層、上側反射層が順に積層することにより構成される。
面発光型半導体レーザを駆動させるためには、レーザ表面から活性層へと電流を注入する必要がある。このため、面発光型半導体レーザには、活性層に電流を注入するための一対の電極(アノード電極とカソード電極)が形成されている。
また、面発光型半導体レーザは、化合物半導体基板上に形成され、シリコン半導体基板で形成することができない。一方、CPU及び記憶素子などの半導体集積回路は一般にシリコン半導体基板上に形成される。そこで集積回路などが形成されたシリコン半導体基板の表面に面発光型半導体レーザを設けるために、エピタキシャルリフトオフ(ELO)法を用いる方法が考え出されている。この方法は、一旦、化合物半導体基板上に面発光型半導体レーザ素子を形成し、その基板から面発光型半導体レーザ素子を微小なタイル形状に切り離して微小タイル状素子を形成し、その微小タイル状素子をシリコン半導体基板(最終基板)の所望位置に貼り付けるものである。
また、薄膜デバイスからなる微小タイル状素子をシリコン半導体基板からなる最終基板に貼り付ける際に、微小タイル状素子の下面に設けた裏面電を、最終基板の表面に設けた端子電極に、ろう材としてはんだ等を用い、加熱圧着することが行われている(例えば、特許文献1、非特許文献1参照)。
特開平7−30209号公報
IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS,VOL.9,NO.7,JULY 1997
また、薄膜デバイスからなる微小タイル状素子をシリコン半導体基板からなる最終基板に貼り付ける際に、微小タイル状素子の下面に設けた裏面電を、最終基板の表面に設けた端子電極に、ろう材としてはんだ等を用い、加熱圧着することが行われている(例えば、特許文献1、非特許文献1参照)。
しかしながら、上記のように、はんだ等をろう材として用い、加熱圧着すると、はんだによって大きなひずみが引き起こされ、薄膜状の微小タイル状素子では、その素子部分に応力の影響が及び、信頼性を損ねる恐れがある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、微小タイル状素子及び最終基板の電極同士を、微小タイル状素子へダメージを与えることなく、小さな圧着力にて容易に接続し、信頼性を大幅に向上させることが可能な微小タイル状素子、接続構造、接続方法、薄膜デバイス及び電子機器を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の微小タイル状素子は、最終基板に接続される微小タイル状素子であって、前記最終基板の端子電極と電気的に接続する表面電極を有し、該表面電極には、前記最終基板の端子電極側へ突出するスパイク状に形成された複数の突起を有することを特徴とする。
本発明の微小タイル状素子によれば、最終基板の端子電極に接続する表面電極に、複数のスパイク状に形成された突起が設けられているので、小さな圧着力により突起を端子電極に圧着させて電気的に接続させることができる。したがって、微小タイル状素子及び最終基板の電極同士の接続時に、大きな圧着力により微小タイル状素子などにダメージを与えて破損等の不具合を起こすことを回避することができ、高い信頼性を確保することができる。
また、本発明は、前記表面電極に、この表面電極と前記端子電極とを接着する樹脂膜が設けられていることが好ましい。
このように、表面電極に樹脂膜を設けたので、表面電極の突起を端子電極に圧着させるとともに、樹脂膜によって表面電極と端子電極とを接着することができ、接続強度をさらに高めることができる。
このように、表面電極に樹脂膜を設けたので、表面電極の突起を端子電極に圧着させるとともに、樹脂膜によって表面電極と端子電極とを接着することができ、接続強度をさらに高めることができる。
さらに、前記突起は、その高さ寸法が前記樹脂膜の厚さ寸法よりも大きいことが好ましい。
これにより、突起を確実に端子電極へ当接させて圧着させることができる。
これにより、突起を確実に端子電極へ当接させて圧着させることができる。
本発明の接続構造は、微小タイル状素子と最終基板との接続構造であって、前記微小タイル状素子は、前記最終基板の端子電極と電気的に接続する表面電極を有し、前記最終基板の端子電極は、前記表面電極側へ突出するスパイク状に形成された複数の突起を有し、これら突起が前記表面基板に加圧されて圧着されていることを特徴とする。
本発明の接続構造によれば、微小タイル状素子の表面電極あるいは最終基板の端子電極のいずれかに、複数のスパイク状に形成された突起が設けられ、これら突起が対向側の電極に圧着されて電気的に接続されているので、高い信頼性を確保することができる。すなわち、本発明の接続構造によれば、微小タイル状素子及び最終基板の電極同士の接続時に、大きな圧着力により微小タイル状素子などにダメージを与えて破損等の不具合を起こすことを回避することができる。
また、本発明は、前記最終基板の端子電極の表面に樹脂膜が設けられ、前記端子電極と前記微小タイル状素子の表面電極が前記樹脂膜によって接着されていることが好ましい。
このように、樹脂膜による接着によって端子電極と表面電極との確実な接続状態が得られ、より高い信頼性を確保することができる。
このように、樹脂膜による接着によって端子電極と表面電極との確実な接続状態が得られ、より高い信頼性を確保することができる。
さらに、前記突起は、その高さ寸法が前記樹脂膜の厚さ寸法よりも大きいことが好ましい。
これにより、突起が対向側の電極に確実に圧着されるので、信頼性の高い接続状態を確保することができる。
これにより、突起が対向側の電極に確実に圧着されるので、信頼性の高い接続状態を確保することができる。
本発明の接続方法は、微小タイル状素子を最終基板に接続する接続方法であって、前記微小タイル状素子に設けられた表面電極又は前記最終基板に設けられた端子電極のいずれか一方に、スパイク状の複数の突起を形成し、前記表面電極を前記端子電極に当接させて加圧し、前記突起を対向側の前記表面電極又は前記端子電極に圧着させて電気的に接続することを特徴とする。
