JP2005140588A - 光学式表面電位測定装置および測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】対向配置される2枚の平板電極の間に介装されたスペーサ表面の電位分布を安全かつ正確に測定できる光学式表面電位測定装置を提供すること。
【解決手段】対向配置される2枚の平板電極101a、101b間に介装された電気光学素子に向けて上記平板電極と平行にレーザ光Lを出射するレーザ出射装置1と、上記レーザ出射装置から出射されたレーザ光Lに対して、このレーザ光Lが上記電気光学素子に入射する前に、所定の偏光状態を与える偏光ビームスプリッタ4と、上記偏光ビームスプリッタにより所定の偏光状態が与えられた光の強度を、このレーザ光Lが上記電気光学素子に入射する前に、基準強度I1として検出するとともに、上記電気光学素子に入射した後に出射するレーザ光Lの強度を測定強度I2として検出するCCDカメラ6と、上記基準強度I1と測定強度I2に基づいて、上記電気光学素子の表面電位を算出するコンピュータ19とを具備する。
【選択図】 図1
【解決手段】対向配置される2枚の平板電極101a、101b間に介装された電気光学素子に向けて上記平板電極と平行にレーザ光Lを出射するレーザ出射装置1と、上記レーザ出射装置から出射されたレーザ光Lに対して、このレーザ光Lが上記電気光学素子に入射する前に、所定の偏光状態を与える偏光ビームスプリッタ4と、上記偏光ビームスプリッタにより所定の偏光状態が与えられた光の強度を、このレーザ光Lが上記電気光学素子に入射する前に、基準強度I1として検出するとともに、上記電気光学素子に入射した後に出射するレーザ光Lの強度を測定強度I2として検出するCCDカメラ6と、上記基準強度I1と測定強度I2に基づいて、上記電気光学素子の表面電位を算出するコンピュータ19とを具備する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、高い電圧が印加される2枚の平行平板間に介装された絶縁部材の表面電位を測定する光学式表面電位測定装置および測定方法に関する。
高い電圧が印加される2枚の平行平板の間に絶縁材製のスペーサを介装すると、2枚の平行平板がコンデンサとして機能し、スペーサ表面の電位分布が平行平板の並設方向に対して非線形となることがある。
スペーサ表面の電位分布が非線形になると、装置の種類によっては致命的な問題を引き起こすことがあるため、これまでスペーサ表面の電位分布が線型になるように、様々な対策がとられてきた。
ところで、スペーサ表面の電位分布が線型になるよう対策をとった場合、各々の対策によってどの程度の効果が得られたか、すなわち、どの程度線形化されたかを知る必要がある。そのため、従来は、平行平板の間に金属製のプローブを挿入するとともに、このプローブを平行平板の並設方向に沿って走査することで、スペーサ表面の電位分布を直接測定していた(例えば、特許文献1参照。)。
特開平11−281691号公報
しかしながら、平行平板の間に金属製のプローブを挿入すると、プローブが平行平板に接触してショートする危険性があり、また平行平板の間の距離が小さい場合、プローブの挿入による電位のひずみが影響して、スペーサ表面の実際の電位分布を正確に測定できないことがあった。
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、対向配置される2枚の平行平板の間に介装されたスペーサ表面の電位分布を安全かつ正確に測定できる光学式表面電位測定装置および測定方法を提供することにある。
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の光学式表面電位測定装置および測定方法は次のように構成されている。
(1)電気光学素子を介して対向配置される2枚の平行平板間に電圧を印加した際に上記電気光学素子の表面に生じる電位分布を測定する光学式表面電位測定装置において、上記電気光学素子に向けて上記平行平板と平行に光を出射する出射手段と、上記出射手段から出射された光に対して、この光が上記電気光学素子に入射する前に、所定の偏光状態を与える偏光手段と、上記偏光手段により所定の偏光状態が与えられた光の強度を、この光が上記電気光学素子に入射する前に、基準強度として検出するとともに、上記電気光学素子に入射した後に出射する光の強度を測定強度として検出する検出手段と、上記基準強度と測定強度に基づいて、上記電気光学素子の表面電位を算出する算出手段とを具備することを特徴とする。
