JP2005110208A - 光サブキャリアの高速変調 - Google Patents

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Abstract

【課題】光サブキャリア上のデータを伝送するための改善された方法とシステムを提供すること。
【解決手段】デジタル・データを伝送するための方法が、サブキャリアを有するコヒーレントの光キャリアを共にコヒーレントの複数の光キャリアへと分割する工程、共にコヒーレントの複数の光キャリアの各々に対応する位相シフトの配列を作成する工程、およびその後、共にコヒーレントの複数の光キャリアを干渉させる工程を含む。干渉工程が、そのサブキャリアが対応する値の対の配列を備えた変調された同相および直交位相の成分を有する出力光キャリアを作り出す。干渉工程によって作り出された変調された同相および直交位相の成分の値の対が4−PSK 2D、16−QAM 2D、または16−PSK 2Dの配座の信号点に関する座標対の配列に対応する。
【選択図】図1A

Description

本発明は、デジタル・データの光および無線伝送に関する。
米国政府は本発明の支払済みのライセンスおよび、DARPAによって裁定される契約番号MDA972−03C−0046の条件によって与えられるような妥当な条件で他者にライセンス供与することを限られた状況で特許所有者に要求する権利を有する。
光サブキャリアへの変調として符号化されたデジタル・データをいくつかの仕組みが伝送する。光サブキャリアは実質的に単色の光キャリアに対する周期性の振幅変調である。未変調の光サブキャリアは連続波レーザから出る出力を振幅変調することによって、または近接した波長を有する2つの連続波レーザから出る光に干渉させることによって作り出されることが可能である。未変調の光サブキャリアは基調を成す光キャリアの波長よりもはるかに長い波長を有する。
米国特許出願番号10/133,469号 Robert G.Walkerの表題「High−Speed III−V Semiconductor Intensity Modulators」の論文、IEEE Journal of Quantum Electronics、Vol.27、No.3(1991年)654〜667頁
現在の方法およびシステムは光サブキャリアの変調を介してデータを伝送するために複雑な変調器と変調の仕組みを使用する。光サブキャリア上のデータを伝送するための改善された方法とシステムが望まれる。
様々な実施形態が光サブキャリアの同相および直交位相の成分の両方の変調を介したデジタル・データの伝送を提供する。これらの成分の変調された振幅は4つ以上の信号点で単純な二次元(2D)配座の点を形成する。そのような2D配座は記号間隔当たりデジタル・データの2ビット以上の伝送を可能にする。
一態様では、デジタル・データを伝送するための方法はサブキャリアを有するコヒーレントの光キャリアを共にコヒーレントの複数の光キャリアに分割する工程、共にコヒーレントの光キャリアの各々で対応する位相シフトの配列を作り出す工程、および共にコヒーレントの複数の光キャリアを干渉させる工程を含む。干渉工程は変調されたサブキャリアを備えた出力光キャリアを発生させる。変調されたサブキャリアは値の対の配列を備えた同相および直交位相の成分を有する。干渉工程によって生じた変調された同相および直交位相の成分の値の対はまた、4−PSK、16−QAM、または16−PSK 2D配座の信号点に関する座標の配列に対応する。
いくつかの実施形態では、本方法は分割工程と干渉工程の間に共にコヒーレントの複数の光キャリア各々のサブキャリアを時間遅延させる工程を含む。共にコヒーレントの光キャリアの異なるそれの時間遅延の間の差の大きさは、サブキャリア周期の整数部からサブキャリア周期の少なくとも0.1倍異なることが可能である。
いくつかの実施形態では、本方法はコヒーレントの光キャリアを4つの共にコヒーレントの第2の光キャリアに分割する工程、共にコヒーレントの複数の第2の光キャリアの各々に第2の位相シフトの第2の配列を作り出す工程、およびその後、共にコヒーレントの複数の第2の光キャリアを干渉させる工程を含む。この第2の干渉工程は、変調された同相および直交位相の成分の対になった値の第2の配列を有するサブキャリアを発生させる。変調された同相および直交位相の成分の第2の配列の対になった値は4−PSK、オフセット4−PSK、または台形2D配座の信号点の座標に対応する。
また別の態様では、データを光学的に伝送するためのシステムは電子−光学的な変調器および制御器を有する。変調器はサブキャリアを備えた光キャリアを受け取ることが可能である。制御器は、デジタル・データのストリームの受信に応答して制御電圧の複数セットのストリームを電子−光学的変調器へと印加するように構成される。変調器は、制御電圧のセットの各印加に応答して、変調されたサブキャリアを備えた光キャリアを出力する。変調器はサブキャリアを変調してその同相および直交位相の成分に関する変調された値の対のストリームを作り出すことによって制御器から入る制御電圧の複数セットのストリームに応答する。値の対は4−PSK、16−QAM、または16−PSK 2D配座の信号点の座標に対応する。
本システムのいくつかの実施形態では、値の対は4−PSK、16−QAM、または16−PSK 2D配座の信号点の座標に5%以上対応する。
本システムのいくつかの実施形態では、電子−光学的変調器はカスケード接続された第1と第2の電子−光学的変調器の対を含む。第1の変調器はサブキャリアを変調してその同相および直交位相の成分に関する変調された第2の値の対のストリームを作り出すことによって制御器から入る制御電圧の複数セットのストリームに応答するように構成される。第2の値の対は4−PSK、台形、または4−PSK 2D配座の信号点の座標に対応する。
