CN103899644A - 阶梯式复合节流气浮导轨 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于提供阶梯式复合节流气浮导轨,包括气浮、导轨,气浮安装在导轨上,气浮的工作面商设置静压气浮供气点,以静压气浮供气点为中心设置阶梯状节流浅腔,从外部向静压气浮供气点方向阶梯状节流浅腔深度逐步增大,相邻静压气浮供气点的阶梯状节流浅腔不相通。本发明承载能力比传统气浮导轨提高3倍以上,刚度比传统气浮导轨提高3倍以上。与传统气浮导轨相比,气膜对导轨加工误差的均化效应得到进一步提高。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种气浮导轨。
背景技术
目前,工程中使用的气浮导轨,仅仅利用外节流静压气浮原理来承受载荷并提供刚度,在实际应用当中常常遇到承载能力低、刚度小、抗干扰能力差的问题。这些种类的气浮导轨没有充分利用复合节流效应,从而不能提供大的承载能力和刚度,并且抗干扰能力差、导向精度难于提高。专利(US6164827A)提出了具有表面微沟槽的气浮板结构,这种结构只有在小气膜厚度下才起作用,对提高气浮导轨综合性能没有显著作用;专利(JP特开2009-209962A)提出了一种节流器出口改进的气浮导轨,但其改进区域面积仅占制成面积的6.25%,无法起到表面节流作用,其浅腔内部开槽的设计只适用于局部湍流的改进,而不能用于表面节流;专利(CN1651783A)公开了一种双特征表面节流圆锥轴承,基于传统腐蚀工艺采用了双特征等深模型,无法起到最佳表面节流作用。
发明内容
本发明的目的在于提供高刚度、高承载能力的阶梯式复合节流气浮导轨。
本发明的目的是这样实现的:
本发明阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:包括气浮、导轨,气浮安装在导轨上,气浮的工作面商设置静压气浮供气点,以静压气浮供气点为中心设置阶梯状节流浅腔,从外部向静压气浮供气点方向阶梯状节流浅腔深度逐步增大,相邻静压气浮供气点的阶梯状节流浅腔不相通。
本发明还可以包括:
1、静压气浮供气点成排布置,至少一排。
2、气浮板工作面上,加工有单条卸压槽或十字形卸压槽,卸压槽与环境大气相通。
3、阶梯状节流浅腔为圆形、矩形或圆形和矩形的组合。
4、静压气浮供气点为具有节流作用的孔、缝隙或/和带有毛细孔材料填充的孔。
本发明的优势在于:
(1)承载能力比传统气浮导轨提高3倍以上。
(2)刚度比传统气浮导轨提高3倍以上。
(3)与传统气浮导轨相比,气膜对导轨加工误差的均化效应得到进一步提高。
附图说明
图1是气浮导轨的三维示意图;
图2是加工有十字形卸压槽,以静压气浮供气点为中心,加工有阶梯状节流浅腔的示意图;
图3是加工有单条卸压槽,以静压气浮供气点为中心,加工有阶梯状节流浅腔的示意图;
图4是加工有单条卸压槽,将4个静压气浮供气点分成两组,以静压气浮供气点为中心,加工有阶梯状节流浅腔的示意图;
图5是加工有十字形卸压槽,将8个静压气浮供气点分成4组,以静压气浮供气点为中心,加工有阶梯状节流浅腔的示意图;
图6是加工有单条卸压槽,将8个静压气浮供气点分成两组,以静压气浮供气点为中心,加工有阶梯状节流浅腔的示意图;
图7是加工有十字形卸压槽,将16个静压气浮供气点分成4组,以静压气浮供气点为中心,加工有阶梯状节流浅腔的示意图;
图8是以静压气浮供气点为中心,加工有矩形-矩形组合的两级阶梯状节流浅腔的示意图;
图9是以静压气浮供气点为中心,加工有圆形-圆形组合的两级阶梯状节流浅腔的示意图;
图10是以静压气浮供气点为中心,加工有矩形-圆形组合的两级阶梯状节流浅腔的示意图;
图11是以静压气浮供气点为中心,加工有矩形-矩形-矩形组合的3级阶梯状节流浅腔的示意图;
图12是以静压气浮供气点为中心,加工有圆形-圆形-圆形组合的3级阶梯状节流浅腔的示意图;
图13是以静压气浮供气点为中心,加工有矩形-圆形-圆形组合的3级阶梯状节流浅腔的示意图;
图14是以静压气浮供气点为中心,加工有矩形-矩形-圆形组合的3级阶梯状节流浅腔的示意图;
图15是以静压气浮供气点为中心加工有两级阶梯状节流浅腔的示意图;
图16是以静压气浮供气点为中心加工有3级阶梯状节流浅腔的示意图;
图17是静压气浮供气点为具有节流作用的孔的示意图;
图18是静压气浮供气点为缝隙的示意图;
图19是静压气浮供气点为带有毛细孔材料填充的孔的示意图。
具体实施方式
下面结合附图举例对本发明做更详细地描述:
在气浮板2工作面3上,以静压气浮供气点为中心加工有阶梯状节流浅腔4,从外部向静压气浮供气点5方向阶梯状节流浅腔4深度逐步增大,相邻静压气浮供气点5的阶梯状节流浅腔4不相通。
所述的静压气浮供气点5单排布置或多排布置。
所述的气浮板2工作面3上,加工有单条卸压槽7或十字形卸压槽6,卸压槽6、7与环境大气相通。
所述的阶梯状节流浅腔4为圆形9、13、矩形8、12或圆形和矩形的组合10、14、15。
所述的静压气浮供气点19是具有节流作用的孔20。
所述的静压气浮供气点是缝隙21。
