JP2005077640A - 光導波路付き配線基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】光素子や動作素子の放熱が容易で且つ光素子と光導波路との間における光信号の授受が安定して成され得る光導波路付き配線基板を提供する。
【解決手段】平坦な表面2を有するセラミック基板1、かかるセラミック基板1の表面2上に実装される発光素子(光素子)14および受光素子(光素子)16、上記セラミック基板1の表面2上に実装されるICチップ(動作素子)10a,10b、および発光素子10aと受光素子10bとの間で且つ上記セラミック基板1の表面2上に実装される光導波路18と、を備え、上記ICチップ10a、発光素子14、光導波路18、受光素子16、およびICチップ10bが上記表面2において平面視で直線状に列んでいる、光導波路付き配線基板K1。
【選択図】 図1
【解決手段】平坦な表面2を有するセラミック基板1、かかるセラミック基板1の表面2上に実装される発光素子(光素子)14および受光素子(光素子)16、上記セラミック基板1の表面2上に実装されるICチップ(動作素子)10a,10b、および発光素子10aと受光素子10bとの間で且つ上記セラミック基板1の表面2上に実装される光導波路18と、を備え、上記ICチップ10a、発光素子14、光導波路18、受光素子16、およびICチップ10bが上記表面2において平面視で直線状に列んでいる、光導波路付き配線基板K1。
【選択図】 図1
Description
本発明は、表面上に光導波路を有する光導波路付き配線基板に関する。
信号伝送速度や信号処理速度を高めるため、配線基板の電気配線に例えば高周波信号を流す試みが行われている。しかし、電気配線に高周波信号を流した場合、その付近にノイズや電磁波が発生するため、周囲で誤動作などを招くおそれがある。かかる問題を解決するため、電気配線の一部を光配線に置き換え、複数の電子部品間にノイズや電磁波が少ない光信号を用いるマルチチップモジュール基板が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
上記マルチチップモジュール基板は、複数層の電気配線を含むプリント基板の表面上に、外部接続端子を介して一対のマルチチップモジュールを実装し、これらの間を光配線で接続すると共に、かかる光配線の両端に位置する反射ミラー面の上方で且つ上記マルチチップモジュールの上にそれぞれ搭載した光電変換素子(発光素子と受光素子)およびこれに隣接して搭載される電子部品を備えている。
しかしながら、光電変換素子や電子部品を搭載するマルチチップモジュールを形成する支持体は、可撓性の樹脂材からなるため、放熱性が低く、上記光電変換素子などからの熱が放散されにくく、上記光電変換素子などへの応力が大きくなる。また、光電変換素子や電子部品を搭載する際の加熱時と非加熱時との間における実装パッド間の寸法差が大きくなるため、光電変換素子と光配線との間における光信号の授受特性が低下する、という問題があった。
しかしながら、光電変換素子や電子部品を搭載するマルチチップモジュールを形成する支持体は、可撓性の樹脂材からなるため、放熱性が低く、上記光電変換素子などからの熱が放散されにくく、上記光電変換素子などへの応力が大きくなる。また、光電変換素子や電子部品を搭載する際の加熱時と非加熱時との間における実装パッド間の寸法差が大きくなるため、光電変換素子と光配線との間における光信号の授受特性が低下する、という問題があった。
本発明は、以上において説明した背景技術の問題点を解決し、光素子や動作素子の放熱が容易で且つ光素子と光導波路との間における光信号の授受が安定して成され得る光導波路付き配線基板を提供する、ことを課題とする。
本発明は、上記課題を解決するため、高熱伝導性および低熱膨張のセラミック基板を用い且つかかる基板の表面上に光素子や光導波路などを実装する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明の光導波路付き配線基板(請求項1)は、表面を有する少なくとも1つのセラミック基板と、かかるセラミック基板の表面上に実装される少なくとも1つの光素子と、上記セラミック基板の表面上に実装され且つ上記光素子との間で光信号の授受が可能な光導波路と、を含む、ことを特徴とする。
即ち、本発明の光導波路付き配線基板(請求項1)は、表面を有する少なくとも1つのセラミック基板と、かかるセラミック基板の表面上に実装される少なくとも1つの光素子と、上記セラミック基板の表面上に実装され且つ上記光素子との間で光信号の授受が可能な光導波路と、を含む、ことを特徴とする。
これによれば、樹脂に比べて比較的熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いセラミック基板の表面上に、光素子および光導波路が実装されているため、かかる光素子の放熱が良好に成され且つこの光素子と光導波路との間での光信号の授受も安定して行うことが可能となる。従って、セラミック基板の内部配線に加え、上記光導波路を介した光信号による信号伝送速度の高速化が可能となる。
尚、上記光素子は、光電変換素子(発光素子および受光素子)である。また、上記「表面上」とは、上記基板の表面自体に実装する形態のほか、かかる表面に形成された表面配線層などにハンダなどを介して接続する形態も含まれる。更に、上記光導波路の実装は、上記基板の表面に直に接着する形態のほか、かかる表面に立設した複数のピンを貫通させ、当該ピンにて位置決めする形態も含まれる。
