JP2005079476A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005079476A JP2005079476A JP2003310646A JP2003310646A JP2005079476A JP 2005079476 A JP2005079476 A JP 2005079476A JP 2003310646 A JP2003310646 A JP 2003310646A JP 2003310646 A JP2003310646 A JP 2003310646A JP 2005079476 A JP2005079476 A JP 2005079476A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- liquid crystal
- display device
- crystal display
- switching element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】反転駆動時における高電位と低電位とでの電圧印加後のオフ電流の相違を緩和と、光リーク電流の発生とを抑制して表示品位を向上する。
【解決手段】スイッチング素子12は、チャネル形成領域42を有する半導体層41と、チャネル形成領域42を挟むように形成された第1および第2の不純物拡散領域44a,44bと、チャネル形成領域42に絶縁膜51を介して形成されたゲート電極63とを有するトランジスタを含み、第1および第2の不純物拡散領域端子44a,44bのうち第1電極61と接続している側Y2のチャネル形成領域のチャネル幅が他方の側Y1よりも広くなるように形成されている。
【選択図】図2
【解決手段】スイッチング素子12は、チャネル形成領域42を有する半導体層41と、チャネル形成領域42を挟むように形成された第1および第2の不純物拡散領域44a,44bと、チャネル形成領域42に絶縁膜51を介して形成されたゲート電極63とを有するトランジスタを含み、第1および第2の不純物拡散領域端子44a,44bのうち第1電極61と接続している側Y2のチャネル形成領域のチャネル幅が他方の側Y1よりも広くなるように形成されている。
【選択図】図2
Description
本発明は、液晶表示装置およびその製造方法に関し、特に、アクティブマトリクス方式の液晶表示装置およびその製造方法に関するものである。
液晶表示装置は、CRT(Cathode Ray Tube)よりも、薄型、軽量、低消費電力といった利点を有し、パーソナルコンピューター、携帯電話、デジタルカメラなどの電子機器の表示装置として使用されている。液晶表示装置の駆動方式として、アクティブマトリクス方式が知られている。
図7は、従来のアクティブマトリクス方式の液晶表示装置を示す断面図である。
図7に示すように、従来のアクティブマトリクス方式の液晶表示装置は、第1基板111と第2基板121と液晶層131とを有する。第1基板111には、第1電極161と、第1電極161への電圧を制御するスイッチング素子112と、第1電極161への電圧を保持するキャパシタ113とが設けられている。スイッチング素子112およびキャパシタ113は、第1電極161と接続している。また、第2基板121には、第1電極161に対向する第2電極122が設けられている。そして、液晶層131は、第1電極161と第2電極122との間に配置されている。液晶層131は、第1電極161と第2電極122とに印加される電圧に基づいて配向状態が変化し、画面の表示が行われる。
アクティブマトリクス方式のスイッチング素子112として、TFT(Thin Film Transistor)が知られている。
図8は、従来のアクティブマトリクス方式の液晶表示装置においてスイッチング素子として用いられているTFTを示す図である。図8のうち、図8(a)がTFTの全体の断面図であり、図8(b)がTFTの半導体層の部分を示す上面図である。
図8に示すように、スイッチング素子112としてのTFTは、ゲート電極163とゲート絶縁膜151と半導体層141とを有する。半導体層141は、たとえば、ポリシリコンを用いて形成されており、チャネル形成領域142と第1不純物拡散領域144aと第2不純物拡散領域144bとを有する。ここで、チャネル形成領域142は、p型であり、ゲート絶縁膜151を介してゲート電極163と対向する位置に設けられている。そして、第1不純物拡散領域144aおよび第2不純物拡散領域144bは、n型であり、チャネル形成領域142を挟むように形成されている。また、図8(b)に示すように、チャネル形成領域142は、第1不純物拡散領域144a側のチャネル幅X1と第2不純物拡散領域144b側のチャネル幅X2とが同じ幅となるように形成されている。そして、第1不純物拡散領域144aにはソース電極164aが接続され、第2不純物拡散領域144bにはドレイン電極164bが接続されている。
また、第1不純物拡散領域144aおよび第2不純物拡散領域144bとチャネル形成領域142とのそれぞれの間には、第1不純物拡散領域144aおよび第2不純物拡散領域144bよりも低いn型不純物濃度である第1低濃度不純物領域143aおよび第2低濃度不純物領域143bがそれぞれに形成されており、いわゆるLDD(Lightly Doped Drain)構造となっている。
