JP2005064290A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】加熱テスト工程におけるチップクラックの発生を低減し、歩留まりの向上をはかる。
【解決手段】 半導体素子搭載部に一端が近接するように配設された、複数のリードを具備したリードフレームに、半導体素子チップを搭載する工程と、複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い、連結ゲートで連結された樹脂封止工程と、加熱テスト工程とを含む半導体装置の製造方法において、前記樹脂封止工程後、加熱工程を含む保証テスト工程に先立ち、前記ゲートによって形成された連結ゲート7をカットするゲートカット工程を含む。
【選択図】図1
【解決手段】 半導体素子搭載部に一端が近接するように配設された、複数のリードを具備したリードフレームに、半導体素子チップを搭載する工程と、複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い、連結ゲートで連結された樹脂封止工程と、加熱テスト工程とを含む半導体装置の製造方法において、前記樹脂封止工程後、加熱工程を含む保証テスト工程に先立ち、前記ゲートによって形成された連結ゲート7をカットするゲートカット工程を含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法にかかり、特に樹脂封止型半導体装置の半導体素子チップの割れや欠けの低減に関する。
近年、環境汚染の問題が深刻化しており、パーソナルコンピュータ、携帯電話に代表される電子機器などの電子部品の分野でも、鉛を使用しない半田いわゆる鉛フリー半田の使用が進められている。
共晶半田の融点が約183℃であったのに対し、鉛フリー半田の場合、半田融点が、通常は約220℃と、共晶半田に比べ約40℃程度高い。そこで従来はせいぜい230℃程度に設定されていたリフロー温度が、最近では240℃から245℃となっており、高い物では260℃とされているのもある。
すなわち、半導体装置を鉛フリー半田を用いてプリント配線基板上の配線パターンに実装する場合、前述したように、245℃程度の高温となるため、熱ストレスにより、チップにクラックが入りやすいという問題があった。
このように、リフロー工程で使用する半田が、共晶半田から鉛フリーとなるのに伴い、リフロー炉の温度設定を高くしているものが多い。
共晶半田の融点が約183℃であったのに対し、鉛フリー半田の場合、半田融点が、通常は約220℃と、共晶半田に比べ約40℃程度高い。そこで従来はせいぜい230℃程度に設定されていたリフロー温度が、最近では240℃から245℃となっており、高い物では260℃とされているのもある。
すなわち、半導体装置を鉛フリー半田を用いてプリント配線基板上の配線パターンに実装する場合、前述したように、245℃程度の高温となるため、熱ストレスにより、チップにクラックが入りやすいという問題があった。
このように、リフロー工程で使用する半田が、共晶半田から鉛フリーとなるのに伴い、リフロー炉の温度設定を高くしているものが多い。
このため、半導体装置のテスト工程においても、リフロー温度に耐えうるかどうかを判断しなければならず、テストのための温度も従来は、255℃15秒程度であったのに対し、鉛フリー対応の半導体装置については、270℃15秒と高温となっている。
例えばミニパワー3端子型のトランジスタでは、図10に示すように、樹脂パッケージ1から3本のリード2a、2b、3aが導出されたシングルインライン型の半導体装置が用いられている。
この半導体装置は図10に示すように、樹脂パッケージ1内にトランジスタチップ(半導体素子チップ)4(図13参照)を搭載してなるもので、リードフレームに形成された半導体素子搭載部であるダイパッド3dにそれぞれ搭載されている。これらダイパッド3dはリード2a、2bとともにサイドバー8に支持された吊りリード3aに支持されており、放熱のために3方に伸長部3eを具備している。
製造に際しては、図11にフローチャートを示すように、リードフレーム10(ステップ201)に、半導体素子チップ4を搭載する工程(ステップ202)と、複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い(ステップ203)、連結ゲート7で連結された樹脂パッケージ1を形成するモールド品とりだし工程(ステップ204)と、加熱工程を含む保証テスト工程を実施する工程(ステップ206)とを経て最後に、ゲートによって形成された連結ゲート7をカットするゲートカット工程(ステップ205)とを含む。