尚、上記光素子は、光電変換素子(発光素子および受光素子)である。また、上記「表面上」とは、上記基板の表面自体に実装する形態のほか、かかる表面に形成された表面配線層などにハンダなどを介して接続する形態も含まれる。更に、上記光導波路の実装は、上記基板の表面に直に接着する形態のほか、かかる表面に立設した複数のピンを貫通させ、当該ピンにて位置決めする形態も含まれる。
また、本発明には、表面を有する単一のセラミック基板と、かかるセラミック基板の表面上に実装される複数の光素子と、上記セラミック基板の表面上に実装され且つ上記光素子と導通される複数の動作素子と、かかる複数の光素子の間で且つ上記セラミック基板の表面上に実装される前記光導波路と、を備える、光導波路付き配線基板(請求項2)も含まれる。
これによれば、セラミック基板の内部配線によって動作する一方の動作素子により、これと導通する光素子から光信号が光導波路を介して、他方の光素子に伝送され、かかる光素子と導通する動作素子に所定の電気信号を高速度で伝送することができる。従って、単一のセラミック基板において、かかる基板の内部配線に加えて、上記光導波路などを介する電気信号→光信号→電気信号の伝送を高速度で行うことが可能となる。
これによれば、セラミック基板の内部配線によって動作する一方の動作素子により、これと導通する光素子から光信号が光導波路を介して、他方の光素子に伝送され、かかる光素子と導通する動作素子に所定の電気信号を高速度で伝送することができる。従って、単一のセラミック基板において、かかる基板の内部配線に加えて、上記光導波路などを介する電気信号→光信号→電気信号の伝送を高速度で行うことが可能となる。
尚、上記動作素子は、それと導通する光素子に対し、電気信号から所定の光信号への変換指令、あるいは、光信号から所定の電気信号への変換指令を出して動作せしめるもので、例えば上記指令を形成する動作回路などを内蔵するICチップなどの電子部品が用いられる。また、互いに導通する動作素子と光素子とは、同数の形態に限らす、複数の光素子に対して個別に異なる指令を出し得る1つの動作素子を用いても良い。更に、動作素子の前記表面上への実装は、前記セラミック基板の表面に形成された表層電極にハンダなどを介して実装する形態のほか、セラミック基板に設けたキャビティ内に同様にして実装する形態も含まれる。
更に、本発明には、表面をそれぞれ有する複数のセラミック基板と、かかる複数のセラミック基板の表面上にそれぞれ個別に実装される少なくとも1つの光素子および少なくとも1つの動作素子と、上記複数のセラミック基板の各光素子の間であって各セラミック基板の間に配置され且つかかる各セラミック基板の表面上に実装される前記光導波路と、を備える、光導波路付き配線基板(請求項3)も含まれる。
これによれば、例えば1つのマザーボードの表面に別個に実装された複数の光導波路付きセラミック基板の間を、上記光導波路を介する光信号により信号伝送することができる。尚、複数のセラミック基板の表面は、同じレベルに限らず、光導波路を介した光信号の伝送が可能な範囲で相違する形態も含まれる。
これによれば、例えば1つのマザーボードの表面に別個に実装された複数の光導波路付きセラミック基板の間を、上記光導波路を介する光信号により信号伝送することができる。尚、複数のセラミック基板の表面は、同じレベルに限らず、光導波路を介した光信号の伝送が可能な範囲で相違する形態も含まれる。
また、本発明には、前記セラミック基板の表面上において、前記光導波路と、その両端にそれぞれ配置される光素子および動作素子とが直線状に列んでいる、光導波路付き配線基板(請求項4)も含まれる。
これによれば、動作素子、光素子、光導波路、光素子、および動作素子がセラミック基板の表面上で平面視にて直線状に配置され、前記電気信号→光信号→電気信号の伝送経路を最短距離にできるため、信号伝送を一層高速度で行える。
これによれば、動作素子、光素子、光導波路、光素子、および動作素子がセラミック基板の表面上で平面視にて直線状に配置され、前記電気信号→光信号→電気信号の伝送経路を最短距離にできるため、信号伝送を一層高速度で行える。
加えて、本発明には、前記セラミック基板は、熱伝導率が1W/m・K以上で且つ熱膨張率が10ppm以下である、光導波路付き配線基板(請求項5)も含まれる。これによれば、上記セラミック基板の表面上に実装される前記光素子や前記動作素子からの熱を容易に放散できると共に、当該セラミック基板が熱膨張しにくいため、上記光素子や動作素子に対して応力を与えない。従って、かかる光素子などの動作を正確且つ安定して行わせしめることができる。
尚、上記特性を有するセラミック基板の素材には、ガラス−セラミック、アルミナ、または窒化アルミニウム(AlN)を主成分とするものが含まれる。
尚、上記特性を有するセラミック基板の素材には、ガラス−セラミック、アルミナ、または窒化アルミニウム(AlN)を主成分とするものが含まれる。
以下において、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図1は、本発明における1形態の光導波路付き配線基板K1の断面を示す。
光導波路付き配線基板K1は、図1に示すように、平坦な表面2を有するセラミック基板1と、かかる表面2に実装される左右のICチップ(動作素子)10a,10bと、これらと個別に導通する光電変換素子である発光素子(光素子)14および受光素子(光素子)16と、を備えている。
セラミック基板1は、アルミナ、ガラス−セラミック(ガラス:セラミックの重量比は約6:4)、またはAlNを主成分とするセラミック層S1〜S4を一体に積層した多層基板で、公知の製造方法で形成される。また、セラミック基板1の表面2、セラミック層S1〜S4の間、および裏面3には、Agなどからなる配線4,接続配線5,配線層6〜8、配線9が公知の方法で形成されている。
図1は、本発明における1形態の光導波路付き配線基板K1の断面を示す。
