JP2005097654A - 超微粒子作製装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 超微粒子発生室1と、この超微粒子発生室1に連結する超微粒子捕集室2とをそなえ、この超微粒子発生室1内に、電源と接続する材料載置台4と放電用電極5とを近接して配置するとともに、超微粒子発生室1内でのアーク放電により反応させるガスの導入口7を設け、この材料載置台4に載置した材料の蒸発により発生する超微粒子を、ガス気流によって超微粒子捕集室2へ搬送させる超微粒子作製装置であって、この超微粒子発生室1は、略半円筒形を有し、かつ、超微粒子捕集室2に連なる一端が略半円錐形からなる形状である。
【選択図】図1
Description
前記超微粒子発生室は、略半円筒形を有し、かつ、超微粒子捕集室に連なる一端が略半円錐形からなる形状であることを特徴とする超微粒子作製装置である。
図1に、この発明に従う超微粒作製装置の一例を、模式的に示す。図1において番号1は超微粒子発生室であり、この超微粒子発生室1に超微粒子捕集室2が、バルブ3を介して連結されている。そして、超微粒子発生室1の内空間には、超微粒子を発生させる材料を載置する材料載置台4が配置される一方、放電用電極5が、この放電用電極5の先端部が材料載置台4に近接するように配置される。通常、材料載置台4は直流電源6の陽極と接続し、放電用電極5は電源6の陰極と接続して、材料載置台4上の材料と放電用電極5の先端との間で、アーク放電を生じさせる。
2 超微粒子捕集室
4 材料載置台
5 放電用電極
7 ガス導入口
Claims (14)
- 超微粒子発生室と、この超微粒子発生室に連結する超微粒子捕集室とをそなえ、この超微粒子発生室内に、電源と接続する材料載置台と放電用電極とを近接して配置するとともに、超微粒子発生室内でのアーク放電により反応させるガスの導入口を設け、この材料載置台に載置した材料の蒸発により発生する超微粒子を、ガス気流によって超微粒子捕集室へ搬送させる超微粒子作製装置において、
前記超微粒子発生室は、略半円筒形を有し、かつ、超微粒子捕集室に連なる一端が略半円錐形からなる形状であることを特徴とする超微粒子作製装置。 - 前記ガスの導入口は、超微粒子発生室の端面部及び周面部に設けられ、この導入口より噴出させるガスにより、超微粒子発生室内に超微粒子捕集室へ向かう旋回流のガス気流を発生させることを特徴とする請求項1に記載の超微粒子作製装置。
- 前記ガス気流の速度を、超微粒子の発生速度に対応して調整する手段を有することを特徴とする請求項2に記載の超微粒子作製装置。
- 前記放電用電極は、略半円筒形の超微粒子発生室の端面部又は周面部のいずれか一方又は双方に、少なくとも一個を取り付けられ、その端面部に取り付けられる放電用電極の、材料との角度が50゜±20゜であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の超微粒子作製装置。
- 前記超微粒子発生室の端面部に開閉扉を設け、この開閉扉に放電用電極が取り付けられることを特徴とする請求項4に記載の超微粒子作製装置。
- 前記材料載置台は、超微粒子発生室の底面と同一平面になる位置を標準位置として、この標準位置を基準に昇降可能であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の超微粒子作製装置。
- 前記超微粒子発生室に観察窓を設け、この観察窓に視界確保手段を設けたことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の超微粒子作製装置。
- 前記超微粒子捕集室は、フィルターを有する1個又は2個以上の捕集器をそなえ、そのフィルターの目詰まりを防止する逆圧付与手段を設けたことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の超微粒子作製装置。
- 前記超微粒子捕集室における捕集後のガスを回収し、超微粒子発生室のガスの導入口に導くガス管路を循環ポンプとともに設けたことを特徴とする1ないし8のいずれか1項に記載の超微粒子作製装置。
- 超微粒子発生室の材料載置台が電源の陽極に接続され、放電用電極が非消耗式タングステン電極として電源の陰極に接続され、ガス導入口により超微粒子発生室に導いたガス圧力を10kPa〜150kPaとする制御手段を有することを特徴とする請求項1に記載の超微粒子作製装置。
- 超微粒子発生室のガス導入口より、水素、窒素、酸素、アンモニア、メタンから選ばれる1種又は2種以上の反応用ガスと、不活性ガスとの混合ガスが供給される請求項1に記載の超微粒子作製装置。
- 超微粒子発生室内に、材料載置台に載置した材料を移動又は反転させる把持装置を設けたことを特徴とする請求項1記載の超微粒子作製装置。
- 放電用電極が、非消耗式タングステン電極として略半円筒形の超微粒子発生室の周面部に少なくとも2個を取り付けられ、各電極に交流電源を接続することを特徴とする請求項1に記載の超微粒子作製装置。
- 作製される超微粒子が、金属、合金、窒化物、ホウ化物、炭化物、酸化物、金属−セラミックス複合化物、異種材料の混合物又は複合物である請求項1に記載の超微粒子作製装置。
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