JP2005133786A - 気体軸受装置 - Google Patents
気体軸受装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005133786A JP2005133786A JP2003369121A JP2003369121A JP2005133786A JP 2005133786 A JP2005133786 A JP 2005133786A JP 2003369121 A JP2003369121 A JP 2003369121A JP 2003369121 A JP2003369121 A JP 2003369121A JP 2005133786 A JP2005133786 A JP 2005133786A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed shaft
- shaft body
- bearing device
- gas bearing
- movable body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
可動体の移動に伴う周囲の真空度低下を抑制し、真空チャンバ内で動作する半導体露光装置・検査装置・成膜工程用装置に好適な気体軸受装置を提供すること。
【解決手段】
固定軸体11と、微小隙間を介して固定軸体11を囲んで配置された可動体12と、可動体12の固定軸体11と対向する面に圧縮気体を供給するための給気口14と、上記圧縮気体を排出するための排気口15とを備えた気体軸受装置10において、固定軸体11は、高周波振動をその表面に発生する部材が具備されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
まず、チタン酸バリウムなどの多結晶セラミックスもしくはニオブ酸リチウムなどの単結晶の平板を、0.5〜2mmの厚みに研削加工し圧電体層13cを得る。次いで、圧電体層13cの両面に、金、銀もしくは銅などを成膜し、電極13a、13bを形成することにより圧電振動体13を得る。なお、圧電体層13cの分極及びエージングは公知の方法により行われる。
アルミナなどの多結晶セラミックスを所定の形状に加工し、可動体12の移動方向に垂直な等断面を有する形状の固体軸体11を得る。
上記の固体軸体11の端面を除く4面に、上記圧電振動体13を耐真空性エポキシ系接着剤を介して接着させる。この際、固体軸体11の端面以外の全域に耐真空性エポキシ系接着剤を塗布し圧電振動体13を接着してもよい。好ましくは、固体軸体11の表面を2段の凹部を形成し、この凹部の中に耐真空性エポキシ系接着剤を配置し、圧電振動体13を接着させる。この方法によると、固体軸体11の表面と圧電振動体13の間に耐真空性エポキシ樹脂が介在することがなく、圧電振動体13も固体軸体11の表面に添った平滑性を得ることができる。
12,22 ・・・可動体
13 ・・・圧電振動層
13a,13b ・・・電極
13c ・・・圧電体層
14,24 ・・・給気口
15,25 ・・・排気口
16,26 ・・・吸引ポンプ
17 ・・・信号発生部
18 ・・・電線
19 ・・・半田
Claims (3)
- 固定軸体と、該固定軸体を微小隙間を介して取り囲んだ可動体と、該可動体の上記固定軸体と対向する面に圧縮気体を供給する給気口と、上記圧縮気体を排出する排気口とを備えた気体軸受装置において、上記固定軸体の表面に高周波振動を発生する部材が形成されていることを特徴とする気体軸受装置。
- 上記高周波振動を発生する部材として、上記固定軸体の表面に、電極層、圧電体層及び電極層を積層してなる圧電振動体を備えたことを特徴とする請求項1記載の気体軸受装置。
- 上記圧電体層が単結晶からなることを特徴とする請求項2記載の気体軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003369121A JP2005133786A (ja) | 2003-10-29 | 2003-10-29 | 気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003369121A JP2005133786A (ja) | 2003-10-29 | 2003-10-29 | 気体軸受装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005133786A true JP2005133786A (ja) | 2005-05-26 |
Family
ID=34646586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003369121A Pending JP2005133786A (ja) | 2003-10-29 | 2003-10-29 | 気体軸受装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005133786A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007071293A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Nsk Ltd | ガイド装置 |
CN103899644A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-07-02 | 哈尔滨工程大学 | 阶梯式复合节流气浮导轨 |
CN111442030A (zh) * | 2020-04-21 | 2020-07-24 | 大连民族大学 | 一种气浮支撑系统 |
-
2003
- 2003-10-29 JP JP2003369121A patent/JP2005133786A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007071293A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Nsk Ltd | ガイド装置 |
CN103899644A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-07-02 | 哈尔滨工程大学 | 阶梯式复合节流气浮导轨 |
CN111442030A (zh) * | 2020-04-21 | 2020-07-24 | 大连民族大学 | 一种气浮支撑系统 |
CN111442030B (zh) * | 2020-04-21 | 2024-04-26 | 大连民族大学 | 一种气浮支撑系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7592738B2 (en) | Ultrasonic motor | |
JP4746291B2 (ja) | 静電容量型超音波振動子、及びその製造方法 | |
JP5594435B2 (ja) | 超音波トランスデューサ | |
Meyer Jr et al. | Displacement amplification of electroactive materials using the cymbal flextensional transducer | |
JP2007258918A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2013067553A5 (ja) | ||
US7952248B2 (en) | Piezoelectric generator | |
JP2005510890A (ja) | ラジアルパワーメガソニックトランスデュサー | |
JP4892661B2 (ja) | 超音波モータ用振動子 | |
US7105985B2 (en) | Megasonic transducer with focused energy resonator | |
JP2005133786A (ja) | 気体軸受装置 | |
CN1784792A (zh) | 压电/电致伸缩元件及其制造方法 | |
JP3434672B2 (ja) | 小型回転式アクチュエータ及び小型回転式アクチュエータの共振周波数補正方法 | |
US9837938B2 (en) | Vibration element, method for manufacturing same, and vibration-type driving device | |
US20060284517A1 (en) | Piezoelectric thin film vibrator and fabrication method thereof, driving apparatus and piezoelectric motor using the same | |
JP2005278390A (ja) | 超音波振動子 | |
JP2020151796A (ja) | 振動素子基板の製造方法及び振動素子基板 | |
CN114865949B (zh) | 一种微型平板压电电机及设计方法 | |
JP2005093968A (ja) | 真空チャック | |
JP2006304425A (ja) | 超音波モータの運転方法 | |
JP2002261341A (ja) | 圧電素子,それを利用した圧電駆動体及び電子機器 | |
JP2009225655A (ja) | 超音波モータ | |
JP5384843B2 (ja) | 圧電素子構造体の製造方法および圧電素子構造体 | |
Nadig et al. | PZT lateral bimorph array stator based ultrasonic micromotor | |
JP2009240149A (ja) | 超音波モータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061012 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090512 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090710 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090811 |