光導波路付き配線基板K1は、図1に示すように、平坦な表面2を有するセラミック基板1と、かかる表面2に実装される左右のICチップ(動作素子)10a,10bと、これらと個別に導通する光電変換素子である発光素子(光素子)14および受光素子(光素子)16と、を備えている。
セラミック基板1は、アルミナ、ガラス−セラミック(ガラス:セラミックの重量比は約6:4)、またはAlNを主成分とするセラミック層S1〜S4を一体に積層した多層基板で、公知の製造方法で形成される。また、セラミック基板1の表面2、セラミック層S1〜S4の間、および裏面3には、Agなどからなる配線4,接続配線5,配線層6〜8、配線9が公知の方法で形成されている。
図1に示すように、上記配線4、接続配線5、配線層6〜8、配線9間は、上記セラミック層S1〜S4を貫通し且つAgなどからなるビア導体vを介して接続されている。セラミック層S1〜S4の厚みは約0.2mm、セラミック基板1の全厚みは約0.8mm、上記配線層6などの厚みは、約15μmである。
尚、セラミック基板1の表面2や裏面3に形成された配線4,9は、接続端子(表層電極)である。
因みに、セラミック基板1の素材がガラス−セラミックからなる場合、その熱伝導率は約31W/m・Kで且つ熱膨張率は約6.3ppm、アルミナの場合での熱伝導率は約17W/m・Kで且つ熱膨張率は約6.8ppm、AlNの場合での熱伝導率は約4.4W/m・Kで且つ熱膨張率は約170ppmである。
尚、セラミック基板1の表面2や裏面3に形成された配線4,9は、接続端子(表層電極)である。
因みに、セラミック基板1の素材がガラス−セラミックからなる場合、その熱伝導率は約31W/m・Kで且つ熱膨張率は約6.3ppm、アルミナの場合での熱伝導率は約17W/m・Kで且つ熱膨張率は約6.8ppm、AlNの場合での熱伝導率は約4.4W/m・Kで且つ熱膨張率は約170ppmである。
図1および図2の平面図に示すように、セラミック基板1の平面視が長方形の表面2上には、左右の配線4と接続配線5とにハンダhを介して接続端子11,12を接続した左右のICチップ10a,10bが個別に実装される。また、セラミック基板1の表面2上における左右の接続配線5の一端には、ハンダhおよび接続端子15,17を介して、発光素子14または受光素子16が実装される。更に、ICチップ10a,10bの接続端子12は、接続配線5の他端に接続される。図2に示すように、接続配線5は、セラミック基板1の表面2上に4本が並列に形成され、かかる4本の接続配線5を介して、ICチップ10aと発光素子14と、またはICチップ10bと受光素子16とが導通されている。
図1および図2に示すように、発光素子14と受光素子16との間には、光導波路18が配置され、且つセラミック基板1の表面2上に実装されている。かかる光導波路18は、アクリル樹脂からなる断面長方形のクラッド(本体)と、かかるクラッド中を互いに平行に貫通する断面正方形の複数(4本)のコア19とからなり、クラッドの長手方向の両端には、傾斜角が45度の反射ミラー面r,rが対称に形成されている。尚、コア19も上記同様のアクリル樹脂からなるが、光の屈折率が周囲のクラッドよりも約0.3〜5%程度高い。尚、各コア19の一辺は、例えば50μm程度である。また、反射ミラー面rの傾斜角は、光信号の反射が可能であれば、30〜60度の範囲内で適宜選択することができる。
図1および図2に示すように、光導波路18は、セラミック基板1の表面2に立設する複数の金属ピンpがその4隅付近を貫通することで位置決めされて、当該表面2上に実装されている。この際、図1に示すように、反射ミラー面r,rは、発光素子14の発光部(図示せず)または受光素子16の受光部(図示せず)と垂直方向で対向し、光信号の授受を可能としている。
更に、図2に示すように、ICチップ10a、発光素子14、光導波路18、およびICチップ10bは、セラミック基板2の表面2上で平面視にて直線状に列び、且つ最短距離で配置されている。尚、光導波路18は、セラミック基板1の表面2上に接着剤により直に接着して実装しても良い。
更に、図2に示すように、ICチップ10a、発光素子14、光導波路18、およびICチップ10bは、セラミック基板2の表面2上で平面視にて直線状に列び、且つ最短距離で配置されている。尚、光導波路18は、セラミック基板1の表面2上に接着剤により直に接着して実装しても良い。
ここで、以上のような光導波路付き配線基板K1の作用について説明する。
図1に示すように、動作素子であるICチップ10a,10bは、セラミック基板1の配線層6など、ビア導体v、表層電極の配線4、ハンダh、および接続端子11を介して電力を受けている。左側のICチップ10aは、所定の動作を指示する電気信号を、接続配線5、ハンダh、および接続端子15を介して、発光素子14に伝送する。そして、図1,2中の矢印で示すように、発光素子14から発光された光信号は、左側の反射ミラー面rに反射して光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ右方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から右側の反射ミラー面rに反射して受光素子16に伝送され、電気信号に変換された後、接続配線5などを経て右側のICチップ10bに伝送される。
