JP2005097073A - 強誘電体材料、強誘電体膜およびその製造方法、強誘電体キャパシタおよびその製造方法、強誘電体メモリならびに圧電素子 - Google Patents
強誘電体材料、強誘電体膜およびその製造方法、強誘電体キャパシタおよびその製造方法、強誘電体メモリならびに圧電素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005097073A JP2005097073A JP2004002123A JP2004002123A JP2005097073A JP 2005097073 A JP2005097073 A JP 2005097073A JP 2004002123 A JP2004002123 A JP 2004002123A JP 2004002123 A JP2004002123 A JP 2004002123A JP 2005097073 A JP2005097073 A JP 2005097073A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferroelectric
- film
- site
- manufacturing
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02172—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides
- H01L21/02197—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing at least one metal element, e.g. metal oxides, metal nitrides, metal oxynitrides or metal carbides the material having a perovskite structure, e.g. BaTiO3
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/22—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/316—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass
- H01L21/31691—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass with perovskite structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/074—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
- H10N30/077—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition
- H10N30/078—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition by sol-gel deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead based oxides
- H10N30/8554—Lead zirconium titanate based
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02356—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment to change the morphology of the insulating layer, e.g. transformation of an amorphous layer into a crystalline layer
Abstract
【解決手段】 本発明の強誘電体材料は、一般式ABO3で表される複合酸化物の原料液に、Aサイトの欠損を補うAサイト補償成分と、Bサイトの欠損を補うBサイト補償成分と、を含む。
【選択図】 なし
Description
少なくとも2価の状態をとる元素と、少なくとも3価の状態をとる元素と、が前記Aサイト補償成分として添加されていることができる。この態様によれば、チタン酸ジルコン酸鉛において、Aサイトの鉛の欠損を補償することができる。さらに、2価の元素は、Aサイトの欠損(鉛の欠損)を補償する役割と同時に、強誘電体膜の表面を平坦化することにも寄与するため、電極との界面が良好な強誘電体膜を形成できる強誘電体材料を提供することができる。
第1の原材料体の形成と、第2の原材料体の形成との間に、該第1の原材料体に初期結晶核を形成するための熱処理を行なうこと、を含む。
(B)本発明の強誘電体膜の製造方法において、前記強誘電体材料膜に熱処理を行ない結晶化させることにより、強誘電体膜を形成することができる。
上述の強誘電体材料を用いて、複数の原材料体を積層して強誘電体材料膜を形成すること、を含み、
第1の原材料体の形成と、第2の原材料体の形成との間に、該第1の原材料体に初期結晶核を形成するための熱処理を行なうこと、を含む。
(B)本発明の強誘電体キャパシタの製造方法において、前記強誘電体材料膜に熱処理を行ない結晶化させることにより、強誘電体膜を形成することができる。
本実施の形態にかかる強誘電体材料は、ABO系酸化物からなる原料液と、Aサイトの欠損を補うAサイト補償成分と、Bサイトの欠損を補うBサイト補償成分と、を含む。
次に、本実施の形態にかかる強誘電体材料を用いて強誘電体キャパシタを製造する工程について図1を参照しながら説明する。
