JP2005109332A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 原版保持装置を有し、前記原版保持装置に保持された原版に描かれたパターンを介し基板を露光する露光装置において、
   前記原版保持装置の原版装着面と前記原版との間の距離を前記原版装着面の複数箇所について計測する計測手段を具備することを特徴とする露光装置。
2. 前記計測手段は、前記原版装着面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記原版は、反射原版であることを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
4. 前記原版保持装置は、前記原版装着面に前記原版を保持するための複数の静電チェック電極を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１つに記載の露光装置。
5. 前記計測手段による計測値に基づいて、前記複数の静電チェック電極の電位を制御する制御手段をさらに有することを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
6. 前記制御手段は、前記原版と前記原版保持装置との間のアライメントを計測する前に、前記複数の静電チェック電極の電位を制御することを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
7. 前記原版保持装置に前記原版を搬送する搬送手段を有し、前記搬送手段は、弾性手段を介して前記原版を保持することを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
8. 前記原版からの光を前記基板に投影する投影光学系を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１つに記載の露光装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか１つに記載の露光装置を用いて基板を露光するステップを有することを特徴とするデバイス製造方法。