図9は、従来のアクティブマトリクス方式の液晶表示装置であって、LDD構造のTFTであるスイッチング素子112と、キャパシタ113とが形成されている第1基板111側の電気回路図である。
図9に示すように、LDD構造のTFTであるスイッチング素子112は、ゲート電極163が走査線171と接続し、第1不純物拡散領域143aがソース電極164aを介して信号線172と接続している。そして、第2不純物拡散領域144bは、ドレイン電極164bを介して、第1基板111に形成されている第1電極161と接続している。同様にして、キャパシタ113は、第1電極161と接続している。
第1不純物拡散領域144a、第2不純物拡散領域144b、第1低濃度不純物領域143a、第2低濃度不純物領域143b、キャパシタ113は、それぞれ所定の電気抵抗値を有している。第1低濃度不純物領域143aおよび第2低濃度不純物領域143bは、第1不純物領域144aおよび第2不純物領域144bよりも低い不純物濃度であって電気抵抗値が高い領域となっている。このようなLDD構造のTFTは、電気抵抗値が高い第1低濃度不純物領域143a、第2低濃度不純物領域143bによってドレイン端での電界集中が緩和されるため、オフ電流を低減することができる。このため、LDD構造のTFTは、オフ電流を低減して優れた表示品位を得ることができる構造として知られている(たとえば、特許文献1参照)。
特開平9−82970号公報
液晶表示装置を駆動させる際、液晶層131の劣化を防止するために、反転駆動が行われている。反転駆動は、液晶層131に加わる電界の方向を交互に反転させる駆動方式であり、たとえば、交流を印加して、第1電極161に与える電圧の正負を第2電極122に対して交互に反転させることをいう。
図10は、上述した液晶表示装置を反転駆動させた際における第1電極161の駆動波形を示す波形図である。図10においては、ラインL1は第1電極161に印加される電圧の波形を示し、ラインL2は信号線172からソース電極164aに印加される表示電圧の波形を示し、ラインL3は表示電圧の中間電位である基準電位を示す。
液晶表示装置を駆動させる際、走査線171からゲート電極163にゲートオン電圧を印加してスイッチング素子112をオン状態とする。そして、ラインL2に示すように、信号線172からソース電極164aに、基準電位L3に対して正となる高電位VHの表示電圧を印加する。ソース電極164aに印加された高電位VHの表示電圧は、ドレイン電極164bを介して、第1電極161に印加される。所定期間のオン状態の後、走査線171からゲート電極163にゲートオフ電圧が印加されて、スイッチング素子112はオフ状態となり、信号線172からの高電位VHの表示電圧の供給が終了される。この時、第1電極161は、ラインL1に示すように、高電位VHの電圧が書き込まれた状態となる。第1電極161は、オフ状態以後も、液晶層131とキャパシタ113との電位保持特性により表示電圧を保持するが、オフ電流の発生によって電位が小さくなっていく。
そして、その後、再びゲートオン電圧がゲート電極163に印加され、スイッチング素子112がオン状態となる。そして、ラインL2に示すように、上述した高電位VHの印加に続き、今度は、基準電位L3に対して負となる低電位VLの表示電圧がソース電極164aに印加される。そして、高電位VHの書き込みと同様にして、低電位VLの表示電圧は第1電極161に書き込まれ保持される。ラインL1に示すように、低電位VLの表示電圧においても同様にして、オフ電流によって電位が小さくなっていく。
このように、高電位VHと低電位VLとでの電圧印加では、オフ電流により第1電極161の保持している電位が減衰する。しかしながら、図10に示すように、高電位VHと低電位VLとでの電圧印加後では、オフ電流の大きさが異なっており、高電位VHの場合でのオフ電流の方が大きい。つまり、所定時間後の第1電極161においては、高電位VHの印加時の保持電位VHaと低電位VLの印加時での保持電位VLaとが異なっている。
図11は、上述した液晶表示装置を反転駆動させた際において、スイッチング素子112であるTFTのエネルギーバンド図である。図11のうち、図11(a)が高電位VHでの電圧印加後を示し、図11(b)が低電位VLでの電圧印加後を示している。
図11に示すように、高電位VHの場合よりも低電位VLの場合の方が、キャパシタ113に起因するエネルギー障壁があるためにトンネル電流が流れにくく、オフ電流が小さくなる。このため、上述したように、高電位VHと低電位VLとでの電圧印加後では、オフ電流の大きさが異なっていた。
以上のように、従来においては、高電位VHと低電位VLとでの電圧印加後のオフ電流の相違に起因して、高電位VHの印加時の保持電位VHaと低電位VLの印加時での保持電位VLaとが所定時間後において異なっていた。このため、従来においては、高電位VHの場合と低電位VLの場合とでの表示が異なることになり、画像のちらつきであるフリッカや残像が発生し、表示品位が低下していた。
また、バックライトなどの光源から入射する光に起因して、スイッチング素子112のチャネル形成領域142でキャリアが誘起され、その結果、光リーク電流が発生して、第1電極161の電圧保持特性が劣化し、表示品位が低下する問題があった。