本システムのいくつかの実施形態では、変調器は光キャリアを受け取るための4出力を備えた光学スプリッタ、4入力を備えた光学コンバイナ、および4つの光学導波路を有する。各々の導波路はスプリッタの出力の1つをコンバイナの入力の1つに接続し、それによって各々の入力が1つの出力に接続される。導波路は制御器によって印加される受信した制御電圧の複数セットに接続される電子−光学的変調器を含む。いくつかの実施形態では、導波路のうちのいかなる2つの長さの間の差異の大きさもサブキャリア波長の整数部から少なくともサブキャリア波長の0.1倍異なる。
また別の態様では、システムは電子−光学的変調器および制御器を有する。電子−光学的変調器は4出力を備えた光学スプリッタ、4入力を備えた光学コンバイナ、および4つの導波路を有する。光学スプリッタは光キャリア波を受け取るように構成される。導波路は、各々の入力が出力のうちの1つに接続されるように出力を入力に接続する。各々の導波路は電子−光学的位相シフタを有し、それが印加された電圧に応答する。制御器はデジタル・データのセットの受信に応答して制御電圧の複数のセットのうちの1つを電子−光学的位相シフタに印加するように構成される。印加された制御電圧の複数セットのうちの各々1つに応答して、コンバイナは変調されたサブキャリアを備えた光キャリアを出力する。変調器は、変調された値の対が2D信号配座の信号点の座標に対応するようにサブキャリアの同相および直交位相の成分の値を変調することによって制御電圧の複数セットに応答する。この配座は等しい長さの信号点を有する。
様々な図および文章の中で、類似した、例えばプライム符号、ダブル・プライム符号、および/または文字に至るまでの参照番号は類似した機能を備えた素子を示す。
図1A〜1Bは、デジタル・データを光サブキャリアの同相および直交位相の成分の振幅に符号化するように構成される光伝送器10を示している。伝送器10は光源12、電子−光学的変調器14、および電気的制御器16を有する。光源12は未変調の光サブキャリア、すなわちある周波数の一定振幅のサブキャリアを備えたコヒーレントの光キャリア波を作り出す。ここでは、光サブキャリアの波長は光キャリアのそれらの長さの少なくとも20倍であり、好ましくは光キャリアのそれらの長さの100倍以上である。電子−光学的変調器14は光サブキャリアの同相および直交位相の成分の両方の振幅を変調する。電気的制御器16は光変調器14による光サブキャリアの変調を制御するためにライン38A〜38D上に電圧を生じさせる。変調されたサブキャリアを備えた光キャリア波を作り出す光伝送器の範例は2002年4月26日にYoung KaiとAndreas
Levenによって出願された米国特許出願番号10/133,469号に述べられており、ここではその全文を参考資料で組み入れている。
光変調器14は光学スプリッタ18、光学コンバイナ20、および4つの光導波路A、B、C、Dを有する。光学スプリッタ18は光源12からコヒーレントの光キャリア波を受け取り、出力ポート22A、22B、22C、22D上に共にコヒーレントの出力光波を作り出す入力ポート17を有する。光学コンバイナ20は入力ポート24A、24B、24C、24Dで受け取られる共にコヒーレントの光波を組み合わせて出力ポート25に変調されたサブキャリアを備えた1つの光キャリア波を作り出す。別々になった導波路A〜Dは光学スプリッタ18の各々の出力ポート22A、22B、22C、22Dを光学コンバイナ20の1つの入力ポート24A、24B、24C、24Dに接続し、それにより、1つの出力ポート22A、22B、22C、22Dが各々の入力ポート24A、24B、24C、24Dにつながる。光学スプリッタ18と光学コンバイナ20は単一モードまたは多モードの干渉結合器であることも可能である。
光導波路A〜Dに沿って、異なる共にコヒーレントの波のキャリアおよびサブキャリアの位相は別々に展開する。特に、導波路A〜Dは光学遅延素子26B、26C、26D、および公称では同一の電子−光学的に制御可能な位相シフタ28A、28B、28C、28Dを含む。光学遅延素子26B、26C、26Dはそれぞれの光導波路B、C、およびD内の光キャリア波のサブキャリアと光導波路A内の光キャリアのサブキャリアの間に固定の相対的遅延T、T、Tを作り出す。T、T、Tは通常、サブキャリアの周期TSCの整数倍から少なくとも0.1TSC異なる大きさを有する。導波路A、B、C、およびDを通る光キャリア波の伝搬時間の間の差異の大きさもやはりTSCの整数倍から少なくとも0.1TSC異なる。電子−光学的位相シフタ28A、28B、28C、28Dは光導波路A〜Dの実質的に同じ活性部分である。電子−光学的位相シフタ28A〜28Dはそれに印加される電圧に応答する方式で光キャリアの位相を、例えば0から2πへと変位させる。印加されるDC電圧は、他の印加電圧がない場合に導波路A〜Dが出力ポート25で同相の光キャリア波に寄与するように電子−光学的位相シフタ28A〜28Dを予め設定する。動作時では、入力ポート8、9から受けた入力データに応答する方式で電子−光学的位相シフタ28A〜28Dがキャリア波の位相を変調するようにライン38A、38B、38C、および38Dが制御電圧V、−V、V、および−Vを印加する。
電気的制御器16は制御器30および第1と第2の可変電圧源32、34を有する。第1と第2の可変電圧源32、34は制御電圧の対(V、−V)および制御電圧の対(V、−V)をそれぞれ発生する。制御電圧の各々の対はデータ入力部8またはデータ入力部9で受け取ったデジタル・データの相当するビットに応答する。制御電圧の対(V、−V)および(V、−V)はそれぞれ電極対(36A、36B)および(36C、36D)を、DCノイズに対してそれほど敏感でない異なるモードで動作させる。制御電圧V、Vは光学位相シフタ28A、28B、28C、28Dによって互いにコヒーレントの光キャリア内に誘導される相対的位相を固定する。これらの位相は、これらの光キャリア波が光学コンバイナ20の出力ポート25でどのように干渉を生じるかを決定する。