所述的静压气浮供气点22是用带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例1:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,气浮板2的工作面3如图2所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例2:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,气浮板2的工作面3如图4所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例3:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,气浮板2的工作面3如图5所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例4:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,气浮板2的工作面3如图7所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例5:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,两个气浮板2的工作面3如图2所示,两个气浮板2的工作面3如图3所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例6:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,两个气浮板2的工作面3如图3所示,两个气浮板2的工作面3如图4所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例7:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,两个气浮板2的工作面3如图4所示,两个气浮板2的工作面3如图5所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例8:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,两个气浮板2的工作面3如图5所示,两个气浮板2的工作面3如图6所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例9:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,两个气浮板2的工作面3如图5所示,两个气浮板2的工作面3如图7所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
实施例10:
如附图1所示,气浮导轨由导轨1和气浮板2组成,两个气浮板2的工作面3如图6所示,两个气浮板2的工作面3如图7所示,阶梯状节流浅腔4采用两级式8、9、10或采用三级式12、13、14、15,静压气浮供气点5为具有节流作用的孔20、缝隙21或带有毛细孔材料23填充的孔。
具有节流作用的孔20主要指直径小于0.3毫米的节流小孔;当小孔直径大于0.3毫米时,外节流作用显著减弱;当小孔直径大于0.5毫米时,外节流作用基本消失。
阶梯状节流浅腔的加工可采用机械加工法、研磨法或腐蚀法。
工作面内静压气浮供气点可以根据实际需要进行位置和数量的调整。气浮板的组合也可以根据实际需要而调整,比如组合成开放式导轨等。
Claims (9)
1.阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:包括气浮、导轨,气浮安装在导轨上,气浮的工作面商设置静压气浮供气点,以静压气浮供气点为中心设置阶梯状节流浅腔,从外部向静压气浮供气点方向阶梯状节流浅腔深度逐步增大,相邻静压气浮供气点的阶梯状节流浅腔不相通。
2.根据权利要求1所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:静压气浮供气点成排布置,至少一排。
3.根据权利要求1或2所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:气浮板工作面上,加工有单条卸压槽或十字形卸压槽,卸压槽与环境大气相通。
4.根据权利要求1或2所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:阶梯状节流浅腔为圆形、矩形或圆形和矩形的组合。
5.根据权利要求3所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:阶梯状节流浅腔为圆形、矩形或圆形和矩形的组合。
6.根据权利要求1或2所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:静压气浮供气点为具有节流作用的孔、缝隙或/和带有毛细孔材料填充的孔。
7.根据权利要求3所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:静压气浮供气点为具有节流作用的孔、缝隙或/和带有毛细孔材料填充的孔。
8.根据权利要求4所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:静压气浮供气点为具有节流作用的孔、缝隙或/和带有毛细孔材料填充的孔。
9.根据权利要求5所述的阶梯式复合节流气浮导轨,其特征是:静压气浮供气点为具有节流作用的孔、缝隙或/和带有毛细孔材料填充的孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN103899644B CN103899644B (zh) | 2016-11-23 |
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ID=50991159
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Country Status (1)
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