すなわち樹脂封止に際しては、金型装置を用いてトランスファモールド法によって成形されるが、金型のキャビティは6個づつ連結ゲート7を介して接続され、1つの樹脂注入口から注入された樹脂によって6個分の樹脂パッケージの成形がなされる構造となっている。このため樹脂成形後の半導体装置は、図10に示すように、連結ゲート7で連結された構造となる。
製造に際しては、図11にフローチャートを示すように、リードフレーム10(ステップ201)に、半導体素子チップ4を搭載する工程(ステップ202)と、複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い(ステップ203)、連結ゲート7で連結された樹脂パッケージ1を形成するモールド品とりだし工程(ステップ204)と、加熱工程を含む保証テスト工程を実施する工程(ステップ206)とを経て最後に、ゲートによって形成された連結ゲート7をカットするゲートカット工程(ステップ205)とを含む。
すなわち樹脂封止に際しては、金型装置を用いてトランスファモールド法によって成形されるが、金型のキャビティは6個づつ連結ゲート7を介して接続され、1つの樹脂注入口から注入された樹脂によって6個分の樹脂パッケージの成形がなされる構造となっている。このため樹脂成形後の半導体装置は、図10に示すように、連結ゲート7で連結された構造となる。
そして、この連結状態のまま、255℃15秒の加熱テストを行い、最後に、ゲート接続部をカットする(ゲートカット工程)とともに、リードをカットして、個々の半導体装置を得る。
この加熱テスト後の半導体装置は図12に示すように、ゲート接続部で連結された状態を維持しているため、リードフレームの熱膨張率と樹脂の熱膨張率との差により、歪が生じ、変形し易い。
この加熱テストは従来のように255℃程度の温度条件では問題ではなかったが、近年の鉛フリー化に伴い、前述したように270℃程度もの高温の加熱テストを実施するようになっており、リードフレームがストレスを受けやすくチップクラックが生じ易いという問題があった。すなわち、ゲート接続部で連結された状態で高温工程を経るため、特にチップクラックを生じ易いという問題があった。つまり、実際の製品としては良品であるはずのものが、製造時の加熱テストによってチップクラックを生じ、不良品と判断されるという問題があった。
この加熱テストは従来のように255℃程度の温度条件では問題ではなかったが、近年の鉛フリー化に伴い、前述したように270℃程度もの高温の加熱テストを実施するようになっており、リードフレームがストレスを受けやすくチップクラックが生じ易いという問題があった。すなわち、ゲート接続部で連結された状態で高温工程を経るため、特にチップクラックを生じ易いという問題があった。つまり、実際の製品としては良品であるはずのものが、製造時の加熱テストによってチップクラックを生じ、不良品と判断されるという問題があった。
従来、鉛半田を用いた実装工程を用いる場合には、熱ストレス(熱歪)を減少させ収縮応力の低減をはかりチップクラックの発生を低減すべく、半導体素子搭載部の角部に切欠きを設けた方法も提案されている。(特許文献1参照)
しかしながら、上述した従来の加熱テストでは、ゲート接続部で連結された状態で高温工程を経るため、特にチップクラックを生じ易くなる。このため、実際の製品としては良品であるはずのものが、製造時の加熱テストによってチップクラックを生じ、不良品と判断されるという問題があった。
さらに近年、鉛フリー化により、従来よりもリフロー温度は40℃程度も高くなっており、この温度差は大きいため、種々のプロセスで不良発生の原因となっている。このため特許文献1で示されているような従来の手法では到底対応しえない程度の大きな熱歪が発生する。
また、鉛フリー半田対応の工程でない場合にも、高温の加熱工程を経ることになるため、長手方向に連結された状態で熱処理を行おうとすると熱歪を生じやすくチップクラックの原因となり易いという問題があった。
さらに近年、鉛フリー化により、従来よりもリフロー温度は40℃程度も高くなっており、この温度差は大きいため、種々のプロセスで不良発生の原因となっている。このため特許文献1で示されているような従来の手法では到底対応しえない程度の大きな熱歪が発生する。
また、鉛フリー半田対応の工程でない場合にも、高温の加熱工程を経ることになるため、長手方向に連結された状態で熱処理を行おうとすると熱歪を生じやすくチップクラックの原因となり易いという問題があった。
本発明は、前記実情に鑑みてなされたものであり、加熱テスト工程におけるチップクラックの発生を低減し、歩留まりの向上をはかることを目的とする。
