JP2005093364A - セラミックヒータ - Google Patents
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Abstract
【課題】車載暖房装置との配線接続のため、電極金具7にリード配線8を接合する際、接合時の作業性が悪く、電極金具7の外表面即ち曲面上にスポット溶接するため、接地部分位置がばらつき、接合強度が安定しないという問題があった。
【解決手段】窒化物セラミックスからなる基体10中に発熱抵抗体3を埋設し、該発熱抵抗体3の両端に一部が基体10の表面に露出する一対の電極引出部5を形成し、該電極引出部5の露出部にメタライズ層を介して電極金具7を接続してなるセラミックヒータであって、少なくとも一方の電極金具7が、ツバ部7cを有する筒状金具からなる。
【選択図】図1
【解決手段】窒化物セラミックスからなる基体10中に発熱抵抗体3を埋設し、該発熱抵抗体3の両端に一部が基体10の表面に露出する一対の電極引出部5を形成し、該電極引出部5の露出部にメタライズ層を介して電極金具7を接続してなるセラミックヒータであって、少なくとも一方の電極金具7が、ツバ部7cを有する筒状金具からなる。
【選択図】図1
Description
本発明は、燃焼式車載暖房装置の点火あるいは炎検知用のヒータ、自動車用グロープラグ、石油ファンヒータ等の各種燃焼機器の点火用ヒータ、酸素センサ等の各種センサの各種センサや測定機器の加熱用ヒータなどに利用されるセラミックヒータに関するものである。
寒冷地においてエンジンの始動を短期間に可能とするための熱源または車両室内暖房の補助熱源として、液体燃料を用いる車載暖房機が使用されている。また、電気自動車においてはバッテリの容量の制限により電力消費を少なくすることが要求されており、暖房装置の熱源としてこの液体燃料を用いた車載暖房機の利用が見込まれている。この車載暖房機には、熱源としてセラミックヒータが搭載されており、燃料の着火及び着火検知として搭載される。
このセラミックヒータは、図3(a)の平面図、(b)の斜視図に示すように、円柱状の基体20に保持金具16とその上部に一対の電極金具17が取り付けられており、さらに電極金具17にリード配線18が取り付けられている。この保持金具16にて、車載暖房機に取り付けられ、リード配線18より電力が供給されて、基体20が発熱する仕組みである。
また、図2に示すように、このセラミックヒータは、窒化物セラミックスからなり、基体20となるセラミック成形体2b、2c上にそれぞれ発熱抵抗体3と電極引出部5をプリント法により形成し、次いで、発熱抵抗体3と電極引出部5の間に両者を導通させるためのリードピン4を設け、セラミック成形体2a、2b、2cを積層して密着させ、ホットプレスにより焼成する。しかる後、得られた焼結体を円柱状に加工し、図3に示すように表面に露出した電極引出部5の上にガラス、Niを主成分としたメタライズ層を形成し、その上にNiメッキを施した鉄あるいはステンレス材からなる筒状の電極金具17をロウ付けしてなる。
また、この電極金具17には外部から電力を供給するため、リード配線18が接合される。このリード配線18は、ハンダ等の接合であると電極引出部5の温度に耐えきれず外れてしまう危険があり、また端子等のはめ込み接合及び加締めによる接合であると自動車の振動で外れる危険があるため、高温における耐熱性、また車載における長期的な信頼性を確保するため、スポット溶接によって電極金具17の外表面に直接リード配線18を接続する方法が用いられている(特許文献1参照)。
特開平11−173511号公報
しかしながら、車載暖房装置との配線接続のため、電極金具17にリード配線18を接合する際、筒状の電極金具17の外表面即ち曲面上にスポット溶接するため、リード配線18を電極金具17の外表面にのせスポット溶接するまでの間、ぐらつき不安定であり、接合時の作業性が悪いという問題があった。
さらに、上記の通り安定しない上、電極金具17の外表面即ち曲面上にスポット溶接するため、リード配線18と電極金具17とのスポット溶接時の接地部分位置がばらつき、接合強度が安定しないという問題があった。
