CN104347823A - 激光束照射装置及用该装置制造有机发光显示装置的方法 - Google Patents

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Abstract

在此提供了一种激光束照射装置及用该装置制造有机发光显示装置的方法。激光束照射装置，包括：激光源，配置成发射光；准直器，配置成校准所发射的光；扫描仪，配置成调整校准后的光以改变其照射方向；第一透镜部，配置成聚焦调整后的光以在密封部上照射激光束；相机，配置成接收穿过所述扫描仪的可视光；热感应部，配置成接收穿过所述扫描仪的红外光；以及控制部，配置成控制所述激光束的移动方向和强度。

Description

激光束照射装置及用该装置制造有机发光显示装置的方法
相关申请的交叉引用
本申请要求于2013年5月31日提交的第10-2013-0063083号韩国专利申请的权利，该申请在此通过引用并入以用于所有目的，如同其已完全在本文中阐述。
技术领域
本公开涉及用于密封基板的激光束照射装置以及通过采用该装置制造有机发光显示装置的方法。
背景技术
近来，便携式和薄型式平板显示装置越来越多地被用作电子设备的显示器。在平板显示装置中，电致发光显示装置为具有诸如视角宽、对比度好、以及响应时间快的特点的一种自发光型显示装置，并且作为下一代显示装置备受瞩目。并且，与无机发光显示装置相比，以有机材料形成发射层的有机发光显示装置以较好的亮度、驱动电压、和相应时间特点而著称，并且可以实现多色发光。
通常，有机发光显示装置具有包括在一双电极之间的发射层的、排列有一个或多个有机层的配置结构。
对有机发光显示装置而言，当湿气或氧气从周围的环境渗透到装置内部时电极材料可能被氧化和剥落，并且由此缩短了有机发光装置的使用寿命、降低了发光效率、以及使得发光颜色衰退。
因此，为了防止湿气的渗透，在有机发光显示装置的制造中通常地执行将有机发光装置与外部隔离的密封工序。传统的密封方法包括：在有机发光显示装置的第二电极上层叠有机薄膜和诸如聚酯纤维(PET)的有机聚合物的方法；以及在封装基板中形成湿气吸收剂、给封装基板充入氮气体、和用诸如环氧树脂的密封剂密封封装基板的边缘的方法。
但是，由于这些方法无法百分之百地防止诸如湿气和氧气的损害性因素从外部渗透，并且这些方法实施起来非常复杂，因此在未进行修改的前提下无法将这些应用于对湿气非常脆弱的有机发光显示装置。为了解决这样的问题，开发出了通过采用诸如熔块的密封剂提高有机发光装置基板和封装基板之间粘性的基板-密封方法。
通过采用以涂布在玻璃基板上的熔块密封有机发光显示装置的结构，完全地密封在有机发光装置基板和封装基板之间的空间，因此可以更有效地保护有机发光显示装置。
在用诸如熔块的密封剂密封基板的方法中，将熔块涂布在有机发光显示装置的密封部上，并且激光束照射装置把激光束照射在移动中的有机发光显示装置的密封部上以固化熔块，从而密封基板。
发明内容
本发明示例性实施例提供了一种用于将期望的激光强度局部地输送给密封部的激光束照射装置，以及采用该装置制造有机发光显示装置的方法。
根据本发明一示例性实施例，提供一种激光束照射装置，包括：激光源，配置成发射光；准直器，配置成校准所发射的光；扫描仪，配置成调整校准后的光以改变其照射方向；第一透镜部，配置成聚焦调整后的光以在密封部上照射激光束；相机，配置成接收穿过所述扫描仪的可视光；热感应部，配置成接收穿过所述扫描仪的红外光；以及控制部，配置成控制所述激光束的移动方向和强度。
根据一示例性实施例，提供一种激光束照射装置，包括：激光源，用于发射光；准直器，配置成校准所发射的光；扫描仪，配置成调整校准后的光以改变其照射方向；第一分色镜，配置成反射调整后的光；第一透镜部，配置成聚焦所述反射的光以在密封部上照射激光束；相机，配置成接收入射到第一透镜部上并且穿过所述第一分色镜的可视光；热感应部，配置成接收入射到所述第一透镜部上并且穿过所述第一分色镜的红外光；以及控制部，配置成控制所述激光束的移动方向和强度。