本発明の接続方法によれば、表面電極を端子電極に当接させて加圧することにより、突起を対向側の電極に確実に圧着させて、表面電極と端子電極とを確実に電気的に接続することができ、高い信頼性を確保することができる。すなわち、本発明の接続方法によれば、微小タイル状素子及び最終基板の電極同士の接続時に、大きな圧着力により微小タイル状素子などにダメージを与えて破損等の不具合を起こすことを回避することができる。
また、本発明は、前記突起を対向側の前記表面電極又は前記端子電極に圧着させる際に、圧着箇所を加熱することが好ましい。
このように、突起を対向側の電極に圧着させる際に、加圧とともに加熱することにより、より良好な圧着状態を得ることができ、さらなる信頼性の向上を図ることができる。
このように、突起を対向側の電極に圧着させる際に、加圧とともに加熱することにより、より良好な圧着状態を得ることができ、さらなる信頼性の向上を図ることができる。
また、前記突起を対向側の前記表面電極又は前記端子電極に圧着させる際に、超音波振動を付与することが好ましい。
このように、突起を対向側の電極に圧着させる際に、加圧とともに超音波振動を付与することにより、より良好な圧着状態を得ることができ、さらなる信頼性の向上を図ることができる。
このように、突起を対向側の電極に圧着させる際に、加圧とともに超音波振動を付与することにより、より良好な圧着状態を得ることができ、さらなる信頼性の向上を図ることができる。
さらに、前記突起を、デンドライト析出条件にて金属メッキを施すことにより形成することが好ましい。
このように、金属メッキによって電極の表面に容易に突起を形成することができる。
このように、金属メッキによって電極の表面に容易に突起を形成することができる。
また、前記突起の対向側の前記表面電極又は前記端子電極に、前記突起の高さ寸法よりも厚さ寸法が小さい樹脂膜を設けておくことが好ましい。
このように、樹脂膜を設けておくことにより、互いの電極同士を接続させた際に、これら電極同士が樹脂膜によって接着され、さらに強固な接続が行われ、信頼性の向上を図ることができる。
このように、樹脂膜を設けておくことにより、互いの電極同士を接続させた際に、これら電極同士が樹脂膜によって接着され、さらに強固な接続が行われ、信頼性の向上を図ることができる。
一方、本発明の薄型デバイスは、上記接続構造によって前記微小タイル状素子が前記最終基板に接続されてなることを特徴とする。
また、本発明の電子機器は、上記薄型デバイスを備えたことを特徴とする。
これら、薄型デバイス及び電子機器によれば、微小タイル状素子が最終基板に電気的に確実に接続された信頼性の高い薄型デバイス及び電子機器とすることができる。
また、本発明の電子機器は、上記薄型デバイスを備えたことを特徴とする。
これら、薄型デバイス及び電子機器によれば、微小タイル状素子が最終基板に電気的に確実に接続された信頼性の高い薄型デバイス及び電子機器とすることができる。
(薄膜デバイス)
<第1実施形態>
以下、本発明の第1実施形態に係る薄膜デバイスについて、図1を参照して説明する。本実施形態では、薄膜デバイスの一例として面発光型半導体レーザを挙げているが、本発明はこれに限定されるものではなく、薄膜デバイスとして受光素子又はその他の機能素子を適用することができる。
<第1実施形態>
以下、本発明の第1実施形態に係る薄膜デバイスについて、図1を参照して説明する。本実施形態では、薄膜デバイスの一例として面発光型半導体レーザを挙げているが、本発明はこれに限定されるものではなく、薄膜デバイスとして受光素子又はその他の機能素子を適用することができる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る薄膜デバイスの構造を示す模式断面図である。本薄膜デバイスは、半導体素子である面発光型半導体レーザ113を備える微小タイル状素子161を有する。微小タイル状素子161は、最終基板171に接続されている。
微小タイル状素子161に形成されている面発光型半導体レーザ113は、MOSトランジスタなどでスイッチング駆動されるものであり、下側反射層、活性層、上側反射層を順に積層した構造からなる共振器を有する。下側反射層及び上側反射層は、N型又はP型のAlGaAs多層膜からなるDBR(Distributed Bragg Reflector)ミラーを構成している。
また、微小タイル状素子161は、例えば厚さが20μm以下であり、縦横の大きさが数十μmから数百μmの板状部材である。最終基板171には微少タイル状素子161に設けられた面発光型半導体レーザ113を駆動する駆動回路が設けられており、その駆動回路は電気配線(図示せず)を介して微少タイル状素子161に接続されている。そして、上記の微小タイル状素子161に形成されている面発光型半導体レーザは、高速に動作することができ、大容量の光信号を出射することができる。
微小タイル状素子161は、その裏面に表面電極162を有している。また、最終基板171は、その上面に端子電極172を有している。そして、この微小タイル状素子161の表面電極162と最終基板171の端子電極172とが電気的に接続されている。
端子電極172は、その表面に、複数のスパイク状(針状)の突起172aを有しており、これら突起172aが微小タイル状素子161の表面電極162に圧着されて接続されている。
端子電極172は、その表面に、複数のスパイク状(針状)の突起172aを有しており、これら突起172aが微小タイル状素子161の表面電極162に圧着されて接続されている。
このように、上記の実施形態によれば、最終基板171の端子電極172に、複数の突起172aが設けられているので、小さな圧着力により突起172aを表面電極162に圧着させて電気的に接続させることができる。
これにより、微小タイル状素子161と最終基板171との電極同士を、微小タイル状素子161へダメージを与えることなく、小さな圧着力にて容易に接続することができ、大きな圧着力による破損等の不具合をなくして、高い信頼性を確保することができる。
