JP2005099033A - X線異物検査装置およびx線異物検査装置のための判定用パラメータ設定装置 - Google Patents
X線異物検査装置およびx線異物検査装置のための判定用パラメータ設定装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 測定または計算で求めた複数種の異物パターンを記憶手段57に記憶しておき、X線検出器2におり撮像した異物の存在しない検査対象物WのX線透視像に、記憶手段57に記憶している複数種の異物パターンのうちの任意のものを選択的に画像合成して異物が混入している検査対象物のX線透視像と同等の画像を得て、その合成画像を用いて判定用パラメータを設定する。これにより実際の異物混入サンプルを用意することなく、かつ、X線透視像の撮像時以外においては検査対象物Wをも不要とし判定用パラメータの設定に要する時間を短縮化するとともに、経時的に物性等が変化する物品でも容易に事前の調整検証を可能とする。
【選択図】 図1
Description
上記の異物パターンを生成する生成手段は、異物標準サンプルを測定して得た異物パターン、あるいは、計算で求めた異物パターンが記憶されている記憶手段から呼び出すことで異物パターンを生成してもよいし、画像合成を行う際にリアルタイムで異物パターンを計算して生成してもよい。
ib0(u,v)=A−b(u,v) ・・・・(1)
で表される。
透視像img(x,y)と、不揮発性メモリ57に記憶している各異物パターンibkのそれぞれを合成して、以下に示すような合成像Gn(x,y)を作成する。
Gn(x,y)=img(x,y)−ibk(xp+u,yp+v) ・・・・(2)
この設定に際しては、CPU59はモニタ付きタッチパネル5aに図4に例示するような設定画面を表示させる。この図4において、Mは画像の表示部を示し、B1はその画像表示部Mに表示すべき画像(正常な検査対象物の像、もしくは異物パターンを合成した合成像Gn)の種類を選択するための入力ボックス、B2〜4はそれぞれしきい値Th1,Th2,および比較距離Lcを設定するための入力ボックスである。
ョン装置を用いて、任意の場所で上記した操作と同等の操作によって、ライン内で稼働するX線異物検査装置のための判定用パラメータを設定することもできる。
この例において、画像メモリ53、自動判定部54、タッチパネルインターフェース55、表示制御部56、不揮発性メモリ57、ローカルメモリ58、およびCPU59は図1に示した画像処理装置5に用いているものと全く同等のものであり、タッチパネルインターフェース55を介してモニタ付きタッチパネル5aが接続されている点も同じであって、このモニタ付きタッチパネル5aの表示内容も先の例と同じである。
ibc(u,v)=−α・log(δ/100) ・・・・(3)
これを用いて異物合成画像は次の(4)式で求められる。ここで記号の意味は上述した(2)式と同様であって、imgは正常な検査対象物のX線透視像であり、そのレベルは透過線量の対数(log)で表されているものとする。
Gn(x,y)=img(x,y)−ibc(xp+u,yp+v) ・・・・(4)
2 X線検出器
3 搬送装置
4 光電センサ
5 画像処理装置
51 A−D変換器
52 制御部
53 画像メモリ
54 自動判定部
55 タッチパネルインターフェース
56 表示制御部
57 不揮発性メモリ
58 ローカルメモリ
59 CPU
151 メモリカードインターフェース
W 検査対象物
S 異物
Claims (2)
- 互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、搬送手段により検査対象物を搬送しつつX線を照射して得られる当該検査対象物のX線透視像を用いた画像処理により、検査対象物中の異物の有無を、設定手段によりあらかじめ設定されている判定用パラメータを用いて判定する画像処理手段を備えたX線異物検査装置において、
異物パターン像を生成する生成手段と、上記X線検出器により撮像した異物の存在しない検査対象物のX線透視像に、上記生成手段によって生成された異物パターン像を合成する画像合成手段を備え、その合成された画像を用いて、上記設定手段により判定用パラメータを設定し得るように構成されていることを特徴とするX線異物検査装置。 - 検査対象物のX線透視像を用いた画像処理により、検査対象物中の異物の有無を、あらかじめ設定されている判定用パラメータを用いて判定するX線異物検査装置における画像処理手段で用いる異物判定用パラメータを設定するための装置であって、
上記X線異物検査装置に用いられているものと同じ機能を有する画像処理手段と、異物パターン像を生成する生成手段と、X線異物検査装置により撮像した異物の存在しない検査対象物のX線透視像をロードするデータ取り込み手段と、その取り込んだ検査対象物のX線透視像と上記生成手段によって生成された異物パターン像を合成する画像合成手段と、その合成された画像を用いて、上記画像処理手段で用いる判定用パラメータを設定する設定手段を備えていることを特徴とするX線異物検査装置のための判定用パラメータ設定装置。
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