まず、下部電極としてPt電極が形成された基体を用意した。次に、強誘電体材料として、PZT(120/20/80)に、Aサイト補償成分として2価のCaをAサイトの構成成分に対して2モル%と、3価のLaをAサイトの構成成分に対して1.25モル%と、Bサイト補償成分として、NbをBサイトの構成成分に対して1.25モル%含むものを用いた。スピンコート法により、1層目の原材料体を形成した後、150℃で2分,250℃で5分の加熱処理を行ない乾燥させた。ついで、RTA法により650℃,10分間の加熱を行ない初期結晶核形成をおこなった。この工程を4回繰り返すことにより、膜厚が200nmの強誘電体材料膜が形成された。最後に、結晶化のために熱処理を行ない強誘電体膜が形成された。その後、上部電極として、Pt電極の形成を行ない、本実施例にかかる強誘電体キャパシタが製造された。本実施例にかかる強誘電体キャパシタのヒステリシス特性を図2に示し、飽和特性の結果を図7に示す。
強誘電体材料として、PZT(120/20/80)に補償成分が添加されていないものを用いた。強誘電体キャパシタを製造する工程は、実施例1と同様に行なった。本比較例1にかかる強誘電体キャパシタのヒステリシス特性を図3に示し、飽和特性の結果を図7に示す。
強誘電体材料として、PZT(120/20/80)にAサイト補償成分である2価のCaをAサイトの全構成成分に対して5%含むものを用いた。強誘電体キャパシタを製造する工程は、実施例1と同様に行なった。本比較例2にかかる強誘電体キャパシタのヒステリシス特性を図4に示し、飽和特性の結果を図7に示す。
強誘電体材料として、PZT(120/20/80)にAサイト補償成分である2価のCaをAサイトの全構成成分に対して3.3%と、3価のLaをAサイトの全構成成分に対して1.7%含むものを用いた。強誘電体キャパシタを製造する工程は、実施例1と同様に行なった。本比較例3の強誘電体キャパシタのヒステリシス特性を図5に示し、飽和特性の結果を図7に示す。
強誘電体材料として、PZT(120/20/80)に、Aサイト補償成分として2価のCaをAサイトの全構成成分に対して3.3%と、Bサイト補償成分として、NbをBサイトの全構成成分に対して1.7%含むものを用いた。強誘電体キャシタを製造する工程は、実施例1と同様に行なった。本比較例4にかかる強誘電体キャパシタのヒステリシス特性を図6に示し、飽和特性の結果を図7に示す。
まず、下部電極としてPt電極が形成された基体を用意した。次に、強誘電体材料として、PZT(120/20/80)に、Aサイト補償成分として2価のCaをAサイトの全構成成分に対して2.5モル%と、3価のLaをAサイトの全構成成分に対して1.25モル%と、Bサイト補償成分として、NbをBサイトの全構成成分に対して1.25モル%含むものを用いた。スピンコート法により強誘電体材料膜を形成することを4回繰り返し行ない、膜厚が約200nmの原材料体を形成した。最後に、結晶化のために熱処理を行ない強誘電体膜が形成された。その後、上部電極として、Pt電極の形成を行ない比較例6にかかる強誘電体キャパシタが形成された。本比較例にかかるヒステリシス特性を図8に示し、飽和特性の結果を図9に示す。
強誘電体材料として、PZT(120/20/80)に、Aサイト補償成分として2価のCaをAサイトの全構成成分に対して0.5モル%と、3価のLaをAサイトの全構成成分に対して0.25モル%と、Bサイト補償成分として、NbをBサイトの全構成成分に対して0.25モル%含むものを用いた。このとき、Aサイト補償成分とBサイト補償成分の合計は、PZTに対して1モル%以下であった。強誘電体キャパシタを製造する工程は、実施例1と同様に行なった。本比較例にかかる強誘電体キャパシタの疲労特性の測定結果を実施例の疲労特性の結果と共に図10に示す。
本実施例にかかるヒステリシス特性を示す図1と、比較例1〜4にかかるヒステシリス特性を示す図3〜6とを比較して明らかなように、本実施例の製造方法により得られた強誘電体キャパシタは、角型性の良いヒステリシス形状が得られることが分かった。また、図7は、実施例と比較例1〜4の飽和特性を示すグラフであるが、この図7からも明らかなように、実施例にかかる強誘電体キャパシタは、2V以下の低電圧で飽和し、良好な特性を示すことが確認された。
本例では、PZTに対して、3価の元素と5価の元素とをともに添加することによって信頼性特性にどのような影響があるかを確認した。
3.1 第1の強誘電体メモリ
以下、上述の実施の形態にかかる強誘電体キャパシタを有する強誘電体メモリについて説明する。
図15および図16は、MISトランジスタ型メモリセルを有する強誘電体メモリ2000を示す。この強誘電体メモリ2000は、ゲート絶縁層13に強誘電体キャパシタC100を直接接続する構造を有する。具体的には、半導体基板10にソースおよびドレイン14,16が形成され、さらに、ゲート絶縁層13上には、フローティングゲート電極(第1電極)20、本発明に係る強誘電体膜40およびゲート電極(第2電極)50が積層された強誘電体キャパシタC100が接続されている。強誘電体膜40は、第1の実施の形態の製造方法を適用して形成されたものを用いる。この強誘電体メモリ2000においては、半導体基板10、ソース,ドレイン14,16およびゲート絶縁層13が、第1の実施の形態で述べた基体100に相当する。
図17は、第3の強誘電体メモリを模式的に示す図であり、図18は、メモリセルアレイの一部を拡大して示す平面図であり、図19は、図17のA−A線に沿った断面図である。平面図において、( )内の数字は最上層より下の層を示す。
される。これは、同時に‘0’の書き込み動作を兼ねている。このとき、選択されたビット線を流れる電流またはビット線をハイインピーダンスにしたときの電位をセンスアンプにて読み出す。さらにこのとき、非選択セルのキャパシタには、読み出し時のクロストークを防ぐため、所定の電圧が印加される。
セルの分極を反転させない電圧が印加され、読み出し動作時に書き込まれた‘0’状態を保持する。このとき、非選択セルのキャパシタには、書き込み時のクロストークを防ぐため、所定の電圧が印加される。
次に、本実施の形態の強誘電体膜を圧電素子に適用した場合の例について説明する。なお、本実施の形態ではインクジェット式記録ヘッドの圧電素子に適用した場合を例に挙げて説明する。
Claims (15)
- 一般式ABO3で表される複合酸化物の原料に、Aサイトの欠損を補うAサイト補償成分と、Bサイトの欠損を補うBサイト補償成分と、を含む、強誘電体材料。
