JP2005142435A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 リーク電流に対するマージンが大きい静電容量素子(例えばMIM静電容量素子)を備え、静電容量素子を形成するときの層間絶縁膜の段差を低減して層間絶縁膜の平坦化を容易にできる半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板の上に形成された絶縁膜1の表面に静電容量素子の第1電極(下部電極)2aが形成される。第1電極(下部電極)2aの外周端部を被覆して第1層間絶縁膜3を形成し、次に誘電体膜(5)及び第2金属層(6)を形成する。その後第1層間絶縁膜3を化学機械研磨法で平坦化することにより、第1層間絶縁膜3の内周に素子誘電体膜部5aをU字形状に形成し、その凹部に第2電極(上部電極)6aを形成する。第1層間絶縁膜3の表面に第2層間絶縁膜(7)7aを積層し、平坦化した表面に導電性プラグ9a、9bを介して第2層配線(配線)10a、10bを形成する。
【選択図】 図3
【解決手段】 半導体基板の上に形成された絶縁膜1の表面に静電容量素子の第1電極(下部電極)2aが形成される。第1電極(下部電極)2aの外周端部を被覆して第1層間絶縁膜3を形成し、次に誘電体膜(5)及び第2金属層(6)を形成する。その後第1層間絶縁膜3を化学機械研磨法で平坦化することにより、第1層間絶縁膜3の内周に素子誘電体膜部5aをU字形状に形成し、その凹部に第2電極(上部電極)6aを形成する。第1層間絶縁膜3の表面に第2層間絶縁膜(7)7aを積層し、平坦化した表面に導電性プラグ9a、9bを介して第2層配線(配線)10a、10bを形成する。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体基板上に形成された静電容量素子を備える半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。特に、静電容量素子としてMIM(Metal-Insulator-Metal)静電容量素子を備える半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。
近年、A/Dコンバータ、D/Aコンバータ等のアナログまたはアナログ・デジタルLSIに内蔵するフィルタ回路や積分回路の精度を向上させるために、高精度で電圧依存性のない静電容量素子が望まれている。
図4は、従来のMIM静電容量素子を備える半導体装置の製造工程を示す断面図である。このような従来例は、例えば特許文献1に記載されている。なお、断面を示すハッチングは見やすさを考慮して省略している。
特開2000−133708号公報
図4(a)は、MOSトランジスタなどの半導体素子を形成し、表面を平坦化した後、MIM静電容量素子を形成するための金属膜と誘電体膜を形成した状態を示す。半導体基板30の表面に素子分離領域31が形成される。素子分離領域31は、ロコス(LOCOS)酸化膜で構成される。相互に隣接する素子分離領域31に挟まれる半導体基板30の表面に形成されたゲート酸化膜32、ゲート酸化膜32の表面の所定領域に形成されたゲート電極33、及びソース/ドレイン領域(不図示)により半導体素子(MOSトランジスタ)が構成される。
半導体素子を形成した後、素子分離領域31、ゲート酸化膜32、ゲート電極33を被覆し、表面を平坦化された第1層間絶縁膜34が形成(成膜)される。第1層間絶縁膜34は、BPSG(ボロンリンシリケートグラス)で構成される。第1層間絶縁膜34にはソース/ドレイン領域とのコンタクトを取るためのコンタクトホール(開口部)が形成(開口)され、コンタクトホールには導電性プラグ35が形成される。
第1層間絶縁膜34の表面に第1層金属膜36、第1層金属膜36の表面にMIM静電容量素子用の誘電体膜37、誘電体膜37の表面に第2層金属膜38が順次積層(成膜)して形成される。第1層金属膜36は、スパッタ法により形成されたアルミニウムで構成される。誘電体膜37は、膜厚20nm程度のシリコン窒化膜で構成される。第2層金属膜38は、スパッタ法により形成されたアルミニウムで構成される。第1層金属膜36はMIM静電容量素子の第1電極(下部電極)形成用であり、第2層金属膜38はMIM静電容量素子の第2電極(上部電極)形成用である。