したがって、本発明の目的は、反転駆動時における高電位と低電位とでの電圧印加後のオフ電流の相違を緩和することと光リーク電流の発生を抑制することとにより、フリッカや残像を防止し、表示品位を向上可能な液晶表示装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的の達成のため、本発明の液晶表示装置は、第1電極と、前記第1電極への電圧を制御するスイッチング素子と、前記第1電極への電圧を保持するキャパシタとを有する第1基板と、前記第1電極に対向する第2電極を有する第2基板と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置されている液晶層とを有する液晶表示装置であって、前記スイッチング素子は、チャネル形成領域を有する半導体層と、前記チャネル形成領域を挟むように形成された第1および第2の端子と、前記チャネル形成領域上に絶縁膜を介して形成された制御電極とを有するトランジスタを含み、前記第1および第2の端子のうち前記第1電極と接続している端子側の前記チャネル形成領域のチャネル幅が他方の端子側よりも広くなるように形成されている。
以上の本発明の液晶表示装置においては、第1および第2の端子のうち第1電極と接続している端子側のチャネル形成領域のチャネル幅が他方の端子側よりも広く形成されているため、反転駆動時の低電位での電圧印加におけるオフ電流が流れ易い。このため、本発明の液晶表示装置は、反転駆動時の低電位での電圧印加におけるオフ電流がキャパシタによって低下する場合であっても、反転駆動時における高電位での電圧印加後と低電位での電圧印加後とに発生するオフ電流の相違を緩和することができる。
上記目的の達成のため、本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1電極と、前記第1電極への電圧を制御するスイッチング素子と、前記第1電極への電圧を保持するキャパシタとが設けられている第1基板と、前記第1電極に対向する第2電極が設けられている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板とに間に配置されている液晶層とを有する液晶表示装置の製造方法であって、前記スイッチング素子を形成する工程として、チャネル形成領域を有する半導体層を形成する工程と、前記チャネル形成領域を挟むように第1および第2の端子とを形成する工程と、前記チャネル形成領域に絶縁膜を介して制御電極を形成する工程と、前記第1および第2の端子のうち前記第1電極と接続している端子側の前記チャネル形成領域のチャネル幅が他方の端子側よりも広くなるように前記半導体層をパターン加工する工程とを有する。
以上の本発明の液晶表示装置の製造方法においては、第1および第2の端子のうち第1電極と接続している端子側のチャネル形成領域のチャネル幅を他方の端子側よりも広く形成するため、反転駆動時の低電位での電圧印加におけるオフ電流を流れ易くしている。このため、本発明の液晶表示装置の製造方法においては、反転駆動時の低電位での電圧印加におけるオフ電流がキャパシタによって低下する場合であっても、反転駆動時における高電位での電圧印加後と低電位での電圧印加後とに発生するオフ電流の相違が緩和することができる。
本発明によれば、反転駆動時における高電位と低電位とでの電圧印加後のオフ電流の相違を緩和することと光リーク電流の発生を抑制することとにより、フリッカや残像を防止し、表示品位を向上可能な液晶表示装置およびその製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施形態の一例について、図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態の液晶表示装置を示す断面図である。図1に示すように、本実施形態の液晶表示装置は、第1基板11と第2基板21と液晶層31とを有する。
第1基板11は、無アルカリガラスや石英ガラスなどの透明なガラス基板を用いている。第1基板11には、第1電極61と、第1電極61への電圧を制御するスイッチング素子12と、第1電極61への電圧を保持するキャパシタ13と、遮光層14とが設けられている。ここで、第1電極61は、ITO(Indium Tin Oxide)を用いて形成され、複数がマトリクス状に配列されて形成されている。そして、スイッチング素子12およびキャパシタ13は、第1電極61のそれぞれに対応して複数が形成されており、第1電極61と接続している。スイッチング素子12は、トランジスタを含み、後述するTFTが形成されている。また、遮光層14は、スイッチング素子12に入射する光を遮るために、スイッチング素子12の形成領域に対応して形成されている。
また、第2基板21は、第1基板11と同様に、無アルカリガラスや石英ガラスなどの透明なガラス基板を用いている。第2基板21には、第1電極61に対向する第2電極22が設けられている。ここで、第2電極22は、ITOを用いて形成され、ベタ状に第2基板21に形成されている。
そして、液晶層31は、第1電極61と第2電極22との間に配置されている。液晶層31は、たとえば、ツイストネマティック型を用いて形成されている。液晶層31は、第1電極61と第2電極22とに印加される電圧に基づいて配向状態が変化し、画面の表示が行われる。
図2は、本実施形態の液晶表示装置において、スイッチング素子12として用いられるTFTを示す図である。図2のうち、図2(a)がTFTの全体の断面図であり、図2(b)がTFTの半導体層41の部分を示す上面図である。