- 請求項1において、
前記Aサイト補償成分および前記Bサイト補償成分は、構成元素中にSiまたはGeを含む酸化物、または構成元素中にSiおよびGeを含む酸化物である、強誘電材料。 - 請求項1または2において、
前記原料として、チタン酸ジルコン酸鉛を含み、
少なくとも2価の状態をとる元素と、少なくとも3価の状態をとる元素とが前記Aサイト補償成分として添加されている、強誘電体材料。 - 請求項3において、
前記Bサイト補償成分としては、少なくとも5価の状態をとる元素が添加されている、強誘電体材料。 - 請求項3または4において、
前記少なくとも3価の状態をとる元素として、ランタノイド系列の元素が添加されている、強誘電体材料。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の強誘電体材料を用いる、強誘電体膜の製造方法。
- 請求項6において、
前記強誘電体材料を用いて複数の原材料体を積層して、強誘電体材料膜を形成すること、を含み、
第1の原材料体の形成と、第2の原材料体の形成との間に、該第1の原材料体に初期結晶核を形成するための熱処理を行なうこと、を含む、強誘電体膜の製造方法。 - 請求項7において、
前記熱処理は、ラピッドサーマルアニール法により行なわれる、強誘電体膜の製造方法。 - 請求項7または8において、
前記強誘電体材料膜に熱処理を行ない結晶化させることにより、強誘電体膜を形成する、強誘電体膜の製造方法。 - 基体の上に下部電極、強誘電体膜および上部電極を形成する強誘電体キャパシタの製造方法であって、
請求項1〜5のいずれかに記載の強誘電体材料を用いて、複数の原材料体を積層して強誘電体材料膜を形成すること、を含み、
第1の原材料体の形成と、第2の原材料体の形成との間に、該第1の原材料体に初期結晶核を形成するための熱処理を行なうこと、を含む、強誘電体キャパシタの製造方法。 - 請求項10において、
前記熱処理は、ラピッドサーマルアニール法により行なわれる、強誘電体キャパシタの製造方法。 - 請求項10または11において、
前記強誘電体材料膜に熱処理を行ない結晶化させることにより、強誘電体膜を形成する、強誘電体キャパシタの製造方法。 - 請求項10〜12のいずれかに記載の強誘電体キャパシタの製造方法によって製造された、強誘電体キャパシタ。
- 請求項13に記載の強誘電体キャパシタを含む、強誘電体メモリ。
- 請求項13に記載の強誘電体キャパシタを含む、圧電素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004002123A JP4572361B2 (ja) | 2003-03-28 | 2004-01-07 | 強誘電体膜の製造方法、強誘電体キャパシタおよびその製造方法、強誘電体メモリならびに圧電素子 |
US10/807,357 US7187025B2 (en) | 2003-03-28 | 2004-03-24 | Ferroelectric material, ferroelectric film and method of manufacturing the same, ferroelectric capacitor and method of manufacturing the same, ferroelectric memory, and piezoelectric device |
CNB2004100317944A CN100339996C (zh) | 2003-03-28 | 2004-03-25 | 强电介质材料、其膜、电容器及它们的制法、强电介质存储器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003091721 | 2003-03-28 | ||
JP2003302902 | 2003-08-27 | ||
JP2004002123A JP4572361B2 (ja) | 2003-03-28 | 2004-01-07 | 強誘電体膜の製造方法、強誘電体キャパシタおよびその製造方法、強誘電体メモリならびに圧電素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005097073A true JP2005097073A (ja) | 2005-04-14 |
JP4572361B2 JP4572361B2 (ja) | 2010-11-04 |
Family
ID=33493915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004002123A Expired - Fee Related JP4572361B2 (ja) | 2003-03-28 | 2004-01-07 | 強誘電体膜の製造方法、強誘電体キャパシタおよびその製造方法、強誘電体メモリならびに圧電素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7187025B2 (ja) |
JP (1) | JP4572361B2 (ja) |
CN (1) | CN100339996C (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010214841A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 |
JP2014088030A (ja) * | 2013-12-19 | 2014-05-15 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 |
US10403815B2 (en) | 2013-07-04 | 2019-09-03 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and dielectric film |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4720969B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2011-07-13 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体膜、圧電体膜、強誘電体メモリ及び圧電素子 |