図4(b)は、MIM静電容量素子及び第1層配線を形成するために第1層金属膜、誘電体膜、第2層金属膜がエッチングされた状態を示す。第1層金属膜36、誘電体膜37、第2層金属膜38を同一のパターンでドライエッチングすることにより、第1電極36e、素子誘電体膜部37e、第2電極38eを形成する。第1電極36e、素子誘電体膜部37e、第2電極38eがMIM静電容量素子を構成する。また、同様にパターニングすることにより、第1層配線形成用パターン(誘電体膜)37w、第1層配線形成用パターン(第2層金属膜)38w、第1層配線36wを形成する。
図4(c)は、第1層配線を形成する工程の状態を示す。MIM静電容量素子が形成された領域をフォトレジスト39で被覆し、第1層配線36wに積層されている第1層配線形成用パターン37w、38wを除去して、第1配線36wを形成する。その後、フォトレジスト39を除去する。
図4(d)は、フォトレジスト除去後、TEOS膜を形成(成膜)し、TEOS膜の表面を平坦化した後第2層配線を形成した状態を示す。フォトレジスト39を除去した後、第1層配線36w及び第2電極38e(MIM静電容量素子領域)を被覆する第2層間絶縁膜40が形成(成膜)される。第2層間絶縁膜40は、膜厚2500nm程度のPE−TEOS(プラズマエンハンスト・テトラエトキシオルトシラン)膜を成膜し、表面をCMP(化学機械研磨)法で500nm程度研磨して、平坦化する。なお、従来の半導体装置の製造方法によれば、静電容量素子は第1層電極36eの上部表面に素子誘電体膜部37e、第2電極38eが積層された形状で形成されることから、第1層電極36eの膜厚、素子誘電体膜部37eの膜厚、第2電極38eの膜厚の合計がそのまま第2層間絶縁膜40の平坦化の段差となるので、静電容量素子のない場合に比較して平坦化に対するマージンが小さくなる。
第2層間絶縁膜40を平坦化した後、第1層配線36w及び第2電極38eに対するコンタクトを取るためのコンタクトホール(開口部)を形成(開口)し、コンタクトホールに導電性プラグ41を形成(充填)する。導電性プラグ41はタングステンで構成される。導電性プラグ41に対して所定の配線をするために第2層配線42が形成される。第2層配線42は例えばアルミニウム膜で構成される。
半導体装置に搭載された従来の静電容量素子(特にMIM静電容量素子)では、2つの電極に挟まれた素子誘電体膜部の端面での沿面距離(素子誘電体膜部の端面での第1電極と第2電極との間の距離)が誘電体膜部の膜厚と原理的に同一であることから、端面での局部電界によりリーク電流が生じ易く、電極間でのリーク電流が大きく、リーク電流に対するマージンが小さくなる。
また近年、ウエハの大口径化及び微細化による多層配線化が進み、半導体装置に搭載される従来の静電容量素子は多層配線間に形成されることが多い。多層配線間に形成する場合には、上述したとおり、静電容量素子の上部を被覆して、表面を平坦化するために形成する層間絶縁膜の段差が大きくなり、CMP法による平坦化のマージンが小さくなる。
上述したように、半導体装置に搭載された従来の静電容量素子(特にMIM静電容量素子)は、素子誘電体膜部の端面での沿面距離が素子誘電体膜部の膜厚と同一であることから、電極間でのリーク電流が大きく、リーク電流に対するマージンが小さいという問題があった。
また、半導体装置に搭載された従来の静電容量素子は、静電容量素子を形成した後に表面を平坦化するために形成する層間絶縁膜の段差が大きくなり、CMP法による平坦化のマージンが小さく、多層化が困難であるという問題があった。
本発明は、斯かる問題に鑑みてなされたものであり、半導体装置に搭載する静電容量素子(例えばMIM静電容量素子)の素子誘電体膜部の端面での沿面距離を素子誘電体膜部の膜厚より大きくすることにより、静電容量素子の電極間でのリーク電流を低減し、リーク電流に対するマージンが大きい静電容量素子を備える半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、静電容量素子(例えばMIM静電容量素子)が形成されるときの層間絶縁膜の段差を低減することにより、層間絶縁膜の平坦化を容易にし、多層配線間で多層に形成することが可能な静電容量素子を備える半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る半導体装置は、半導体基板上に形成された静電容量素子を備える半導体装置において、前記静電容量素子は、前記半導体基板上に形成された第1電極と、該第1電極の外周端部を被覆する第1層間絶縁膜と、該第1層間絶縁膜の内周に囲まれた第1電極の上部表面及び第1層間絶縁膜の内周側面に沿って形成された素子誘電体膜部と、該素子誘電体膜部の上部表面に形成された第2電極とを備えることを特徴とする。