図2に示すように、スイッチング素子12としてのTFTは、ゲート電極63とゲート絶縁膜51と半導体層41とを有する。半導体層41は、たとえば、ポリシリコンを用いて形成されており、チャネル領域42と第1不純物拡散領域44aと第2不純物拡散領域44bとを有する。ここで、チャネル領域42は、p型のチャネル領域であり、ゲート絶縁膜51を介してゲート電極63と対向する位置に設けられている。そして、第1不純物拡散領域44aおよび第2不純物拡散領域44bは、同じn型の不純物が略同じ深さまで注入されて略同じ不純物濃度の領域であり、チャネル領域42を挟むように形成されている。
また、第1不純物拡散領域44aにはソース電極64aが接続され、第2不純物拡散領域44bにはドレイン電極64bが接続されている。そして、ソース電極64aと接続導電層62とを介して第2不純物拡散領域44bが第1電極61と接続している。また、ゲート電極63が走査線(図示なし)と接続し、第1不純物拡散領域43aがソース電極64aを介して信号線(図示なし)と接続している。そして、第2不純物拡散領域44bは、ドレイン電極64bを介して、第1基板11に形成されている第1電極61と接続している。
そして、本実施形態においては、図2(b)に示すように、チャネル形成領域42の第1不純物拡散領域44a側のチャネル幅Y1よりも第2不純物拡散領域44b側のチャネル幅Y2が広くなるように形成されている。本実施形態においては、第1不純物拡散領域44a側のチャネル幅Y1を0.4μmとし、第2不純物拡散領域44b側のチャネル幅Y2を0.6μmとしている。詳細は後述するが、第2不純物拡散領域44b側のチャネル幅Y2は、キャパシタ13の電位保持特性に基づく、反転駆動時の高電位と低電位とでのオフ電流の相違を補正するように、第1不純物拡散領域44a側のチャネル幅Y1よりも広く形成されていることが好ましく、上記のごとく、30〜50%程度広くすることがより好適である。つまり、反転駆動時の高電位と低電位とにおけるオフ電流が等しくなるように、第1電極61と接続している第2不純物拡散領域44b側のチャネル幅が、他方の第1不純物拡散領域44a側のチャネル幅よりも広く形成されている。
そして、第1不純物拡散領域44aおよび第2不純物拡散領域44bとチャネル形成領域42とのそれぞれの間には、第1不純物拡散領域44aおよび第2不純物拡散領域44bよりも低いn型の不純物濃度の第1低濃度不純物領域43aおよび第2低濃度不純物領域43bがそれぞれに形成されており、LDD構造となっている。ここで、第1低濃度不純物拡散領域43aおよび第2低濃度不純物拡散領域43bは、同じn型の不純物が略同じ深さまで注入されて略同じ不純物濃度の領域となっている。
なお、本実施形態においては、第1不純物拡散領域44aと第2不純物拡散領域44bとが、本発明の第1および第2の端子に相当する。また、本実施形態のゲート絶縁膜51が本発明の絶縁膜51に相当し、本実施形態のゲート電極63が本発明の制御電極に相当する。
つぎに、上記の実施形態の液晶表示装置の製造方法について説明する。本実施形態の液晶表示装置の製造方法は、スイッチング素子12を形成する工程として、遮光層形成工程と半導体層形成工程と半導体層パターン加工工程と不純物拡散領域形成工程と低濃度不純物領域形成工程とゲート電極形成工程とソース・ドレイン電極形成工程とを有する。また、本実施形態では、スイッチング素子12の形成と共に、スイッチング素子12を構成する半導体層41,ゲート絶縁膜51,ゲート電極63,ソース電極64a,ドレイン電極64bを形成する材料を用いて、キャパシタ13を形成する。
図3,図4,図5は、上記の本実施形態の液晶表示装置の製造方法における各工程での断面図である。
まず、図3(a)に示すように、遮光層形成工程を行う。第1基板11に、たとえば、タングステン膜をCVD法により堆積して設ける。そして、第1基板11に形成されるスイッチング素子12の形成領域に対応するようにタングステン膜をパターン加工して、遮光層14を形成する。その後、遮光層14を被覆するように、たとえば、CVD法により、シリコン酸化物の第1層間絶縁膜50を形成する。
遮光層形成工程の後、図3(b)に示すように、半導体層形成工程を行う。まず、スイッチング素子12のチャネル形成領域42と、第1および第2不純物拡散領域44a,44bとを形成する領域と、キャパシタ13を形成する領域とを被覆するようにして、第1層間絶縁膜50の上に、たとえば、CVD法によりアモルファスシリコン膜を設ける。そして、アモルファスシリコン膜を熱処理して水素脱離を行い、ポリシリコン膜の半導体層41を形成する。
半導体層形成工程の後、図3(c)に示すように、半導体層パターン加工工程を行う。平面状態においては、前述の図2(b)に示すように、チャネル形成領域42の第1不純物拡散領域44a側のチャネル幅Y1よりも第2不純物拡散領域44b側のチャネル幅Y2が広くなるように、レジストマスクを用いたエッチングをしてパターン加工する。つまり、第1電極61と接続することとなる第2不純物拡散領域44b側のチャネル形成領域のチャネル幅が他方の第1不純物拡散領域44a側よりも広くなるように半導体層41をパターン加工する。また、同様にして、レジストマスクを用いたエッチングにより、半導体層41をキャパシタ13のキャパシタ下部電極81とするようにパターン加工をする。
半導体層パターン加工工程の後、図4(a),図4(b)に示すように、ゲート電極形成工程を行う。ここでは、まず、図4(a)に示すように、パターン加工された半導体層41の上に、CVD法によりシリコン酸化膜を堆積し、スイッチング素子12のゲート絶縁膜51を形成する。また、同様にしてCVD法によるシリコン酸化膜を用いて、キャパシタ13のキャパシタ絶縁膜82を形成する。