図1に示すように、動作素子であるICチップ10a,10bは、セラミック基板1の配線層6など、ビア導体v、表層電極の配線4、ハンダh、および接続端子11を介して電力を受けている。左側のICチップ10aは、所定の動作を指示する電気信号を、接続配線5、ハンダh、および接続端子15を介して、発光素子14に伝送する。そして、図1,2中の矢印で示すように、発光素子14から発光された光信号は、左側の反射ミラー面rに反射して光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ右方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から右側の反射ミラー面rに反射して受光素子16に伝送され、電気信号に変換された後、接続配線5などを経て右側のICチップ10bに伝送される。
この結果、ICチップ10a,10b間の信号伝送が上記経路で光信号を介して高速度で行える。しかも、セラミック基板1は、熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いため、ICチップ10a,10bや発光・受光素子14,16が発する熱を容易に放散できると共に、これらに不要な応力を与えない。
従って、光導波路付き配線基板K1によれば、セラミック基板1内の配線層6〜8を経る経路に加え、光導波路18を経る経路を併用できるため、例えばICチップ10bに所要の動作を指令したり、かかるICチップ10bから配線層6〜8へ所定の電気信号を発信することが安定して行うことが可能となる。
従って、光導波路付き配線基板K1によれば、セラミック基板1内の配線層6〜8を経る経路に加え、光導波路18を経る経路を併用できるため、例えばICチップ10bに所要の動作を指令したり、かかるICチップ10bから配線層6〜8へ所定の電気信号を発信することが安定して行うことが可能となる。
図3は、前記配線基板K1の応用形態である光導波路付き配線基板K2を示す平面図である。かかる配線基板K2も、前記同様の平坦な表面2を有するセラミック基板1、表面2に実装された左右一対ずつのICチップ(動作素子)10a,10bと、これらに個別に導通する光電変換素子である左右一対ずつの発光素子(光素子)14および受光素子(光素子)16と、を備えている。
図3に示すように、セラミック基板1の表面2上には、複数の金属ピンpが貫通して位置決めされた一対の光導波路18が平行に実装され、これらの両端(反射ミラー面r)付近に発光素子14と受光素子16とがそれぞれ左右反対にして配置されている。尚、一対の光導波路18は、それぞれ2本のコア19を内蔵している。また、セラミック基板1は、前記同様の素材からなる多層基板で且つ前記同様の特性を有する。更に、ICチップ10a,10bや発光素子14および受光素子16も、前記同様にしてセラミック基板1の表面2上に実装されている。
図3に示すように、セラミック基板1の表面2上には、複数の金属ピンpが貫通して位置決めされた一対の光導波路18が平行に実装され、これらの両端(反射ミラー面r)付近に発光素子14と受光素子16とがそれぞれ左右反対にして配置されている。尚、一対の光導波路18は、それぞれ2本のコア19を内蔵している。また、セラミック基板1は、前記同様の素材からなる多層基板で且つ前記同様の特性を有する。更に、ICチップ10a,10bや発光素子14および受光素子16も、前記同様にしてセラミック基板1の表面2上に実装されている。
図3中の右向きの矢印で示すように、左上ICチップ10aから電気信号を受けた左上の発光素子14から発光された光信号は、左側の反射ミラー面rに反射して上側の光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ右方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から右側の反射ミラー面rに反射して、右上の受光素子16に伝送され、電気信号に変換された後、接続配線5などを経て右上のICチップ10bに伝送される。
一方、図3中の左向きの矢印で示すように、右下のICチップ10aから電気信号を受けた右下の発光素子14から発光された光信号は、右側の反射ミラー面rに反射して下側の光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ左方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から左側の反射ミラー面rに反射して、左下の受光素子16に伝送され、電気信号に変換された後、接続配線5などを経て左下のICチップ10bに伝送される。
一方、図3中の左向きの矢印で示すように、右下のICチップ10aから電気信号を受けた右下の発光素子14から発光された光信号は、右側の反射ミラー面rに反射して下側の光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ左方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から左側の反射ミラー面rに反射して、左下の受光素子16に伝送され、電気信号に変換された後、接続配線5などを経て左下のICチップ10bに伝送される。
以上のような光導波路付き配線基板K2によれば、左右一対ずつのICチップ10a,10b間の信号伝送が上記2つの経路で光信号を介して高速度で行える。しかも、セラミック基板1は、熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いため、ICチップ10a,10bや発光・受光素子14,16の熱を容易に放散でき、且つこれらに不要な応力を与えない。従って、セラミック基板1内の配線層6〜8を経る経路に加え、一対の光導波路18を経る経路を併用できるため、一対のICチップ10bごとに所要の動作を指令したり、かかるICチップ10bから配線層4〜8へ所定の電気信号を発信することが安定して行える。
