JP2005101383A - 集積型光起電力装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 絶縁層2を有する基板1上に光電変換領域ごとに分離された第1の電極31、光電変換層44、第2の電極54がこの順序で形成され、集電のために隣接素子間を電気的に分離する分離開溝61と非平行に第2の電極54上に設けられたフィン8と、フィン8と連接し分離開溝61に平行に設けられ、フィン8に比べて太い幅のバスバー9と、バスバーと連接し光電変換領域外で、隣接素子の第1の電極31と接続する接続電極と、を備え。複数の光電変換素子を直列接続する。そして、隣接素子間を電気的に分離する分離開溝61は、第2の電極54から光電変換層44を貫いて第1の電極31に到達し電気的に分離し、分離開溝61内に電気的絶縁部材71が設けられる。バスバー9は、電気的絶縁部材71上に重畳し、分離開溝61の幅内に納まるように設けられている。
【選択図】 図1
Description
(1)熱的損傷が発生せず、これによる透光性電極と第1の電極との短絡、或いは電流漏洩が発生しない。
(2)成膜と交互して、パターニング工程を行う必要がなく、第1の電極と光電変換層と透光性電極を連続して形成することが出来、製造工程が極めて簡易である。
(3)エネルギービームを用いて分離開溝を形成する際には、光電変換層への熱的損傷による低抵抗領域の発生を考慮し、図3に示すような、分離開溝を2段構造に形成する必要があるが、ウォータージェットでは、この必要がなく、有効面積の減少を最小限に抑えることが出来る。
2 絶縁層
8 フィン
9 バスバー
31 第1の電極
44 光電変換層
54 透光性電極(第2の電極)
61 分離開溝
71 電気的絶縁部材
Claims (3)
- 絶縁表面を有する基板上に光電変換領域ごとに分離された第1の電極、薄膜半導体からなる光電変換層、第2の電極が、この順序で形成され、集電のために隣接素子間を電気的に分離する分離開溝と非平行に前記第2の電極上に設けられた比較的細い幅の導電部材からなるフィンと、前記フィンと連接し隣接素子間を電気的に分離する分離開溝に平行に設けられ、前記フィンに比べて太い幅の導電部材からなるバスバーと、前記バスバーと連接し光電変換領域外で、隣接素子に向けて延長せしめた部分を有する接続用電極と、を備え、複数の光電変換素子を直列接続した集積型光起電力装置において、隣接素子間を電気的に分離する分離開溝は、前記第2の電極から光電変換層を貫いて第1の電極に到達し、第1電極を電気的に分離し、前記分離開溝内、或いは分離開溝内と第2の電極の一部を覆って、電気的絶縁部材が設けられ、前記電気的絶縁部材上に重畳し、分離開溝の幅内に納まるようにバスバーが設けられていることを特徴とする集積型光起電力装置。
- 絶縁表面を有する基板の全面上に第1の電極を形成し、この第1の電極の全面上に薄膜半導体からなる光電変換層を形成し、この光電変換層上に少なくとも一辺が前記第1の電極の内側になるように透光性の第2の電極を形成した後、前記第2の電極側から前記第2の電極、光電変換層、第1の電極を除去して隣接素子間を電気的に分離する分離開溝を形成し、この分離開溝内、或いは分離開溝内と第2の電極の一部を覆って、電気的絶縁部材を設けた後、前記第2の電極上に前記分離開溝と非平行な比較的細い幅の導電部材からなるフィンと、前記フィンと連接し前記分離開溝に平行で且つ前記電気的絶縁部材上に重畳し分離開溝の幅内に納まる前記フィンに比べて太い幅の導電部材からなるバスバーとからなる集電極を形成すると共に、前記バスバーと連接し光電変換領域外で、隣接素子に向けて延長せしめた部分を有する接続用電極とを形成し、複数の光電変換素子を直列接続したことを特徴とする集積型光起電力装置の製造方法。
- 前記分離開溝をエネルギービームの照射により形成した後、ドライエッチングを行い、分離開溝内の残留物、及び分離開溝壁の加工損傷領域を除去すると共に、直列接続部に相当する光電変換素子外の光電変換層を除去し、第1の電極を露出させた後、集電極を形成することを特徴とする請求項2に記載の集積型光起電力装置の製造方法。
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