ゲート絶縁膜51を形成した後、図4(b)に示すように、ゲート絶縁膜51およびキャパシタ絶縁膜82を構成するシリコン酸化膜の上に、たとえば、CVD法により、ポリシリコン膜を成膜する。その後、そのポリシリコン膜にリンをドーピングし導電体とする。そして、レジストマスクを用いたエッチングにより、そのポリシリコン膜をパターン加工して、半導体層41のチャネル形成領域42に対応する位置にゲート電極63を形成する。また、同様にして、レジストマスクを用いたエッチングにより、そのポリシリコン膜をキャパシタ13のキャパシタ上部電極81とするパターン加工をする。また、ここでは、ゲート電極63と接続する走査線(図示なし)も、同様にして形成する。
ゲート電極形成工程の後、図4(c)に示すように、不純物拡散領域形成工程を行う。ここでは、たとえば、ゲート電極63をマスクとして、リンをイオンドーピングし、半導体層41のチャネル形成領域42を挟むようにして、第1不純物拡散領域44aと第2不純物拡散領域44bとを半導体層41に形成する。
不純物拡散領域形成工程の後、図5(a)に示すように、低濃度不純物拡散領域形成工程を行う。ここでは、まず、ゲート電極63の幅を狭くするパターン加工をする。そして、幅が狭くなったゲート電極63をマスクとして、不純物拡散領域形成工程よりも低濃度のリンをイオンドーピングし、第1および第2不純物拡散領域44a,44bとチャネル形成領域42とのそれぞれの間に、第1および第2不純物拡散領域44a,44bよりも低い不純物濃度の第1および第2低濃度不純物領域44a,44bをそれぞれに形成する。その後、第1基板11を熱処理し、不純物拡散領域形成工程および低濃度不純物拡散領域形成工程でイオンドーピングされたリンの不純物を活性化させる。以上のようにして、スイッチング素子12とキャパシタ13とを形成する。
低濃度不純物拡散領域形成工程の後、図5(b)に示すように、スイッチング素子12とキャパシタ13とを被覆するようにして、CVD法により、シリコン酸化物の第2層間絶縁膜52を形成する。そして、第2層間絶縁膜52に、第1不純物拡散領域44aと第2不純物拡散領域44bとの表面を露出するようにコンタクトホールをそれぞれに形成する。その後、たとえば、スパッタリング法により、アルミニウム膜をコンタクトホールに埋め込むようにして堆積する。そして、レジストマスクを用いたエッチングにより、アルミニウム膜をパターン加工して、ソース電極64aとドレイン電極64bとを形成する。また、ここでは、ソース電極64aと接続する信号線(図示なし)を、同様にして、形成する。
ソース・ドレイン電極形成工程の後、図5(c)に示すように、ソース電極64aとドレイン電極64bとを被覆するようにして、たとえば、CVD法により、シリコン酸化物の第3層間絶縁膜53を形成する。その後、第3層間絶縁膜53に、ドレイン電極64bの表面を露出するようにコンタクトホールを形成する。そして、たとえば、チタン膜をコンタクトホールに埋め込むようにして堆積して、接続導電層62を形成する。そして、接続導電層62と電気的に接続するように、スパッタリング法によりITO膜を成膜した後、そのITO膜をパターン加工することによって、第1電極61を形成する。
第1電極形成工程の後、図1に示すように、ITO膜の第1電極61が形成された第1基板11と、ITO膜の第2電極22が形成された第2基板21とを、第1電極61と第2電極22とが対向するように貼り合わせる。貼り合わせるに当たり、まず、第1基板11と第2基板21とにポリイミドの配向膜(図示なし)を形成する。そして、それぞれの配向膜をラビング処理し、所定のギャップを有するようにして接着して貼り合わせる。その後、第1基板11と第2基板21との間のギャップに液晶層31を注入し、液晶層31を配向させて液晶セルを形成する。
その後、液晶セルを駆動させる駆動回路や、偏光板、バックライトなどの周辺機器を実装して、本実施形態の液晶表示装置を完成する。
つぎに、本実施形態の液晶表示装置の動作について、以下に説明する。前述したように液晶表示装置を駆動させる際、液晶層31の劣化を防止するために、交流による反転駆動が行われている。反転駆動により、第1電極61と第2電極22とに電圧を印加し、その電圧に基づいて液晶層31の配向状態が変化する。液晶層31の配向状態を変化させて、バックライトなどの光源からの光の透過を制御して、画面の表示が行われる。
図6は、本実施形態の液晶表示装置を反転駆動させた際における第1電極61の駆動波形を示す波形図である。図6においては、ラインK1は第1電極61に印加される電圧の波形を示し、ラインK2は信号線72からソース電極64aに印加される表示電圧の波形を示し、ラインK3は表示電圧の中間電位である基準電位を示す。
液晶表示装置を駆動させる際、まず、走査線71からゲート電極63にゲートオン電圧を印加してスイッチング素子12をオン状態とする。そして、ラインK2に示すように、信号線72からソース電極64aに、基準電位K3に対して正となる高電位VHの表示電圧を印加する。ソース電極64aに印加された高電位VHの表示電圧は、ドレイン電極64bを介して、第1電極61に印加される。所定期間のオン状態の後、走査線71からゲート電極63にゲートオフ電圧が印加されて、スイッチング素子12はオフ状態となり、信号線72からの高電位VHの表示電圧の供給が終了される。この時、第1電極61は、ラインK1に示すように、高電位VHの電圧が書き込まれた状態となる。第1電極61は、オフ状態以後も、液晶層31とキャパシタ13との電位保持特性により表示電圧を保持するが、オフ電流の発生によって電位が小さくなっていく。