図4は、前記配線基板K1,K2の応用形態である光導波路付き配線基板K3を示す平面図である。かかる配線基板K3は、図4に示すように、平面視が正方形で且つ平坦な表面2aを有するセラミック基板1a、かかる表面2aの四隅付近に実装されたICチップ(動作素子)10c〜10f、これらの2辺ごとに隣接して配置され且つ接続配線5を介して導通する発光素子14と受光素子16、および表面2aの四辺に沿って実装される各辺一対ずつの光導波路18を備えている。各光導波路18は、それぞれ2本のコア19を内蔵している。
上記セラミック基板1aは、前記同様の素材からなる多層基板で且つ前記同様の特性を有する。また、ICチップ10d〜10fや発光素子14および受光素子16も、前記同様にしてセラミック基板1aの表面2a上に実装されている。更に、ICチップ10d〜10fは、それらの2辺にそれぞれ隣接する一対ずつの発光素子14および受光素子16との間で、それぞれ個別に電気信号を伝送(発信または受信)可能であり、発光素子14に動作を指示する機能と、受光素子16からの動作指令を受けて所定動作を行って出力する機能と、を併有している。
図4中の矢印で示すように、ICチップ10d〜10fから接続配線5などを介して隣接する発光素子14,14に伝送された電気信号は、当該発光素子14で光信号に変換され、かかる光信号は、上記発光素子14の直下に反射ミラー面rが位置する光導波路18のコア19中に入射し、その周面に多重反射しつつ長手方法で反対側の反射ミラー面rに伝送される。かかる反射ミラー面rに反射した光信号は、直上の受光素子16に伝送されて電気信号に変換され、接続配線5などを介して、各辺で隣接するICチップ10d〜10fに伝送される。
図4に示すように、ICチップ10d〜10fは、表面2aの対角位置の隅を除く2つのICチップ10nとの間で、一対ずつの光導波路18を介して光信号および電気信号による信号伝送を同時且つ平行して高速度で行うことができる。しかも、セラミック基板1aも、熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いため、ICチップ10d〜10fや発光・受光素子14,16の熱を容易に放散でき、且つこれらに不要な応力を与えない。
従って、以上のような光導波路付き配線基板K3によれば、セラミック基板1a内の配線層を経る経路に加えて、複数対の光導波路18を経る経路を併用できるため、ICチップ10d〜10fごとに所要の動作を指令したり、当該ICチップ10d〜10fからセラミック基板1a内の配線層に所定の電気信号を発信することが安定して行うことが可能となる。しかも、セラミック基板1aは、熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いため、ICチップ10d〜10fや発光・受光素子14,16の熱を容易に放散でき、且つこれらに不要な応力を与えることがないか、かかる応力を少なくすることができる。
従って、以上のような光導波路付き配線基板K3によれば、セラミック基板1a内の配線層を経る経路に加えて、複数対の光導波路18を経る経路を併用できるため、ICチップ10d〜10fごとに所要の動作を指令したり、当該ICチップ10d〜10fからセラミック基板1a内の配線層に所定の電気信号を発信することが安定して行うことが可能となる。しかも、セラミック基板1aは、熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いため、ICチップ10d〜10fや発光・受光素子14,16の熱を容易に放散でき、且つこれらに不要な応力を与えることがないか、かかる応力を少なくすることができる。
図5は、光導波路18を介して光信号の授受が可能な異なる形態の光導波路付き配線基板K01,K02の断面を示す。かかる配線基板K01,K02は、図5に示すように、平坦な表面21を有するセラミック基板20、かかる表面21に実装されたICチップ(動作素子)10aまたはICチップ(動作素子)10b、これらに個別に導通する光電変換素子である発光素子(光素子)14または受光素子(光素子)16と、を備えている。
セラミック基板20も、アルミナ、ガラス−セラミック、またはAlNを主成分とする前記同様の厚みのセラミック層S1〜S4を一体に積層した多層基板である。また、かかるセラミック基板20の表面21、セラミック層S1〜S4の間、および裏面22には、Agなどからなる前記同様の厚みの配線23、接続配線24、配線層25〜27、および配線28が形成されている。
セラミック基板20も、アルミナ、ガラス−セラミック、またはAlNを主成分とする前記同様の厚みのセラミック層S1〜S4を一体に積層した多層基板である。また、かかるセラミック基板20の表面21、セラミック層S1〜S4の間、および裏面22には、Agなどからなる前記同様の厚みの配線23、接続配線24、配線層25〜27、および配線28が形成されている。
図5に示すように、上記配線23,接続配線24,配線層25〜27,および配線28の間は、上記セラミック層S1〜S4を貫通し且つAgなどからなるビア導体vを介して接続されている。セラミック層S1〜S4の厚みは約0.2mm、セラミック基板20全体の厚みは約0.8mm、上記配線層25などの厚みは、約15μmである。尚、セラミック基板20の表面21や裏面22に形成された配線23,28は、接続端子(表層電極)である。
図5に示すように、表面21上には、配線23と接続配線24とにハンダhを介して接続端子11,12を接続したICチップ10aまたはICチップ10bが実装される。また、各セラミック基板20の表面21上に形成された接続配線24の一端には、ハンダhおよび接続端子15,17を介して、発光素子14または受光素子16が実装される。更に、ICチップ10a,10bの上記接続端子12は、配線層24の他端に接続される。前記同様に、かかる接続配線24は、セラミック基板20の表面21上に複数の配線が並列に形成され、かかる接続配線24を介して、ICチップ10aと発光素子14と、またはICチップ10bと受光素子16とが導通されている。