光伝送器10は記号期間当たり2ビットのデジタル・データを受け取って符号化する。2ビットのデータに関する電圧信号は電気的制御器16の入力データ・ライン8、9で受け取られ、その後、光変調器14によって光サブキャリアの同相および直交位相の成分それぞれの振幅へと符号化される。制御電圧V、Vおよび時間遅延素子26B、26C、26Dから由来するサブキャリアの遅延T、TとTは光変調器14が光サブキャリアの同相および直交位相の成分をどのように変調するかを決定する。制御電圧VとVおよびサブキャリアの遅延{T、T、T}は、変調された値が選択された二次元(2D)配座の4つの信号点の座標に対応するように選択される。特に、光サブキャリアの同相および直交位相の成分に関する変調された振幅の対、およびその直線的な組み合わせは2D配座の中の信号点の「x」と「y」座標に対応するであろう。
2D配座では、信号点は複素平面内のベクトル、すなわち平面内で原点から関連する複素数へと向かうベクトルである。
{A、A、A、A}が2D配座の4つの信号点を表わす複素数であるとすると、固定の遅延{T、T、T}およびキャリアの位相シフトの4セット、すなわちm=1、2、3、4について{φ(m)}が下記の4つの式を満足すれば光変調器10はこれらの点を表わす変調されたサブキャリアを発生するであろう。
Figure 2005110208
式(1)の解のセットは遅延素子26B〜26Dによって作り出される固定の遅延{Ta}および電源32、34により印加される制御電圧のセットによって作り出される相対位相{φa(m)}を規定する。ここで、T=0である。ライン38A〜38D上の制御電圧のセットは{VA、low、VC、low}、{VA、low、VC、high}、{VA、high、VC、low}、および{VA、high、VC、high}のような4通りの電圧であることが望ましいが、その理由は、そのようなセットが異なる2進法の符号化を可能にするからである。その後、制御器30が公称上同じ位相シフタ28A、28B、28C、28Dをディファレンシャルモードで動作させ、位相シフトは印加された制御電圧に比例する。位相シフトはφ(m)=−φ(m)およびφ(m)=−φ(m)を満たす。したがって、φ(m)=−φ(m)およびφ(m)=−φ(m)に関する式(1)の各々の解は一実施形態の中で変調器14の作製パラメータを与え、制御器30について許される制御電圧の4セットを与え、それが所望の2D配座を作り出す。
ここでは、もしも指数mの各々の値について|B−A|/|A|が0.10未満である配座を表わす信号点{A}のセットがあるならば、平面内の点{B}のセットは配座の信号点に対応する。そのような対応する点{B}のセットについては、上記の比率は0.05未満であることが好ましく、上記の比率が0.01未満であることがさらに好ましい。様々なセットの複素数{A}が2D配座を表わすことが可能である。特に、もしも{A}がある2D配座を表わすとすると、λが非ゼロのいかなる複素数であっても{λA}は同じ2D配座を表わす。すなわち、2D配座のいかなる表現の信号点の大域的回転および/または有限の大域的再拡大再縮小も同じ2D配座の等価的な表現を与える。
式(1)の数値の解は作製と動作のパラメータを与え、それがいくつかの2D配座を作り出す。作製パラメータには遅延素子26B〜26Dによって作り出される遅延{T}が含まれる。動作パラメータは動作電圧{V(m),V(m)}の4セット、すなわち各信号点について1セットである。これらの解は、少なくとも、その同相および直交位相の成分が図2〜4に示した2D配座に関する信号点の座標に対応する変調されたサブキャリアの形成を可能にする。
図2は範例となる4点位相シフト・キーイング(4−PSK)された2D配座の信号点を示している。4−PSK 2D配座では、複数の信号点は等しい長さのベクトルである。これらのベクトルは原点について90°回転下で不変のパターンを形成し、「j」を−1の平方根とする場合の複素数1+j、1−j、−1+j、および−1−jによって表わされる。概して、4−PSK 2D配座は原点から四方に延び、かつ任意ではあるが等しい長さを有する4つのベクトルを有する。このパターンでは、4つのベクトルは回転角90°で分けられているが、しかし様々な表現の中では、1つのベクトルが実軸に関して任意の角度であることが可能である。
4−PSK配座に関すると、作製パラメータすなわちT、および制御電圧のセットすなわち{V(m)、V(m)}の1つの解は次の通りである。T、TおよびTは5/(8fSC)、1/(2fSC)および7/(8fSC)でそれぞれ与えられる。これらの遅延の各々に対して光源12のサブキャリア周期TSCのどのような整数倍が加えられることも可能である。制御電圧{V、V}の4セットは次の値、すなわち{+0.5Vπ、−0.375Vπ}、{+0.5Vπ、+0.625Vπ}、{+1.0Vπ、−0.375Vπ}、および{+1.0Vπ、+0.625Vπ}を有する。ここで、電子−光学的位相シフタ28A、28B、28C、28Dのうちの1つに電圧Vπを印加すると、印加電圧ゼロよりもπ大きい値で光キャリアの位相に追加的なシフトが生じる。
図3と図4は他の4点2D配座を表わす信号点のセットを示している。図3の2D配座では、範例の信号点は長さ1の複素数である。数字は原点から放射状に延びるベクトルの端部を規定する。表現の4つのベクトルは原点の点「1」へのベクトルについて0°、67.5°、135°、および202.5°で反時計回りで形成される。図3の4つのベクトルは台形2D配座と称される2D配座を表わしている。図4の2D配座では、範例の信号点は原点から複素数1+j/3、−1/3+j/3、−1/3−j、および1−jで放射状に延びるベクトルである。図4の4つのベクトルはここで4−PSK 2D配座と称される2D配座を表わしている。これら上記の2D配座の他の表現は上記の表現の1つまたは複数の特定のベクトルを1つまたは複数のベクトルから90°の整数倍回転されるベクトルで置き換えることによって得られる。さらに別の表現は、表現の4つのベクトルすべてについて複素数に同じ非ゼロの複素数を積算することによって得られる。