本発明の方法は、半導体素子搭載部に一端が近接するように配設された、複数のリードを具備したリードフレームに、半導体素子チップを搭載する工程と、複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い、連結ゲートで連結された樹脂封止工程と、加熱テスト工程とを含む半導体装置の製造方法において、前記樹脂封止工程後、加熱工程を含む保証テスト工程に先立ち、前記ゲートによって形成された連結ゲートをカットするゲートカット工程を含むことを特徴とする。
この方法により、保証テスト工程に先立ち、連結ゲートをカットするようにしているため、高温に加熱されても、樹脂パッケージ部分は個々に分断されているため、樹脂パッケージの長手方向の応力の増大を防ぐことができ、チップクラックの発生を低減することができる。従って歩留まりが向上する。
また、本発明は、前記半導体装置の製造方法において、前記半導体素子搭載部は、前記半導体素子チップよりも大面積の放熱板である。
半導体素子搭載部が大きいと、樹脂パッケージの歪を受けて変形しやすいが、この方法によれば、加熱工程に先立ち、連結ゲートが分断されているため、パッケージの受ける変形を低減することができる。
また、本発明は、前記半導体装置の製造方法において、前記半導体素子搭載部は、前記樹脂パッケージから外方に導出されている。
半導体素子搭載部が大きく樹脂パッケージから外方に導出されていると、樹脂パッケージの歪を受けて変形しやすいが、この方法によれば、加熱工程に先立ち、連結ゲートが分断されているため、パッケージの受ける変形を低減することができる。
また、本発明は、前記半導体装置の製造方法において、前記リードが前記パッケージに対して一方向に導出されているシングルインライン型である。
半導体素子搭載部が大きいと、樹脂パッケージの歪を受けて変形しやすいが、この方法によれば、加熱工程に先立ち、連結ゲートが分断されて個々の樹脂パッケージに分離されているため、パッケージの受ける変形を低減することができる。
また、本発明は、前記半導体装置の製造方法において、前記半導体素子樹脂パッケージは主面が長方形である。
また、本発明は、前記半導体装置の製造方法において、前記半導体素子チップは、鉛フリー半田を介して前記半導体素子搭載部に固着される。
また、本発明は、前記半導体装置の製造方法において、前記半導体素子チップは、鉛フリー半田を介して前記半導体素子搭載部に固着される。
本発明の半導体装置によれば、高温での加熱テスト工程を経ても、チップクラックの発生もなく、高歩留まりの半導体装置を提供することが可能となる。
また、特に、鉛フリー半田対応の高温テスト工程を経る場合にもチップクラックの発生を防止することができる。
また、特に、鉛フリー半田対応の高温テスト工程を経る場合にもチップクラックの発生を防止することができる。
次に本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
図1は本実施の形態の工程を示すフローチャート、図2乃至5は、本発明の第1の実施の形態の半導体装置の実装工程を示す工程図、図6は同半導体装置の斜視図(分割前)、図7はこの工程で形成される半導体装置を示す図、図8および図9は同実施の形態に用いられる樹脂封止前のリードフレームおよび半導体素子チップを示す斜視図および断面図である。
この半導体装置は、トランジスタを搭載したもので半導体素子搭載部が、矩形の半導体素子搭載領域としてのダイパッド3dと、このダイパッド3dに連続的に形成された伸長部3eとを備え、縦横2.5mm×4.5mm×1.5mmの樹脂パッケージ1を具備しているもので、樹脂封止装置の都合上、複数個連結構造で樹脂封止がなされるものであって、その保証テスト工程に特徴を有する。すなわち、図1にフローチャートを示すように本実施の形態の半導体装置の製造方法は、リードフレーム10(ステップ101)に、半導体素子チップ4を搭載する工程(ステップ102)と、複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い(ステップ103)、連結ゲート7で連結された樹脂パッケージ1を得るモールド品とりだし工程(ステップ104)と、ゲートによって形成された連結ゲート7をカットするゲートカット工程(ステップ105)と、270℃15秒の保証テスト工程を実施する工程(ステップ106)とを含むことを特徴とする。
(第1の実施の形態)
図1は本実施の形態の工程を示すフローチャート、図2乃至5は、本発明の第1の実施の形態の半導体装置の実装工程を示す工程図、図6は同半導体装置の斜視図(分割前)、図7はこの工程で形成される半導体装置を示す図、図8および図9は同実施の形態に用いられる樹脂封止前のリードフレームおよび半導体素子チップを示す斜視図および断面図である。