(2)(1)に記載された光学式表面電位測定装置であって、上記電気光学素子は、上記電気光学素子に入射した光を反射するとともに、その位相を反転させる反射手段を備えていることを特徴とする。
(3)電気光学素子を介して対向配置される2枚の平行平板間に電圧を印加する電圧印加工程と、上記電圧印加工程中、上記平行平板と平行に光を出射して、上記電気光学素子に入射させる出射工程と、上記電気光学素子に入射する光に所定の偏光状態を与える偏光工程と、上記偏光状態が与えられた光の強度を、上記電気光学素子に入射する前に検出する第1の検出工程と、上記電気光学素子に入射した後に出射する光の強度を検出する第2の検出工程と、上記第1の検出工程により検出された光の強度と第2の検出工程により検出された光の強度とに基づいて、上記電気光学素子の表面電位を算出する算出工程とを具備することを特徴とする。
本発明によれば、対向配置される2枚の平板電極の間に介装されたスペーサ表面の電位分布を安全かつ正確に測定することができる。
以下、図1〜図4を参照しながら本発明の第1の実施の形態について説明する。
図1は本発明の第1の実施の形態に係る光学式表面電位測定装置の構成図、図2は同実施の形態に係る測定対象100の構成図である。
図1に示すように、この光学式表面電位測定装置はレーザ出射装置1(出射手段)を有している。このレーザ出射装置1は、ランダム偏光のレーザ光Lを出射する。なお、レーザ光Lとしては、He−Neレーザ、Arレーザ、固体レーザなど、どんなレーザであっても良い。
レーザ光Lの光軸上には、レーザ出射装置1側から順に、ビームエキスパンダ2、NDフィルタ3、偏光ビームスプリッタ4(偏光手段)、1/8波長板5、および本発明の測定対象100が配置されている。また、偏光ビームスプリッタ4の側方には、CCDカメラ6(検出手段)が、その検出面6aをビームエキスパンダ2に向けて配置されている。
ビームエキスパンダ2は、レーザ出射装置1から出射したレーザ光Lの光径を拡大する。NDフィルタ3は、ビームエキスパンダ2から出射したレーザ光Lの強度を調整する。偏光ビームスプリッタ4は、入射するレーザ光Lのうち、所定方向の偏光軸を有する直線偏光成分のみを通過させ、それ以外の成分を入射方向と垂直な方向に反射する。1/8波長板5は、入射するレーザ光Lの位相をπ/8[rad]だけ回転させる。
図2に示すように、測定対象100は、2枚の平板電極101a、101b(平行平板)を有している。これら平板電極101a、101bは所定間隔で対向しており、その間には、スペーサとして機能し、電気光学効果と絶縁性を有する、電気光学素子102が介装されている。
この電気光学素子102は直方体状に形成されており、おおむね平行な2つの面はそれぞれ測定面102aと参照面102bをなしている。なお、電気光学素子102の素材としては、ビスマスガリウムオキサイド(BGO)やビスマスシリコンオキサイド(BSO)等が使用される。
2枚の平板電極101a、101bには、電圧回路104が接続されている。この電圧回路104は直流電源105を有しており、平板電極101a、101b間に所定の直流電圧を印加できるようになっている。
電圧回路104により平板電極101a、101b間に直流電圧を印加すると、電気光学素子102の絶縁性により、平板電極101a、101bがコンデンサとして機能し、測定面102aには非線形の電位分布が形成される。
参照面102bには、略全面に亘って反射ミラー103(反射手段)が形成されている。この反射ミラー103は、電気光学素子102内を伝播するレーザ光Lを反射するとともに、反射したレーザ光Lの位相を反転、すなわちπ[rad]だけ回転させる。
また、この反射ミラー103は、高い電気抵抗を有する材料で薄膜状に形成されており、その両端部はそれぞれ平板電極101a、101bと接触している。そのため、電圧回路104により平板電極101a、101b間に直流電圧を印加すると、反射ミラー103には平板電極101a、102bの並設方向に対して線形な電位分布が形成される。
図1に示すように、上記構成の測定対象100は、矢印A方向に伝播するレーザ光Lが電気光学素子102の測定面102aに略垂直に入射するように配置される。このように配置すると、レーザ光Lと平板電極101a、101bは、必然的に平行となる。