そこで、上記課題に鑑み、本発明は、セラミックヒータにおける電極金具へのリード配線の接合において、接合時の作業性を向上させ、且つ、接合強度が安定したセラミックヒータを提供することを目的とする。
本発明のセラミックヒータは、窒化物セラミックスからなる基体中に発熱抵抗体を埋設し、該発熱抵抗体の両端に一部が基体の表面に露出する一対の電極引出部を形成し、該電極引出部の露出部にメタライズ層を介して電極金具を接続してなるセラミックヒータであって、少なくとも一方の電極金具が、ツバ部を有する筒状金具からなることを特徴とする。
また、本発明のセラミックヒータは、上記一対の電極金具がそれぞれツバ部を有し、各ツバ部が対向するように設けられたことを特徴とする。
さらに、本発明のセラミックヒータは、上記電極金具がコイル状金具と、該コイル状金具を覆う筒状金具とからなることを特徴とする。
またさらに、本発明のセラミックヒータは、上記筒状金具がスリットを有することを特徴とする。
さらにまた、本発明のセラミックヒータは、上記筒状金具の厚みが0.1mm〜0.5mmであることを特徴とする。
また、本発明のセラミックヒータは、上記ツバ部は、一辺が1.5mm以上の四角形状であることを特徴とする。
本発明のセラミックヒータは、少なくとも一方の電極金具がツバ部を有する筒状金具からなることから、平面を有するツバ部にリード配線をスポット溶接することができるため、リード配線をスポット溶接するまでの間も、安定して載置しておくことができ、作業性を向上することができる。また、リード配線と電極金具とのスポット溶接時の接地部分位置が安定し、接合強度を安定することができる。
また、本発明のセラミックヒータは、上記一対の電極金具がそれぞれツバ部を有し、各ツバ部が対向するように設けられたことから、一方をスポット溶接した後、もう一方を溶接する際、先にスポット溶接したリード配線の位置及び方向に干渉されることなく、スポット溶接が可能で、さらに作業性を向上することができる。
さらに、本発明のセラミックヒータは、上記電極金具がコイル状金具と、該コイル状金具を覆う筒状金具とからなることから、金具とセラミックヒータの熱膨張差により発生する応力を緩和することができ、長期間に渡り高温に曝されても抵抗値が変化せず、安定した着火性能が維持できる。
またさらに、本発明のセラミックヒータは、上記筒状金具がスリットを有することから、
基体と筒状金具との熱膨張差による応力を緩和して、長期間にわたって高温に曝されても抵抗値が変化せず、安定した着火性能が維持できる。
基体と筒状金具との熱膨張差による応力を緩和して、長期間にわたって高温に曝されても抵抗値が変化せず、安定した着火性能が維持できる。
さらにまた、本発明のセラミックヒータは、上記筒状金具の厚みが0.1mm〜0.5mmであることから、車載暖房機の配線とのスポット溶接部を高強度に保持することができる。
また、本発明のセラミックヒータは、上記ツバ部は、一辺が1.5mm以上の四角形状であることから、リード配線のスポット溶接に十分な領域が確保でき、強固に接続することができる。
以下、本発明のセラミックヒータの実施形態を図面に基づいて説明する。
図1(a)は、本発明のセラミックヒータの一実施形態を示す正面図であり、(b)は同図(a)のセラミックヒータ1を矢印Aの方向から見た側面図である。
図1に示すように、本発明のセラミックヒータ1は、窒化物セラミックスからなる基体10中に発熱抵抗体を埋設し、該発熱抵抗体の両端に一部が基体10の表面に露出する一対の電極引出部を形成し、該電極引出部の露出部にメタライズ層を介して電極金具7を接続してなるものであり、このセラミックヒータ1の外周に保持金具6をロウ付けし、車載暖房機の燃焼筒に固定し、車載暖房機の着火あるいは上記発熱抵抗体を温度センサとして使用し、燃焼時の温度を発熱抵抗体の抵抗値から判断するものである。
このセラミックヒータ1の製造方法を図2の展開斜視図を用いて説明する。