図5に示すように、光導波路付き配線基板K01,K02は、そのセラミック基板20の裏面22に形成した複数の配線28に導体ボール29が個別に接合され、かかる導体ボール29は、プリント基板の1種であるマザーボードMの表面30に形成された接続端子32にハンダ付けされている。これにより、上記配線基板K01,K02は、当該マザーボードMの表面30上に個別に実装され、それらのセラミック基板20の表面21,21は、ほぼ同じレベルにある。
図5に示すように、上記配線基板K01の発光素子14と上記配線基板K02の受光素子16との間には、光導波路18が前記同様に配置され、各セラミック基板20の表面21上に反射ミラー面r寄りの端部が実装されている。
図5に示すように、上記配線基板K01の発光素子14と上記配線基板K02の受光素子16との間には、光導波路18が前記同様に配置され、各セラミック基板20の表面21上に反射ミラー面r寄りの端部が実装されている。
かかる光導波路18は、アクリル樹脂からなる断面矩形のクラッドと、かかるクラッド中を互いに平行に貫通する断面正方形の複数本のコア19とからなり、クラッドの長手方向の両端には、傾斜角が45度の反射ミラー面r,rを対称に形成されている。尚、コア19も前記同様のアクリル樹脂からなり、反射ミラー面rの傾斜角は、光信号の反射が可能であれば、30〜60度の範囲内で適宜選択される。かかる光導波路18は、セラミック基板20,20の表面21に立設される図示しない金属ピンp,pに貫通されて当該表面21上に実装されるが、かかる表面21上に接着剤により直に接着して実装しても良い。
図5に示すように、反射ミラー面r,rは、発光素子14の発光部(図示せず)または受光素子16の受光部(図示せず)と垂直方向で対向し、光信号の授受を可能としている。更に、図5に示すように、ICチップ10a、発光素子14、光導波路18、受光素子16、およびICチップ10bは、平面視において各セラミック基板20の表面21上および当該基板20,20間において直線状に列び且つ比較的短い距離で配置されている。
因みに、セラミック基板20、その表面21上に実装したICチップ10a、発光素子14、および光導波路18の一端部を備える光導波路付き配線基板K01、あるいは、セラミック基板20、その表面21上に実装したICチップ10b、受光素子16、および光導波路18の他端部を備える光導波路付き配線基板K02は、それぞれ本発明の光導波路付き配線基板の1形態でもある。
因みに、セラミック基板20、その表面21上に実装したICチップ10a、発光素子14、および光導波路18の一端部を備える光導波路付き配線基板K01、あるいは、セラミック基板20、その表面21上に実装したICチップ10b、受光素子16、および光導波路18の他端部を備える光導波路付き配線基板K02は、それぞれ本発明の光導波路付き配線基板の1形態でもある。
上記配線基板K01のICチップ10aと配線基板K02のICチップ10bとは、それぞれのセラミック基板20の配線層25など、ビア導体v、表層電極の配線23、ハンダh、および接続端子11を介して必要な電力の供給を受けている。また、ICチップ10aは、所定の動作を指示する電気信号を、接続配線24、ハンダh、および接続端子15を介して、発光素子14に伝送する。
図5中の矢印で示すように、上記配線基板K01の発光素子14から発光された光信号は、左側の反射ミラー面rに反射して光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ右方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から右側の反射ミラー面rに反射して配線基板K02の受光素子16に伝送され、電気信号に変換された後、接続配線24などを経てICチップ10bに伝送される。
図5中の矢印で示すように、上記配線基板K01の発光素子14から発光された光信号は、左側の反射ミラー面rに反射して光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ右方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から右側の反射ミラー面rに反射して配線基板K02の受光素子16に伝送され、電気信号に変換された後、接続配線24などを経てICチップ10bに伝送される。
以上のような光導波路付き配線基板K01,K02によれば、各セラミック基板20内の配線層25などおよびマザーボードMを経る経路に加えて、光導波路18を介して直接伝送できる経路を併用できる。この結果、例えば上記配線基板K01のICチップ10aから、上記配線基板K02のICチップ10bに所要の動作を指令したり、かかるICチップ10bからそのセラミック基板20内の配線層25などへ所定の電気信号を発信することが安定して行える。しかも、セラミック基板20も、熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いため、ICチップ10a,10bや発光・受光素子14,16が発する熱を容易に放散できると共に、これらに不要な応力を与えない。
尚、図5中の()で示すように、上記配線基板K01のセラミック基板20の表面21上に受光素子16とICチップ10bとを実装し、且つ上記配線基板K02のセラミック基板20の表面21上に発光素子14とICチップ10aとを実装しても良い。これにより、上記と反対の経路で配線基板K02から配線基板K01に電気信号→光信号→電気信号の順で信号の伝送が高速度で行える。