これにより、微小タイル状素子161と最終基板171との電極同士を、微小タイル状素子161へダメージを与えることなく、小さな圧着力にて容易に接続することができ、大きな圧着力による破損等の不具合をなくして、高い信頼性を確保することができる。
<第2実施形態>
図2は、本発明の第2実施形態に係る薄膜デバイスの構造を示す模式断面図である。本薄膜デバイスも、半導体素子である面発光型半導体レーザ113を備える微小タイル状素子161を有し、微小タイル状素子161は、最終基板171に接続されている。
図2は、本発明の第2実施形態に係る薄膜デバイスの構造を示す模式断面図である。本薄膜デバイスも、半導体素子である面発光型半導体レーザ113を備える微小タイル状素子161を有し、微小タイル状素子161は、最終基板171に接続されている。
微小タイル状素子161も、その裏面に表面電極162を有している。また、最終基板171も、その上面に端子電極172を有している。そして、この微小タイル状素子161の表面電極162と最終基板171の端子電極172とが電気的に接続されている。
端子電極172は、その表面に、複数のスパイク状(針状)の突起172aを有しており、これら突起172aが微小タイル状素子161の表面電極162に圧着されて接続されている。
また、微小タイル状素子161の表面電極162と最終基板171の端子電極172との間には、樹脂膜163が設けられ、この樹脂膜163によって表面電極162と端子電極172とが接着されている。なお、突起172aは、その高さ寸法が樹脂膜163の厚さ寸法よりも大きくされ、突起172aが確実に表面電極162へ当接されて圧着されている。
このように、上記の実施形態によれば、表面電極162に樹脂膜163を設けたので、端子電極172の突起172aを表面電極162に圧着させるとともに、樹脂膜163によって表面電極162と端子電極172とを接着させることができ、接続強度をさらに高めることができる。
なお、上記の第1、第2実施形態では、最終基板171の端子電極172に、複数のスパイク状の突起172aを設けたが、これら突起172aは、微小タイル状素子161の表面電極162に設けても同様な効果を得ることができる。
なお、上記の第1、第2実施形態では、最終基板171の端子電極172に、複数のスパイク状の突起172aを設けたが、これら突起172aは、微小タイル状素子161の表面電極162に設けても同様な効果を得ることができる。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態として、上記のような微小タイル状素子161を用いたチップ間光インターコネクション回路について説明する。
本実施形態に係るチップ間光インターコネクション回路は、基板上に実装された複数の集積回路チップ(ICチップ、LSIチップなど)相互間を光導波路30を介して接続するものである。図3は本実施形態に係るチップ間光インターコネクション回路を示す概略斜視図である。図4は図3に示すチップ間光インターコネクション回路の要部断面図である。図5は図4の要部平面図である。
次に、第3実施形態として、上記のような微小タイル状素子161を用いたチップ間光インターコネクション回路について説明する。
本実施形態に係るチップ間光インターコネクション回路は、基板上に実装された複数の集積回路チップ(ICチップ、LSIチップなど)相互間を光導波路30を介して接続するものである。図3は本実施形態に係るチップ間光インターコネクション回路を示す概略斜視図である。図4は図3に示すチップ間光インターコネクション回路の要部断面図である。図5は図4の要部平面図である。
基板10の上面には、複数のLSI201e,201fと、複数の光導波路30が設けられている。LSI201e,201fは、集積回路チップからなり、図4に示すように、表面(LSI回路形成面)を下にしてフリップチップ実装されている。そして、LSI201e,201fの表面(LSI回路形成面)には、図4及び図5に示すように、発光機能又は受光機能を有する微小タイル状素子200が貼り付けられている。この微小タイル状素子200は、例えば数百μm四方以下の面積と数十μm以下の厚さをもつものとする。
LSI201e,201fへの微小タイル状素子200の実装は、例えばシリコンウェハからLSI201e,201fなどをダイシングする前に、各LSI201e,201fに微小タイル状素子200を接続することとしてもよい。微小タイル状素子200の製造方法及びその実装方法については、後で詳細に説明する。
基板10としては、ガラスエポキシ基板、セラミック、ガラス、プラスチック、半導体基板、シリコンなど任意のものを適用することができる。
基板10としては、ガラスエポキシ基板、セラミック、ガラス、プラスチック、半導体基板、シリコンなど任意のものを適用することができる。
LSI201e,201fの表面(LSI回路形成面)に接続された微小タイル状素子200は、その接続箇所にてLSI回路と電気的に接続されている。
つまり、前述したように、微小タイル状素子200は、その裏面に、表面電極を備え、また、LSI201e,201fは、その表面に、複数のスパイク状の突起が形成された端子電極を備えている。そして、LSI201e,201fの端子電極に、微小タイル状素子200の表面電極を当接させて加圧することにより、端子電極の突起が表面電極に圧着し、これら電極同士が電気的に接続されている。
つまり、前述したように、微小タイル状素子200は、その裏面に、表面電極を備え、また、LSI201e,201fは、その表面に、複数のスパイク状の突起が形成された端子電極を備えている。そして、LSI201e,201fの端子電極に、微小タイル状素子200の表面電極を当接させて加圧することにより、端子電極の突起が表面電極に圧着し、これら電極同士が電気的に接続されている。
LSI201e,201fは、基板10上の所望位置に設けられたボンディングパッド(図示せず)と、凸形状の導電部材であるバンプ212とを介して、基板10上にフリップチップ実装されている。したがって、LSI201e,201fは、ボンディングパッド及びバンプ212を介して、基板10に設けられた回路と電気的に接続されている。