US7057877B2 (en) * | 2003-08-27 | 2006-06-06 | Seiko Epson Corporation | Capacitor, method of manufacture thereof and semiconductor device |
JP4823895B2 (ja) * | 2004-05-28 | 2011-11-24 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US7497962B2 (en) * | 2004-08-06 | 2009-03-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid discharge head and method of manufacturing substrate for liquid discharge head |
US20070132065A1 (en) * | 2005-12-08 | 2007-06-14 | Su Jae Lee | Paraelectric thin film structure for high frequency tunable device and high frequency tunable device with the same |
US20070243882A1 (en) * | 2006-04-12 | 2007-10-18 | Qualcomm Incorporated | Method and apparatus for locating a wireless local area network associated with a wireless wide area network |
EP1973177B8 (en) * | 2007-03-22 | 2015-01-21 | FUJIFILM Corporation | Ferroelectric film, process for producing the same, ferroelectric device, and liquid discharge device |
US10109350B2 (en) * | 2016-07-29 | 2018-10-23 | AP Memory Corp., USA | Ferroelectric memory device |
JP7009758B2 (ja) * | 2017-03-23 | 2022-01-26 | セイコーエプソン株式会社 | 印刷装置および印刷装置用回路基板 |
US11101274B2 (en) * | 2019-12-05 | 2021-08-24 | Micron Technology, Inc. | Ferroelectric capacitor, a ferroelectric memory cell, an array of ferroelectric memory cells, and a method of forming a ferroelectric capacitor |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06191941A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-12 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 圧電材料 |
JPH07267733A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-10-17 | Daishinku Co | 圧電性磁器組成物 |
WO1999025014A1 (fr) * | 1997-11-10 | 1999-05-20 | Hitachi, Ltd. | Element dielectrique et mode de fabrication |
JP2001181034A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-03 | Tdk Corp | 圧電セラミック組成物 |
WO2002055450A1 (de) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrisches keramisches material, verfahren zu dessen herstellung und elektrokeramisches mehrlagenbauteil |
JP2005101491A (ja) * | 2003-03-28 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 強誘電体薄膜及びその製造方法、強誘電体メモリ、圧電素子 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5378382A (en) * | 1993-12-09 | 1995-01-03 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric ceramic composition for actuator |
JP2642876B2 (ja) * | 1994-08-11 | 1997-08-20 | 工業技術院長 | チタン酸鉛系誘電体薄膜 |
JP3129175B2 (ja) * | 1995-11-27 | 2001-01-29 | 三菱マテリアル株式会社 | (Ba,Sr)TiO3薄膜コンデンサの製造方法 |
KR100570576B1 (ko) | 2000-10-17 | 2006-04-13 | 샤프 가부시키가이샤 | 산화물 재료, 산화물 박막의 제조 방법 및 상기 재료를사용한 소자 |