また、上記配線基板K01,K02のセラミック基板20の表面21上に発光素子14および受光素子16をそれぞれ実装し、且つこれらの間に2組の光導波路18を並列に配置することで、配線基板K01,K02間で双方向からの信号伝送を高速度で行うことも可能である。
更に、配線基板K01,K02のセラミック基板20の表面21は、光導波路18の光信号の伝送が可能であれば、互いにレベルが異なっていても良い。
また、上記配線基板K01,K02のセラミック基板20の表面21上に発光素子14および受光素子16をそれぞれ実装し、且つこれらの間に2組の光導波路18を並列に配置することで、配線基板K01,K02間で双方向からの信号伝送を高速度で行うことも可能である。
更に、配線基板K01,K02のセラミック基板20の表面21は、光導波路18の光信号の伝送が可能であれば、互いにレベルが異なっていても良い。
図6は、更に異なる形態の光導波路付き配線基板K4の断面を示す。
かかる配線基板K4は、図6に示すように、平坦な表面34および左右一対のキャビティCを有するセラミック基板33と、かかる一対のキャビティCに個別に実装されるICチップ(動作素子)10aおよびICチップ(動作素子)10bと、これらと個別に導通し且つ表面34上に実装される光電変換素子である発光素子(光素子)14および受光素子(光素子)16と、を備えている。
セラミック基板33も、前記同様のアルミナ、ガラス−セラミック、またはAlNを主成分とする前記同様の厚みのセラミック層S1〜S5を一体に積層した多層基板であり、表面34寄りのセラミック層S1,S2の左右には、平面視が矩形のキャビティCが形成されている。また、セラミック基板33の表面34、セラミック層S1〜S5の間、および裏面35には、Agなどからなる前記同様の厚みの接続配線36、配線層37〜41、および配線42が形成されている。
かかる配線基板K4は、図6に示すように、平坦な表面34および左右一対のキャビティCを有するセラミック基板33と、かかる一対のキャビティCに個別に実装されるICチップ(動作素子)10aおよびICチップ(動作素子)10bと、これらと個別に導通し且つ表面34上に実装される光電変換素子である発光素子(光素子)14および受光素子(光素子)16と、を備えている。
セラミック基板33も、前記同様のアルミナ、ガラス−セラミック、またはAlNを主成分とする前記同様の厚みのセラミック層S1〜S5を一体に積層した多層基板であり、表面34寄りのセラミック層S1,S2の左右には、平面視が矩形のキャビティCが形成されている。また、セラミック基板33の表面34、セラミック層S1〜S5の間、および裏面35には、Agなどからなる前記同様の厚みの接続配線36、配線層37〜41、および配線42が形成されている。
図6に示すように、上記配線層37〜41、配線42間は、上記セラミック層S2〜S5を貫通し且つAgなどからなるビア導体vを介して接続されている。上記セラミック層S1〜S5の厚みは約0.2mm、セラミック基板20全体の厚みは約1mm、上記配線層38などの厚みは約15μmである。尚、セラミック基板33の裏面35に形成された配線42は、接続端子(表層電極)である。
図6に示すように、左右のキャビティCの底面には、配線層38が露出し、その上に突設したハンダバンプ39,39上に、ハンダhを介して接続端子11,11を接続したICチップ10aまたはICチップ10bが実装される。また、セラミック基板33の表面34上の左右に形成された接続配線36,36の一端には、ワイヤWを介してICチップ10aまたはICチップ10b上面の図示しない接続端子と接続される。かかる接続配線36の上には、ハンダhと接続端子15,17とを介して、発光素子14または受光素子16が実装される。
尚、ICチップ10aと発光素子14との間およびICチップ10bと受光素子16との間におけるワイヤWを短くするため、ICチップ10a,10bの上面は、セラミック基板33の表面34とほぼ同じレベルとなることが望ましい。
尚、ICチップ10aと発光素子14との間およびICチップ10bと受光素子16との間におけるワイヤWを短くするため、ICチップ10a,10bの上面は、セラミック基板33の表面34とほぼ同じレベルとなることが望ましい。
更に、図6に示すように、発光素子14と受光素子16との間の表面34上には、光導波路18が前記金属ピンpまたは接着剤により実装され、両端の反射ミラー面r,rは、発光素子14の発光部や受光素子16の受光部の直下に位置する。ICチップ10a,10bは、ハンダh、ハンダバンプ39、セラミック基板33の配線層38などを介して、必要な電力の供給を受けている。また、ICチップ10aは、所定の動作を指示する電気信号を、ワイヤW、接続配線36、ハンダh、および接続端子15を介して、発光素子14に伝送する。
図6中の矢印で示すように、上記の発光素子14から発光された光信号は、左側の反射ミラー面rに反射して光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ右方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から右側の反射ミラー面rに反射して、受光素子16に伝送され且つ電気信号に変換された後、接続配線36などを経てICチップ10bに伝送される。
図6中の矢印で示すように、上記の発光素子14から発光された光信号は、左側の反射ミラー面rに反射して光導波路18のコア19中をその周面に多重反射しつつ右方向に伝送される。かかる光信号は、コア19中から右側の反射ミラー面rに反射して、受光素子16に伝送され且つ電気信号に変換された後、接続配線36などを経てICチップ10bに伝送される。