また、図5に示すように平面的に見ると、LSI201e(201f)に貼り付けられた微小タイル状素子200と光導波路30とが重なるように、微小タイル状素子200の直下に光導波路30が配置されている。光導波路30は、基板10の表面に形成された光導波路材からなるものである。そして、光導波路30は、LSI201eの微小タイル状素子200とLSI201fの微小タイル状素子200とを繋ぐように基板10上に形成され、LSI201eの微小タイル状素子200とLSI201fの微小タイル状素子200とを光学的に接続する。光導波路30をなす光導波路材としては、透明樹脂あるいはゾルゲルガラスを適用することができる。
このような構成により、例えば、LSI201eの出力信号は、LSI201eに貼り付けられた微小タイル状素子200に送られる。その出力信号は微小タイル状素子200で光パルス信号に変換される。微小タイル状素子200から放射された光パルス信号は、微小タイル状素子200の直下にある光導波路30に入射し、その光導波路30を伝播する。光導波路30を伝播した光パルス信号は、光導波路30の端部であってLSI201fに貼り付けられた微小タイル状素子(図示せず)に入射し、その微小タイル状素子で電気信号に変換され、LSI201fの入力信号となる。
したがって、このチップ間光インターコネクション回路によれば、LSI201e,201fに微小タイル状素子200を貼り付けたことにより、LSI201e,201fの外形をほとんど大きくさせずに、LSI201e,201fの入出力信号を光信号に変換して極めて高速に伝送することができる。
また、LSI201e,201fに貼り付けた微小タイル状素子200と光導波路30とが重なるように配置しているので、簡便で極めて製造し易い構成でありながら、極めてコンパクト化することができる。
また、最終基板であるLSI201e,201fの端子電極に複数の突起を設けたので、これら突起を小さな圧着力にて微小タイル状素子200の表面電極に圧着させて電気的に接続させることができる。
これにより、微小タイル状素子200及びLSI201e,201fの電極同士を、微小タイル状素子200へダメージを与えることなく、小さな圧着力にて容易に接続することができ、大きな圧着力による破損等の不具合をなくして、高い信頼性を確保することができる。
これにより、微小タイル状素子200及びLSI201e,201fの電極同士を、微小タイル状素子200へダメージを与えることなく、小さな圧着力にて容易に接続することができ、大きな圧着力による破損等の不具合をなくして、高い信頼性を確保することができる。
なお、1つの光導波路30に、受光機能をもつ複数の微小タイル状素子200を接続して、光バスを形成してもよい。また、例えば複数のLSI201e,201fで共有されるクロック信号の配信を光導波路30を用いて行ってもよい。
(薄膜デバイスの製造方法)
次に、上記薄膜デバイスの製造方法について、図6から図14を参照して説明する。
まず、第1実施形態にて示した薄膜デバイスを製造する場合について説明する。
本製造方法は、基本的にエピタキシャルリフトオフ法に基づくものである。また本製造方法では、微小タイル状素子としての化合物半導体デバイス(化合物半導体素子)を基板(最終基板)となるシリコン・LSIチップ上に接続する場合について説明するが、半導体デバイスの種類及びLSIチップの種類に関係なく本発明を適用することができる。なお、本実施形態における「半導体基板」とは、半導体物資から成る物体をいうが、板形状の基板に限らず、どのような形状であっても半導体物資であれば「半導体基板」に含まれる。
次に、上記薄膜デバイスの製造方法について、図6から図14を参照して説明する。
まず、第1実施形態にて示した薄膜デバイスを製造する場合について説明する。
本製造方法は、基本的にエピタキシャルリフトオフ法に基づくものである。また本製造方法では、微小タイル状素子としての化合物半導体デバイス(化合物半導体素子)を基板(最終基板)となるシリコン・LSIチップ上に接続する場合について説明するが、半導体デバイスの種類及びLSIチップの種類に関係なく本発明を適用することができる。なお、本実施形態における「半導体基板」とは、半導体物資から成る物体をいうが、板形状の基板に限らず、どのような形状であっても半導体物資であれば「半導体基板」に含まれる。
<第1工程>
図6は薄膜デバイスの製造方法の第1工程を示す概略断面図である。図6において、基板110は、半導体基板であり、例えばガリウム・ヒ素化合物半導体基板とする。基板110における最下位層には、犠牲層111を設けておく。犠牲層111は、アルミニウム・ヒ素(AlAs)からなり、厚さが例えば数百nmの層である。
例えば、犠牲層111の上層には機能層112を設ける。機能層112の厚さは、例えば1μmから10(20)μm程度とする。そして、機能層112において半導体デバイス(面発光型半導体レーザ)113を作成する。半導体デバイス113としては、本実施形態の面発光型半導体レーザ113などを設ける。この半導体デバイス113は、何れも基板110上に多層のエピタキシャル層を積層して素子が形成されたものである。また、各半導体デバイス113には、電極(アノード電極及びカソード電極など)も形成し、絶縁層なども形成し、動作テストも行う。
図6は薄膜デバイスの製造方法の第1工程を示す概略断面図である。図6において、基板110は、半導体基板であり、例えばガリウム・ヒ素化合物半導体基板とする。基板110における最下位層には、犠牲層111を設けておく。犠牲層111は、アルミニウム・ヒ素(AlAs)からなり、厚さが例えば数百nmの層である。
例えば、犠牲層111の上層には機能層112を設ける。機能層112の厚さは、例えば1μmから10(20)μm程度とする。そして、機能層112において半導体デバイス(面発光型半導体レーザ)113を作成する。半導体デバイス113としては、本実施形態の面発光型半導体レーザ113などを設ける。この半導体デバイス113は、何れも基板110上に多層のエピタキシャル層を積層して素子が形成されたものである。また、各半導体デバイス113には、電極(アノード電極及びカソード電極など)も形成し、絶縁層なども形成し、動作テストも行う。