本発明にあっては、素子誘電体膜部を第1電極の外周端部を被覆する第1層間絶縁膜の内周側面に沿って形成することから、素子誘電体膜部の端面を第1電極と第2電極とで挟まれない形状にできるので、素子誘電体膜部の端面での電極間(第1電極と第2電極との間)の沿面距離が長くなり、静電容量素子の端面でのリーク電流を低減でき、リーク電流に対するマージンが大きくなる。
本発明に係る半導体装置では、前記第1層間絶縁膜の膜厚は前記第1電極の膜厚及び素子誘電体膜部の膜厚の合計より厚いことを特徴とする。
本発明にあっては、第1層間絶縁膜の膜厚を第1電極の膜厚及び素子誘電体膜部の膜厚の合計より厚くすることから、素子誘電体部の端面を第1電極の表面から離すことができ、素子誘電体膜部の端面での沿面距離を長くできるので、素子誘電体膜部の端面でのリーク電流を低減することにより、リーク電流に対するマージンを大きくしてMIM静電容量素子の特性と信頼性を向上できる。また、第2電極の上部表面の位置を絶縁膜の上部表面の位置とほぼ平面をなすように形成できるので、第2電極を形成した後の平坦化のマージンを大きくすることができ、平坦化が容易になる。つまり、静電容量素子を多層にわたって形成することが可能になり、静電容量素子の大容量化が可能になる。
本発明に係る半導体装置では、前記第1層間絶縁膜の膜厚は前記素子誘電体膜部の膜厚及び第2電極の膜厚の合計より厚いことを特徴とする。
本発明にあっては、第1層間絶縁膜の膜厚を素子誘電体膜部の膜厚及び第2電極の膜厚の合計より厚くすることから、第1層間絶縁膜の膜厚を第1電極の膜厚及び素子誘電体膜部の膜厚の合計より厚くした場合と同様の作用が得られる。
本発明に係る半導体装置では、前記素子誘電体膜部は上部に開放されたU字形状であることを特徴とする。
本発明にあっては、素子誘電体膜部を上部に開放されたU字形状とすることから、その凹部に第2電極を埋めて形成することができ、第2電極形成後の平坦化が容易になる。
本発明に係る半導体装置では、前記第2電極は前記素子誘電体膜部の内周側面に当接して形成してあることを特徴とする。
本発明にあっては、第2電極外周での凹凸の発生を防止でき、また静電容量の大きさを素子誘電体膜部の凹部底面の面積で確定できるので、静電容量値のバラツキを防止できる。
本発明に係る半導体装置では、前記第2電極は素子誘電体膜部が形成する凹部を埋めて形成してあることを特徴とする。
本発明にあっては、第2電極は素子誘電体膜部の凹部を充填することから第2電極形成後の平坦化が容易になり、静電容量素子の積層化が容易になる。
本発明に係る半導体装置では、前記第1層間絶縁膜の上部表面、素子誘電体膜部の端面及び第2電極の上部表面が単一平面をなすように形成してあることを特徴とする。
本発明にあっては、第1層間絶縁膜の上部表面、素子誘電体膜部の端面及び第2電極の上部表面を単一平面状にすることから第2電極形成後の平坦化に対するマージンが大きくなり、平坦化が容易になる。
本発明に係る半導体装置では、前記第1層間絶縁膜の上部表面に形成された第2層間絶縁膜を備えることを特徴とする。
本発明にあっては、静電容量素子の周囲及び上部に形成する層間絶縁膜を2回に分けて形成する積層構造(第1層間絶縁膜及び第2層間絶縁膜)にすることから平坦化が容易になり、平坦化のマージンを大きくできる。
本発明に係る半導体装置では、前記第1層間絶縁膜は平坦化してあることを特徴とする。
本発明にあっては、第1層間絶縁膜を平坦化することから、第2層間絶縁膜の平坦化が容易になり、平坦化のマージンが大きくなる。
本発明に係る半導体装置では、前記第2層間絶縁膜は平坦化され、前記第2電極に接続された配線が第2層間絶縁膜の表面に形成されていることを特徴とする。