図3の2D配座については、範例のサブキャリア遅延および制御電圧のセットは次のように規定される。サブキャリア遅延T、T、およびTは0.4965/fSC、0.4821/fSC、および0.9856/fSCでそれぞれ与えられ、ここで個々の遅延はTSCのいかなる整数倍によってもシフトされることが可能である。制御電圧{V、V}の4セットは{−0.9934Vπ、−0.4787Vπ}、{−0.5624Vπ、+0.4848Vπ}、{−0.9934Vπ、+0.4848Vπ}、および{−0.5624Vπ、−0.4787Vπ}である。遅延{T}および制御電圧の上記のセットに関する位相シフト{φ(m)、−φ(m)、φ(m)、−φ(M)}のセットは図3の2D配座の信号点について解を与える。
図4の2D配座については、範例のサブキャリア遅延および制御電圧のセットは次のように規定される。遅延時間T、T、およびTは0.7104/fSC、0.3962/fSC、および0.6353/fSCでそれぞれ与えられ、ここで個々の遅延はTSCのいかなる整数倍によってもシフトされることが可能である。制御電圧{V、V}の4セットは{−0.7476Vπ、−0.4787Vπ}、{−0.7476Vπ、+0.4848Vπ}、{+0.6759Vπ、−0.4787Vπ}、および{+0.6759Vπ、+0.4848Vπ}である。遅延{T}および制御電圧の上記のセットに付随する位相シフト{φ(m)、−φ(m)、φ(m)、−φ(m)}のセットは式(1)の右手側が図4に示した2D配座の信号点に関する複素数であるときの式(1)の解を与える。
図3および4の台形2Dおよびオフセット4−PSK配座はカスケード接続された光伝送器の実施形態に使用される。それらの実施形態は16以上の信号点を備えた2D配座を作り出す。
図5は16信号点を有する2D配座に従って光サブキャリアを変調するように構成された光伝送器10’を示している。やはり、変調されたサブキャリアの同相および直交位相の成分の振幅は2D配座の信号点の「x」と「y」座標にそれぞれ対応する。
光伝送器10’は光源12、カスケード接続された2つの光変調器14’、14”、および電気的制御器16’を有する。光源12は図1A〜1Bに関して既に述べたように未変調の光サブキャリアを備えたコヒーレントの光キャリアを発生する。光変調器14’、14”は図1A〜1Bに関して既に述べたような構造を有する。電気的制御器16’は第1の対の電圧源(32’、34’)および第2の対の電源(32”、34”)を有する。これら第1と第2の対は制御電圧{V’、−V’、V’、−V’}の第1のセットおよび制御電圧{V”、−V”、V”、−V”}の第2のセットをそれぞれ発生する。第1の制御電圧V’、−V’、V’、および−V’は第1の光変調器14’の電子−光学的位相シフタ28A、28B、28C、および28Dをそれぞれ制御する。第2の制御電圧V”、−V”、V”、および−V”は第2の光変調器14”の電子−光学的位相シフタ28A、28B、28C、および28Dをそれぞれ制御する。電圧源32’、34’および電圧源32”、34”は入力ポート8’、9’および入力ポート8”、9”それぞれに受けるデータ・ビットの対に応答して制御電圧を発生する。その結果、入力ポート8’、9’から入るデータ・ビットが第1の光変調器14’によって作り出される変調パターンを制御し、入力ポート8”、9”から入るデータ・ビットが第2の光変調器14”によって作り出される変調パターンを制御する。
電圧源(32’、34’)および(32”、34”)の各々の対は記号期間当たり2ビットのデジタル・データを光サブキャリア上に符号化する。それが理由で、電圧源の各々の対およびそれに付随する光変調器、すなわち(32’、34’、14’)および(32”、34”、14”)は光サブキャリアを変調して4つの点を有する2D配座内の信号点を搬送させる。カスケード接続された光変調器の対14’、14”は6つの点を有する2D配座内の信号点を作り出す。
いくつかの実施形態では、第1と第2の変調器14’、14”およびそれに付随する電圧源(32’、34’)および(32”、34”)は異なる2D配座内に信号点を作り出す。光伝送器10’のそのようないくつかの実施形態は光サブキャリアを変調して図7Aまたは7Bの2D配座内の信号点を搬送させる。
図7Aは16点の直交振幅変調(QAM)の2D配座の範例の表現を示している。この表現では、配座は正立方体の2D格子の部位に位置する16の信号点を有する。格子の基本格子ベクトル、1/3+j/3は表現のうちの1つの信号点である。その表現では、他の点は単位正方形の中にあって複素数1/3+j/3+(2a/3+2b・j/3)に位置し、ここで「a」と「b」は整数である。
図7Bは16−PSK 2D配座の範例の表現を示している。この表現では、信号点は原点から放射状に延びて1の長さを有するベクトルである。表現のうちの様々なベクトルは複素数「1」を通るベクトルを22.5度の整数倍で時計方向に回転させることによって得られる。
図7Aと7Bの2D配座の他の表現は表現のうちのすべての信号点について複素数を同じ非ゼロの複素数で積算することによって、すなわち大域的回転および/または大域的再拡大再縮小で得られる。