この半導体装置は、トランジスタを搭載したもので半導体素子搭載部が、矩形の半導体素子搭載領域としてのダイパッド3dと、このダイパッド3dに連続的に形成された伸長部3eとを備え、縦横2.5mm×4.5mm×1.5mmの樹脂パッケージ1を具備しているもので、樹脂封止装置の都合上、複数個連結構造で樹脂封止がなされるものであって、その保証テスト工程に特徴を有する。すなわち、図1にフローチャートを示すように本実施の形態の半導体装置の製造方法は、リードフレーム10(ステップ101)に、半導体素子チップ4を搭載する工程(ステップ102)と、複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い(ステップ103)、連結ゲート7で連結された樹脂パッケージ1を得るモールド品とりだし工程(ステップ104)と、ゲートによって形成された連結ゲート7をカットするゲートカット工程(ステップ105)と、270℃15秒の保証テスト工程を実施する工程(ステップ106)とを含むことを特徴とする。
まず、金属製の板状体(銅板)からなる条材を打ち抜き法によって形状加工を行い、図2に示すように、送り孔9を有するサイドレール8に2本のリード2a、2bと、吊りリード3aとが一端を支持せしめられ、この吊りリード3aが半導体素子搭載領域であるダイパッド3dを担持してなるリードフレーム10を形成する。このダイパッド3dは吊りリードの伸長方向を除く3方に伸長部3eを備えている(ステップ101)。
次に、図3に示すように、ダイパッド3dに半導体素子チップ4を搭載し、半導体素子チップ4とボンディングワイヤ6を介してリード2a、bとの電気的接続を行う(ステップ102)。
次に、図3に示すように、ダイパッド3dに半導体素子チップ4を搭載し、半導体素子チップ4とボンディングワイヤ6を介してリード2a、bとの電気的接続を行う(ステップ102)。
この後、6個連結の金型装置にこのリードフレームをセットし、トランスファモールド法により、樹脂封止を行う(ステップ103)。この金型装置はゲートにより、6個連結されており、1個の注入口で6個の樹脂パッケージ1が形成されるようになっている。金型装置からモールド成形品をとりだした状態の半導体装置(トランジスタ装置)を図4に示す(ステップ104)。このようにして得られるモールド後の半導体装置は連結ゲート7で樹脂パッケージ1が接続された状態である。
この後加熱工程を含む保証テスト工程に先立ち、図5に示すように連結ゲート7をカットする(ステップ105)。
この後加熱工程を含む保証テスト工程に先立ち、図5に示すように連結ゲート7をカットする(ステップ105)。
そして、270℃15秒の保証テスト工程を実施する(ステップ106)。
図6はこの半導体装置の斜視図である。
そして最後にサイドレール8を切除すると共に図7に示すように個々の半導体装置に分割する。
このようにして得られる半導体装置は、図8に樹脂パッケージの内部を示すと共に図9にダイパッドの断面図を示すように、半導体素子搭載領域3dから3方向に伸長する伸長部3eを具備しており、半導体素子チップ4は半田層5を介して接続されているがチップクラックの発生もなく良好な高歩留まりで半導体装置を得ることができる。
これは、連結ゲート7をカットした状態で保証テストを行ったためである。
図6はこの半導体装置の斜視図である。
そして最後にサイドレール8を切除すると共に図7に示すように個々の半導体装置に分割する。
このようにして得られる半導体装置は、図8に樹脂パッケージの内部を示すと共に図9にダイパッドの断面図を示すように、半導体素子搭載領域3dから3方向に伸長する伸長部3eを具備しており、半導体素子チップ4は半田層5を介して接続されているがチップクラックの発生もなく良好な高歩留まりで半導体装置を得ることができる。
これは、連結ゲート7をカットした状態で保証テストを行ったためである。
これに対し、従来の方法により図10に示したように連結ゲート7を残したままの状態で熱処理を行った場合、図12に示したようにリードフレームが変形を生じ、その結果、図13に示すようにチップにクラックCを生じていた。
本実施の形態では、リードフレームのダイパッド3dから3方向に伸長する伸長部3eを備えており、リードフレームの伸びによりチップクラックが生じ易いが、樹脂パッケージの連結ゲート7を切除して個々に分離した状態で熱処理を行うようにすることで、樹脂パッケージの熱歪が半導体素子チップに伝搬してチップクラックが発生する確率は大きく低減される。このように、この構成によれば、熱により樹脂パッケージが歪を生じるのを防止することが可能となる。高温での熱処理を経た場合にも、チップクラックの発生を抑制することができ、高歩留まりで半導体装置を形成することが可能となる。