本発明にあっては、平坦化された第2層間絶縁膜の表面に配線を形成することから、多層配線構造が可能となり静電容量素子を積層構成とすることができる。
本発明に係る半導体装置では、前記第1電極又は第2電極は積層金属膜であることを特徴とする。
本発明にあっては、第1電極又は第2電極を積層構造とすることから安定した電極構造にすることができ、信頼性の高い静電容量素子となる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板上に形成された第1電極と第2電極との間に素子誘電体膜部を有する静電容量素子を備える半導体装置の製造方法において、前記半導体基板上に形成した絶縁膜上に第1層金属膜を形成する工程と、該第1層金属膜をエッチングして前記第1電極を形成する工程と、該第1電極を被覆する第1層間絶縁膜を形成する工程と、前記第1電極上の第1層間絶縁膜をエッチングして第1電極の上部表面を露出させる開口部を形成する工程と、該開口部を形成した後に誘電体膜を形成する工程と、該誘電体膜上に第2層金属膜を形成する工程と、前記第1層間絶縁膜上に形成された前記誘電体膜及び第2層金属膜を化学機械研磨して第1層間絶縁膜を露出させることにより、前記素子誘電体膜部及び第2電極を形成する工程と、前記第1層間絶縁膜を露出させた後に第2層間絶縁膜を形成する工程と、該第2層間絶縁膜をエッチングして第2電極に対するコンタクトホールを形成する工程とを備えることを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記第1層間絶縁膜を化学機械研磨して平坦化すること工程を備えることを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記第2層間絶縁膜を化学機械研磨して平坦化する工程を備えることを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記コンタクトホールに導電性プラグを形成する工程を備えることを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法では、前記導電性プラグを形成した後に第3層金属膜を形成する工程を備えることを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法にあっては、上述した構成により、本発明に係る半導体装置と同様の作用を実現する。また、層間絶縁膜を2回に分けて化学機械研磨により平坦化することにより、静電容量素子を搭載した半導体装置の表面の平坦化を容易にする。更に、導電性プラグの形成、第3層金属膜の形成により、多層配線が容易となり、静電容量素子の積層化が可能となり、他の回路素子との接続が可能となる。
本発明によれば、静電容量素子の素子誘電体膜部の端面を下部電極と上部電極とで挟まれた形状としないので、下部電極と上部電極との間隔より長い沿面距離を有する素子誘電体膜部の端面にすることができる。したがって、リーク電流が少なく(リーク電流に対するマージンが大きく)、安定した特性が得られ、信頼性の高い静電容量素子(MIM静電容量素子)を形成できることから、静電容量素子(MIM静電容量素子)を搭載した高機能の半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供できる。
また、本発明によれば、層間絶縁膜を2回に分けて平坦化することができるので、平坦化が容易になり、平坦化に対するマージンを大きくできる。更に、静電容量素子を多層に渡って作成することが可能となり、大容量の静電容量値を有する静電容量素子を備える半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供できる。また、積層化した場合には、同一の静電容量値では、従来の方法に比較してチップサイズを縮小した半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供できる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図1ないし図3は本発明に係る半導体装置の製造工程を示す説明図である。図では、半導体装置の断面形状を模式的に示す。なお、断面を表すハッチングは見やすさを考慮して省略している。