根据一示例性实施例，提供一种采用激光束照射装置制造有机发光显示装置的方法，包括：形成有机发光部；形成围绕所述有机发光部的密封部，所述密封部被形成在第一基板或第二基板上；对准所述第一基板和所述第二基板；以及照射激光束，以使得所述激光束在执行旋转运动时沿着所述密封部移动，并且当所述激光束执行所述旋转运动时改变所述激光束的强度。
应当理解，以上的总体说明和以后的详细说明为示例性的和解释性的，并且意在提供对要求保护的发明的进一步解释。
附图说明
通过参考附图详细地说明示例性实施例，将使得本发明的上述特征及其它特征及其优点变得更为清楚。
图1为激光束照射装置和有机发光显示装置的部分截面图。
图2为图1的激光束照射装置和有机发光显示装置的部分俯视图。
图3为说明根据一示例性实施例的激光束照射装置的示意图。
图4为说明根据一示例性实施例的激光束照射装置的示意图。
图5为说明根据一示例性实施例的激光束的运动路径的示意图。
图6为说明根据一示例性实施例的激光束的旋转运动和直线运动的示意图。
图7为说明根据一示例性实施例的激光束的旋转运动中激光束的强度变化示意图。
具体实施方式
以下，参考附图更详细地说明本发明示例性实施例。通过包含附图从而提供对本发明的进一步理解，附图并入和构成本申请的一部分，其用于说明本发明的实施例，并与说明书一同用于解释本发明的原理。
在图中，为了清楚可能夸大了层、膜、面板、区域等的厚度。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的要素。应当理解，当诸如层、膜、区域、或者基板在另一要素“上”时，其可以直接在其它要素上面或者可以存在介入要素。相反，当要素“直接”在另一要素“上”时，不存在介入要素。应当理解，为了本公开的目的，“X、Y、和Z中至少一个”可以解释为仅X、仅Y、仅Z、或者X、Y、和Z的任意两个或多个的组合(例如，XYZ、XYY、YZ、ZZ)。
图1为有机发光显示装置1000和激光束照射装置1和2的部分截面图。图2为图1的激光束照射装置1和2和有机发光显示装置1000的部分俯视图。
参考图1和图2，将有机发光部30和围绕有机发光部30的密封部40设置在第一基板10和第二基板20之间，并且将可以从激光束照射装置1和/或2发射的激光束60照射在密封部40上。
根据一示例性实施例，有机发光部30形成在第一基板10上。第一基板10可以为适于支撑在其上面覆盖的结构的基板。第一基板10可以包括：柔性材料、玻璃基板、石英基板等等。例如，可以以玻璃形成第一基板。
根据一示例性实施例，第二基板20为用于封装形成在第一基板10上的有机发光部30的封装基板，并且可以包括使得激光束60穿过其中的基板，如下面将要进行说明的。第二基板20可以包括：柔性材料、玻璃基板、石英基板等等。例如，可以以玻璃形成第二基板20。
进一步地，有机发光部30可以包括：一个或多个有机发光装置(简称为OLED)(未图示)，在有机发光装置中设置有一个或多个有机层(未图示)，有机层包括位于第一电极(未图示)和第二电极(未图示)之间的发射层。在此，第一电极(未图示)可以用作供应空穴的阳极，第二电极(未图示)可以用作供应电子的阴极。
根据是否采用薄膜晶体管(TFT)控制OLED的驱动，可以将OLED分为无源矩阵型和有源矩阵型。本公开的示例性实施例均可应用于无源矩阵和有源矩阵型。
根据一示例性实施例，可以将密封部40形成在与上述的有机发光部30相邻的第二基板20上。例如，可以将密封部40形成在第二基板20上以围绕有机发光部30。
密封部40可以形成闭环，以防止有机发光部30与外部的湿气或氧气接触。
如图1和图2所示，将形成闭环的密封部40的每个角落处形成为具有特定曲率的曲线形状。但是该主题的示例性实施例并不限于此。例如，可以将密封部40的每个角落处形成为具有小曲率或者没有曲率的、基本上为直角的形状。