なお、前記実施の形態では伸長部を持つ場合について説明したが、伸長部を持つ場合には特にチップクラックが発生しやすく、本発明の方法が有効に作用するが、伸長部を持たないリードフレームに対しても有効である。
また、本発明のリードフレームの製造方法では、打ち抜き法によって形成したが、打ち抜き法とエッチング法との組み合わせあるいはエッチング法を用いるようにしてもよい。
さらにまた、前記実施の形態では、トランジスタの実装について説明したが、トランジスタ以外の素子チップを実装する場合にも適用可能であり、またこのようなディスクリート素子に限定されることなく、ICやLSIなどにも適用可能であることはいうまでもない。
加えて、製造工程は前記実施の形態に限定されることなく、適宜変更可能であり、歪を生じるような加熱処理工程を必要とするものについては適用可能であり、加熱処理工程に先立ち連結ゲートをカットするのみで歪によるクラックの発生を大幅に低減することができる。
以上説明してきたように、本発明の半導体装置の製造方法によれば、高温の加熱工程を含む保証テストを必要とする半導体装置の歩留まりの向上に有効である。
1 樹脂パッケージ
2a、2bリード端子
3a 吊りリード
3d ダイパッド(半導体素子搭載部)
3e 伸長部
4 半導体素子チップ
6 ボンディングワイヤ
7 連結ゲート
8 サイドバー
9 送り穴
2a、2bリード端子
3a 吊りリード
3d ダイパッド(半導体素子搭載部)
3e 伸長部
4 半導体素子チップ
6 ボンディングワイヤ
7 連結ゲート
8 サイドバー
9 送り穴
Claims (4)
- 半導体素子搭載部に一端が近接するように配設された、複数のリードを具備したリードフレームに、半導体素子チップを搭載する工程と、
複数のパッケージをゲートで接続し、複数のキャビティがゲートで連結された金型内で同時に樹脂封止を行い、連結ゲートで連結された樹脂封止工程と、
加熱テスト工程とを含む半導体装置の製造方法において、
前記樹脂封止工程後、加熱工程を含む保証テスト工程に先立ち、前記ゲートによって形成された連結ゲートをカットするゲートカット工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記半導体素子搭載部は、前記半導体素子チップよりも大面積の放熱板である半導体装置の製造方法。 - 請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記半導体素子搭載部は、前記樹脂パッケージから外方に導出されている半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記半導体素子チップは、鉛フリー半田を介して前記半導体素子搭載部に固着される半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003293464A JP2005064290A (ja) | 2003-08-14 | 2003-08-14 | 半導体装置の製造方法 |
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---|---|---|---|
JP2003293464A JP2005064290A (ja) | 2003-08-14 | 2003-08-14 | 半導体装置の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9627279B2 (en) | 2010-11-16 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for removing defective light emitting diode (LED) package from LED package arrary |
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2003
- 2003-08-14 JP JP2003293464A patent/JP2005064290A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9627279B2 (en) | 2010-11-16 | 2017-04-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for removing defective light emitting diode (LED) package from LED package arrary |
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