そして、その後、再びゲートオン電圧がゲート電極63に印加され、スイッチング素子12がオン状態となる。そして、ラインK2に示すように、上述した高電位VHの印加に続き、今度は、基準電位K3に対して負となる低電位VLの表示電圧がソース電極64aに印加される。そして、高電位VHの書き込みと同様にして、低電位VLの表示電圧は第1電極61に書き込まれ保持される。ラインK1に示すように、低電位VLの表示電圧においても同様にして、オフ電流によって電位が小さくなっていく。
このように本実施形態は、従来と同様に、高電位VHと低電位VLとでの電圧印加では、オフ電流により第1電極61の保持している電位が減衰する。しかしながら、本実施形態では、従来と異なり、高電位VHと低電位VLとでの電圧印加後でオフ電流の大きさが同等となる。このため、第1電極61は、所定時間が経過した後においても、高電位VHの印加時の保持電位VHbと低電位VLの印加時での保持電位VLbとが略同じになる。
従来においては、高電位VHの場合よりも低電位VLの場合の方が、キャパシタ13に起因するエネルギー障壁があるためにトンネル電流が流れにくいため、高電位VHと低電位VLとでの電圧印加後のオフ電流の大きさが異なっていた。しかし、本実施形態の液晶表示装置においては、第1電極61と接続している第2不純物拡散領域44b側のチャネル形成領域42のチャネル幅が第1不純物拡散領域44a側より広く形成されているため、反転駆動時の低電位での電圧印加におけるオフ電流が流れ易くなっている。このため、本実施形態の液晶表示装置は、反転駆動時の低電位での電圧印加におけるオフ電流がキャパシタ13によって低下する場合であっても、反転駆動時における高電位での電圧印加後と低電位での電圧印加後とに発生するオフ電流の相違を緩和することができる。
また、本実施形態では、反転駆動時の高電位と低電位とにおけるオフ電流が等しくなるように、第1電極61と接続している第2不純物拡散領域44b側のチャネル形成領域42のチャネル幅を他方の第1不純物拡散領域44a側よりも広くしている。したがって、本実施形態の液晶表示装置の第1電極61は、所定時間が経過した後においても、高電位VHの印加時の保持電位VHbと低電位VLの印加時での保持電位VLbとを略同等とすることができる。そして、高電位VHの場合と低電位VLの場合とでの表示を均一化することができ、画像のちらつきであるフリッカや残像の発生を抑制し、表示品位を向上させることができる。
また、本実施形態においてスイッチング素子12には、第1および第2の不純物拡散領域44a,44bとチャネル形成領域42との間に、第1および第2の不純物拡散領域44a,44bよりも低い不純物濃度の第1および第2の低濃度不純物領域43a,43bが形成されており、LDD構造となっている。第1および第2の低濃度不純物領域43a,43bは、第1および第2の不純物拡散領域44a,44bより不純物濃度が小さく電気抵抗値が高い領域であるため、ドレイン端での電界集中が緩和され、オフ電流を低減することができる。よって、本実施形態は、オフ電流を低減して優れた表示品位を得ることができる。
また、本実施形態の第1基板11には、スイッチング素子に入射する光を遮るために、スイッチング素子の形成領域に対応して遮光層14が形成されている。これにより、本実施形態は、バックライトなどの光源から入射する光に起因する光リーク電流の発生を抑制できるため、第1電極61の電圧保持特性を保持し、表示品位を向上させることができる。
以上のように、本実施形態は、反転駆動時における高電位と低電位とでの電圧印加後のオフ電流の相違を緩和することや光リーク電流の発生を抑制することにより、フリッカや残像を防止し、表示品位を向上することができる。
なお、本発明の実施に際しては、上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形形態を採用することができる。
たとえば、本実施形態においては、スイッチング素子として、トップゲート構造のTFTを用いているが、ボトムゲート構造としてもよい。
また、たとえば、本実施形態においては、スイッチング素子を形成する工程として、遮光層形成工程と半導体層形成工程と半導体層パターン加工工程と不純物拡散領域形成工程と低濃度不純物領域形成工程とゲート絶縁膜形成工程とゲート電極形成工程とソース・ドレイン電極形成工程と順次実施しているが、この順序に限定されず、たとえば、低濃度不純物領域形成工程の後に不純物拡散領域形成工程を実施してもよい。
11…第1基板、12…スイッチング素子、13…キャパシタ、14…遮光層、21…第2基板、22…第2電極、31…液晶層、41…半導体層、42…チャネル形成領域、43a…第1低濃度不純物拡散領域、43b…第2低濃度不純物拡散領域、44a…第1不純物拡散領域(第1端子)、44b…第2不純物拡散領域(第2端子)、51…ゲート絶縁膜、61…第1電極、63…ゲート電極(制御電極)
Claims (8)
- 第1電極と、前記第1電極への電圧を制御するスイッチング素子と、前記第1電極への電圧を保持するキャパシタとを有する第1基板と、前記第1電極に対向する第2電極を有する第2基板と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置されている液晶層とを有する液晶表示装置であって、