<第2工程>
図7は薄膜デバイスの製造方法の第2工程を示す概略断面図である。本工程においては、各半導体デバイス113を分割するように分離溝121を形成する。分離溝121は、少なくとも犠牲層111に到達する深さをもつ溝とする。例えば、分離溝の幅及び深さともに、10μmから数百μmとする。また、分離溝121は、後述するところの選択エッチング液が当該分離溝121を流れるように、行き止まりなく繋がっている溝とする。さらに、分離溝121は、碁盤のごとく格子状に形成することが好ましい。
また、分離溝121相互の間隔を数十μmから数百μmとすることで、分離溝121によって分割・形成される各半導体デバイス113のサイズを、数十μmから数百μm四方の面積をもつものとする。分離溝121の形成方法としては、フォトリソグラフィとウェットエッチングによる方法、またはドライエッチングによる方法を用いる。また、クラックが基板に生じない範囲でU字形溝のダイシングで分離溝121を形成してもよい。
図7は薄膜デバイスの製造方法の第2工程を示す概略断面図である。本工程においては、各半導体デバイス113を分割するように分離溝121を形成する。分離溝121は、少なくとも犠牲層111に到達する深さをもつ溝とする。例えば、分離溝の幅及び深さともに、10μmから数百μmとする。また、分離溝121は、後述するところの選択エッチング液が当該分離溝121を流れるように、行き止まりなく繋がっている溝とする。さらに、分離溝121は、碁盤のごとく格子状に形成することが好ましい。
また、分離溝121相互の間隔を数十μmから数百μmとすることで、分離溝121によって分割・形成される各半導体デバイス113のサイズを、数十μmから数百μm四方の面積をもつものとする。分離溝121の形成方法としては、フォトリソグラフィとウェットエッチングによる方法、またはドライエッチングによる方法を用いる。また、クラックが基板に生じない範囲でU字形溝のダイシングで分離溝121を形成してもよい。
<第3工程>
図8は薄膜デバイスの製造方法の第3工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131を基板110の表面(半導体デバイス113側)に貼り付ける。中間転写フィルム131は、表面に粘着剤が塗られたフレキシブルな帯形状のフィルムである。
図8は薄膜デバイスの製造方法の第3工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131を基板110の表面(半導体デバイス113側)に貼り付ける。中間転写フィルム131は、表面に粘着剤が塗られたフレキシブルな帯形状のフィルムである。
<第4工程>
図9は薄膜デバイスの製造方法の第4工程を示す概略断面図である。本工程においては、分離溝121に選択エッチング液141を注入する。本工程では、犠牲層111のみを選択的にエッチングするために、選択エッチング液141として、アルミニウム・ヒ素に対して選択性が高い低濃度の塩酸を用いる。
図9は薄膜デバイスの製造方法の第4工程を示す概略断面図である。本工程においては、分離溝121に選択エッチング液141を注入する。本工程では、犠牲層111のみを選択的にエッチングするために、選択エッチング液141として、アルミニウム・ヒ素に対して選択性が高い低濃度の塩酸を用いる。
<第5工程>
図10は薄膜デバイスの製造方法の第5工程を示す概略断面図である。本工程においては、第4工程での分離溝121への選択エッチング液141の注入後、所定時間の経過により、犠牲層111のすべてを選択的にエッチングして基板110から取り除く。
図10は薄膜デバイスの製造方法の第5工程を示す概略断面図である。本工程においては、第4工程での分離溝121への選択エッチング液141の注入後、所定時間の経過により、犠牲層111のすべてを選択的にエッチングして基板110から取り除く。
<第6工程>
図11は薄膜デバイスの製造方法の第6工程を示す概略断面図である。第5工程で犠牲層111が全てエッチングされると、基板110から機能層112が切り離される。そして、本工程において、中間転写フィルム131を基板110から引き離すことにより、中間転写フィルム131に貼り付けられている機能層112を基板110から引き離す。
これらにより、半導体デバイス113が形成された機能層112は、分離溝121の形成及び犠牲層111のエッチングによって分割されて、所定の形状(例えば、微小タイル形状)の半導体素子(上記実施形態の「微小タイル状素子」)とされ、中間転写フィルム131に貼り付け保持されることとなる。ここで、機能層の厚さが例えば1μmから8μm、大きさ(縦横)が例えば数十μmから数百μmであるのが好ましい。
図11は薄膜デバイスの製造方法の第6工程を示す概略断面図である。第5工程で犠牲層111が全てエッチングされると、基板110から機能層112が切り離される。そして、本工程において、中間転写フィルム131を基板110から引き離すことにより、中間転写フィルム131に貼り付けられている機能層112を基板110から引き離す。
これらにより、半導体デバイス113が形成された機能層112は、分離溝121の形成及び犠牲層111のエッチングによって分割されて、所定の形状(例えば、微小タイル形状)の半導体素子(上記実施形態の「微小タイル状素子」)とされ、中間転写フィルム131に貼り付け保持されることとなる。ここで、機能層の厚さが例えば1μmから8μm、大きさ(縦横)が例えば数十μmから数百μmであるのが好ましい。
<第7工程>
図12は薄膜デバイスの製造方法の第7工程を示す概略断面図である。本工程においては、微小タイル状素子161の裏面に、金からなる表面電極162を形成するとともに、微小タイル状素子161が貼り付けられた中間転写フィルム131を移動させることで、最終基板171の所望の位置に微小タイル状素子161をアライメントする。ここで、最終基板171は、例えば、シリコン半導体からなり、図示しないLSI領域が形成されている。