図5を参照すると、光伝送器10’の一実施形態は同相および直交位相の成分が16−QAM配座の信号点に対応するように光サブキャリアを変調する。この実施形態では、第1の光変調器14’の第1の電圧源32’、34’と時間遅延26B〜26Dは、光源12から入る光サブキャリアが図2の4−PSK配座に従って変調される原因となる。範例の実施形態では、第1の変調器14’、T、T、およびTは、TSCの整数倍まで、それぞれ5/(8fSC)、1/(2fSC)、および7/(8fSC)に等しい。また、第1の変調器14’のための範例の制御電圧のセット{V’、V’}は次の値、すなわち{+0.5Vπ、−0.375Vπ}、{+0.5Vπ、+0.625Vπ}、{+1.0Vπ、−0.375Vπ}、および{+1.0Vπ、+0.625Vπ}を有する。これらの実施形態では、第2の光変調器14”の第2の電圧源32”、34”と時間遅延26B〜26Dは、第1の光変調器14’から入る光サブキャリアが図4の4点の配座に従ってさらに変調される原因となる。範例の実施形態では、第2の変調器14”、T、T、およびTは、TSCの整数倍まで、それぞれ0.7104/fSC、0.3962/fSC、および0.6353/fSCに等しい。また、第2の変調器14”のための範例の制御電圧のセット{V”、V”}は{−0.7476Vπ、−0.4787Vπ}、{−0.7476Vπ、+0.4848Vπ}、{+0.6759Vπ、−0.4787Vπ}、および{+0.6759Vπ、+0.4848Vπ}である。
16−QAM 2D配座に従って光サブキャリアを変調する光変調器10’のまた別の実施形態は、上述の実施形態を考慮して電圧源の第1および第2の対(32’、34’)および(32”、34”)を入れ替え、かつ第1および第2の光変調器14’および14”を入れ替える。すなわち、この実施形態では、第1および第2の光変調器14’および14”は図4および図2の配座の信号点をそれぞれ作り出す。
図5の光伝送器10’のまた別の実施形態は、同相および直交位相の成分が図7Bno16−PSK 2D配座の信号点に対応するように光サブキャリアを変調する。この実施形態では、第1の光変調器14’の第1の電圧源32’、34’と時間遅延26B〜26Dは、光源12から入る光サブキャリアが図2の4−PSK配座に従って変調される原因となる。範例の実施形態では、第1の変調器14’、T、T、およびTは、TSCのいかなる整数倍までも、それぞれ5/(8fSC)、1/(2fSC)、および7/(8fSC)に等しい。また、第1の変調器14’のための範例の制御電圧のセット{V’、V’}は次の値、すなわち{+0.5Vπ、−0.375Vπ}、{+0.5Vπ、+0.625Vπ}、{+1.0Vπ、−0.375Vπ}、および{+1.0Vπ、+0.625Vπ}を有する。これらの実施形態では、第2の光変調器14”の第2の電圧源32”、34”と時間遅延26B〜26Dは、第1の光変調器14’から入る光サブキャリアが図3の4点の配座に従ってさらに変調される原因となる。範例の実施形態では、第2の変調器14”、T、T、およびTは、TSCのいかなる整数倍までも、それぞれ0.4965/fSC、0.4821/fSC、および0.9856/fSCに等しい。また、第2の変調器14”のための範例の制御電圧のセット{V、V}は次の値、すなわち{−0.9934Vπ、−0.4787Vπ}、{−0.5624Vπ、+0.4848Vπ}、{−0.9934Vπ、+0.4848Vπ}、および{−0.5624Vπ、−0.4787Vπ}を有する。
最後に、16−PSK 2D配座に従って光サブキャリアを変調する光伝送器10’の別の実施形態は、上述の実施形態を考慮して電圧源の第1と第2の対(32’、34’)と(32”、34”)を入れ替え、かつ第1と第2の光変調器14’と14”を入れ替える。すなわち、この実施形態では、第1と第2の光変調器14’と14”はそれぞれ図3と図2の配座の信号点を作り出す。
図6Aは、例えば図1A〜1Dまたは5の伝送器10、10’を使用してデジタル・データを伝送するための1つの方法40を示している。方法40はサブキャリアを有するコヒーレントの光キャリアを共にコヒーレントの複数の光キャリアに分割する工程(工程41)を含む。工程40は共にコヒーレントの複数の光キャリアの各々に位相シフトの配列を作り出す工程(工程42)を含む。方法40はまた、共にコヒーレントの複数の光キャリアを干渉させることでそのサブキャリアが変調された同相および直交位相の成分を有する出力光キャリアを生じさせる工程(工程43)も含む。分割と干渉の工程を実施する間で、各々の共にコヒーレントの複数の光キャリアのサブキャリアの中に時間遅延もやはり作り出されることが可能である。干渉の工程によって作り出される変調された同相および直交位相の成分の値の対は4−PSK 2D配座、16−QAM 2D配座、または16−PSK 2D配座の信号点に関する座標の対に対応する。
図6Bを参照すると、図6Aの方法40のいくつかの実施形態は以下の工程を含む。最初に、コヒーレントの光キャリアが4つの共にコヒーレントの複数の第2の光キャリアへと分割される(工程45)。次に、各々の共にコヒーレントの複数の第2の光キャリア上に第2の位相シフトの第2の配列が作り出される(工程46)。その後、共にコヒーレントの複数の第2の光キャリアが干渉させられることで変調された同相および直交位相の成分の対の第2の配列を有するサブキャリアを発生する(工程47)。第2の配列の変調された同相および直交位相の成分の値の対は4−PSK、オフセット4−PSK、または台形の2Dの配座の信号点に関する座標の対に対応する。
図1A〜1Bおよび5の変調器14、14’、14”のいくつかの実施形態は集積化された光学デバイスである。これらのデバイスでは、光学スプリッタ18、光学コンバイナ20、光導波路A〜D、時間遅延26B〜26C、および電子−光学的位相シフタ28A〜28Dはインジウム−リン(InP)基板上のメサ型III−V族半導体構造である。InP基板上で、光学的コアおよびクラッド層の範例の材料はそれぞれインジウム−アルミニウム−ガリウム−砒素(InAlGaAs)の合金およびインジウム−アルミニウム−砒素(InAlAs)の合金である。両方の合金がInP基板に格子整合し、かつ通信波長で光学吸収が低くなるように1.3電子ボルト以上のバンドギャップを有することが好ましい。InAlAsとInAlGaAsは電子−光学的位相シフタ28A〜28Dに必要とされるように印加電圧に対応する屈折率を有する。