ここでは2層の発熱抵抗体3を有するものであり、先ずセラミック成形体2b、2cの上にそれぞれ発熱抵抗体3と電極引出部5をプリント法により形成する。次いで、上記発熱抵抗体3と電極引出部5の間に両者が導通するようにリードピン4を設置し、セラミック成形体2b、2cとこれらの蓋となるセラミック成形体2aを重ねて密着させ、ホットプレスにより焼成する。その後、得られた焼結体を円柱状に加工し、図1(a)に示すように表面に露出した電極引出部5に不図示のメタライズ層を形成し、その上面に電極金具7をロウ付けする。しかる後、電極金具7にリード配線8を接続して電力を供給するものである。
ここで、本発明のセラミックヒータ1は、図1(a)、(b)、(c)に示すように、少なくとも一方の電極金具7がツバ部7cを有する筒状金具7bからなることが重要である。
これは、平板状のツバ部7cにリード配線8をスポット溶接することによって、従来のように筒状の電極金具の外表面、即ち曲面上にスポット溶接するのと比較して、リード配線8をスポット溶接するまでの間も安定して載置しておくことができ、作業性を向上することができるためである。また、リード配線8と電極金具7とのスポット溶接時の接地部分が安定し、接合強度を安定することができ、電極引出部5が高温となっても十分に耐熱性を有し、また端子等のはめ込み接合及び加締めによる接合による離脱の危険もなく、車載における長期的な信頼性を得ることができる。
各電極金具7の軸方向の距離Tは、0.5〜5mm、更に好ましくは2〜5mmとすることが好ましい。この距離が0.5mm未満では、電極金具7をロウ付けした際にロウ材が広がって短絡する可能性があり、一方、距離が5mmを越えると、性能上は問題がないが、セラミックヒータ1の全長が長くなり、セラミックヒータ1を装着する装置全体の大きさに影響するので好ましくない。
また、ツバ部7cの形状は、四角状が好ましいが、スポット溶接が可能であり、接合強度を保持できれば、丸状や三角状、その他特殊な形状でも構わない。
さらに、1つの電極金具7に対しては、スポット溶接の作業性から1つのツバ部7cを有することが好ましい。
なお、1つの電極金具7に複数のツバ部7cを形成する場合、電極金具7の円周上に均等に配置することで溶接が比較的容易にできるため好ましいが、5つ以上になるとスポット溶接の作業性が悪くなるので好ましくない。
またさらに、上記ツバ部7cは、図1(b)に示すように筒状金具7bと一体的に形成されていることが好ましく、金型による成形加工や曲げ加工により容易に製作することができ、また、ツバ部7cとの境界にスリット9が形成されることから、基体10と筒状金具7bとの熱膨張差による応力を緩和するために効果的である。また、スリット9の幅は0.1mm以上とすることが好ましい。
また、上記ツバ部7cは図1(c)に示すように基体10が柱状体からなる場合にその軸方向に対して垂直な平面を有するものとするが好ましく、スリット9を挟んでツバ部7cを形成することで容易にツバ部7cを形成することができる。
また、一対の電極金具7に形成された各ツバ部7cが、図1(b)に示すように対向するように設けられることが好ましい。
これは、一方のツバ部7cにリード配線8をスポット溶接した後、もう一方のリード配線8をツバ部7cに溶接する際、先にスポット溶接したリード配線8の位置及び方向に干渉されることなく、スポット溶接が可能で、さらに作業性を向上することができるためである。また、同方向からのスポット溶接が可能であるため、一対の溶接部を同時に溶接することも可能であり、作業時間の大幅な短縮が実現できる。
さらに、電極金具7がコイル状金具7aと、該コイル状金具7aを覆うツバ部7cを有する筒状金具7bとからなることが好ましい。
これによって、電極金具7と発熱抵抗体3を埋設した基体10との熱膨張差により発生する応力を緩和することができ、長期間にわたって高温に曝されても抵抗値が変化せず、安定した着火性能が維持できる。
なお、電極金具7を構成するコイル状金具7aの材質としては、例えばFe−Ni−Co合金や4−2アロイ、インコロイ、インコネル、ステンレス、Ni等の熱膨張係数の小さい金属が好ましいが、車載暖房機に用いられるセラミックヒータ1には腐食耐性の良好なNiが多用されている。また、線径は発生する応力を小さくするため細い方が良く0.6mm〜1.2mmとすることが好ましい。