図12は薄膜デバイスの製造方法の第7工程を示す概略断面図である。本工程においては、微小タイル状素子161の裏面に、金からなる表面電極162を形成するとともに、微小タイル状素子161が貼り付けられた中間転写フィルム131を移動させることで、最終基板171の所望の位置に微小タイル状素子161をアライメントする。ここで、最終基板171は、例えば、シリコン半導体からなり、図示しないLSI領域が形成されている。
また、最終基板171は、その上面に端子電極172を有している。この端子電極172は、その表面に、複数のスパイク状(針状)の突起172aを有している。
ここで、この端子電極172は、金から形成されたもので、デンドライト析出条件にて金をメッキすることにより、表面に突起172aが形成される。なお、突起172aの高さ寸法は、1μm以下とすることが好ましい。
また、この突起172aは、メッキ法のほか、例えば、蒸着法によっても形成することができる。
ここで、この端子電極172は、金から形成されたもので、デンドライト析出条件にて金をメッキすることにより、表面に突起172aが形成される。なお、突起172aの高さ寸法は、1μm以下とすることが好ましい。
また、この突起172aは、メッキ法のほか、例えば、蒸着法によっても形成することができる。
<第8工程>
図13は薄膜デバイスの製造方法の第8工程を示す概略断面図である。本工程は、微小タイル状素子161と最終基板171との接続工程であり、最終基板171の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子161を、中間転写フィルム131越しに裏押し治具181で押しつけて最終基板171に接続する。
ここで、最終基板171には、その端子電極172に、スパイク状の複数の突起172aが形成されているので、これら端子電極172の突起172aが微小タイル状素子161の表面電極162に当接する。
これにより、比較的低い圧力であっても、端子電極172の突起172aが表面電極162に圧着され、これら微小タイル状素子161の表面電極162と最終基板171の端子電極172とが電気的に接続される。
なお、圧着する際に、超音波振動を付与したり、あるいは多少の加熱を行うことにより、さらに良好に圧着が行われる。
図13は薄膜デバイスの製造方法の第8工程を示す概略断面図である。本工程は、微小タイル状素子161と最終基板171との接続工程であり、最終基板171の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子161を、中間転写フィルム131越しに裏押し治具181で押しつけて最終基板171に接続する。
ここで、最終基板171には、その端子電極172に、スパイク状の複数の突起172aが形成されているので、これら端子電極172の突起172aが微小タイル状素子161の表面電極162に当接する。
これにより、比較的低い圧力であっても、端子電極172の突起172aが表面電極162に圧着され、これら微小タイル状素子161の表面電極162と最終基板171の端子電極172とが電気的に接続される。
なお、圧着する際に、超音波振動を付与したり、あるいは多少の加熱を行うことにより、さらに良好に圧着が行われる。
<第9工程>
図14は薄膜デバイスの製造方法の第9工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131の粘着力を消失させて、微小タイル状素子161から中間転写フィルム131を剥がす。
中間転写フィルム131の粘着剤は、紫外線(UV)又は熱により粘着力が消失するものにしておく。UV硬化性の粘着剤とした場合は、裏押し治具181を透明な材質にしておき、裏押し治具181の先端から紫外線(UV)を照射することで中間転写フィルム131の粘着力を消失させる。熱硬化性の接着剤とした場合は、裏押し治具181を加熱すればよい。あるいは第6工程の後で、中間転写フィルム131を全面紫外線照射するなどして粘着力を全面消失させておいてもよい。粘着力が消失したとはいえ実際には僅かに粘着性が残っており、微小タイル状素子161は非常に薄く軽いので中間転写フィルム131に保持される。
図14は薄膜デバイスの製造方法の第9工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131の粘着力を消失させて、微小タイル状素子161から中間転写フィルム131を剥がす。
中間転写フィルム131の粘着剤は、紫外線(UV)又は熱により粘着力が消失するものにしておく。UV硬化性の粘着剤とした場合は、裏押し治具181を透明な材質にしておき、裏押し治具181の先端から紫外線(UV)を照射することで中間転写フィルム131の粘着力を消失させる。熱硬化性の接着剤とした場合は、裏押し治具181を加熱すればよい。あるいは第6工程の後で、中間転写フィルム131を全面紫外線照射するなどして粘着力を全面消失させておいてもよい。粘着力が消失したとはいえ実際には僅かに粘着性が残っており、微小タイル状素子161は非常に薄く軽いので中間転写フィルム131に保持される。
このように、上記薄型デバイスの製造方法における微小タイル状素子と最終基板との接続方法によれば、表面電極162を端子電極172に当接させて加圧することにより、突起172aを対向側の表面電極162に確実に圧着させて、表面電極162と端子電極172とを確実に電気的に接続することができ、高い信頼性を確保することができる。
ここで、第2実施形態に係る薄膜デバイスを製造する工程について説明する。
第2実施形態に係る薄膜デバイスを製造する場合は、上記第1から第6工程を行った後、次の第7から第9工程を行う。
<第7工程>