前記スイッチング素子は、
チャネル形成領域を有する半導体層と、
前記チャネル形成領域を挟むように形成された第1および第2の端子と、
前記チャネル形成領域上に絶縁膜を介して形成された制御電極と
を有するトランジスタを含み、
前記第1および第2の端子のうち前記第1電極と接続している端子側の前記チャネル形成領域のチャネル幅が他方の端子側よりも広くなるように形成されている
液晶表示装置。 - 前記チャネル形成領域は、
反転駆動時の高電位と低電位とにおけるオフ電流が等しくなるように、前記第1および第2の端子のうち前記第1電極と接続している端子側のチャネル幅が、前記他方の端子側のチャネル幅よりも広く形成されている
請求項1に記載の液晶表示装置。 - 前記第1および第2の端子は、
前記半導体層に不純物を拡散して形成された第1および第2の不純物拡散領域であり、
前記スイッチング素子は、
前記第1および第2の端子と前記チャネル形成領域との間に、前記第1および第2の端子よりも低い不純物濃度の第1および第2の低濃度不純物領域が形成されている
請求項1に記載の液晶表示装置。 - 前記第1基板には、前記スイッチング素子に入射する光を遮るために、前記スイッチング素子の形成領域に対応して遮光層が形成されている
請求項1に記載の液晶表示装置。 - 第1電極と、前記第1電極への電圧を制御するスイッチング素子と、前記第1電極への電圧を保持するキャパシタとが設けられている第1基板と、前記第1電極に対向する第2電極が設けられている第2基板と、前記第1基板と前記第2基板とに間に配置されている液晶層とを有する液晶表示装置の製造方法であって、
前記スイッチング素子を形成する工程として、
チャネル形成領域を有する半導体層を形成する工程と、
前記チャネル形成領域を挟むように第1および第2の端子とを形成する工程と、
前記チャネル形成領域に絶縁膜を介して制御電極を形成する工程と、
前記第1および第2の端子のうち前記第1電極と接続する端子側の前記チャネル形成領域のチャネル幅が他方の端子側よりも広くなるように前記半導体層をパターン加工する工程と
を有する液晶表示装置の製造方法。 - 前記半導体層をパターン加工する工程では、
反転駆動時の高電位と低電位とにおけるオフ電流が等しくなるように、前記第1および第2の端子のうち前記第1電極と接続している端子側の前記チャネル形成領域のチャネル幅を他方の端子側よりも広く形成する
請求項5に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記第1および第2の端子を形成する工程では、
前記第1および第2端子として、前記半導体層に不純物を拡散して第1および第2の不純物拡散領域を形成し、
前記スイッチング素子を形成する工程として、
前記第1および第2の端子と前記チャネル形成領域との間に、前記第1および第2の端子よりも低い不純物濃度の第1および第2の低濃度不純物領域を形成する工程
を有する
請求項5に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記スイッチング素子の形成領域に対応する前記第1基板に、前記スイッチング素子へ入射する光を遮る遮光層を形成する工程
を有する
請求項5に記載の液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003310646A JP2005079476A (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003310646A JP2005079476A (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005079476A true JP2005079476A (ja) | 2005-03-24 |
Family
ID=34412459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003310646A Pending JP2005079476A (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005079476A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011146410A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-07-28 | Sony Corp | 表示装置、スイッチング回路および電界効果トランジスタ |
KR101087993B1 (ko) | 2005-11-02 | 2011-12-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 다결정 실리콘 박막트랜지스터 |
KR101183437B1 (ko) | 2006-06-14 | 2012-09-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치 |
US9425251B2 (en) | 2013-11-08 | 2016-08-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film transistor substrate and organic light-emitting diode (OLED) display having the same |