根据一示例性实施例，适当的密封剂可以用作确保在第一基板10和第二基板20之间的密封能力的密封部40，并且更有效地保护有机发光部30。通过诸如丝网印刷方法或笔点胶方法的多种方法，可以将密封剂形成为具有特定宽度FW。密封剂可以为有机和/或无机材料。例如，密封剂可以为熔块。
根据一示例性实施例，在将密封部40形成在第二基板20上并且将有机发光部30形成在第一基板10上之后，可以将第一基板10和第二基板20相互对准。但是，该主题的示例性实施例并不限于此。例如，可以在将密封部40形成在已形成有有机发光部30的第一基板10上之后，将第一基板10与第二基板20进行对准和耦合。
并且，虽然在附图中示出了提供一个有机发光部30的示例，但是本领域的普通技术人员会意识到在第一基板10和第二基板20之间可以提供多个有机发光部30和分别围绕多个有机发光部30的多个密封部40。
激光束照射装置1和2可以沿着设置在第一基板10和第二基板20之间的密封部40的路径照射激光束60。激光束60可以以具有平顶轮廓的点波束的形式照射在密封部40上。
根据一示例性实施例，可以将第一基板10安装在基板台70上，从而使得基板台70在第一基板10下方。通过移动基板台70，可以相对移动激光束60照射在密封部40上的位置。可选地/附加地，通过激光束照射装置1和2的运动可以移动激光束60的位置。
图3为说明根据一示例性实施例的激光束照射装置1的示意图。
参考图3，根据一示例性实施例的激光束照射装置1可以包括：激光源110、扫描仪120、第一透镜部130、相机140、热感应部150、控制部160、照明部170、第一分色镜181、和第二分色镜182。
激光源110可以产生激光。根据一实施例，从激光源110可以发射具有808nm波长的激光。
准直器115可以与激光源110的输出连接。准直器115将从激光源110发射的光改变为校准光191。准直器115可以具有50nm的焦距。
可以将扫描仪120设置在来自准直器115的校准光191的路径上。通过第一分色镜181，可以将来自准直器115的校准光191反射到扫描仪120上。
扫描仪120可以包括：反射部(未图示)，用于将来自准直器115的校准光191反射到密封部40上；以及驱动部(未图示)，用于驱动反射部。反射部(未图示)的一部分可以使用精确地控制激光束的位置和速度的检流计反射镜，例如用于根据一示例性实施例的激光束60的旋转运动。检流计反射镜在450nm至2600nm波段可以具有高反射性。
根据一示例性实施例，可以将第一透镜部130设置在穿过扫描仪120的光的路径上。通过第一透镜部130，可以收集穿过扫描仪120的光。第一透镜部130可以包括F-theta透镜。F-theta透镜可以具有80nm的焦距。
根据一示例性实施例，被密封部40反射的所有波长的光穿过扫描仪120。
例如，被密封部40反射的可视光193入射至相机140。因此，通过相机140，可以与密封操作同步地提供与操作有关的可视信息。根据一示例性实施例，相机140可以为电荷耦合器件(charged coupleddevice，简称为CCD)相机。
聚焦透镜143可以与相机140耦合。聚焦透镜143可以用于调整反馈到相机140的图像的放大率。例如，聚焦透镜143可以具有80nm的焦距。带通滤波器146可以与聚焦透镜143耦合。带通滤波器146可以为只让532nm至615nm波段的光穿过的滤波器。
根据一示例性实施例，被密封部40反射的红外(IR)光194入射至热感应部150。因此，通过热感应部150，可以与密封操作同步地提供与密封操作有关的热量信息。例如，热感应部150可以为高温计或IR相机。
聚焦透镜153可以与热感应部150耦合。聚焦透镜153可以具有40nm或80nm的焦距。IR阻断过滤器156可以与聚焦透镜153耦合。IR阻断过滤器156能够防止红外光泄漏至外部。