図15は薄膜デバイスの製造方法の第7工程を示す概略断面図である。本工程においては、微小タイル状素子161の裏面に、金からなる表面電極162を形成するとともに、スピンコート等により、裏面金属162の表面に樹脂膜163を形成しておく。また、微小タイル状素子161が貼り付けられた中間転写フィルム131を移動させることで、最終基板171の所望の位置に微小タイル状素子161をアライメントする。ここで、最終基板171は、例えば、シリコン半導体からなり、図示しないLSI領域が形成されている。
また、最終基板171には、前述と同様に、表面に複数のスパイク状(針状)の突起172aが形成された端子電極172を設けておく。なお、突起172aは、その高さ寸法を樹脂膜163の厚さ寸法よりも大きく形成する。
第2実施形態に係る薄膜デバイスを製造する場合は、上記第1から第6工程を行った後、次の第7から第9工程を行う。
<第7工程>
図15は薄膜デバイスの製造方法の第7工程を示す概略断面図である。本工程においては、微小タイル状素子161の裏面に、金からなる表面電極162を形成するとともに、スピンコート等により、裏面金属162の表面に樹脂膜163を形成しておく。また、微小タイル状素子161が貼り付けられた中間転写フィルム131を移動させることで、最終基板171の所望の位置に微小タイル状素子161をアライメントする。ここで、最終基板171は、例えば、シリコン半導体からなり、図示しないLSI領域が形成されている。
また、最終基板171には、前述と同様に、表面に複数のスパイク状(針状)の突起172aが形成された端子電極172を設けておく。なお、突起172aは、その高さ寸法を樹脂膜163の厚さ寸法よりも大きく形成する。
<第8工程>
図16は薄膜デバイスの製造方法の第8工程を示す概略断面図である。本工程は、微小タイル状素子161と最終基板171との接続工程であり、最終基板171の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子161を、中間転写フィルム131越しに裏押し治具181で押しつけて最終基板171に接続する。
ここで、最終基板171には、その端子電極172に、スパイク状の複数の突起172aが形成されているので、これら端子電極172の突起172aが微小タイル状素子161の表面電極162に形成された樹脂膜163を突き破り、表面電極162に当接する。
図16は薄膜デバイスの製造方法の第8工程を示す概略断面図である。本工程は、微小タイル状素子161と最終基板171との接続工程であり、最終基板171の所望の位置にアライメントされた微小タイル状素子161を、中間転写フィルム131越しに裏押し治具181で押しつけて最終基板171に接続する。
ここで、最終基板171には、その端子電極172に、スパイク状の複数の突起172aが形成されているので、これら端子電極172の突起172aが微小タイル状素子161の表面電極162に形成された樹脂膜163を突き破り、表面電極162に当接する。
これにより、比較的低い圧力であっても、端子電極172の突起172aが表面電極162に圧着され、これら微小タイル状素子161の表面電極162と最終基板171の端子電極172とが電気的に接続される。
また、表面電極162に形成された樹脂膜163が端子電極172に密着し、この樹脂膜163によって表面電極162と端子電極172とが接着される。
なお、圧着する際に、超音波振動を付与したり、あるいは多少の加熱を行うことにより、さらに良好に圧着が行われる。
また、表面電極162に形成された樹脂膜163が端子電極172に密着し、この樹脂膜163によって表面電極162と端子電極172とが接着される。
なお、圧着する際に、超音波振動を付与したり、あるいは多少の加熱を行うことにより、さらに良好に圧着が行われる。
<第9工程>
図17は薄膜デバイスの製造方法の第9工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131の粘着力を消失させて、微小タイル状素子161から中間転写フィルム131を剥がす。
中間転写フィルム131の粘着剤は、紫外線(UV)又は熱により粘着力が消失するものにしておく。UV硬化性の粘着剤とした場合は、裏押し治具181を透明な材質にしておき、裏押し治具181の先端から紫外線(UV)を照射することで中間転写フィルム131の粘着力を消失させる。熱硬化性の接着剤とした場合は、裏押し治具181を加熱すればよい。あるいは第6工程の後で、中間転写フィルム131を全面紫外線照射するなどして粘着力を全面消失させておいてもよい。粘着力が消失したとはいえ実際には僅かに粘着性が残っており、微小タイル状素子161は非常に薄く軽いので中間転写フィルム131に保持される。
図17は薄膜デバイスの製造方法の第9工程を示す概略断面図である。本工程においては、中間転写フィルム131の粘着力を消失させて、微小タイル状素子161から中間転写フィルム131を剥がす。
中間転写フィルム131の粘着剤は、紫外線(UV)又は熱により粘着力が消失するものにしておく。UV硬化性の粘着剤とした場合は、裏押し治具181を透明な材質にしておき、裏押し治具181の先端から紫外線(UV)を照射することで中間転写フィルム131の粘着力を消失させる。熱硬化性の接着剤とした場合は、裏押し治具181を加熱すればよい。あるいは第6工程の後で、中間転写フィルム131を全面紫外線照射するなどして粘着力を全面消失させておいてもよい。粘着力が消失したとはいえ実際には僅かに粘着性が残っており、微小タイル状素子161は非常に薄く軽いので中間転写フィルム131に保持される。
このように、上記薄型デバイスの製造方法における微小タイル状素子と最終基板との接続方法によれば、表面電極162を端子電極172に当接させて加圧することにより、突起172aを対向側の表面電極162に確実に圧着させて表面電極162と端子電極172とを確実に電気的に接続することができ、また、樹脂膜163によって表面電極162と端子電極172とを接着して、より高い接続強度を確保することができ、さらに信頼性を向上させることができる。
(電子機器)
上記実施形態の薄膜デバイスを備えた電子機器の例について、次に説明する。