また、上記筒状金具3bは、その厚みが0.1〜0.5mmであることが好ましく、さらには0.1〜0.3mmが好ましい。厚みが0.1mm未満となると、車載暖房機の配線とのスポット溶接部が破れる、あるいは強度が劣化する可能性がある。一方、0.5mmを超えると筒状金具7bによる応力が大きくなりすぎ、ロウ付けしているコイル状金具7aに大きな影響を与えて、コイル状金具7aが応力緩和のための作用をなさなくなる。さらに、筒状金具7b及びツバ部7cの材質としては、熱膨張係数がコイル状金具7aに近いもの、かつロウ材が流れにくいものが好ましく、Fe−Ni−Co合金、4−2アロイ、インコロイ、インコネル、ステンレス材等をもちいることが好ましい。
さらに、上記ツバ部7cは、一辺が1.5mm以上の四角形状であることが好ましく、
1.5mm未満であるとスポット溶接する領域として、十分な領域が確保できず、スポット溶接時にツバ部7cが破れたり、強度が低下したりする危険がある。
また、上記筒状金具3bは、その厚みが0.1〜0.5mmであることが好ましく、さらには0.1〜0.3mmが好ましい。厚みが0.1mm未満となると、車載暖房機の配線とのスポット溶接部が破れる、あるいは強度が劣化する可能性がある。一方、0.5mmを超えると筒状金具7bによる応力が大きくなりすぎ、ロウ付けしているコイル状金具7aに大きな影響を与えて、コイル状金具7aが応力緩和のための作用をなさなくなる。さらに、筒状金具7b及びツバ部7cの材質としては、熱膨張係数がコイル状金具7aに近いもの、かつロウ材が流れにくいものが好ましく、Fe−Ni−Co合金、4−2アロイ、インコロイ、インコネル、ステンレス材等をもちいることが好ましい。
さらに、上記ツバ部7cは、一辺が1.5mm以上の四角形状であることが好ましく、
1.5mm未満であるとスポット溶接する領域として、十分な領域が確保できず、スポット溶接時にツバ部7cが破れたり、強度が低下したりする危険がある。
ここで、本発明のセラミックヒータ1は、基体10として、窒化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体等の窒化物セラミックスからなり、中でも、窒化珪素質焼結体が高強度、高靱性、高絶縁性、耐熱性の観点で一番優れている。
窒化珪素質焼結体としては、主成分の窒化珪素に対し焼結助剤として3〜12重量%の希土類元素酸化物と0.5〜3重量%のAl2O3、さらに焼結体に含まれるSiO2量として1.5〜5重量%となるようにSiO2を混合し、1650〜1750℃でホットプレス焼成することにより焼結体を得ることができる。ここで示すSiO2量とは、窒化珪素原料中に含まれる不純物酸素から生成するSiO2と、他の添加物に含まれる不純物としてのSiO2と、意図的に添加したSiO2の総和である。
窒化珪素質焼結体としては、主成分の窒化珪素に対し焼結助剤として3〜12重量%の希土類元素酸化物と0.5〜3重量%のAl2O3、さらに焼結体に含まれるSiO2量として1.5〜5重量%となるようにSiO2を混合し、1650〜1750℃でホットプレス焼成することにより焼結体を得ることができる。ここで示すSiO2量とは、窒化珪素原料中に含まれる不純物酸素から生成するSiO2と、他の添加物に含まれる不純物としてのSiO2と、意図的に添加したSiO2の総和である。
また、母材の窒化珪素にMoSi2やWSi2を分散させることにより、母材の熱膨張率を発熱抵抗体3の熱膨張率に近づけることにより、発熱抵抗体3の耐久性を向上させることが可能である。
さらに、上記基体10として窒化アルミニウムを用いる場合は、窒化アルミニウムに対して、焼結助剤としてY2O3等の希土類元素酸化物やCaOを2〜8重量%添加したものを使用する。
上記基体10に埋設された発熱抵抗体3は、無機導電体のWCを主成分とし、これに添加するBNの比率が4重量%以上となるように調整することが好ましい。窒化珪素セラミックス中で、発熱抵抗体3となる導体成分は窒化珪素に較べて熱膨張率が大きいため、通常は引張応力が掛かった状態にある。これに対して、BNは、窒化珪素に較べて熱膨張率が小さく、また発熱抵抗体3の導体成分とは不活性であり、セラミックヒータ1の昇温降温時の熱膨張差による応力を緩和するのに適している。また、BNの添加量が20重量%を越えると抵抗値が安定しなくなるので、20重量%が上限である。さらに好ましくは、BNの添加量は、4〜10重量%とする。