根据一示例性实施例，控制部160控制激光束60的移动方向和强度。控制部160可以包括：用于控制检流计反射镜(未图示)的程序，其中检流计反射镜(未图示)控制激光束60的位置和速度以使得激光束60具有不同的强度和旋转的移动；以及激光驱动器，用于在激光束60的每个旋转运动分段中改变激光束60的强度。
根据一示例性实施例，照明部170可以在密封部40上照射光以照亮密封部40的周围。照明部170可以使用发光二极管(LED)，并且具有532nm波长以避免与激光束60的波段、可以用作实时测量的可视光波段，以及可以用作实时测量的IR波段重叠。
可以将第一分色镜181设置在穿过准直器115的光的路径和被密封部40反射并穿过扫描仪120的所有波长的光的路径上。第一分色镜181可以在穿过准直器115的光波长上具有高反射率，并且可以在可视光波段和IR波段具有高透明度。例如，第一分色镜181可以在808nm波段具有高反射率，并且可以在532nm至615nm和1.5μm至2.3μm波段具有高透明度。因此来自激光源110和准直器115的光被第一分色镜181反射，并入射到扫描仪120。在被密封部40反射并穿过扫描仪120的所有波长的光中，具有与来自激光源110和准直器115的光相同的波段的光192被第一分色镜181过滤掉。在被密封部40反射并穿过扫描仪120的所有波长的光中，可视光193和红外光194穿过第一分色镜181。
可以将第二分色镜182设置在穿过第一分色镜181的光的路径上。第二分色镜182可以在可视光波段具有高反射率，并且可以在IR波段具有高透明度。例如，第二分色镜182可以在532nm至615nm波段具有高反射率，并且可以在1.5μm至2.3μm波段具有高透明度。因此，可视光193被第二分色镜182反射并入射至相机140，并且红外光194穿过第二分色镜182并入射至热感应部150。由此，通过相机140，可以与密封操作同步地提供可视信息；并且通过热感应部150，可以与密封操作同步地提供热量信息。
从激光源110发射的光通过准直器115被改变为校准光191，被第一分色镜181反射，并且入射至扫描仪120。入射至扫描仪120的光方向可以被扫描仪120改变，并且由此可以将激光束60照射在密封部40上。
在被密封部40反射的所有波长的光中，具有与从激光源110发射的光的波段相同的光的方向被扫描仪120改变，并且被第一分色镜181过滤掉。在被密封部40反射的所有波长的光中，可视光193的方向被扫描仪120改变，穿过第一分色镜181，被第二分色镜182反射，并且照射到相机140上。在被密封部40反射的所有波长的光中，红外光194的方向被扫描仪120改变，穿过第一分色镜181和第二分色镜182，并且照射到热感应部150上。
图4为说明根据一示例性实施例的激光束照射装置2的示意图。
参考图4，根据一示例性实施例的激光束照射装置2可以包括：激光源210、扫描仪220、第二透镜部230、相机240、热感应部250、控制部260、照明部270、第三分色镜281、第四分色镜282、和第五分色镜283。
激光源210可以产生激光。例如，从激光源210可以发射具有808nm波长的激光。
准直器215可以与激光源210的输出连接。准直器215将从激光源210发射的光改变为校准光291。准直器215可以具有30nm焦距。
可以将扫描仪220设置在来自准直器215的校准光291的路径上。来自准直器215的校准光291可以直接地入射至扫描仪220。
扫描仪220可以包括：将来自准直器215的校准光291反射到密封部40的反射部(未图示)；以及驱动反射部的驱动部(未图示)。反射部(未图示)的一部分可以使用检流计反射镜，根据一示例性实施例，所述检流计反射镜对于激光束60的旋转运动精确地控制激光束的位置和速度。检流计反射镜可以在808nm波段具有高反射率。
根据一示例性实施例，可以将第二透镜部230设置在穿过扫描仪220的光292的路径上。穿过扫描仪220的光292可以被第三分色镜281反射，并且照射在第二透镜部230上。穿过扫描仪220的光292可以被第二透镜部230收集。第二透镜部230可以包括F-theta透镜。F-theta透镜可以具有2”到3”的尺寸。