図1(a)は、半導体基板に形成された絶縁膜の上に静電容量素子の電極と第1層配線を形成した状態を示す。1は半導体基板(不図示)上に形成(成膜)された絶縁膜であり、表面は平面状をなしている。絶縁膜1は例えばプラズマTEOSにより構成される。絶縁膜1の上に第1層金属膜を形成(成膜)し、所定のパターニング(エッチング)を行って静電容量素子(MIM静電容量素子)の第1電極2a(静電容量素子の下部電極2a)と第1層配線2bを形成する。第1層金属膜(下部電極2a及び第1層配線2b)は積層構造とした。膜厚50nm程度のTiN、膜厚400nm程度のAlCu、膜厚50nm程度のTiNをスパッタ法により、順次成膜して形成した。積層構造とすることにより抵抗が小さく安定した電極構造、配線構造とすることができる。
図1(b)は、下部電極を被覆する第1層間絶縁膜を形成した状態を示す。第1層間絶縁膜3は、例えばプラズマTEOSにより構成され、膜厚は1000nm程度とした。プラズマTEOSとすることにより、安定した層間膜とすることができる。第1層間絶縁膜3の膜厚は下部電極2aを被覆して、後の工程でのCMP法(化学機械研磨)による研磨で表面を平坦化できる程度の厚さに形成する。
図1(c)は、下部電極の上に被覆された第1層間絶縁膜をエッチングで除去し、下部電極の上部表面を露出する開口部を形成した状態を示す。第1層間絶縁膜3の表面にフォトレジスト4を塗布し、フォトリソグラフィ技術により、フォトレジスト4を所定のパターンに形成する。所定のパターンのフォトレジスト4をマスクとして第1層間絶縁膜3を例えばドライエッチングにより除去し、下部電極2aの上部表面を露出させる開口部を形成する。つまり、下部電極2aの中心部分(静電容量素子の素子誘電体膜部5aの領域部分)の第1層間絶縁膜(3)が除去されるので、第1層間絶縁膜3は、下部電極2aの外周端部を被覆する形状となる。
図2(d)は、静電容量素子の誘電体膜及び第2層金属膜を形成(成膜)した状態を示す。下部電極2aの外周端部を被覆する第1層間絶縁膜3をパターニング形成した後、静電容量素子を構成するための誘電体膜5及び第2層金属膜6を順次積層して形成(成膜)する。誘電体膜5は例えば膜厚50nm程度のシリコン窒化膜であり、CVD(化学的気相成長)法により形成した。第2層金属膜6は積層構造とし、膜厚100nm程度のAlCu、膜厚50nm程度のTiNをスパッタ法により、順次成膜して形成した。積層構造とすることにより抵抗が小さく安定した電極構造、配線構造とすることができる。
図2(e)は、第1層間絶縁膜を研磨(平坦化)して静電容量素子の素子誘電体膜部と上部電極を形成した状態を示す。第1層間絶縁膜3を第1層間絶縁膜3に積層して形成された誘電体膜5及び第2層金属膜6とともにCMP法により表面(最も膜厚の厚い位置)から膜厚700nm程度均一に研磨する。CMP法により平面的に研磨することにより、絶縁膜1の表面から800nm程度の位置で平坦化された第1層間絶縁膜3を形成することができる。また、併せて、静電容量素子を構成する素子誘電体膜部5a、第2電極6a(上部電極6a)を形成することができる。
第1層間絶縁膜3の膜厚は、下部電極2aの膜厚及び素子誘電体膜部5aの膜厚の合計より厚く形成しておく。また、第1層間絶縁膜3の膜厚は、素子誘電体膜部5aの膜厚及び上部電極6aの膜厚の合計より厚く形成しておく。このような膜厚構成とすることにより、下部電極2aの外周端部の上部表面に第1層間絶縁膜3の内周側面が形成され、素子誘電体膜部5aの端面を下部電極から離すことができる。また、上部電極6aは素子誘電体膜部5aの内周側面に当接して形成することができ、素子誘電体膜部5aの端面を下部電極2aから離すことができる。素子誘電体膜部5aの端面が下部電極2aと上部電極6aとで挟まれない形状にできるので、素子誘電体膜部5aの端面での電極間(下部電極2aと上部電極6aとの間)の沿面距離が長くなり、静電容量素子の端面でのリーク電流を低減でき、リーク電流に対するマージンが大きくなる。
