JP2005069780A - 膜強度測定方法、膜を有する被測定物の良否判定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 膜強度の測定を迅速化できる膜強度測定方法、および膜を有する被測定物の良否判定方法を提供する。
【解決手段】 母材表面に膜が形成された被測定物に対する圧力波の入射角を設定して、上記圧力波を照射する。上記入射角を臨界角θｃｒが含まれる範囲で変化させる。被測定物からの反射波および漏洩波を含む圧力波の強度を測定して、漏洩波が発生しない入射角での受信強度Ｖ₀、膜強度が大きいときの臨界角θｃｒでの強度差Ｖｃを測定する。漏洩波が発生している入射角の範囲での入射角の変化に対して漏洩波の強度が変化しない受信強度Ｖ_Rを測定する。Ｖ₀、Ｖｃ、Ｖ_Rに基づいて膜強度を算出する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、膜を有する被測定物の膜強度測定や良否判定を簡便化できる、膜強度測定方法、および膜を有する被測定物の良否判定方法に関するものである。

従来、外部電極等の膜を表面に有する電子部品では、上記膜の強度や膜の剥離の有無が、上記電子部品の特性を安定に発揮するために重要である。そこで、上記電子部品を被測定物として、上記の膜に関する物性定数、膜厚等の構造パラメータ、あるいは亀裂の存在や剥離を測定する方法が種々知られている。上記方法としては、被測定物表面で二次元的にかつ定量的に測定、検出を可能とするスペクトラム超音波顕微鏡を用いる測定方法が知られている（特許文献１）。

スペクトラム超音波顕微鏡では、インパルス発信機からのパルス信号による発信用トランスジューサーからの超音波を周波数を変えて被測定物に入射し、反射波を受信用トランスジューサーによって受信して電気信号に変換して出力する。受信され、増幅された電気信号はスペクトラムアナライザーよりなる周波数分析装置によって周波数分析され、Ａ／Ｄ変換される。得られた周波数分布はコンピューターよりなる周波数分布デジタル演算及び記憶装置によって操作者によりプログラムされた特徴抽出が行われて記憶された後、結果が画像出力装置に表示される。被測定物が乗せられる試料台と連結しているＸ−Ｙステージ駆動装置はインパルス発信機から出される信号に同期してＸ−Ｙスキャンされる。

この構成をもとに音波を一定の入射角で被測定物に入射し、その反射波を受信して得られた情報をもとに被測定物の物性定数、膜厚等の構造パラメータ、あるいは亀裂の存在や剥離を被測定物表面で二次元的にかつ定量的に測定、検出を可能となる。

つまり、特許文献１に記載の方法では、入射角一定で、広帯域の周波数成分を有する圧力波を被測定物に対して入射させ、被測定物から反射してきた圧力波をＦＦＴ処理して、図８に示すように、極小となる周波数を求め、その周波数から膜の厚さや剥離の有無を読み取り、被測定物の表面の状態の変化を測定することが可能となる。
特公平７−９４１８号公報（公告日：１９９５年２月１日）

しかしながら、上記従来技術においては、膜が母材と密着している状態と、膜と母材との間に異種の物質よりなる中間層が存在するか、あるいは上記両者の境界が完全に接合していないものの判別は可能であるが、弱い強度でしか付着していない膜（欠陥）も、強固に付着している膜（正常）と同じように示されるため上記両者を区別できず、膜の付着強度を定量評価できないという問題を生じている。

本発明の膜強度測定方法は、以上の課題を解決するために、母材表面に膜が形成された被測定物に対する圧力波の入射角を設定して、上記圧力波を照射するステップと、上記入射角を臨界角が含まれる範囲で変化させ、上記臨界角およびその近傍にて上記圧力波による表面波を被測定物に発生させて、上記表面波に起因する圧力波である漏洩波を被測定物から発生させるステップと、被測定物からの、反射波および漏洩波を含む圧力波の強度を測定するステップと、入射角の変化に対する被測定物からの漏洩波の強度の変化に基づいて、被測定物の膜強度を測定するステップとを含むことを特徴としている。