根据一示例性实施例，被密封部40反射的所有波长的光穿过第二透镜部230。
例如，被密封部40反射的可视光293入射至相机240。通过相机240，可以与密封操作同步地提供与操作相关的可视信息。相机240可以为CCD相机。
聚焦透镜243可以与相机240耦合。聚焦透镜243可以用于调整反馈到相机240的图像的放大率。聚焦透镜243可以具有100nm的焦距。带通滤波器246可以与聚焦透镜243耦合。带通滤波器246可以为只允许525nm波段的光穿过的滤波器。
根据一示例性实施例，被密封部40反射的红外光294入射至热感应部250。因此，通过热感应部250，可以与密封操作同步地提供与操作有关的热量信息。热感应部250可以为高温计或IR相机。
IR阻断过滤器256可以与热感应部250耦合。阻断过滤器256能够隔绝具有与激光源210的光的波长相同的波长的光。IR阻断过滤器256可以隔绝具有808nm波长的光，由此可以只让红外光到达热感应部150。
根据一示例性实施例，控制部260控制激光束60的移动方向和强度。控制部260可以包括：用于控制检流计反射镜(未图示)的程序，其中检流计反射镜(未图示)控制激光束60的位置和速度以使得激光束60具有不同的强度和旋转的移动；以及激光驱动器，用于在激光束60的每个旋转运动分段中改变激光束60的强度。
根据一示例性实施例，照明部270在密封部40上照射光以照亮密封部40的周围。照明部270可以使用发光二极管，并且具有532nm波长以避免与激光束60的波段、可以用作实时测量的可视光波段、以及可以用作实时测量的IR波段重叠。
可以将第三分色镜281设置在穿过扫描仪220的光292的路径上和被密封部40反射并穿过第二透镜部230的所有波长的光的路径上。第三分色镜281可以在激光源210的波段具有高反射率，并且可以在可视光波段和IR波段具有高透明度。例如，第三分色镜281可以在808nm波段具有高反射率，并且可以在532nm波段和1,000nm至7,000nm波段具有高透明度。因此来自扫描仪220的光被第三分色镜281反射，并且入射至第二透镜部230。在被密封部40反射并穿过第二透镜部230的所有波长的光中，具有与来自激光源210和准直器215的光相同的波段的光292被第三分色镜281过滤掉。在被密封部40反射并穿过第二透镜部230的所有波长的光中，可视光293和红外光294穿过第三分色镜281。
可以将第四分色镜282设置在穿过第三分色镜281的光的路径上。第四分色镜282可以在可视光波段具有高反射率，并且可以在IR波段具有高透明度。例如，第四分色镜282可以在525nm波段具有高反射率，并且可以在1000nm至7000nm波段具有高透明度。因此，可视光293被第四分色镜282反射，而红外光294穿过第四分色镜282并入射至热感应部250。由此，通过热感应部250，可以与密封操作同步地提供与操作有关的热量信息。
可以将第五分色镜283设置在被第四分色镜282反射的光的路径上。第五分色镜283可以在可视光波段具有高反射率。例如，第五分色镜283可以在525nm波段具有高反射率。因此，可视光293被第五分色镜283反射，并且入射至相机240。由此，通过相机240，可以与密封操作同步地提供与操作相关的可视信息。
从激光源210发射的光通过准直器115被改变为校准光291，并且入射至扫描仪220。通过扫描仪220可以改变入射至扫描仪220的光方向，并且穿过扫描仪220的光292被第三分色镜281反射。被第三分色镜281反射的光可以被第二透镜部230收集，由此可以将激光束60照射到密封部40上。