さらに、発熱抵抗体3への添加物として、BNの代わりに窒化珪素を10〜40重量%添加することも可能である。窒化珪素の添加量を増すにつれ、発熱抵抗体3の熱膨張率を母材の窒化珪素に近づけることができる。
また、上記リードピン4については、耐熱性のある材質であれば他の材質を用いることも可能であるが、特にセラミック基材が窒化珪素の場合、Wを用いるのが好ましい。
さらに、電極引出部5に電極金具7を接合する際に形成するメタライズ層は、高温耐久性を増すために活性金属を含むAg、Cuを主成分とする金属主成分のメタライズ層を用いることが好ましい。一方、活性金属を含まないガラスを主成分としたメタライズ層を使用すると、応力は緩和されるが高温になると接合力が弱いため電極引出部5とメタライズ層との間に隙間が生じて抵抗変化が生じやすい。なお、Ag−Cu合金を主成分とする場合、Cuの比率はメタライズ層が硬くならないように5〜20%とすることが好ましい。
さらに、電極引出部5に電極金具7を接合する際に形成するメタライズ層は、高温耐久性を増すために活性金属を含むAg、Cuを主成分とする金属主成分のメタライズ層を用いることが好ましい。一方、活性金属を含まないガラスを主成分としたメタライズ層を使用すると、応力は緩和されるが高温になると接合力が弱いため電極引出部5とメタライズ層との間に隙間が生じて抵抗変化が生じやすい。なお、Ag−Cu合金を主成分とする場合、Cuの比率はメタライズ層が硬くならないように5〜20%とすることが好ましい。
そして、このセラミックヒータ1を保持するための保持金具6としては、ステンレス鋼、耐熱鋼、Fe−Ni−Cr合金、インコネル等の耐熱性に優れたものが好適である。
上記セラミックヒータ1は、エンジンの始動用熱源または車両室内暖房の補助熱源として用いられる燃焼式車戴暖房機にて点火または炎検知として好適に用いられる。上記セラミックヒータ1は、電極金具7としてコイル状金具7a、ツバ部7cを有する筒状金具7bを用いたことから、使用中の熱サイクルにより電極引出部5付近の抵抗値が増加したり、周辺の基体10にクラックが発生したりすることを防止することが可能となる。
上記セラミックヒータ1は、エンジンの始動用熱源または車両室内暖房の補助熱源として用いられる燃焼式車戴暖房機にて点火または炎検知として好適に用いられる。上記セラミックヒータ1は、電極金具7としてコイル状金具7a、ツバ部7cを有する筒状金具7bを用いたことから、使用中の熱サイクルにより電極引出部5付近の抵抗値が増加したり、周辺の基体10にクラックが発生したりすることを防止することが可能となる。
なお、上述の実施形態では、円柱状のセラミックヒータ1を用いて説明したが、四角柱状等、種々の形状のセラミックヒータでもよく、電極金具7として基体10の形状に沿うようにツバ部7cを有する筒状金具7bを接合すればよい。
本発明の有効性を確認するためにセラミックヒータ試料を作製し、下記試験を実施して従来の構造のものと比較した。
先ず、図1に示す本発明のセラミックヒータ試料を作製するため、窒化珪素(Si3N4)粉末にイッテリビウム(Yb)やイットリウム(Y)等の希土類元素の酸化物からなる焼結助剤を添加したセラミック原料粉末をプレス成形法によってセラミック成形体を得た後、セラミック成形体の上面にWCとBNを主成分とするペーストを用いて発熱抵抗体と電極引出部をプリント法により形成した。
その後、リードピンを上記発熱抵抗体と電極引出部が導通するように設置し、上記セラミック成形体を2層とこれらの蓋となるセラミック成形体を重ねて密着させ、これを円筒のカーボン型に入れた後、還元雰囲気下、1650℃〜1750℃の温度でホットプレスにより焼成した。