上記方法によれば、被測定物への圧力波（超音波）の入射角を臨界角が含まれる角度範囲にて変化させて、上記被測定物からの圧力波の強度を測定し、被測定物への圧力波と、上記被測定物からの圧力波との強度との関係を求める。

このとき、被測定物における、膜剥離を含む膜強度が低下していると、上記膜強度に応じて表面波による膜の変形が生じ、上記表面波に基づく漏洩波が被測定物から外へ伝達されることが阻害されて被測定物からの漏洩波において、強度変化が生じない部分が膜強度に応じて生じる。

この結果、上記方法では、膜強度に応じて生じる漏洩波強度変化における、強度変化量やその変化の位置から剥離強度などの膜強度を定量的に測定できて、膜の剥離強度を定量評価できる。

上記膜強度測定方法においては、被測定物の膜強度を測定するステップは、入射角を変化させても、被測定物からの漏洩波の強度変化が生じない部分の有無を調べることで、被測定物における、膜の剥離の有無を判定するステップを含んでいてもよい。

上記膜強度測定方法では、複数の被測定物について、膜強度をそれぞれ測定するステップと、上記の各膜強度を互いに比較して、各被測定物に形成されている膜の膜強度を相対的に評価するステップとを含んでいてもよい。

本発明の他の膜強度測定方法は、前記の課題を解決するために、膜を有する被測定物の膜表面に対し圧力波を入射角を設定して入射し、被測定物からの反射波および漏洩波を含む圧力波を測定して、被測定物の表面に形成された膜の強度を測定する膜強度測定方法であって、被測定物と同様の材質からなり、かつ剥離の生じていない第１基準サンプルをあらかじめ用意し、この第１基準サンプルに対して、入射角を変えて圧力波を入射し、被測定物からの圧力波強度を、圧力波の入射角が臨界角における漏洩波強度が大きいときの第一強度と漏洩波強度が無いときの第二強度とを測定して、上記両者の強度差Ｖｃを算出するステップと、被測定物と同様の材質からなり、かつ剥離の生じている第２基準サンプルをあらかじめ複数用意し、これら第２基準サンプルに対し、圧力波の入射角を臨界角を含む範囲で変化させて被測定物からの圧力波強度を測定し、漏洩波強度の変化が生じない第三強度と前記第二強度との強度差Ｖ_Rを算出するステップと、第２基準サンプルの剥離強度を実測し、得られた剥離強度と膜の付着強度指数ａとの相関関係を求めるステップと、被測定物に対し、圧力波の入射角を臨界角を含む範囲で変化させて、被測定物からの圧力波強度を測定し、上記被測定物の強度差Ｖ_Rを算出するステップと、剥離強度と膜の付着強度指数ａとの相関関係と、上記被測定物の強度差Ｖ_Rとから上記被測定物の膜の剥離強度を求めるステップとを備えることを特徴している。

上記膜強度測定方法においては、被測定物の膜の剥離強度を求めるステップは、相関関係として、以下の式、ａ＝（Ｖ_R・Ｖ₀）／Ｖ_c ²（Ｖ₀：第二強度）を用いて剥離強度を算出するステップであってもよい。

上記膜強度測定方法では、さらに、被測定物を非弾性流体内に予め浸すステップを含むことが好ましい。上記方法によれば、被測定物を非弾性流体内に予め浸すことで、圧力波が非弾性流体内を迅速に、かつ確実に伝達されることから、測定を確実化でき、また、表面波により膜に変形が生じたとき、被測定物の表面と非弾性流体との間に空隙を発生させて、漏洩波の伝達を確実に阻害でき、膜強度の測定精度を向上できる。

本発明の、膜を有する被測定物の良否判定方法は、前記の課題を解決するために、上記に記載の膜強度測定方法を用い、判定された剥離の有無を良否の判定基準として用いることを特徴としている。

上記方法によれば、本発明に係る膜強度測定方法を用いたから、剥離の有無の測定を確実化でき、かつ簡便化できて、良否判定を安定化できる。

上記の膜を有する被測定物の良否判定方法では、被測定物に入射する圧力波の出力を変えることで、良否判定基準を変更してもよい。

上記方法によれば、圧力波の出力を変えることで、上記圧力波により励起される表面波も変化させて、良否判定基準を変更することが可能となる。例えば、圧力波の出力を大きくして、上記表面波の強度を大きくすることで、膜に発生する剥離応力を大きくできて、その分、良否判定基準を厳しくできる。