在被密封部40反射的所有波长的光中，具有与从激光源210发射的光的波段相同的光穿过第二透镜部230，并且被第三分色镜281过滤掉。在被密封部40反射的所有波长的光中，可视光293穿过第二透镜部230和第三分色镜281，被第四分色镜282和第五分色镜283反射，并且照射到相机240上。在被密封部40反射的所有波长的光中，红外光294依次穿过第二透镜部230、第三分色镜281、和第四分色镜282，并照射到热感应部250上。
图5为说明根据一示例性实施例的激光束60的运动路径P的示意图。图6为说明根据一示例性实施例的激光束60的旋转运动R和直线运动T的示意图。图7为说明根据一示例性实施例的激光束60的旋转运动R中激光束60的强度变化示意图。
参考图5和图6，根据一示例性实施例的激光束60具有结合有旋转运动R和直线运动T的运动路径P，并且沿着密封部40的密封路径缓慢移动。如上所述，可以将激光束60的运动路径P设计为具有例如适当地相互重叠的环形轨迹。就是说，可以有意地将环形轨迹适当地予以相互重叠，从而将最适宜的能量传输给熔块以有效地进行密封。激光束60可以以特定的旋转半径r0执行旋转运动R。激光束60可以以具有平顶轮廓的点波束形式进行照射。参考图6，激光束60以点波束的形式围绕轴线执行旋转半径为r0的旋转运动R。根据一示例性实施例，当点波束的中心点画一个圆回到原点时，激光束60可以完成旋转运动R的一个环(或者一个周期)。
通过扫描仪120和220和控制部160和260，可以执行激光束60的旋转运动R。通过线性电机可以移动激光束照射装置1和2，从而激光束60可以执行直线运动T。并且，位于密封部40下方的基板台70移动，从而激光束60可以执行直线运动T。
为了使得期望的光束变形(morphing)成为可能，激光束60的截面直径应当足够大，但是可以小于密封部40的宽度FW。具体地，点波束的直径可以为熔块宽度的1/4至3/4倍。
进一步地，根据一示例性实施例，在执行点波束的旋转运动R过程中，基本上为环状的点波束可以被旋转，从而在旋转一个圆周期间其环形轨迹不会重叠。因此，点波束的最小旋转半径可以被确定为在旋转一个圆周期间点波束的环形轨迹不重叠的最小的旋转半径。因此，最小的旋转半径可以为点波束的半径。例如，当点波束的直径为1.3mm时，点波束旋转运动R的最小的旋转半径为0.65mm。例如，当点波束的直径为1.3mm，并且点波束旋转运动R的最小的旋转半径r0为1.3mm时，基于点波束旋转运动R的最外面的圆周的直径为3.9mm。
激光束60可以以比直线运动T更快的速度循环地执行旋转运动R。当熔块宽度为100mm时，点波束旋转运动R的旋转频率可以为50Hz或更高。例如，旋转频率可以在40–60Hz范围内。激光束60以高速循环地执行旋转运动R，从而使得期望的光束变形成为可能。
参考图7，当激光束60执行旋转运动R时，可以改变激光束60的强度。
激光束60具有结合有旋转运动R和直线运动T的运动路径P，并且激光束60的强度在旋转运动R的每个分段中被改变。因此，使得期望的光束变形变为可能，并且可以将期望的多样化的激光强度传输给熔块。
根据一示例性实施例，将旋转运动R路径的圆周以特定的角度α分割为多个分段，并且分段可以有不同的激光强度。通过控制部160和260的激光驱动器支持这些变化。根据一示例性实施例，可以以45度间隔分割旋转运动R路径的圆周。因此，可以将旋转运动R路径的圆周分割为第一分段S1、第二分段S2、第三分段S3、第四分段S4、第五分段S5、第六分段S6、第七分段S7、和第八分段S8。第一分段S1具有第一激光束强度，第二分段S2具有第二激光束强度，第三分段S3具有第三激光束强度，第四分段S4具有第四激光束强度，第五分段S5具有第五激光束强度，第六分段S6具有第六激光束强度，第七分段S7具有第七激光束强度，以及第八分段S8具有第八激光束强度。
激光束60具有结合有旋转运动R和直线运动T的运动路径P，旋转运动R路径的圆周被分割为具有不同强度的8个分段，并且控制8个分段的强度，由此实现了期望的光束轮廓。因此，在熔块下部层的类型被局部地改变或其几何形状被改变的分段中，光束轮廓可根据改变随时调整，从而防止了对局部排线等的损伤。并且，熔块角落处内部的激光强度应当减少到约角落处外部的激光强度的一半，并且由于可以在角落处调整光束轮廓，因此可以维持角落处的外部和内部的密封质量一致。