上記実施形態の薄膜デバイスは、面発光型半導体レーザであるが、面発光型半導体レーザ以外の半導体レーザ又は発光ダイオードなどに適用することができる。これらの薄膜デバイスは、レーザ光を用いる機器に対して広く適用できる。したがって、これらの薄膜デバイスを備えた応用回路又は電子機器としては、光インターコネクション回路、光ファイバ通信モジュール、レーザプリンタ、レーザビーム投射器、レーザビームスキャナ、リニアエンコーダ、ロータリエンコーダ、変位センサ、圧力センサ、ガスセンサ、血液血流センサ、指紋センサ、高速電気変調回路、無線RF回路、携帯電話、無線LANなどが挙げられる。
上記実施形態の薄膜デバイスを備えた電子機器の例について、次に説明する。
上記実施形態の薄膜デバイスは、面発光型半導体レーザであるが、面発光型半導体レーザ以外の半導体レーザ又は発光ダイオードなどに適用することができる。これらの薄膜デバイスは、レーザ光を用いる機器に対して広く適用できる。したがって、これらの薄膜デバイスを備えた応用回路又は電子機器としては、光インターコネクション回路、光ファイバ通信モジュール、レーザプリンタ、レーザビーム投射器、レーザビームスキャナ、リニアエンコーダ、ロータリエンコーダ、変位センサ、圧力センサ、ガスセンサ、血液血流センサ、指紋センサ、高速電気変調回路、無線RF回路、携帯電話、無線LANなどが挙げられる。
図18(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図18(a)において、符号1000は上記薄膜デバイスを信号伝達手段又は表示手段などの一部として用いた携帯電話本体を示し、符号1001は表示部を示している。図18(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図18(b)において、符号1100は上記薄膜デバイスを信号伝達手段又は表示手段などの一部として用いた時計本体を示し、符号1101は表示部を示している。図18(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図18(c)において、符号1200は情報処理装置、符号1202はキーボードなどの入力部、符号1204は上記薄膜デバイスを信号伝達手段又は表示手段の一部として用いた情報処理装置本体、符号1206は表示部を示している。
図18に示す電子機器は、上記実施形態の薄膜デバイスからなる面発光型半導体レーザ及び駆動回路などを備えているので、従来よりも信頼性の高い電子機器を提供することができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な材料や層構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。
113…半導体デバイス(面発光型半導体レーザ)、161,200…微小タイル状素子、162…表面電極、163…樹脂膜、171…最終基板、172…端子電極、172a…突起
Claims (13)
- 最終基板に接続される微小タイル状素子であって、
前記最終基板の端子電極と電気的に接続する表面電極を有し、該表面電極には、前記最終基板の端子電極側へ突出するスパイク状に形成された複数の突起を有することを特徴とする微小タイル状素子。 - 前記表面電極には、この表面電極と前記端子電極とを接着する樹脂膜が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の微小タイル状素子。
- 前記突起は、その高さ寸法が前記樹脂膜の厚さ寸法よりも大きいことを特徴とする請求項2に記載の微小タイル状素子。
- 微小タイル状素子と最終基板との接続構造であって、
前記微小タイル状素子は、前記最終基板の端子電極と電気的に接続する表面電極を有し、前記最終基板の端子電極は、前記表面電極側へ突出するスパイク状に形成された複数の突起を有し、これら突起が前記表面基板に加圧されて圧着されていることを特徴とする接続構造。 - 前記最終基板の端子電極には、その表面に樹脂膜が設けられ、前記端子電極と前記微小タイル状素子の表面電極が前記樹脂膜によって接着されていることを特徴とする請求項4に記載の接続構造。
- 前記突起は、その高さ寸法が前記樹脂膜の厚さ寸法よりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の接続構造。
- 微小タイル状素子を最終基板に接続する接続方法であって、
前記微小タイル状素子に設けられた表面電極又は前記最終基板に設けられた端子電極のいずれか一方に、スパイク状の複数の突起を形成し、前記表面電極を前記端子電極に当接させて加圧し、前記突起を対向側の前記表面電極又は前記端子電極に圧着させて電気的に接続することを特徴とする接続方法。 - 前記突起を対向側の前記表面電極又は前記端子電極に圧着させる際に、圧着箇所を加熱することを特徴とする請求項7に記載の接続方法。
- 前記突起を対向側の前記表面電極又は前記端子電極に圧着させる際に、超音波振動を付与することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の接続方法。
- 前記突起を、デンドライト析出条件にて金属メッキを施すことにより形成することを特徴とする請求項7から9のいずれか1項に記載の接続方法。
- 前記突起の対向側の前記表面電極又は前記端子電極に、前記突起の高さ寸法よりも厚さ寸法が小さい樹脂膜を設けておくことを特徴とする請求項7から10のいずれか1項に記載の接続方法。
- 請求項4から6のいずれか1項に記載の接続構造によって前記微小タイル状素子が前記最終基板に接続されてなることを特徴とする薄型デバイス。
- 請求項12に記載の薄型デバイスを備えたことを特徴とする電子機器。
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2003
- 2003-11-13 JP JP2003383822A patent/JP2005150298A/ja not_active Withdrawn
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