本発明の膜強度測定方法は、膜を有する被測定物への圧力波（超音波）の入射角を臨界角が含まれる角度範囲にて変化させ、上記臨界角およびその近傍での圧力波の照射により発生する表面波に基づく、被測定物からの漏洩波の強度変化を測定して上記膜の強度を測定する方法である。

それゆえ、上記方法は、表面波に基づく、被測定物からの漏洩波の強度変化を測定することで、膜の剥離強度を定量評価できるので、浮きを備えた剥離やキズといった外形が変化しているものだけではなく、外形は変化していなくとも膜強度が低下している被測定物の膜強度も測定でき、外部電極等の膜状部材を有する被測定物としての電子部品の製造に好適に使用できるという効果を奏する。

本発明の実施の各形態について図１ないし図７に基づいて説明すれば、以下の通りである。

本発明に係る、膜強度測定方法に用いる測定装置は、図２に示すように、図示しないが、有底箱状の装置本体を備え、その装置本体の底面上に、被測定物８を固定できるようになっており、また、上記装置本体内においては、上記被測定物８が完全にかぶる（浸される）ように水９を満たすことができるようになっている。

上記被測定物８は、基板などの母材上に、膜が形成され付着しているものであり、例えば、母材としてのニオブ酸リチウムウエハ上に、金（Ａｕ）蒸着膜を厚さ１００ｎｍにて形成して付着させたものや、母材としてのシリコンウエハ上にＡｕスパッタ膜を厚さ１０ｎｍにて形成し付着させたものである。

前記水９は、水に限定されず、圧力波（超音波、縦波）を効率よく伝達できる非弾性流体であればよく、エタノール等のアルコールなどでも上記水９に代えて用いることが可能である。

また、上記装置本体には、電気信号を機械振動に変換して上記圧力波を出力する、圧電素子といった、柱状のトランスデューサー２が、上記圧力波を上記被測定物の表面に照射するように取り付けられている。このため、トランスデューサー２は、トランスデューサー２における圧力波の照射口が上記水９内となるようにも設定されている。

また、トランスデューサー２は、被測定物に対する圧力波の入射角θｉを変更して設定可能に取り付けられている。このため、装置本体内にて、トランスデューサー２を半円上に移動させるための駆動部（図示せず）が設けられている。上記半円の径方向は、装置本体の底面に対し直交していることが好ましい。上記入射角θｉは、被測定物に照射される圧力波の中心線と、その中心線と被測定物の交点の表面での上記被測定物の法線との間にて形成される角度である。

その上、上記装置本体においては、圧力波を受信して電気信号に変換して出力する、圧電素子といった柱状のトランスデューサー３が、その受信の中心軸と上記法線との間にて形成される受信角θｒを変更して設定可能に取り付けられている。上記トランスデューサー３は、トランスデューサー３の受信口が、前記照射口と同様に水９内となるようにも設定されている。

また、装置本体内にて、トランスデューサー３を半円上に移動させるための、他の駆動部（図示せず）が設けられている。上記半円の径方向も、装置本体の底面に対し直交していることが好ましい。

各トランスデューサー２、３を半円上に沿って駆動させるとき、入射角θｉと受信角θｒとを互いに略一致するように一体的にそれぞれ駆動させることが望ましい。

さらに、各トランスデューサー２、３を、上記法線を略回転軸とするように、装置本体の底面に対し略平行にて回転駆動させる、さらに他の駆動部を設けてもよい。上記回転駆動は、各トランスデューサー２、３を一体的に駆動させるものであることが望ましい。

また、本実施の第一形態に係る、測定装置では、パルス発信器１と、信号増幅器４と、オシロスコープ５と、制御部６とがそれぞれ設けられている。パルス発信器１は、パルス状に電圧値が変化するパルス電気信号を発生して、トランスデューサー２に出力するものである。信号増幅器４は、トランスデューサー３からの電気信号が入力され、上記電気信号を電気的に増幅して出力するためのものである。オシロスコープ５は、信号増幅器４からの電気信号を表示用に変換して表示するためのものである。