先ず、図1に示す本発明のセラミックヒータ試料を作製するため、窒化珪素(Si3N4)粉末にイッテリビウム(Yb)やイットリウム(Y)等の希土類元素の酸化物からなる焼結助剤を添加したセラミック原料粉末をプレス成形法によってセラミック成形体を得た後、セラミック成形体の上面にWCとBNを主成分とするペーストを用いて発熱抵抗体と電極引出部をプリント法により形成した。
その後、リードピンを上記発熱抵抗体と電極引出部が導通するように設置し、上記セラミック成形体を2層とこれらの蓋となるセラミック成形体を重ねて密着させ、これを円筒のカーボン型に入れた後、還元雰囲気下、1650℃〜1750℃の温度でホットプレスにより焼成した。
しかる後、焼結体を円柱状に加工し、表面に露出した一対の電極引出部にAgを主成分とするメタライズ層を形成し、表1に示す如く電極金具を接続した。
なお、電極金具は、SUS材からなりツバ部を有する筒状金具のみのもの、Niからなるコイル状金具をロウ付けし、さらにその上からSUS材からなりツバ部を有する筒状金具を同時にロウ付けしたもの、従来例として、図3に示すようなSUS材からなりツバ部のない筒状金具のみのものを用意した。
さらに、φ2mmのCuよりなるリード配線を電極金具にスポット溶接することにより、セラミックヒータの試料を作製した。
なお、試料の大きさは、基体の外径4.5mm、電極金具の外径6.5mm、長さ約45〜46mmとした。
かくして得られたセラミックヒータ試料のスポット溶接部の強度を測定した。セラミックヒータを水平にして、保持金具で固定し、スポット溶接面に対して垂直方向にリード配線を引っ張り、デジタル式のフォースゲージにて測定した。
さらに、得られたセラミックヒータ試料の電極部の高温の耐久性について評価実施した。セラミックヒータを高温耐久炉に入れて、300℃にて2分の高温放置後、2分間で100℃未満になるようなサイクル評価を、継続実施して30000サイクル実施後の抵抗変化量を調査した。
表1に示す通り、本発明によるセラミックヒータであるツバ部を有する筒状金具を有する試料(No.1〜19)は、リード配線の引張り強度が350N以上と強固に接続されており、また、サイクル試験後の抵抗値増加量は、25mΩ以下と良好な耐久性を示す結果となっている。
また、各ツバ部の位置が対向している試料(No.1〜12、15〜19)は、対向していない試料(No.13,14)に対して、引張り強度、抵抗値増加量ともおおきな低下はないものの作業性の面で非常に優位となる。
さらに、試料(No.6)と試料(No.7)の比較、および試料(No.15)と試料(No.16)との比較から、コイル状金具を有する試料の方が抵抗値増加量が少なく、良好な耐久結果を得られた。また、試料(No.4)と試料(No.5)との比較、および試料(No.8)と試料(No.12)との比較から判るように、筒状金具にスリットを形成することにより、基体と電極金具の熱膨張差を緩和し、さらに抵抗値増加量を小さくできることが判った。
さらに、筒状金具の厚みを種々変化させた試料(No.1〜4)を比較すると、厚みが0.1mm以上の試料(No.2〜4)は、厚みが0.1mm未満の試料(No.1)と比較して強度値が高く、良好である。
同様に、筒状金具の厚みを種々変化させた試料(その他の条件は同様のもの)(No.17〜19)で比較すると、厚みが0.5mm以下の試料(No.17〜18)は厚みが0.5mmより大きな試料(No.19)と比較して、抵抗増加量が低く、良好である。
さらに、ツバ部の長さを種々変化させた試料(その他の条件は同様のもの)(No.9〜12)で比較すると、ツバ部の長さが1.5mm以上の試料(No.10〜12)はツバ部の長さが1.5mm未満の試料(No.1)と比較して、強度値が高く、良好である。
これに対して、図3に示すような電極金具に直接スポット溶接した試料(No.20、21)は、リード配線の引張り強度が350N以下と小さくなっており、さらにコイル状金具を有さず、スリットのない試料(No.21)の方は、サイクル試験後の抵抗値増加量が100mΩ以上と大きくなることが判った。
セラミックヒータにおける電極金具部へのリード配線の接合において、接合時の作業性を向上させ、且つ、接合強度が安定したセラミックヒータを提供することにより、燃焼式車載暖房装置の点火あるいは炎検知用ヒータ、自動車用グロープラグ、石油ファンヒータ等の各種燃焼機器の点火用ヒータ、酸素センサ等の各種センサの各種センサや測定機器の加熱用ヒータなどに利用される。