-
2004
- 2004-01-07 JP JP2004002123A patent/JP4572361B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-24 US US10/807,357 patent/US7187025B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-25 CN CNB2004100317944A patent/CN100339996C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06191941A (ja) * | 1992-12-25 | 1994-07-12 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 圧電材料 |
JPH07267733A (ja) * | 1994-03-28 | 1995-10-17 | Daishinku Co | 圧電性磁器組成物 |
WO1999025014A1 (fr) * | 1997-11-10 | 1999-05-20 | Hitachi, Ltd. | Element dielectrique et mode de fabrication |
JP2001181034A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-03 | Tdk Corp | 圧電セラミック組成物 |
WO2002055450A1 (de) * | 2001-01-12 | 2002-07-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelektrisches keramisches material, verfahren zu dessen herstellung und elektrokeramisches mehrlagenbauteil |
JP2005101491A (ja) * | 2003-03-28 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 強誘電体薄膜及びその製造方法、強誘電体メモリ、圧電素子 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010214841A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 |
US10403815B2 (en) | 2013-07-04 | 2019-09-03 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and dielectric film |
JP2014088030A (ja) * | 2013-12-19 | 2014-05-15 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4572361B2 (ja) | 2010-11-04 |
CN100339996C (zh) | 2007-09-26 |
CN1610116A (zh) | 2005-04-27 |
US20040245492A1 (en) | 2004-12-09 |
US7187025B2 (en) | 2007-03-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3791614B2 (ja) | 強誘電体膜、強誘電体メモリ装置、圧電素子、半導体素子、圧電アクチュエータ、液体噴射ヘッド及びプリンタ | |
JP4720969B2 (ja) | 強誘電体膜、圧電体膜、強誘電体メモリ及び圧電素子 | |
JP4811556B2 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP4572361B2 (ja) | 強誘電体膜の製造方法、強誘電体キャパシタおよびその製造方法、強誘電体メモリならびに圧電素子 | |
JP4735834B2 (ja) | 強誘電体キャパシタの製造方法、強誘電体メモリの製造方法、圧電素子の製造方法、圧電アクチュエータの製造方法、及び液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US7037731B2 (en) | Ferroelectric capacitor, method of manufacturing the same, ferroelectric memory, and piezoelectric device | |
US20140132676A1 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus and actuator | |
JP2007103722A (ja) | キャパシタおよびその製造方法、強誘電体メモリ装置、アクチュエータ、並びに、液体噴射ヘッド | |
JP2009283950A (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
US20050189571A1 (en) | Ferroelectric memory | |
JP4761019B2 (ja) | 電極膜、圧電素子、強誘電体キャパシタ及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060112 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100714 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4572361 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130827 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |