JP2005086959A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. リニアモータ内に大推力用と小推力用の２通りの巻線を備えたリニアモータと前記リニアモータへ駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
   リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
   前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプとを備え、
   大推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータ巻線とアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
2. 前記組合せを駆動条件に基づいて選択的に切替えるために、上位からのアンプ切替え信号に基づいて動作するアナログスイッチを備え、
   前記アナログスイッチは、上位指令と後段の前記ＰＷＭアンプあるいは前記高キャリアＰＷＭアンプとの接続を選択し、また選択されていないアンプにはゼロ指令を供給し、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
3. 前記リニアモータは、大推力用巻線にモータ３相分をＹ結線した巻線を施し、小推力用巻線にモータ３相分を独立に配備した巻線を施し、各巻線への接続端子を備え、これら２通りの巻線を有することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
4. 前記ＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが加減速状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
5. 前記高キャリアＰＷＭアンプは、上位からのアンプ切替え信号に基づいて、システムが一定速あるいは停止状態の場合、前記リニアモータを駆動することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
6. 前記ＰＷＭアンプと前記高キャリアＰＷＭアンプは、互いに同一または個別の前記ドライバに備えることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
7. システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相Ｙ結線された巻線に、また、前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相独立巻線された巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ駆動装置。
8. 前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項１乃至７記載のリニアモータ駆動装置。
9. 大推力用リニアモータと小推力用リニアモータの２通りのリニアモータと前記リニアモータへ駆動電流を供給するドライバとで構成されたリニアモータ駆動装置において、
   リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御するＰＷＭアンプと、
   前記ＰＷＭアンプよりキャリア周波数が一段と高く、リニアモータの駆動電流をＰＷＭ制御する高キャリアＰＷＭアンプとを備え、
   大推力時に適したリニアモータとアンプの組合せと小推力時に適したリニアモータとアンプの組合せとを、駆動条件に基づいて選択しシステムを駆動するものであることを特徴とするリニアモータ駆動装置。
10. 前記大推力用リニアモータは巻線にモータ３相分をＹ結線した巻線を施し、前記小推力用リニアモータは巻線にモータ３相分を独立に配備した巻線を施し、各巻線への接続端子を備え、これら２通りのリニアモータを有することを特徴とする請求項９に記載のリニアモータ駆動装置。
11. システムの駆動は、前記ＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相Ｙ結線された巻線に、また前記高キャリアＰＷＭアンプで前記リニアモータの３相独立巻線された巻線に駆動電流を供給する組合せとすることを特徴とする請求項９に記載のリニアモータ駆動装置。
12. 前記リニアモータを半導体製造装置または液晶製造装置の精密位置決め装置に適用した請求項９乃至１１記載のリニアモータ駆動装置。