次に、上記構成の光学式表面電位測定装置を使用する際の作用について説明する。
本発明の光学式表面電位測定装置を使用する場合、まずNDフィルタ3を調整し、レーザ光Lの強度をCCDカメラ6のダイナミックレンジにマッチングさせる。
次に、CCDカメラ6の感度調整を行う。CCDカメラ6の感度調整を行う場合、まず平板電極101a、101b間に電圧が印加していない状態で、レーザ出射装置1からレーザ光Lを出射する。
レーザ出射装置1から出射したレーザ光Lは、まず矢印A方向に伝播し、ビームエキスパンダ2、NDフィルタ3、偏光ビームスプリッタ4、1/8波長板5を通過して、電気光学素子102に入射する。
電気光学素子102に入射したレーザ光Lは、電気光学素子102内を矢印A方向に伝播し、反射ミラー103で反射した後、電気光学素子102内を矢印B方向に伝播し、1/8波長板5を通過した後、偏光ビームスプリッタ4によって矢印C方向に反射される。
偏光ビームスプリッタ4によって矢印C方向に反射されたレーザ光Lは、CCDカメラ6によってその強度が検出される。以降、レーザ光Lがレーザ出射装置1から出射してCCDカメラ6に検出されるまでに伝播する上記経路を測定経路と称する。
そして、レーザ光Lの強度をCCDカメラ6で検出している最中に、1/8波長板5を回転させる。こうすると、レーザ光Lの強度は、正弦曲線を描くよう変化する。ここでレーザ光Lの強度が最大になるように1/8波長板5の角度を調整すると、図4の曲線で示す動作点が点Pで示す位置、すなわち最も線形性が最も高く、微分値が最も大きい位置に設定され、CCDカメラ6が最も高い感度に設定される。
なお、この感度調整時にCCDカメラ6により検出されたレーザ光Lの強度は、コンピュータ19の記憶装置に基準強度I1として記憶される。
CCDカメラ6の感度調整が終了した後、電圧回路104によって平板電極101a、101b間に所定の電圧を印加する。平板電極101a、101b間に電圧が印加されると、電気光学素子102の測定面102aと参照面102bには、それぞれ所定の電位分布が発生し、その結果、電気光学素子102の測定面102aと参照面102bの間には電圧が印加される。以降、測定面102aと参照面102bの間に印加される電圧を印加電圧と称する。
測定面102aに発生する電位分布は、電気光学素子102の素材が絶縁性であるため、図3(a)に示すように、平板電極101a、101bの並設方向、すなわち電気光学素子102の厚さ方向Xに対して非線形となる。
一方、参照面102bに発生する電位分布は、反射ミラー103が高抵抗の材質で形成されているため、図3(b)に示すように、電気光学素子102の厚さ方向Xに対して線型となる。そのため、電気光学素子102の測定面102aと参照面102bの間に印加される上記印加電圧は、電気光学素子102の場所によって異なっている。
電気光学素子102の測定面102aと参照面102bの間に上記印加電圧が印加されたら、再びレーザ出射装置1からレーザ光Lを出射する。レーザ出射装置1から出射したレーザ光Lは、上記CCDカメラ6の感度調整時と同様に、上記測定経路を伝播してCCDカメラ6に入射する。
次に、測定経路に沿って伝播するレーザ光Lの偏光状態について、レーザ光Lが矢印A方向に伝播する往路と、レーザ光Lが矢印B方向に伝播する復路に分けて詳述する。
まず、往路について説明する。
レーザ出射装置1から出射したレーザ光Lは、ビームエキスパンダ2によって電気光学素子102の測定面102aと略同じ大きさの光径に拡大された後、NDフィルタ3を介して偏光ビームスプリッタ4に入射する。
この偏光ビームスプリッタ4は、入射したレーザ光Lのうち、所定方向の偏光軸を有する直線偏光成分だけを通過させ、残りの成分は全て入射方向に対して略垂直に反射する。そのため、偏光ビームスプリッタ4を通過したレーザ光Lは、所定方向の偏光軸を有する直線偏光となっている。
偏光ビームスプリッタ4から出射して直線偏光となったレーザ光Lは、1/8波長板5によってπ/8[rad]だけ位相を回転された後、電気光学素子102の測定面102aに平板電極101a、101bと平行に入射する。
電気光学素子102の測定面102aに入射したレーザ光Lは、反射ミラー103に到達するまでの間に、上記印加電圧により電界成分と磁界成分の間に位相差が与えられ、楕円偏光となる。