制御部６は、上記各トランスデューサー２の各角度を制御すると共に、トランスデューサー２からの圧力波の出力量や、トランスデューサー３における圧力波の受信感度を制御できるようになっている。さらに、制御部６は、入力された電気信号をＡ／Ｄ変換する機能や、デジタル化された電気信号を記憶しておくメモリや、上記のデジタル化された電気信号を演算処理する機能も備えている。

次に、上記測定装置を用いた、膜強度測定方法について説明する。まず、パルス発信器１で発生させたパルス電気信号をトランスデューサー２に印加して圧力波（超音波、縦波）を発生させる。膜を表面に有する被測定物８に対し、上記圧力波を入射角θｉが設定されて水９を介して照射し、被測定物８の表面からの、反射波および漏洩波を含む圧力波を受信角θｒが前述のように設定されたトランスデューサー３にて受信して検出する。受信して得られた圧力波に対応した電気信号が、受信強度として、信号増幅器４で増幅され、オシロスコープ５に入力されて表示され、制御部６のメモリに記憶される。

上記測定装置では、θｉ＝θｒを維持しながら、θｉを種々変えて、各θｉでの受信強度をそれぞれ測定する。このときのθｉの範囲には、被測定物の臨界角θｃｒが含まれるように、言い換えると、被測定物の臨界角θｃｒをほぼ中心とした角度範囲にてそれぞれ測定する。

被測定物の臨界角θｃｒとは、被測定物８の表面に対して圧力波を入射したとき、入射角と同じ角度の反射角で反射波が発生するが、スネルの法則（Ｖｓ＝Ｖｗ／ｓｉｎθｃｒ、Ｖｓ：レイリー（Rayleigh）波速度、Ｖｗ：水中の音速）を満たす入射角をいう。臨界角θｃｒで圧力波を被測定物８に照射すると、被測定物８の照射表面にレイリー波（表面波）が発生し、このレイリー波によって被測定物８から水９中に漏洩波が生じる。

この漏洩波は、反射波に対し同じ方向に位相がπだけずれた（遅れた）圧力波であり、反射波を相殺していくので、結果的にレイリー波が発生している間は反射波の測定強度が上記レイリー波強度に応じた漏洩波強度により小さくなる。つまり、臨界角θｃｒでは、漏洩波の強度が極大値となるので、被測定物８からの、反射波と漏洩波とを含む圧力波の受信強度が極小値をとる。

このような膜強度測定方法では、膜が母材（基板）に強固に付着している場合には、入射角θｉと受信強度との関係は、図３のように、漏洩波が発生している入射角θｉの範囲において、漏洩波強度の変化を示すグラフがガウス分布に類似したものになる。図３では、Ｖ₀は、漏洩波が発生していない入射角での反射波のみの受信強度を示し、Ｖ_Cは、臨界角θｃｒでの、漏洩波強度が最大となったときの受信強度を示す。

漏洩波が発生している入射角θｉの範囲における、漏洩波強度の変化がガウス分布に類似したグラフのように広がりを有するのは、トランスデューサー２からの圧力波（超音波）が周波数分布を備え、上記圧力波が広がりながら（先端がＲを有する）進行して伝達し、また、被測定物８の表面に凹凸があるためである。

一方、膜の付着強度（剥離強度）が小さい（弱い）場合、変化させたθｉと受信強度との関係は、図１のように、入射角θｉ（受信角θｒも同様に）を変化させても、受信強度が変化しない領域（この領域での受信強度をＶ_Rにて示す）、つまり段差を生じさせる。これは、上記受信強度は、被測定物８からの、反射波強度から漏洩波強度を引いたものであるが、膜の付着強度が小さい場合、その付着強度に応じた漏洩波の水９への伝達が阻害されて、見掛け上、上記領域では漏洩波強度が一定となるからである。

上記阻害は、膜の付着強度が小さいと、その強度に合った、レイリー波による膜の変形が瞬間的に生じ、その変形位置の膜と水９との間に隙間、つまり不連続層が形成されて被測定物８からの漏洩波の水９への伝達が上記不連続層によって阻害されることにより生じると考えられる。