この結果、ICチップ10a,10b間の信号伝送が上記経路で光信号を介して高速度で行える。しかも、セラミック基板33も、熱伝導率が高く且つ熱膨張率が低いため、ICチップ10a,10bや発光・受光素子14,16が発する熱を容易に放散できると共に、これらに不要な応力を与えない。
従って、光導波路付き配線基板K4によれば、セラミック基板33内の配線層38などを経る経路に加え、光導波路18を経る経路を併用できるため、例えばICチップ10bに所要の動作を指令したり、かかるICチップ10bから配線層40などへ所定の電気信号を発信することが安定して行える。
従って、光導波路付き配線基板K4によれば、セラミック基板33内の配線層38などを経る経路に加え、光導波路18を経る経路を併用できるため、例えばICチップ10bに所要の動作を指令したり、かかるICチップ10bから配線層40などへ所定の電気信号を発信することが安定して行える。
尚、図6中の()で示すように、前記セラミック基板33の左側のキャビティC内にICチップ10bを実装し且つ前記セラミック基板33の表面34上の左側に受光素子16を実装し、右側のキャビティC内にICチップ10aを実装し且つ上記表面34上の右側に発光素子14を実装しても良い。これにより、上記と反対の経路で電気信号、光信号、および電気信号の順で信号の伝送が高速度で行われる。
また、各キャビティC内にICチップ10a,10bをそれぞれ実装し且つ前記セラミック基板33の表面34上における左右双方に発光素子14および受光素子16をそれぞれ実装して、これらの間に2組の光導波路18を並列に配置することにより、左右の双方向からの信号伝送を高速度で行うことも可能である。
また、各キャビティC内にICチップ10a,10bをそれぞれ実装し且つ前記セラミック基板33の表面34上における左右双方に発光素子14および受光素子16をそれぞれ実装して、これらの間に2組の光導波路18を並列に配置することにより、左右の双方向からの信号伝送を高速度で行うことも可能である。
本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
例えば、前記光導波路18は、断面正方形のクラッドとその内側に断面正方形の1本のコア19とからなる形態としても良い。
また、光導波路は、マルチモードの前記光導波路18のほか、シングルモードとしても良い。
更に、前記光導波路18の素材は、前記アクリル樹脂のほか、シロキサンポリマやフッ素ポリイミドとしても良い。
また、前記光導波路18は、両端の前記反射ミラー面rを省略した直角の端面とし、かかる両端面に近接して鏡面の傾斜面を有する断面三角形の反射材を配置しても良い。
加えて、前記配線層6などやビア導体vは、前記Agに限らず、W、Mo、Ag−Cu、Cu、Cu−Wなどの金属または合金としても良い。
例えば、前記光導波路18は、断面正方形のクラッドとその内側に断面正方形の1本のコア19とからなる形態としても良い。
また、光導波路は、マルチモードの前記光導波路18のほか、シングルモードとしても良い。
更に、前記光導波路18の素材は、前記アクリル樹脂のほか、シロキサンポリマやフッ素ポリイミドとしても良い。
また、前記光導波路18は、両端の前記反射ミラー面rを省略した直角の端面とし、かかる両端面に近接して鏡面の傾斜面を有する断面三角形の反射材を配置しても良い。
加えて、前記配線層6などやビア導体vは、前記Agに限らず、W、Mo、Ag−Cu、Cu、Cu−Wなどの金属または合金としても良い。
1,1a,20,33…………セラミック基板
2,2a,21,34…………表面
10a,10b…………………ICチップ(動作素子)
14………………………………発光素子(光素子)
16………………………………受光素子(光素子)
18………………………………光導波路
K1〜K4,K01,K02…光導波路付き配線基板
2,2a,21,34…………表面
10a,10b…………………ICチップ(動作素子)
14………………………………発光素子(光素子)
16………………………………受光素子(光素子)
18………………………………光導波路
K1〜K4,K01,K02…光導波路付き配線基板
Claims (5)
- 表面を有する少なくとも1つのセラミック基板と、
上記セラミック基板の表面上に実装される少なくとも1つの光素子と、
上記セラミック基板の表面上に実装され且つ上記光素子との間で光信号の授受が可能な光導波路と、を含む、
ことを特徴とする光導波路付き配線基板。 - 表面を有する単一のセラミック基板と、
上記セラミック基板の表面上に実装される複数の光素子と、
上記セラミック基板の表面上に実装され且つ上記光素子と導通される複数の動作素子と、
上記複数の光素子の間で且つ上記セラミック基板の表面上に実装される前記光導波路と、を備える、請求項1に記載の光導波路付き配線基板。 - 表面をそれぞれ有する複数のセラミック基板と、
上記複数のセラミック基板の表面上にそれぞれ個別に実装される少なくとも1つの光素子および少なくとも1つの動作素子と、
上記複数のセラミック基板の各光素子の間であって各セラミック基板の間に配置され且つかかる各セラミック基板の表面上に実装される前記光導波路と、
を備える、請求項1に記載の光導波路付き配線基板。 - 前記セラミック基板の表面上において、前記光導波路と、その両端にそれぞれ配置される光素子および動作素子とが直線状に列んでいる、
請求項2または3に記載の光導波路付き配線基板。 - 前記セラミック基板は、熱伝導率が1W/m・K以上で且つ熱膨張率が10ppm以下である、
請求項1乃至4の何れか一項に記載の光導波路付き配線基板。
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