このとき、上記印加電圧は電気光学素子102の場所によって異なっているため、レーザ光Lの偏光状態も電気光学素子102への入射部位により異なっている。
次に、復路について説明する。
電気光学素子102の反射ミラー103に到達したレーザ光Lは、この反射ミラー103で反射してから、電気光学素子102の測定面102aから出射するまでの間に、上記印加電圧により電界成分と磁界成分に位相差が与えられる。
このとき、レーザ光Lの伝播方向(矢印B方向)は、往路における伝播方向(矢印A方向)と反対方向となっている。そのため、上記印加電圧は、レーザ光Lに対して、往路において与えた作用と反対の作用を与える。しかしながら、復路におけるレーザ光Lは、反射ミラー103で反射する際、往路におけるレーザ光Lに対して位相が反転しているので、レーザ光Lの電界成分と磁界成分には、往路と同じ方向に同じ分だけ位相差が与えられる。
電気光学素子102から出射したレーザ光Lは、1/8波長板5によって位相がπ/8[rad]だけ回転する。なお、このレーザ光Lは、往路において位相がπ/8[rad]だけ回転し、さらに反射ミラー103で反射する際に位相がπ/2[rad]だけ回転しているため、復路におけるπ/8[rad]の回転によって、偏光ビームスプリッタ4から出射した時のレーザ光Lの位相と比べて、π/4[rad]だけ回転している。
そのため、偏光ビームスプリッタ4に入射したレーザ光Lは、この偏光ビームスプリッタ4を通過することなく矢印C方向に反射し、CCDカメラ6により撮像される。このとき、CCDカメラ6に撮像されるレーザ光Lの強度は、電気光学素子102内を伝播する際に電界成分と磁界成分に位相差を与えられたことによって小さくなっている。
CCDカメラ6によって撮像されたレーザ光Lの強度は、測定強度I2として電気信号に変換された後、コンピュータ19(算出手段)に入力される。このコンピュータ19は、検出されたレーザ光Lの測定強度I2と、記憶装置に記憶された基準強度I1との差を算出し、この強度差に基づいて印加電圧を算出する。そして、さらに上記印加電圧と参照面102bに発生する電位分布とに基づいて、電気光学素子102の測定面102aに発生している電位分布を算出する。
このように、本発明の光学的表面電位測定装置によれば、電気光学効果を利用して電位分布を測定する技術を、2枚の平板電極101a、101bの間にスペーサとして介装された電気光学素子102の表面に発生する電位分布の測定に適用している。
そのため、平面型カラーディスプレイ等の開発において必要となる平板電極100a、100b間のスペーサ表面の電位分布を測定する際に、従来のように平板電極100a、100b間にプローブを挿入する必要がないから、スペーサ表面の電位分布を安全かつ正確に測定することができる。
また、電気光学素子102の参照面102bに反射ミラー103を設けることで、測定面102aから入射したレーザ光Lを電気光学素子102内で往復させている。
そのため、レーザ光Lが電気光学素子102を一方向に通過させる場合に比べて、レーザ光Lの電界成分と磁界成分に与えられる位相差が2倍となるから、検出感度を高めることができる。
さらに、本実施の形態では、レーザ光Lの強度を検出するためにCCDカメラ6を用いているため、レーザ光Lの撮像画像をアラインメント(レーザ光Lが電気光学素子に入射する際の角度や位置の調整)に利用することができる。
また、レーザ光Lが測定面102aや参照面102bで干渉を起こす場合には、電気光学素子102を測定面102aが参照面102bに対して僅かに傾斜した形状にしてもよい。
次に、図5を参照しながら本発明の第2の実施の形態について説明する。
図5は本発明の第2の実施の形態に係る光学式表面電位測定装置の構成図である。
図5に示すように、本実施の形態では、CCDカメラ6と偏光ビームスプリッタ4の間にビームスプリッタ21を配置し、矢印C方向に伝播するレーザ光Lを2つに分離することで、レーザ光LをCCDカメラ6だけでなく、CCDカメラ6の近傍に配置されたフォトディテクタ22(検出手段)でも検出できるようにしている。
このフォトディテクタ22は、CCDカメラ6が二次元信号の検出を行うのに対して、一次元信号の検出しか行えないが、CCDカメラ6よりもダイナミックレンジを大きく取ることができ、さらに高い周波数の信号を検出することができる。