次に、本発明に係る膜強度判定方法での関係式の求め方について説明する。図４に示すように、まず、被測定物８と同様の材質からなり、かつ剥離の生じていない第１基準サンプルと、被測定物８と同様の材質からなり、かつ、相互に異なる程度に剥離の生じている複数の各第２基準サンプルとを予め作製する（ステップ１、以下、ステップをＳと略記する）。各第２基準サンプルとしては、成膜条件（アセトン洗浄、エタノール洗浄、水洗浄）が相違するものを用いた。

次に、各第２基準サンプルに対して、曲げ試験にて剥離強度σ_fを、実測によりそれぞれ測定しておく（Ｓ２）。それらの結果を表１に合わせて示した。なお、剥離の生じていない第１基準サンプルについては、被測定物８と同じ母材であれば、膜を有して、Ｖ_Rが生じなかったものを使用してよく、また、膜自体を形成していないものを使ってもよい。特に、剥離の生じ難い成膜条件を知るために本発明の測定方法や判定方法を用いる場合は、剥離の生じていないサンプルを得るのは困難であるので、膜を形成していないものを第１基準サンプルとした方が好ましい。

表１では、試験体のＡとＢとがアセトン洗浄、試験体のＣとＤとがエタノール洗浄、試験体のＥとＦとが水洗浄のものであり、Ｖ₀、Ｖ_C、Ｖ_Rの各単位はｍＶ、剥離強度の単位はｋｇ／ｍｍ²である。

一方、第１基準サンプルに対して、入射角を変えて圧力波を入射し、被測定物８からの受信強度（圧力波強度）を、圧力波の入射角が臨界角θｃｒにおける漏洩波強度が大きいときの受信強度（第一強度）と漏洩波強度が無いときの受信強度Ｖ₀（第二強度）とをそれぞれ測定して、上記両者の強度差Ｖｃを算出する（Ｓ３）。

続いて、各第２基準サンプルに対し、圧力波の入射角を臨界角が含まれる範囲で変化させて被測定物からの圧力波強度を測定し、漏洩波強度の変化が生じない第三強度と前記受信強度Ｖ₀との強度差Ｖ_Rをそれぞれ算出する（Ｓ３、Ｓ４）。それらの結果を表１に合わせて示した。

その後、各第２基準サンプルの各強度差Ｖ_Rから膜の付着強さ（付着強度指数）ａを、算出する（Ｓ５）。それらの結果を表１に合わせて示した。前記の実測の剥離強度σ_fとの相関関係を求め（Ｓ６）、関係式を算定する（Ｓ７）。上記関係式は、上記の場合、σ＝６１２×ａであった。

また、別に、膜強度が不明の被測定物８（表１ではＧと記す）を作製し、前記Ｓ３と同様に測定し（Ｓ９）、続いて強度差Ｖ_Rを測定し（Ｓ１０）、膜の付着強さａを、この場合では１．３と算出する（Ｓ１１）。この付着強さａを、上記関係式に代入して（Ｓ１２）、膜の剥離強度をσ＝６１２×ａから７９５と算出する（Ｓ１３）。それらの結果を表１に合わせて示した。

これらの測定結果から、Ｖ_R、Ｖ_C（予め算出しておく）、Ｖ₀’（前記のＶ₀にて代用する）を求めて、被測定物８の膜の付着強さａを、ａ＝Ｖ_R・Ｖ₀／Ｖ_C ²と定義して求めることができる。これは、上記の付着強さａと、別に曲げ試験で求めた膜の剥離強度σ_fとの間には図５に示す比例の関係があることを本発明者らは見出し、よってａの値から膜の剥離強度を定量評価できることが分かったからである。

以下に、膜を有する被測定物８の良否判定方法について説明する。まず、成膜条件（アセトン洗浄、エタノール洗浄、水洗浄）が相違する各被測定物８をそれぞれ作製する。続いて、図６に示すように、上記の各被測定物８に対して、本発明に係る膜強度測定方法を用いて、入射角を変化させて測定する（Ｓ２１）。各入射角に対する反射波形についてＦＦＴ処理を行なう。このとき、ある周波数に対する受信強度と入射角の関係を受信強度パターンとして算出する。