そのような集積型光学デバイスでは、光導波路用のショットキー・リブ型構造と制御電極が無線、サブミリメートル、またはミリメートルの制御波と光キャリア波の速度の間の一層優れた整合を可能にし、それによって上限カットオフ周波数を引き上げる。ショットキー・リブ型構造は、例えばRobert G.Walkerの表題「High−Speed III−V Semiconductor Intensity Modulators」の論文、IEEE Journal of Quantum Electronics、Vol.27、No.3(1991年)654〜667頁に述べられており、それは全文でここに参考資料で組み入れられている。
ショットキー・リブ型導波路構造を備えた集積型光学デバイスとして変調器14、14’、14”を作製するための範例の方法を以下に述べる。図8〜13は本製造方法の中で作り出される中間構造71〜76の一部分を示している。図14はリブ型の導波路構造、例えば図1A〜1Bまたは5の電子−光学的位相シフタ28A〜28Dを備えた導波路と電極を有する最終の集積型光学デバイスの一部分77を示している。
本製造方法はInP基板52の上にIII−V族半導体の多層構造をエピタキシャル成長させる工程を含む。この多層構造は次の上層から底層までの部分層配列、すなわち100nmのInAl1−x−yGaAs、約25nmのInP、約475nmのInAl1−x−yGaAs、約500nmの真性InAl1−zAs、および約300nmのn型InAl1−zAsを有する下側の多層54を含む。ここでx=0.529、y=0.335、およびz=0.520である。InAlAs、InP、およびInAlGaAs部分層の合金組成はInP成長基板52への格子整合を可能にする。この多層構造はまた、層54と同じ約800nmのInAl1−zAs合金の上側層56も有し、その結果、InP成長基板52に格子整合する。
この多層構造は、図1Aおよび5に示したようにスプリッタ18の平板状光学クラッド層とコア層、コンバイナ20、光導波路A〜D、時間遅延26B〜26D、および電子−光学的位相シフタ28A〜28Dを構成する。層54では、InAlGaAs部分層とInAlAs部分層が上記の光学デバイスのための光学コアおよび下側光学クラッド層として機能する。InAlAs層56は前記光学デバイスのための上側クラッド層として機能する。
層54では、InAlAs部分層の下側1/2は大量にnドープされることで図1Aおよび5の電子−光学的位相シフタ28A〜28Dの下側電極として機能する。InAlAs部分層の下側1/2の範例のドーパント濃度は立方センチメートル(cm)当たり約2×1018個のn型ドーパント原子である。通常、InP基板52は鉄をドープされて非導電性である。
次に、本製造方法は図8の構造71に示したように図1A〜1Bおよび5の電子−光学的位相シフタ28A〜28Dの各々について金属の上部電極58を形成する工程を含む。範例の金属電極58は次の底部から上部への構造、すなわち約30ナノメートル(nm)のチタン(T)、約35nmのプラチナ(Pt)、約50nmの金(Au)、および約40nmのパラジウム(Pd)を有する金属の多層である。金属の上部電極58は、図1A〜1Bおよび5の電子−光学的位相シフタ28A〜28Dを形成することになるInAlAs層の横方向領域に重ねられる。金属上部電極58の形成にはInAlAs層56の他の横方向領域を保護するためにフォトレジストのマスクをフォトリソグラフィで形成する工程、金属の一連の蒸発−堆積を実施する工程、およびその後、フォトレジストのマスクを剥離する工程が含まれる。
次に、本製造方法は図9の構造72に図解したように光導波路デバイスの上側の光学的クラッド層のためのメサ構造60を作り出す一連の工程を実施する工程を含む。この一連の工程には構造71の上面の上に約40nmの保護用SiOをプラズマ励起化学蒸着(PECVD)させる工程、およびその後、後工程でエッチングされることになるSiO層の横方向部分を覆ってフォトレジストのマスクを形成する工程が含まれる。保護用SiOの全部または一部分については窒化シリコン層が代用される可能性がある。次に、蒸発処理工程が約30nmのTを堆積させ、その後、約70nmのニッケル(Ni)を堆積させる。次に、従来の剥離法がフォトレジストのマスクを除去し、金属を被覆して保護されるべきSiOおよびInAlAs層56の一部分の上にNi/Tハードマスクを残す。次に、従来の乾式エッチング法、例えば塩素と窒素による化学的エッチングが保護されていない部分のSiO層およびInAlAsの大部分もしくはすべての層56を除去してメサ構造60を作り出す。乾式エッチングは層54と56の界面付近まで時間設定される。その後、湿式エッチングのディップ処理が層56の保護されていないあらゆる残り部分および/または層54のInAlGaAsの最上部を除去する。湿式エッチングはInPの埋め込み部分層で選択的に停止する。その結果、エッチングは上側光学的クラッド層と光学的コア層の一部分をパターン化し、それによってリブ型の光導波路を形成する。乾式エッチングの後、従来法の溶剤、例えばNMPによる洗浄が残りのSiOならびに被覆ハードメタルマスクを除去する。
次に、層54の従来法の乾式もしくは湿式のエッチングがInPで停止して下側メサ構造62を作り出す。エッチングの実施には下側メサ構造62、上側メサ構造60、および金属電極58に関して層54の一部を保護するために最初にフォトレジストのマスクを形成する工程が含まれる。エッチングの後、従来法の剥離工程がフォトレジストのマスクを除去して図10の構造73を作り出す。
上側と下側のメサ構造60、62は光導波路デバイスの横方向の寸法を規定する。上側のメサ60は約2μmから3μmの幅を有し、下側のメサ62は図1A〜1Bおよび5の光導波路A〜D内で約10μmから100μmの幅を有する。下側のメサ構造62は電子−光学的位相シフタの隣り合う対、すなわち対(28A、28B)および(28C、28D)についてリブ構造を接続する。
