JP2005072757A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 信号を入力する入力電極と、
   信号を出力する出力電極と、
   前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と、
   前記振動子に直流電圧を印加する電源と
   を備えた電気機械共振器において、
   前記共振器は振動子の長さが異なる複数の共振器からなり、
   前記電気機械共振器もしくはその周囲の温度を測定する温度センサと、
   前記温度センサにより測定された温度に基づいて前記複数の共振器から所望の共振周波数を得る共振器を選択し、前記電源から前記選択した共振器の振動子に直流電圧を印加させる制御部と
   を備えたことを特徴とする電気機械共振器。
2. 前記複数の共振器は、
   前記入力電極と前記出力電極とは共通であり、
   前記振動子は長さの異なる複数の振動子からなる
   ことを特徴とする請求項１記載の電気機械共振器。
3. 信号を入力する入力電極と、
   信号を出力する出力電極と、
   前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向するもので長さが異なる複数の振動子と、
   前記各振動子に直流電圧を印加する電源と
   前記電気機械共振器もしくはその周辺の温度を測定する温度センサと、
   前記温度センサにより測定された温度に基づいて前記複数の振動子のうちの一つを選択して、選択した振動子に直流電圧を印加する制御部と
   を備えた電気機械共振器の動作方法であって、
   前記温度センサで前記電気機械共振器もしくはその周囲の温度を測定し、前記制御部によって前記電気機械共振器の共振周波数が所望の周波数範囲となるように前記測定した温度に対応した振動子を選択し、前記選択した振動子に前記電源より直流電圧を印加する
   ことを特徴とする電気機械共振器の駆動方法。
4. 基板上の電極と、
   前記基板上の電極に対して空間を介して対向する振動子と、
   直流電圧を印加する電源と
   を備えた電気機械共振器において、
   前記電気機械共振器は振動子の長さが異なる複数の共振器からなり、
   前記電気機械共振器もしくはその周囲の温度を測定する温度センサと、
   前記温度センサにより測定された温度に基づいて前記複数の共振器から所望の共振周波数を得る共振器を選択し、前記電源から直流電圧を印加させる制御部と
   を備えたことを特徴とする電気機械共振器。