1:セラミックヒータ
2:セラミック成形体
3:発熱抵抗体
4:リードピン
5:電極引き出し部
6:保持金具
7:電極金具
8:リード配線
9:スリット
10:基体
2:セラミック成形体
3:発熱抵抗体
4:リードピン
5:電極引き出し部
6:保持金具
7:電極金具
8:リード配線
9:スリット
10:基体
Claims (6)
- 窒化物セラミックスからなる基体中に発熱抵抗体を埋設し、該発熱抵抗体の両端に一部が基体の表面に露出する一対の電極引出部を形成し、該電極引出部の露出部にメタライズ層を介して電極金具を接続してなるセラミックヒータであって、少なくとも一方の電極金具が、ツバ部を有する筒状金具からなることを特徴とするセラミックヒータ。
- 上記一対の電極金具がそれぞれツバ部を有し、各ツバ部が対向するように設けられたことを特徴とする請求項1に記載のセラミックヒータ。
- 上記電極金具がコイル状金具と、該コイル状金具を覆う筒状金具とからなることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックヒータ。
- 上記筒状金具がスリットを有することを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のセラミックヒータ。
- 上記筒状金具は、その厚みが0.1mm〜0.5mmであることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のセラミックヒータ。
- 上記ツバ部は、一辺が1.5mm以上の四角形状であることを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のセラミックヒータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003328436A JP2005093364A (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | セラミックヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003328436A JP2005093364A (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | セラミックヒータ |
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ID=34458010
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JPS5713681A (en) * | 1980-06-30 | 1982-01-23 | Tokyo Shibaura Electric Co | Ceramic heater |
JPH10177892A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Kyocera Corp | セラミック発熱体 |
JPH10189696A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-21 | Kyocera Corp | ウエハ保持装置の給電構造 |
JPH1112040A (ja) * | 1997-04-23 | 1999-01-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータ、その製造方法、及びセラミックグロープラグ |
-
2003
- 2003-09-19 JP JP2003328436A patent/JP2005093364A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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