構造73を形成後に、本製造方法はベンゾシクロブテン(BCB)の保護層を形成して図11の構造74を作り出す工程を含む。BCBの層はメサ構造60、62および金属電極58を覆う。BCBの形成工程には構造73の上面にBCBの液相前駆体を所望の厚さにスピンコートする工程、およびその後、加熱して前駆体を架橋したBCBへと硬化させる工程が含まれる。
次に、本製造方法は電子−光学的位相シフタの電極および制御ライン、例えば図1A〜1Dおよび5のライン38A〜38Dおよび電極36A〜36D用のメタライゼーション層66およびバス68の作製を実施する工程を含む。この工程にはフォトレジストのマスクを形成する工程、およびその後、表面張力がフォトレジストをリフローさせるように約5分間、構造74を約135℃に加熱する工程が含まれる。この工程にはまた、BCBの層内でコンタクト・ビア64を作製するために乾式エッチングを実施する工程、およびその後、フォトレジストのマスクを剥離して図12の構造75を作り出す工程も含まれる。このエッチングはフォトレジスト・マスクの薄肉化された領域で貫通エッチングを生じるように時間設定される。これはコンタクト・ビア64の上端エッジが丸くなる原因となり、それがその後のメタライゼーション層66の形成の助けとなる。構造75では、コンタクト・ビア64は金属電極58の上面を露出させる。この工程はまた、金属の蒸発−堆積を実施する工程、およびその後、フォトレジストのマスクを剥離して図13に示したような構造76のメタライゼーション多層66を作り出す工程も含む。メタライゼーション多層66は上部から底部に向けて約200nmのAuと約30nmのTの構造を有する。メタライゼーション多層66は前もって形成されたコンタクト・ビア64を充填し、それにより、下にある金属電極58への電気的接続を供給する。この工程はまた、金属のまた別のマスク制御型の蒸着を実施して図14の最終的集積化光学構造77に示したような低抵抗の金属のバス68を作製する工程も含む。
集積化光学デバイスでは、図1A〜1Dおよび5の制御用電極36A〜36Dの幾何学形状は電子−光学的位相シフタ28A〜28D内で高周波制御波と光波の群速度を整合させる助けとなる。図15は電気的に結合された一対の制御用電極36A〜36Dおよびそれに付随し、同じメサ構造60、62内に形成されるDCバイアス印加構造29のための1つの幾何学形状を示している。図14の金属のバス68はメタライゼーション層の中の一連の横断方向のT字型構造70につながる。T字型構造70はIII−V族半導体の接合領域に被さり、それにより、各々の導波路構造はキャパシタ、すなわちT字型構造70の下の接合領域によって架橋された長いインダクタの平行の対の形状を有する。T字型構造70の寸法は、高周波制御波の位相速度が電子−光学的位相シフタ28A〜28D内で光波の群速度とさらに良好に整合するようにキャパシタンスを調節するように選択される。高周波の動作については、T字型構造70の範例の寸法は約48〜30μmの長さL、および約1.6μmの幅wである。
図16Aは電気的に結合した電子−光学的位相シフタ28A〜28Bの対および図15のDCバイアス印加構造29の断面図を供給する。元々の層54の大量にn型ドープされたInAlAs部分層72は電子−光学的位相シフタ28A〜28Bの隣り合うIII−V族半導体ヘテロ構造とDCバイアス印加構造29の間の電気的短絡を形成する。素子28A、28Bのヘテロ構造および29は図16Bに示した等価回路に図解したようにダイオードとして機能する。大量にn型ドープしたInAlAs部分層72のせいで、DCバイアス印加構造29および電子−光学的位相シフタ28A、28Bに関するダイオード構造は連続の幾何学形状で接続される。動作時では、大きなDCバイアス電圧VDCが電圧バイアス印加構造29のダイオード構造を横切ってつながり、それによってこのダイオードはON状態である。動作時では、電子−光学的位相シフタ28A、28Bのダイオード構造はVDCよりも小さい大きさを有する信号電圧VsignalA、VsignalBによってバイアスされる。それが理由で、位相シフタ28A、28Bに付随するダイオード構造は動作時ではOFF状態である。
ここで説明した様々な光伝送器、例えば図1Aおよび5の伝送器10および10’は高周波の無線伝送器に有用である。図17は1つのそのような無線伝送器80を示している。無線伝送器80は光伝送器82、光ファイバ・リンク84、半導体接合型光検出器86、例えば光検出ダイオード、およびアンテナ88を有する。光伝送器82は受け取ったデジタル・データを光キャリア波上のサブキャリアの変調へと符号化する。この光キャリア波が光ファイバ・リンク84を経由して光伝送器82から半導体接合型光検出器86へと伝搬する。半導体接合型光検出器86は光サブキャリアから電気的キャリア波を作り出し、前記電気的キャリアを使用してアンテナ88を駆動し、それにより、光サブキャリアの変調周波数に付随する高周波で無線伝送を生じさせる。
本明細書、図面、および本出願の特許請求項を考慮に入れると、当業者にとって本発明の他の実施形態は明らかであろう。