その受信パターンを、例えばオシロスコープ５にて視認、または上記受信強度パターンを制御部６にてパターン認識して、Ｖ_Rの領域の有無を識別して（Ｓ２２）、無であれば良品（Ｇ）と判定し（Ｓ２３）、Ｖ_Rの領域が有れば、そのＶ_Rの値と、予め算出しておいた基準の被測定物８におけるＶ_Rの値とを相対比較して測定した被測定物８の良否を判定する（Ｓ２４）。

Ｖ_R領域の有無の識別には、入射角が０．１°変化しても、漏洩波強度に変化がない、つまり受信強度が一定の領域の有無を用いる。また、上記の各被測定物８の各Ｖ_Rの値（ｍＶ）は、アセトン洗浄のものが０．０１６１、エタノール洗浄のものが０．０７０、水洗浄のものが０．０８５７であり、上記の大小に応じて膜強度が変化していることが分かる。

このように良否判定方法では、視認や、入射角の変化に対する受信強度の変化の有無という比較的簡単なパターン認識にて、被測定物８の良否を判定できるから、上記判定を簡便化でき、かつ迅速化できる。

（実施の第二形態）
本発明に係る、実施の第二形態の膜強度測定方法に用いる測定装置は、図７に示すように、前記の実施の第一形態に記載の測定装置に加えて、被測定物を水９内にて水平方向に二次元的に移動させるためのＸ−Ｙステージ７が装置本体内に設けられている。Ｘ−Ｙステージ７上は、複数の被測定物８をそれぞれ載置できるようになっている。

本実施の第二形態の膜強度測定方法では、各トランスデューサー２、３のθｉ（＝θｒ）を一定の角度に保った状態で受信強度を測定する。上記の測定が終了後、さらに、Ｘ−Ｙステージ７を動かして測定位置を変え、上記Ｘ−Ｙステージ７上の複数の各被測定物８を繰り返し測定できる。

本実施の第二形態においては、膜が強固に付着している場合の強度を予め測定し、記憶しておいて基準とし、各測定位置における受信強度が基準からはずれるかどうかで膜の剥離強度の良否判定ができる。

本発明の膜強度測定方法および膜を有する被測定物８の良否判定方法は、外部電極等の膜状部材を有する被測定物８としての電子部品の製造に好適に使用される。上記電子部品としては、チップ状の、積層コンデンサ、積層インダクタンス、弾性表面波フィルタ、音響光学フィルタ（Acousto-Optic Tunable Filter）、および平面誘導体集積回路が挙げられる。音響光学フィルタは、多波長ネットワークに対して特定波長の光信号をのせたり、取り出したりするためのデバイスである。平面誘導体集積回路は、高周波誘導体基板を用いた回路で、共振器などの幾つかのデバイスからなっている。

また、本発明に係る、膜を有する被測定物の良否判定方法では、被測定物に入射する圧力波の出力を変えることで、良否判定基準を変更することもできる。

上記方法によれば、トランスデューサー２に印加する電圧を変化させることにより、圧力波の出力（圧力）を変化させることができ、上記圧力波により励起されるレイリー波も変化させることができて、良否判定基準を変更することが可能となる。例えば、上記印加電圧を大きくすることによって励起されたレイリー波も大きくできる。それに伴い、膜の発生する剥離応力を大きくできるので、その分、良否判定基準を厳しくなるように設定できる。

本発明の膜強度測定方法、および膜を有する被測定物の良否判定方法は、膜強度を定量評価できるので、膜状の外部電極等の膜状部材を有する被測定物としての電子部品の製造に好適に使用できる。

本発明の実施の第一形態に係る、膜強度測定方法における、膜を有する被測定物での、膜強度が小さいときの、被測定物からの漏洩波の変化を示すグラフである。 上記膜強度測定方法に用いる、測定装置のブロック図である。 上記膜強度測定方法における、膜を有する被測定物での、膜強度が大きいときの、被測定物からの漏洩波の変化を示すグラフである。 上記膜強度測定方法における、関係式を算出し、その関係式を用いて、被測定物からの測定結果に基づき、剥離強度（膜強度）を算出することを示すフローチャートである。 上記関係式のグラフである。 本発明に係る、膜を有する被測定物の良否判定方法を示すフローチャートである。 本発明の実施の第二形態に係る、膜強度測定方法に用いる測定装置のブロック図である。 従来の剥離の有無を測定するときの測定結果を示すグラフである。