本実施の形態のように、レーザ光Lの検出手段として、フォトディテクタ22とCCDカメラ6を備えていれば、本装置を様々なタイプの表面電位の検出に適応することができる。
次に、図6を参照しながら本発明の第3の実施の形態について説明する。
図6は本発明の第3の実施の形態に係る光学式表面電位測定装置の構成図である。
図6に示すように、本実施の形態では、NDフィルタ3と偏光ビームスプリッタ4の間に、NDフィルタ3側から順にピンホール板31とレンズ32を配置している。
このような構成にすることで、ビームエキスパンダ2から出射したレーザ光Lの光径を小さくしてから電気光学素子102に照射することができる。そのため、電気光学素子102中でレーザ光Lが干渉や回折などを起こすのが防止され、より正確な測定が可能となる。
なお、レーザ光Lの光径をピンホールで小さくすると、レーザ光Lが電気光学素子102の測定面102aでスポットにならず、面内分解能が不十分となる場合があるが、本実施の形態では、ピンホール板31により光径が小さくなったレーザ光Lをレンズ32で集光しているから、十分な面分解能を維持することができる。
また、本実施の形態のように、ピンホールを利用してレーザ光Lの光径を小さくする場合、ピンホール板31を駆動装置33により移動させれば、スポットを電気光学素子102の測定面102a上で走査することができるから、測定面102aの電位分布を略全面に亘って測定することができる。
なお、スポットを走査する方法としては、上記の他に測定対象100をレーザ光Lに対して垂直に移動させる方法や、光学系全体を移動させる方法等であってもよい。
また、平板電極101a、101bと電気光学素子102を真空チャンバ中(図示しない)に置き、上記真空チャンバのガラス窓を通してレーザ光Lを導入し、真空中の電気光学素子102の表面電位を測定することも可能である。すなわち、真空状態である平面型カラーディスプレイの2枚のガラス基板間に配置された電気光学素子102の測定を行うことが可能である。
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
1…レーザ出射装置(出射装置)、4…偏光ビームスプリッタ(偏光手段)、6…CCDカメラ(検出手段)、19…コンピュータ(算出手段)、31…フォトディテクタ(検出手段)、101a…平板電極(平行平板)、101b…平板電極(平行平板)、102…電気光学素子、103…反射ミラー(反射手段)、I1…基準強度、I2…測定強度。
Claims (3)
- 電気光学素子を介して対向配置される2枚の平行平板間に電圧を印加した際に上記電気光学素子の表面に生じる電位分布を測定する光学式表面電位測定装置において、
上記電気光学素子に向けて上記平行平板と平行に光を出射する出射手段と、
上記出射手段から出射された光に対して、この光が上記電気光学素子に入射する前に、所定の偏光状態を与える偏光手段と、
上記偏光手段により所定の偏光状態が与えられた光の強度を、この光が上記電気光学素子に入射する前に、基準強度として検出するとともに、上記電気光学素子に入射した後に出射する光の強度を測定強度として検出する検出手段と、
上記基準強度と測定強度に基づいて、上記電気光学素子の表面電位を算出する算出手段と、
を具備することを特徴とする光学式表面電位測定装置。 - 上記電気光学素子は、上記電気光学素子に入射した光を反射するとともに、その位相を反転させる反射手段を備えていることを特徴とする請求項1記載の光学式表面電位測定装置。
- 電気光学素子を介して対向配置される2枚の平行平板間に電圧を印加する電圧印加工程と、
上記電圧印加工程中、上記平行平板と平行に光を出射して、上記電気光学素子に入射させる出射工程と、
上記電気光学素子に入射する光に所定の偏光状態を与える偏光工程と、
上記偏光状態が与えられた光の強度を、上記電気光学素子に入射する前に検出する第1の検出工程と、
上記電気光学素子に入射した後に出射する光の強度を検出する第2の検出工程と、
上記第1の検出工程により検出された光の強度と第2の検出工程により検出された光の強度とに基づいて、上記電気光学素子の表面電位を算出する算出工程と、
を具備することを特徴とする光学式表面電位測定方法。
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