根据本发明的示例性实施例，在未对周围器件进行热损坏的前提下可以执行高质量熔块密封工序。
虽然参考示例性实施例图示并说明了本发明，但是本领域的普通技术人员会理解在未脱离本发明宗旨和权利要求书确定的范围的前提下可进行多种在形式上和细节上的改变。

Claims (19)

1.一种激光束照射装置，包括：
激光源，配置成发射光；
准直器，配置成校准所发射的光；
扫描仪，配置成调整校准后的光以改变其照射方向；
第一透镜部，配置成聚焦调整后的光以在密封部上照射激光束；
相机，配置成接收穿过所述扫描仪的可视光；
热感应部，配置成接收穿过所述扫描仪的红外光；以及
控制部，配置成控制所述激光束的移动方向和强度。
2.根据权利要求1所述的激光束照射装置，进一步包括：
分色镜，配置成将来自所述准直器的校准后的光反射至所述扫描仪，并且对具有与激光相同的波长并且入射到所述扫描仪的光进行过滤。
3.根据权利要求1所述的激光束照射装置，进一步包括：
分色镜，配置成将所述可视光反射到所述相机上，并且使得所述红外光穿过并照射到所述热感应部上。
4.根据权利要求1所述的激光束照射装置，进一步包括：
照明部，配置成将照明光照射在所述密封部上。
5.根据权利要求1所述的激光束照射装置，其中，
所述控制部进一步配置成使所述激光束在执行旋转运动时沿着第一方向移动。
6.根据权利要求5所述的激光束照射装置，其中，
所述旋转运动的频率在50–60Hz范围内。
7.根据权利要求5所述的激光束照射装置，其中，
所述控制部进一步配置成将所述激光束的所述旋转运动控制为使得所述激光束形成在一个旋转运动周期期间不重叠的轨迹。
8.根据权利要求5所述的激光束照射装置，其中，
所述扫描仪包括：检流计反射镜，配置成使得所述旋转运动能够实现；以及
所述控制部配置成控制所述检流计反射镜。
9.一种采用激光束照射装置制造有机发光显示装置的方法，所述方法包括：
形成有机发光部；
形成围绕所述有机发光部的密封部，所述密封部被形成在第一基板或第二基板上；
对准所述第一基板和所述第二基板；以及
照射激光束，以使得所述激光束在执行旋转运动时沿着所述密封部移动，以及当所述激光束执行所述旋转运动时改变所述激光束的强度。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，
所述第一基板和第二基板中的至少一个使得所述激光束穿过。
11.根据权利要求9所述的方法，其中，
所述旋转运动的频率在50–60Hz范围内。
12.根据权利要求9所述的方法，其中，
所述旋转运动被执行为使得所述激光束形成在一个旋转运动周期期间不重叠的轨迹。
13.根据权利要求9所述的方法，其中，
通过扫描仪执行所述旋转运动，所述扫描仪包括配置成改变所述激光束的照射方向的检流计反射镜；以及
通过控制部控制所述检流计反射镜，所述控制部配置为控制所述检流计。
14.根据权利要求9所述的方法，其中，
通过所述激光束照射装置，以小于所述旋转运动速度的速度执行沿着所述第一方向的直线运动。
15.根据权利要求9所述的方法，其中，
当所述激光束执行所述旋转运动时，以45度间隔控制所述激光束的所述强度。
16.根据权利要求9所述的方法，其中，
以点波束的形式照射所述激光束，以及
通过包括程序以进行控制的控制部控制所述激光束的强度和移动方向。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，
所述点波束的直径小于所述密封部的宽度。
18.根据权利要求9所述的方法，其中，
所述密封部包括熔块。
19.根据权利要求18所述的方法，其中，
所述熔块形成闭环以围绕所述有机发光部。
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