符号の説明

Ｖ₀’（＝Ｖ₀）：漏洩波が発生していない入射角での反射波のみの受信強度
Ｖ_C：臨界角θｃｒでの、漏洩波強度が最大となったときの受信強度
Ｖ_R：入射角θｉ（受信角θｒも同様に）を変化させても、受信強度が変化しない領域での受信強度

Claims (8)

1. 母材表面に膜が形成された被測定物に対する圧力波の入射角を設定して、上記圧力波を照射するステップと、
   上記入射角を臨界角が含まれる範囲で変化させ、上記臨界角およびその近傍にて上記圧力波による表面波を被測定物に発生させて、上記表面波に起因する圧力波である漏洩波を被測定物から発生させるステップと、
   被測定物からの、反射波および漏洩波を含む圧力波の強度を測定するステップと、
   入射角の変化に対する被測定物からの漏洩波の強度の変化に基づいて、被測定物の膜強度を測定するステップとを含むことを特徴とする膜強度測定方法。
2. 被測定物の膜強度を測定するステップは、入射角を変化させても、被測定物からの漏洩波の強度変化が生じない部分の有無を調べることで、被測定物における、膜の剥離の有無を判定するステップを含むことを特徴とする請求項１記載の膜強度測定方法。
3. さらに、被測定物を非弾性流体内に予め浸すステップを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の膜強度測定方法。
4. 複数の被測定物について、膜強度をそれぞれ測定するステップと、
   上記の各膜強度を互いに比較して、各被測定物に形成されている膜の膜強度を相対的に評価するステップとを含むことを特徴とする請求項１ないし３の何れか１項に記載の膜強度測定方法。
5. 請求項２に記載の膜強度測定方法を用い、判定された剥離の有無を良否の判定基準として用いることを特徴とする、膜を有する被測定物の良否判定方法。
6. 被測定物に入射する圧力波の出力を変えることで、良否判定基準を変更することを特徴とする請求項５に記載の、膜を有する被測定物の良否判定方法。
7. 膜を有する被測定物の膜表面に対し圧力波を入射角を設定して入射し、被測定物からの反射波および漏洩波を含む圧力波を測定して、被測定物の表面に形成された膜の強度を測定する膜強度測定方法であって、
   被測定物と同様の材質からなり、かつ剥離の生じていない第１基準サンプルをあらかじめ用意し、この第１基準サンプルに対して、入射角を変えて圧力波を入射し、被測定物からの圧力波強度を、圧力波の入射角が臨界角における漏洩波強度が大きいときの第一強度と漏洩波強度が無いときの第二強度とを測定して、上記両者の強度差Ｖｃを算出するステップと、
   被測定物と同様の材質からなり、かつ剥離の生じている第２基準サンプルをあらかじめ複数用意し、これら第２基準サンプルに対し、圧力波の入射角を臨界角を含む範囲で変化させて被測定物からの圧力波強度を測定し、漏洩波強度の変化が生じない第三強度と前記第二強度との強度差Ｖ_Rを算出するステップと、
   第２基準サンプルの剥離強度を実測し、得られた剥離強度と膜の付着強度指数ａとの相関関係を求めるステップと、
   被測定物に対し、圧力波の入射角を臨界角を含む範囲で変化させて、被測定物からの圧力波強度を測定し、上記被測定物の強度差Ｖ_Rを算出するステップと、
   剥離強度と膜の付着強度指数ａとの相関関係と、上記被測定物の強度差Ｖ_Rとから上記被測定物の膜の剥離強度を求めるステップとを備えることを特徴とする膜強度測定方法。
8. 被測定物の膜の剥離強度を求めるステップでは、相関関係として、以下の式
   ａ＝（Ｖ_R・Ｖ₀）／Ｖ_c ²（Ｖ₀：第二強度）
   を用いて剥離強度を算出するステップであることを特徴とする請求項７記載の膜強度測定方法。
   

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