JP2005093949A - 温度調整器、温度調整システムおよび基板処理装置 - Google Patents
温度調整器、温度調整システムおよび基板処理装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】熱処理ユニットコントローラは、ベークユニットコントローラから加熱プレートの設定温度の変更指示を受信したか否かを判別するS1。設定温度の変更指示を受信した場合、熱処理ユニットコントローラは、第1のパラメータによる温度制御を行うS2。次に、熱処理ユニットコントローラは、温度センサからの温度測定値がパラメータ切替温度に達したか否かを判別するS3。温度センサからの温度測定値がパラメータ切替温度に達した場合、熱処理ユニットコントローラは、第1のパラメータから第2のパラメータへ切り替えを行うS4。次に、熱処理ユニットコントローラは、温度センサからの温度測定値が設定温度に収束したか否かを判別するS5。
【選択図】図3
Description
3 加熱プレート
20 熱処理ユニットコントローラ
22 温度制御回路
23 通信制御回路
30 ベークユニットコントローラ
500 基板処理装置
W 基板
Claims (5)
- 基板に熱処理を行う熱処理装置の処理温度を調整する温度調整器であって、
前記熱処理装置の設定温度の変更を指示された場合に、前記熱処理装置の処理温度を変更前の設定温度から第1のパラメータに基づいて制御した後、前記第1のパラメータよりも小さい温度変化率を有する第2のパラメータに基づいて変更後の設定温度まで制御し、前記熱処理装置の処理温度が設定温度から変動した場合に、前記熱処理装置の処理温度を前記第2のパラメータに基づいて前記設定温度に制御する温度制御手段を備えたことを特徴とする温度調整器。 - 外部から前記熱処理装置の設定温度の変更指示、設定温度ならびに第1および第2のパラメータの切り替え温度に関する情報を受信する通信手段をさらに備え、
前記温度制御手段は、前記通信手段により設定温度の変更指示が受信された場合に、前記第1および第2のパラメータの切り替え温度に関する情報に基づいて前記第1および第2のパラメータの切り替えを行うことを特徴とする請求項1記載の温度調整器。 - 基板に熱処理を行う熱処理装置の温度を調整する温度調整システムであって、
第1のパラメータおよび前記第1のパラメータよりも小さい温度変化率を有する第2のパラメータに基づいて前記熱処理装置の処理温度を調整する温度調整器と、
前記温度調整器に前記熱処理装置の設定温度の変更指示、設定温度ならびに前記第1および第2のパラメータの切り替え温度に関する情報を与える制御装置とを備え、
前記温度調整器は、前記制御装置から設定温度の変更指示が与えられた場合に、前記熱処理装置の処理温度を前記変更前の設定温度から前記切り替え温度まで第1のパラメータに基づいて制御した後、前記切り替え温度から前記変更後の設定温度まで前記第2のパラメータに基づいて制御し、前記熱処理装置の処理温度が前記熱処理装置の設定温度から変動した場合に、前記熱処理装置の処理温度を前記第2のパラメータに基づいて前記設定温度に制御することを特徴とする温度調整システム。 - 基板に熱処理を行う熱処理装置と、
第1のパラメータおよび前記第1のパラメータよりも小さい温度変化率を有する第2のパラメータに基づいて前記熱処理装置の処理温度を調整する温度調整器と、
前記温度調整器に前記熱処理装置の設定温度の変更指示、設定温度ならびに前記第1および第2のパラメータの切り替え温度に関する情報を前記温度調整器に与える制御装置とを備え、
前記温度調整器は、前記制御装置から設定温度の変更指示が与えられた場合に、前記熱処理装置の処理温度を前記変更前の設定温度から前記切り替え温度まで第1のパラメータに基づいて制御した後、前記切り替え温度から前記変更後の設定温度まで前記第2のパラメータに基づいて制御し、前記熱処理装置の処理温度が前記熱処理装置の設定温度から変動した場合に、前記熱処理装置の処理温度を前記第2のパラメータに基づいて前記設定温度に制御することを特徴とする基板処理装置。 - 前記熱処理装置は、
基板が載置されるプレートと、
前記プレートを加熱する加熱手段とを備え、
前記温度調整器は、前記加熱手段の加熱温度を制御することを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003329012A JP2005093949A (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | 温度調整器、温度調整システムおよび基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003329012A JP2005093949A (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | 温度調整器、温度調整システムおよび基板処理装置 |
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JP2005093949A true JP2005093949A (ja) | 2005-04-07 |
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ID=34458405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003329012A Abandoned JP2005093949A (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | 温度調整器、温度調整システムおよび基板処理装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2005093949A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008187126A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Tokyo Electron Ltd | 加熱装置、加熱方法及び記憶媒体 |
JP2017097957A (ja) * | 2015-11-18 | 2017-06-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、温度調節方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
2003
- 2003-09-19 JP JP2003329012A patent/JP2005093949A/ja not_active Abandoned
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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