JP2005065138A - マイクロ電気機械システムの共振器およびその調整方法 - Google Patents
マイクロ電気機械システムの共振器およびその調整方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】信号を入力する入力電極11と、信号を出力する出力電極12と、入力電極11および出力電極12に対して空間21を介して対向する振動子13とを備えたマイクロ電気機械システム(MEMS)の共振器1において、入力電極11と出力電極12とは、共振器1が所望の帯域幅fdを得る寄生容量を発生する間隔に配置されたものであり、入力電極11に接続する第1容量調整部と、第1容量調整部に対向するとともに出力電極12に接続する第2容量調整部とを備えることもできる。
【選択図】図1
Description
Claims (12)
- 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えたマイクロ電気機械システムの共振器において、
前記入力電極と前記出力電極とは、共振器が所望の帯域幅fdを得る寄生容量を発生する間隔に配置される
ことを特徴とするマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記帯域幅fdは、前記マイクロ電気機械システムの共振器の共振ピークの周波数をf0、前記マイクロ電気機械システムの共振器の反共振ピークの周波数をf1としたとき、(f1−f0)/f0で表される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えたマイクロ電気機械システムの共振器において、
前記入力電極に接続する第1容量調整部と、
前記第1容量調整部に対向するとともに前記出力電極に接続する第2容量調整部とを備え、
前記第1容量調整部と前記第2容量調整部とは、共振器が所望の帯域幅fdを得る寄生容量を発生する間隔に配置される
ことを特徴とするマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記帯域幅fdは、前記マイクロ電気機械システムの共振器の共振ピークの周波数をf0、前記マイクロ電気機械システムの共振器の反共振ピークの周波数をf1としたとき、(f1−f0)/f0で表される
ことを特徴とする請求項3記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記第1容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなる
ことを特徴とする請求項3記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記第2容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなる
ことを特徴とする請求項3記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記第1容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記第2容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなる
ことを特徴とする請求項3記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 信号を入力する入力電極と、
前記入力電極に接続する第1容量調整部と、
信号を出力する出力電極と、
前記第1容量調整部に対向するとともに前記出力電極に接続する第2容量調整部と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えたマイクロ電気機械システムの共振器の調整方法であって、
前記第1容量調整部と前記第2容量調整部との間隔を、共振器が所望の帯域幅fdを得る寄生容量を発生するような間隔に調整する
ことを特徴とするマイクロ電気機械システムの共振器の調整方法。 - 前記帯域幅fdは、前記マイクロ電気機械システムの共振器における共振ピークの周波数をf0、前記マイクロ電気機械システムの共振器における反共振ピークの周波数をf1としたとき、(f1−f0)/f0で表される
ことを特徴とする請求項8記載のマイクロ電気機械システムの共振器の調整方法。 - 前記第1容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記各容量調整部の接続箇所の少なくとも1箇所を切断することで前記第1容量調整部と前記第2容量調整部との間の容量を調整する
ことを特徴とする請求項8記載のマイクロ電気機械システムの共振器の調整方法。 - 前記第2容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記各容量調整部の接続箇所の少なくとも1箇所を切断することで前記第2容量調整部と前記第1容量調整部との間の容量を調整する
ことを特徴とする請求項8記載のマイクロ電気機械システムの共振器の調整方法。 - 前記第1容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記第2容量調整部は直列に接続された複数の容量調整部からなり、
前記第1容量調整部と前記第2容量調整部の各容量調整部の接続箇所の少なくとも1箇所を切断することで前記第1容量調整部と前記第2容量調整部との間の容量を調整する
ことを特徴とする請求項8記載のマイクロ電気機械システムの共振器の調整方法。
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JP2007142532A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Sony Corp | 静電容量型共振素子、静電容量型共振素子の製造方法および通信装置 |
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JP2007142532A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Sony Corp | 静電容量型共振素子、静電容量型共振素子の製造方法および通信装置 |
JP4736735B2 (ja) * | 2005-11-15 | 2011-07-27 | ソニー株式会社 | 静電容量型共振素子、静電容量型共振素子の製造方法および通信装置 |
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