下部電極2aの外周端部を被覆する第1層間絶縁膜3をパターニング形成した後、誘電体膜5を形成するので、素子誘電体膜部5aは上部に開放されたU字形状とすることができる。素子誘電体膜部5aが形成する凹部に上部電極6aを埋めて形成することができるので、上部電極6aの外周部分での凹凸の発生を防止でき、第2電極形成後の平坦化が容易になり、静電容量素子の積層化が可能になる。下部電極2aに当接する素子誘電体膜部5aの面積を正確にパターニングできることから、静電容量素子の静電容量値を素子誘電体膜部5aの凹部に対応する底面の面積(上部電極6aの面積)で確定できるので、静電容量値を正確に設定すると共に静電容量値のバラツキを防止できる。
CMP法による第1層間絶縁膜3の表面研磨の後には、段差が生じているが、段差が生じない位置まで更に研磨するか、又は第2層金属膜6aの膜厚を厚くして素子誘電体膜部5aの凹部を埋めておけば、段差が生じることはない。
図2(f)は、第1層間絶縁膜の表面に更に第2層間絶縁膜を形成(成膜)した状態を示す。表面を研磨した第1層間絶縁膜3の表面に更に第2層間絶縁膜7を形成する。第2層間絶縁膜7は、例えばプラズマTEOSにより構成され、膜厚は1000nm程度とした。プラズマTEOSとすることにより、安定した層間膜とすることができる。
図3(g)は、第2層間絶縁膜の表面を平面研磨して平坦化した状態を示す。第2層間絶縁膜7の表面をCMP法により膜厚500nm程度研磨して、平坦化された第2層間絶縁膜7aを形成する。なお、第1層間絶縁膜3の上部表面、素子誘電体膜部5aの端面及び上部電極6aの上部表面が単一平面をなすように形成しておけば、第2層間絶縁膜7の表面を研磨する必要はなくなり、この場合には第2層間絶縁膜7の形成膜厚は、500nm程度で良く、成膜プロセスを簡略化できる。第1層間絶縁膜3及び第2層間絶縁膜7aで構成される2層の層間絶縁膜を用いることにより、層間絶縁膜の平坦化工程を2回に分けて行うことができることから、平坦化に対するマージンを大きくすることができる。平坦化のマージンを大きくできるので、静電容量素子を多層に渡って形成することができ、大容量の静電容量素子を形成することができ、また、チップサイズの縮小が可能となる。
図3(h)は、第2層間絶縁膜の表面に配線が形成され、静電容量素子の上部電極及び第1層配線へ接続されている状態を示す。フォトリソグラフィ技術を用いて、静電容量素子の上部電極6aとのコンタクトをとるためのコンタクトホール8aが第2層間絶縁膜7aをドライエッチングすることにより形成される。また、同様にして、第1層配線2bとのコンタクトをとるためのコンタクトホール8bが第2層間絶縁膜7a及び第1層間絶縁膜3をドライエッチングすることにより形成される。
次にタングステンを堆積することにより、コンタクトホール8a、8bにタングステンを充填し、CMP法で表面を研磨することにより導電性プラグ9a、9bをそれぞれ形成する。その後、スパッタ法により、第3層金属膜を形成(成膜)する。次に、フォトリソグラフィ技術を用い、フォトレジストをマスクとして第3層金属膜をドライエッチングしてパターニングすることにより、第2層配線(配線)10a、10bを第2層間絶縁膜の表面に形成する。第2層配線10aは、導電性プラグ9aを介して上部電極6aに接続され、第2層配線10bは、導電性プラグ9bを介して第1層配線2bに接続される。この構成により、静電容量素子としてMIM静電容量素子を備える半導体装置とすることができる。
1 絶縁膜
2a 第1電極(下部電極)
2b 第1層配線
3 第1層間絶縁膜
4 フォトレジスト
5 誘電体膜
5a 素子誘電体膜部
6 第2層金属膜
6a 第2電極(上部電極)
7、7a 第2層間絶縁膜
8a、8b コンタクトホール
9a、9b 導電性プラグ
10a、10b 第2層配線(配線)
2a 第1電極(下部電極)
2b 第1層配線
3 第1層間絶縁膜
4 フォトレジスト
5 誘電体膜
5a 素子誘電体膜部
6 第2層金属膜
6a 第2電極(上部電極)
7、7a 第2層間絶縁膜
8a、8b コンタクトホール
9a、9b 導電性プラグ
10a、10b 第2層配線(配線)
Claims (16)
- 半導体基板上に形成された静電容量素子を備える半導体装置において、
前記静電容量素子は、
前記半導体基板上に形成された第1電極と、
該第1電極の外周端部を被覆する第1層間絶縁膜と、
該第1層間絶縁膜の内周に囲まれた第1電極の上部表面及び第1層間絶縁膜の内周側面に沿って形成された素子誘電体膜部と、
該素子誘電体膜部の上部表面に形成された第2電極と
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1層間絶縁膜の膜厚は前記第1電極の膜厚及び素子誘電体膜部の膜厚の合計より厚いことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1層間絶縁膜の膜厚は前記素子誘電体膜部の膜厚及び第2電極の膜厚の合計より厚いことを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置。
- 前記素子誘電体膜部は上部に開放されたU字形状であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 前記第2電極は前記素子誘電体膜部の内周側面に当接して形成してあることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 前記第2電極は素子誘電体膜部が形成する凹部を埋めて形成してあることを特徴とする請求項5記載の半導体装置。
- 前記第1層間絶縁膜の上部表面、素子誘電体膜部の端面及び第2電極の上部表面が単一平面をなすように形成してあることを特徴とする請求項6記載の半導体装置。
- 前記第1層間絶縁膜の上部表面に形成された第2層間絶縁膜を備えることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 前記第1層間絶縁膜は平坦化してあることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 前記第2層間絶縁膜は平坦化され、前記第2電極に接続された配線が第2層間絶縁膜の表面に形成されていることを特徴とする請求項8又は9記載の半導体装置。
- 前記第1電極又は第2電極は積層金属膜であることを特徴とする請求項1ないし10のいずれかひとつに記載の半導体装置。
- 半導体基板上に形成された第1電極と第2電極との間に素子誘電体膜部を有する静電容量素子を備える半導体装置の製造方法において、
前記半導体基板上に形成した絶縁膜上に第1層金属膜を形成する工程と、
該第1層金属膜をエッチングして前記第1電極を形成する工程と、
該第1電極を被覆する第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1電極上の第1層間絶縁膜をエッチングして第1電極の上部表面を露出させる開口部を形成する工程と、
該開口部を形成した後に誘電体膜を形成する工程と、
該誘電体膜上に第2層金属膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜上に形成された前記誘電体膜及び第2層金属膜を化学機械研磨して第1層間絶縁膜を露出させることにより、前記素子誘電体膜部及び第2電極を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜を露出させた後に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
該第2層間絶縁膜をエッチングして第2電極に対するコンタクトホールを形成する工程と
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1層間絶縁膜を化学機械研磨して平坦化すること工程を備えることを特徴とする請求項12記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2層間絶縁膜を化学機械研磨して平坦化する工程を備えることを特徴とする請求項12又は13記載の半導体装置の製造方法。
- 前記コンタクトホールに導電性プラグを形成する工程を備えることを特徴とする請求項12ないし14のいずれかひとつに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記導電性プラグを形成した後に第3層金属膜を形成する工程を備えることを特徴とする請求項15記載の半導体装置の製造方法。
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