-
2003
- 2003-09-02 JP JP2003310646A patent/JP2005079476A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101087993B1 (ko) | 2005-11-02 | 2011-12-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 다결정 실리콘 박막트랜지스터 |
KR101183437B1 (ko) | 2006-06-14 | 2012-09-14 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기전계발광표시장치 |
JP2011146410A (ja) * | 2010-01-12 | 2011-07-28 | Sony Corp | 表示装置、スイッチング回路および電界効果トランジスタ |
US8928044B2 (en) | 2010-01-12 | 2015-01-06 | Japan Display West Inc. | Display device, switching circuit and field effect transistor |
US9425251B2 (en) | 2013-11-08 | 2016-08-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film transistor substrate and organic light-emitting diode (OLED) display having the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6771247B2 (en) | Display and method of driving display | |
KR100675631B1 (ko) | 횡전계방식 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
KR101211087B1 (ko) | 박막 트랜지스터 기판 및 이를 포함하는 표시 장치 | |
US8294840B2 (en) | Liquid crystal display device with fringe field switching mode | |
JP2014077983A (ja) | 表示基板及びそれを含む液晶表示パネル | |
JP5615605B2 (ja) | Ffsモード液晶装置 | |
CN103018974A (zh) | 液晶显示装置、多晶硅阵列基板及制作方法 | |
CN100399179C (zh) | 液晶面板的像素结构及其制造方法与驱动方法 | |
WO2001033292A1 (fr) | Dispositif d'affichage a cristaux liquides | |
JP3454340B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
WO2019037631A1 (zh) | 一种阵列基板及其制造方法 | |
CN111474790A (zh) | 阵列基板和液晶显示面板 | |
CN1259731C (zh) | 低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 | |
US6847414B2 (en) | Manufacturing method for liquid crystal display | |
JP4187027B2 (ja) | 表示装置 | |
JP2005079476A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
CN113629071B (zh) | 阵列基板及显示面板 | |
JP2005051223A (ja) | 薄膜トランジスタ、tft基板、液晶表示装置、及び、薄膜トランジスタの製造方法 | |
US10749037B2 (en) | Low temperature poly-silicon TFT substrate and manufacturing method thereof | |
JP3647384B2 (ja) | 薄膜半導体素子およびその製造方法並びに表示パネル | |
US7115431B2 (en) | Method of fabricating reflective liquid crystal display integrated with driving circuit | |
TW588408B (en) | Thin film transistor substrate for liquid crystal display (LCD) and method of manufacturing the same | |
CN111357107A (zh) | Tft基板、esd保护电路及tft基板的制作方法 | |
KR0174031B1 (ko) | 액정표시장치용 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
JP2006039272A (ja) | 表示装置およびその製造方法 |