4点の2D配座の信号点に対応する光サブキャリアに変調パターンを生じさせる光伝送器を示す平面図である。 線AA−−AAを含む垂直平面でとった図1Aの光変調器を示す断面図である。 4点位相シフト・キーイング(4−PSK)された配座の表現を示す図である。 台形の2D配座の表現を示す図である。 オフセット4−PSK 2D配座の表現を示す図である。 16点の2D配座の信号点に対応する光サブキャリアに変調パターンを生じさせる光伝送器を示す平面図である。 デジタル・データを、例えば図1A〜1Bまたは5の伝送器を使用して伝送する方法を示すフロー図である。 図6Aの方法のいくつかの実施形態の追加的な工程を示すフロー図である。 図5の変調器のいくつかの実施形態が光サブキャリア上に生じさせる16点のQAM配座の表現を示す図である。 図5の変調器のいくつかの実施形態が光サブキャリア上に生じさせる16点のPSK配座の表現を示す図である。 図1A〜1Bおよび5の光変調器を集積型の光学デバイスとして製造する間に生じる中間構造を示す断面図である。 図1A〜1Bおよび5の光変調器を集積型の光学デバイスとして製造する間に生じる中間構造を示す断面図である。 図1A〜1Bおよび5の光変調器を集積型の光学デバイスとして製造する間に生じる中間構造を示す断面図である。 図1A〜1Bおよび5の光変調器を集積型の光学デバイスとして製造する間に生じる中間構造を示す断面図である。 図1A〜1Bおよび5の光変調器を集積型の光学デバイスとして製造する間に生じる中間構造を示す断面図である。 図1A〜1Bおよび5の光変調器を集積型の光学デバイスとして製造する間に生じる中間構造を示す断面図である。 図1A〜1Bおよび5の光変調器に関するある集積型光学デバイス内の単一の電子−光学的位相シフタを示す断面図である。 図1A〜1Bおよび5のような一対の電子−光学的位相変調器およびそれに付随する電極を備えた集積型光学デバイスの一部分を示す平面図である。 図15の構造の断面を示す図である。 図15および16Aの構造の中のバイアスを図解する等価回路を示す図である。 電子−光学的変調器を使用して高周波数でデジタル・データを符号化する無線伝送器を示す図である。

Claims (10)

  1. デジタル・データを伝送するための方法であって、
    サブキャリアを有するコヒーレントの光キャリアを共にコヒーレントの複数の光キャリアへと分割する工程、
    共にコヒーレントの複数の光キャリアの各々の中に位相シフトの配列を作成する工程、および
    そのサブキャリアが値の対の配列に対応して変調された同相および直交位相の成分を有する出力光キャリアを作り出すために、共にコヒーレントの複数の光キャリアを干渉させる工程を含み、
    干渉工程によって作り出された変調された同相および直交位相の成分の値の対が4−PSK 2D配座、16−QAM 2D配座、および16−PSK 2D配座のうちの1つにある信号点に関する座標対に対応する方法。
  2. 干渉工程によって作り出された値の対が5%以上信号点に対応する、請求項1に記載の方法。
  3. 分割工程が4つの共にコヒーレントの光キャリアを形成し、かつ作成工程が4つの共にコヒーレントの光キャリア上に位相シフトの配列を作り出す、請求項1に記載の方法。
  4. 作成工程がさらに、
    別々の電子−光学的位相シフタを通して共にコヒーレントの光キャリアの各々を通過させ、その一方で電子−光学的位相シフタに制御電圧の配列を供給することでその上に変調の配列を生じさせる工程を含む、請求項1に記載の方法。
  5. コヒーレントの光キャリアを4つの共にコヒーレントの第2の光キャリアに分割する工程、
    共にコヒーレントの第2の光キャリアの各々に第2の位相シフトの第2の配列を作成する工程、および
    その後、変調された同相および直交位相の成分の対の第2の配列を有するサブキャリアを作り出すために共にコヒーレントの第2の光キャリアを干渉させる工程をさらに含み、
    第2の配列の変調された同相および直交位相の成分の値の対が4−PSK 2D配座、オフセット4−PSK 2D配座、および台形2D配座のうちの1つにある信号点に関する座標対に対応する、請求項1に記載の方法。
  6. サブキャリアを伴う光キャリアを受けることの可能な電子−光学的変調器、および
    デジタル・データのストリームの受信に応答して電子−光学的変調器に制御電圧のセットのストリームを印加するように構成された制御器を含み、変調器が印加された制御電圧のセットの各々に応答して変調されたサブキャリアを伴う光キャリアを出力するように構成され、
    変調器が、サブキャリアを変調することでその同相および直交位相の成分に関する変調された値の対のストリームを生じさせることによって制御器から入る制御電圧の複数セットのストリームに応答するように構成され、それらの値の対が4−PSK 2D配座、16−QAM 2D配座、および16−PSK 2D配座のうちの1つにある信号点の座標対に対応するシステム。
  7. 変調器が、サブキャリアを変調することでその同相および直交位相の成分に関する変調された値の対のストリームを生じさせることによって制御器から入る制御電圧の複数セットのストリームに応答するように構成され、それらの値の対が4−PSK 2D配座の信号点の座標対に5%以上対応する、請求項6に記載のシステム。
  8. 変調器が、サブキャリアを変調することでその同相および直交位相の成分に関する変調された値の対のストリームを生じさせることによって制御器から入る制御電圧の複数セットのストリームに応答するように構成され、それらの値の対が16−QAM 2D配座および16−PSK配座の信号点の座標対に5%以上対応する、請求項6に記載のシステム。
  9. 光キャリアを受けるための4出力を備えた光学スプリッタ、
    4入力を備えた光学コンバイナ、および
    4つの光導波路をさらに有し、各々の導波路がスプリッタの出力のうちの1つをコンバイナの入力のうちの1つに接続し、それによって各々の入力が1つの出力につながり、導波路が、制御器によって印加される制御電圧の複数の受信セットにつながった電子−光学的変調器を有する、請求項6に記載のシステム。
  10. 電子−光学的変調器がカスケード接続された第1と第2の電子−光学的変調器の対を含み、
    第1の変調器が、サブキャリアを変調することでその同相および直交位相の成分に関する変調された第2の値の対のストリームを生じさせることによって制御電圧の複数セットに応答するように構成され、第2の値の対が4−PSK 2D配座、台形2D配座、およびオフセット4−PSK 2D配座のうちの1つにある信号点の座標対に対応する、請求項6に記載のシステム。
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